[go: up one dir, main page]

JPS63252296A - Fuel element helium leak detection test method - Google Patents

Fuel element helium leak detection test method

Info

Publication number
JPS63252296A
JPS63252296A JP62086662A JP8666287A JPS63252296A JP S63252296 A JPS63252296 A JP S63252296A JP 62086662 A JP62086662 A JP 62086662A JP 8666287 A JP8666287 A JP 8666287A JP S63252296 A JPS63252296 A JP S63252296A
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
chamber
gas
helium
helium leak
leak test
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Granted
Application number
JP62086662A
Other languages
Japanese (ja)
Other versions
JP2555347B2 (en
Inventor
金子 滋司
鈴木 成就
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Hitachi Ltd
Original Assignee
Hitachi Ltd
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Hitachi Ltd filed Critical Hitachi Ltd
Priority to JP62086662A priority Critical patent/JP2555347B2/en
Publication of JPS63252296A publication Critical patent/JPS63252296A/en
Application granted granted Critical
Publication of JP2555347B2 publication Critical patent/JP2555347B2/en
Anticipated expiration legal-status Critical
Expired - Lifetime legal-status Critical Current

Links

Classifications

    • YGENERAL TAGGING OF NEW TECHNOLOGICAL DEVELOPMENTS; GENERAL TAGGING OF CROSS-SECTIONAL TECHNOLOGIES SPANNING OVER SEVERAL SECTIONS OF THE IPC; TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC CROSS-REFERENCE ART COLLECTIONS [XRACs] AND DIGESTS
    • Y02TECHNOLOGIES OR APPLICATIONS FOR MITIGATION OR ADAPTATION AGAINST CLIMATE CHANGE
    • Y02EREDUCTION OF GREENHOUSE GAS [GHG] EMISSIONS, RELATED TO ENERGY GENERATION, TRANSMISSION OR DISTRIBUTION
    • Y02E30/00Energy generation of nuclear origin
    • Y02E30/30Nuclear fission reactors

Landscapes

  • Monitoring And Testing Of Nuclear Reactors (AREA)

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
(57) [Summary] This bulletin contains application data before electronic filing, so abstract data is not recorded.

Description

【発明の詳細な説明】 〔産業上の利用分野〕 本発明は、ガス置換チャンバに係り、特に、核物質を取
り扱う設備において、負圧雰囲気(不活性ガスまたは空
気)のグローブボックスと大気側のオープンボックスと
をつなぎ、燃料要素1本毎にオンラインでヘリウムガス
の漏れ量を高精度に検出するためのガス置換チャンバに
関するものである。
[Detailed Description of the Invention] [Field of Industrial Application] The present invention relates to a gas replacement chamber, and in particular, in equipment handling nuclear materials, a glove box with a negative pressure atmosphere (inert gas or air) and a gas exchange chamber with an atmospheric side. This relates to a gas replacement chamber that is connected to an open box and is used to accurately detect the amount of helium gas leaking online for each fuel element.

〔従来の技術〕[Conventional technology]

従術のヘリウムリーク試験は1例えば、「軽水炉のふる
まいJ  (Jll方力安全保安研究協会に示されてい
るように、複数の燃料要素を集合体に組立てた後に行う
方式と、複数(10〜20数本)の燃料要素をひとつの
パレットに並べた状態で行う方式とがある。
Conventional helium leak tests include one method that is performed after assembling multiple fuel elements into an assembly, and one method that is performed after assembling multiple fuel elements into an assembly, as shown in the ``Light Water Reactor Behavior J There is a method in which more than 20 fuel elements are lined up on one pallet.

パレットを用いる方式にあっても、従来はペレット充填
から上部端栓溶接までの工程でも、グロ−ブボックスと
オープンボックスとの間を通過させて製造゛する必要が
なく、ガス置換チャンバは不必要である。しかし、最近
になって毒性の強い核燃料ペレットを能率よく生産する
為にペレット充填及び上部端栓溶接工程迄は負圧雰囲気
のグローブボックスで取扱い、それから後の工程ではガ
ス置換チャンバを通して空気雰囲気で取り扱う工程にな
っている。
Even with the method using pallets, there is no need to pass between the glove box and the open box in the conventional manufacturing process from pellet filling to upper end plug welding, and a gas exchange chamber is unnecessary. It is. However, recently, in order to efficiently produce highly toxic nuclear fuel pellets, the pellet filling and upper end plug welding steps are handled in a glove box with a negative pressure atmosphere, and then in the later steps, they are handled in an air atmosphere through a gas exchange chamber. It's a process.

第3図は、燃料要素をパレットに並べてヘリウムリーク
試験を行う方式を採用した従来の系統構成の一部を示す
図である。この系統部分は、不活性ガス負圧(例えば、
−30mmAq±5 ms A q )に維持されたグ
ローブボックスAと、本発明の対象であるガス置換チャ
ンバBと、大気圧のオープンボックスCと、ヘリウムリ
ーク試験設備りとからなる。グローブボックスAは、前
工程から供給される被覆管ペレットやスプリング等を挿
入しヘリウムを充填した後に上部端栓を溶接する場所で
ある。オープンボックスCは、そうして形成された燃料
要素の溶接部等の外観を検査する場所である。オープン
ボックスCでの検査終了後、燃料要素はヘリウムリーク
試験設備りに送られ、所定本数までパレットに蓄えられ
、ヘリウムリーク試験に付される。ガス置換チャンバB
は、グローブボックスA側の負圧を乱さず、しかも大気
中に核物質を飛散させないように、上部端栓を密封した
燃料要素をオープンボックスC側に送るために設置され
ている。
FIG. 3 is a diagram showing part of a conventional system configuration in which a helium leak test is performed by arranging fuel elements on a pallet. This system section is equipped with an inert gas negative pressure (e.g.
It consists of a glove box A maintained at -30 mmAq±5 ms Aq), a gas replacement chamber B which is the object of the present invention, an open box C at atmospheric pressure, and a helium leak test facility. Glove box A is a place where cladding tube pellets, springs, etc. supplied from the previous process are inserted, filled with helium, and then the upper end plug is welded. The open box C is a place where the appearance of the welded parts and the like of the fuel element thus formed is inspected. After the inspection in open box C is completed, the fuel elements are sent to a helium leak test facility, stored on pallets up to a predetermined number, and subjected to a helium leak test. Gas replacement chamber B
is installed to send the fuel element with the upper end plug sealed to the open box C side so as not to disturb the negative pressure on the glove box A side and to prevent nuclear material from scattering into the atmosphere.

次に、これらの系統部分での操作の概要を説明する。グ
ローブボックスA内のヘリウム雰囲気で燃料要素の上部
端栓を溶接する。この燃料要素をグローブボックスAか
らオープンボックスCに送る際に、オープンボックスC
側の空気がグローブボックスA側のヘリウムガスに混入
しないように。
Next, an overview of the operations in these system parts will be explained. Weld the upper end plug of the fuel element in a helium atmosphere in glove box A. When sending this fuel element from glove box A to open box C, open box C
Make sure that the air on the side does not mix with the helium gas on the glove box A side.

またグローブボックスA側の核物質をオープンボックス
C側に飛散させないように、まず、ガス置換チャンバB
の両側のシャッタを閉じた状態で、ガス置換チャンバB
内を一旦10−”Torrまで真空排気する。次に、ヘ
リウムガスをガス置換チャンバBに導入し、グローブボ
ックスAと同じ負圧(−30■Aq±5 m A q 
)にする、そこで、溶接完了の燃料要素をグローブボッ
クスAからガス置換チャンバBに引き出し、グローブボ
ックスA側のシャッタを閉じる。その後、オープンボッ
クスC側のシャッタを開き、燃料要素を送り出す。
In addition, in order to prevent nuclear material from the glove box A side from scattering to the open box C side, first open the gas exchange chamber B.
With the shutters on both sides closed, open the gas exchange chamber B.
The interior is once evacuated to 10-" Torr. Next, helium gas is introduced into gas replacement chamber B, and the same negative pressure as in glove box A (-30 Aq ± 5 m Aq
), then the welded fuel element is pulled out from glove box A to gas replacement chamber B, and the shutter on the glove box A side is closed. Thereafter, the shutter on the open box C side is opened to send out the fuel element.

オープンボックスCでは、燃料要素の溶接部等の外観を
検査し、ヘリウムリーク試験設備りのパレットに送る。
In open box C, the appearance of the welded parts of the fuel element is inspected, and the fuel element is sent to a pallet for helium leak testing equipment.

ヘリウムリーク試験設備りは、所定本数の燃料要素が送
られてきたところで、パレットごとにヘリウムリーク試
験を行ない、次工程に送孝#り。
The helium leak test equipment performs a helium leak test on each pallet when a predetermined number of fuel elements are delivered, and then sends them to the next process.

〔発明が解決しようとする問題点〕[Problem that the invention seeks to solve]

さて、複数の燃料要素を集合体に組み立てた後にヘリウ
ムリーク試験を行う方式では、リークが検出された場合
、既に組み立てられたたくさんの燃料要素のどれからリ
ークが生じているのか分からず、何度も検査を繰り返さ
なければならなかった。
Now, with the method of performing a helium leak test after assembling multiple fuel elements into an assembly, if a leak is detected, it is unclear which of the many assembled fuel elements is causing the leak, and I also had to repeat the test.

一方、第3図のパレットに燃料要素を蓄えてヘリウムリ
ーク試験を行う従来例でも、状況はあます改善されてい
ない。
On the other hand, even in the conventional example of storing fuel elements on a pallet as shown in Fig. 3 and carrying out a helium leak test, the situation has not been improved much.

この方法では、通常数本から10数本の燃料要素をパレ
ットに蓄えて試験しているので、リークが発生してもパ
レット単位での合否判定しかできず、リークがある燃料
要素を特定するには、オフラインで1本毎に全数検査が
必要となり、二度手間となる。
In this method, usually several to ten fuel elements are stored on a pallet and tested, so even if a leak occurs, pass/fail judgment can only be made for each pallet, and it is difficult to identify the fuel element with the leak. In this case, 100% inspection is required for each piece off-line, resulting in twice the effort.

さらに問題なのは、パレットからの放出ガスである。第
4図により、それを説明する0図において、aは、パレ
ットおよび燃料要素が無いときのヘリウムリーク試験チ
ャンバそのものの放出ガス量(バックグラウンド)、b
は、パレットおよび燃料要素が無い状態で例えば3 X
 10−’Torr−Q・seeの標準リーク線源から
ヘリウムガスを放出させたときの放出ガス量、Cは、パ
レットおよびヘリウムガスを封入しない燃料要素を挿入
したときの放出ガス量(パックグラウンド)、c2は、
パレットおよびヘリウムガスを封入した燃料要素を挿入
したときの放出ガス量、dは、ヘリウムガスを封入しな
い燃料要素のみを挿入したときの放出ガス量(バックグ
ラウンド)、eは、例えばIXl 0−’ Torr−
Q /seeの合否判定基準レベルである。
Even more problematic is the gas released from the pallets. 4, in which a is the amount of gas released from the helium leak test chamber itself when there are no pallets and fuel elements (background), b is
For example, 3 X without pallets and fuel elements
The amount of gas released when helium gas is released from a standard leak source of 10-' Torr-Q see, C is the amount of gas released when a pallet and a fuel element not filled with helium gas are inserted (pack ground) , c2 is
The amount of released gas when a pallet and a fuel element filled with helium gas are inserted, d is the amount of released gas (background) when only a fuel element not filled with helium gas is inserted, and e is, for example, IXl 0-' Torr-
This is the pass/fail judgment standard level for Q/see.

この場合、ヘリウムリーク試験の検出感度fは、(3X
 10−’Torr−Q /see ) / (b −
a)で与えられる。また、実際の燃料要素の判定は、(
c2−c)Xfが所定の基準値e以下か否かを測ること
によりなされる。
In this case, the detection sensitivity f of the helium leak test is (3X
10-'Torr-Q /see ) / (b-
It is given by a). In addition, the actual fuel element determination is (
c2-c) This is done by measuring whether or not Xf is less than a predetermined reference value e.

ヘリウムリーク試験設備で用いるパレットは、前回の試
験以後、様々な試験工程を経る。そのため、パレット自
体の放出ガス量をその都度測定する必要があった。しか
も、パレットには機械油や水分等が付着してパレットそ
のものの放出ガス量が一定でなく、パレットからの放出
ガス量があまりに大きく、燃料要素のヘリウムリーク試
験の精度を低下させる問題があった。
The pallets used in the helium leak test facility have undergone various testing processes since the last test. Therefore, it was necessary to measure the amount of gas released from the pallet itself each time. Moreover, the amount of gas emitted from the pallet itself was not constant due to machine oil, moisture, etc. adhering to the pallet, and the amount of gas emitted from the pallet was too large, causing a problem that reduced the accuracy of helium leak tests for fuel elements. .

すなわち、パレットおよびヘリウムガスを封入しない燃
料要素を挿入したときの放出ガス量Cが、合否判定基準
eをはるかに越えてしまい、それが安定しないので、一
定のバックグラウンドCとして計算条件に入れておき、
実際の副室結果c2から、(c2−c)Xfが合否判定
基準e以下を満足しているかどうかを判定することに熟
練を要していた0通常、燃料要素の合否判定は、10″
″6Torr−Q /sec程度の漏れを測定するので
、チャンバは10−’Torr程度まで真空排気し、1
0−8/10″″5=10″″312/seeの漏れ量
を測定する。パレットが汚れ、規定時間内のチャンバの
真空度が例えば10′″3Torrになると、10−8
/ 10’″3=10−I5Q /secの漏れ量を測
ることになり、測定が益々困難である。
In other words, when a pallet and a fuel element that does not contain helium gas are inserted, the amount of released gas C far exceeds the pass/fail criterion e and is unstable, so it is included in the calculation conditions as a constant background C. Ok,
It takes skill to judge from the actual pre-chamber result c2 whether (c2-c)
Since we are measuring a leakage of about 6 Torr-Q/sec, the chamber is evacuated to about 10 Torr, and
Measure the leakage amount of 0-8/10''5=10''312/see. If the pallet is dirty and the vacuum level of the chamber within the specified time is, for example, 10'''3 Torr, the
/10'''3=10-I5Q/sec, which makes measurement increasingly difficult.

結局は、ヘリウムリーク試験直前でパレット自体の放出
ガス量をオンラインで測定しなければならず、手間がか
かるとともに、燃料要素のヘリウムリークの測定精度が
上がらなかった。
In the end, the amount of gas released from the pallet itself had to be measured online immediately before the helium leak test, which was time-consuming and did not improve the accuracy of measuring helium leaks from fuel elements.

本発明の目的は、ヘリウムリークを燃料要素1本毎にオ
ンラインで迅速に測定でき、しかも放出ガス量の多いペ
レットの影響を根本的に排除したヘリウムリーク検出装
置の機能を兼ね備えたガス置換チャンバを提供すること
である。
The purpose of the present invention is to provide a gas replacement chamber that can quickly measure helium leaks for each fuel element on-line and also has the function of a helium leak detection device that fundamentally eliminates the influence of pellets that emit a large amount of gas. It is to provide.

〔問題点を解決するための手段〕[Means for solving problems]

本発明は、上記目的を達成するために、負圧雰囲気の第
1室と大気雰囲気の第2室の雰囲気が混入しないように
被搬送物を受け渡すガス置換チャンバにおいて、第1室
から被搬送物を受け取る前にチャンバを所定の低真空ま
で排気する粗引排気系と、第1室と同種類のガスを流量
を変えながらチャンバに供給するガス供給系と、第1室
から被搬送物を受け取った後にヘリウムリーク試験の真
空条件まで真空引きする本排気系と、真空条件下でヘリ
ウムリーク試験を行うヘリウムリークテスト系と、操業
前に真空条件下でチャンバ内のヘリウム検出感度を測定
しておく標準リーク排気系とからなるヘリウムリーク検
出装置を備えたガス置換チャンバを提供するものである
In order to achieve the above-mentioned object, the present invention provides a gas exchange chamber for transferring objects to be transferred from the first chamber to the second chamber having an atmospheric atmosphere so that the atmospheres of the first chamber having a negative pressure atmosphere and the second chamber having an atmospheric atmosphere do not mix. There is a rough evacuation system that evacuates the chamber to a predetermined low vacuum before receiving the object, a gas supply system that supplies the same type of gas as the first chamber to the chamber while changing the flow rate, and a gas supply system that evacuates the object from the first chamber. There is a main evacuation system that evacuates to the vacuum conditions for a helium leak test after receiving it, a helium leak test system that performs a helium leak test under vacuum conditions, and a helium leak test system that measures the helium detection sensitivity in the chamber under vacuum conditions before operation. The present invention provides a gas replacement chamber equipped with a helium leak detection device consisting of a standard leak exhaust system.

〔作用〕[Effect]

第2図を参照して、本発明の構成の概要を説明する。こ
の第2図と従来例を示す第3図との比較から明らかなよ
うに、本発明は、ヘリウムリーク試験設備りの機能をガ
ス置換チャンバBに果たさせることを特徴としている。
An overview of the configuration of the present invention will be explained with reference to FIG. As is clear from a comparison between FIG. 2 and FIG. 3 showing the conventional example, the present invention is characterized in that the gas replacement chamber B performs the function of a helium leak test facility.

ヘリウムリーク試験の最大の外乱ノイズ源となっている
パレットをヘリウムリーク試験設備りに持ち込まなけれ
ば、その影響から解放される。その際に、内部被曝のお
それをなくすには、ヘリウムリーク試験を空気雰囲気の
オープンボックスCの前に配置するのが最も良い、ここ
にはガス置換チャンバBがあり、既に述べたように、グ
ローブボックスAからオープンボックスCに燃料要素を
移送するときに、一旦真空引きするようになっている。
If pallets, which are the biggest source of disturbance noise in helium leak tests, are not brought into the helium leak test facility, they can be freed from this influence. In this case, in order to eliminate the risk of internal exposure, it is best to place the helium leak test in front of the open box C in the air atmosphere, where the gas exchange chamber B is located, and as already mentioned, with gloves When transferring the fuel element from box A to open box C, it is designed to be evacuated once.

そこで、その真空引きの能力を鑞化し、ヘリウムリーク
試験の機能を付加すれば、パレットの放出ガスの悪影響
を根本的に排除し、しかも全体としてのスペースとコス
トとを大幅に節約したガス置換チャンバが得られること
になる。
Therefore, by improving the vacuum capacity and adding a helium leak test function, we have created a gas exchange chamber that fundamentally eliminates the negative effects of pallet gas emissions and saves space and cost overall. will be obtained.

〔実施例〕〔Example〕

第1図は、本発明によるガス置換チャンバの一実施例を
示す系統図である。図において、1は不活性ガス(ヘリ
ウム)の負圧に維持された第1室(グローブボックス)
、2はそこで作られ空気雰囲気中に運び出される燃料要
素、3は第1室と空気雰囲気の第2室(+−プンボック
ス)とをつなぐガス置換チャンバ本体、4は真空粗引系
、5は標準リーク排気系、6は水引排気系、7はヘリウ
ムリークテスト系、8はヘリウム供給量制御系、9は真
空計(ピラニ真空計)、10は開閉弁(エア作動弁)、
11は差圧真空計、12はシャッタ、13は電磁弁、1
4は電離真空計、15は標準線源、16は電磁弁、17
は真空スイッチである。
FIG. 1 is a system diagram showing one embodiment of a gas replacement chamber according to the present invention. In the figure, 1 is the first chamber (glove box) maintained at negative pressure of inert gas (helium).
, 2 is the fuel element produced there and carried out into the air atmosphere, 3 is the main body of the gas exchange chamber that connects the first chamber and the second chamber (+- pump box) in the air atmosphere, 4 is the vacuum roughing system, and 5 is the vacuum roughing system. Standard leak exhaust system, 6 is a water exhaust system, 7 is a helium leak test system, 8 is a helium supply amount control system, 9 is a vacuum gauge (Pirani vacuum gauge), 10 is an on-off valve (air operated valve),
11 is a differential pressure vacuum gauge, 12 is a shutter, 13 is a solenoid valve, 1
4 is an ionization vacuum gauge, 15 is a standard radiation source, 16 is a solenoid valve, 17
is a vacuum switch.

このように構成したガス置換チャンバを用いて。Using the gas replacement chamber configured in this way.

ヘリウムリーク試験をしながら、第1室から第2室に燃
料要素を1本ずつ移送する作業を説明する。
We will explain the process of transferring fuel elements one by one from the first chamber to the second chamber while conducting a helium leak test.

まず、両側のシャッタ12A、12Bを閉じ、スイッチ
17を入れて真空粗引系4により、チャンバ3をを所定
の真空(例えばI X 10−”Torr )まで真空
に引く。
First, the shutters 12A and 12B on both sides are closed, the switch 17 is turned on, and the chamber 3 is evacuated to a predetermined vacuum (for example, Ix10-''Torr) by the vacuum roughing system 4.

ここでもし、そのままシャッタ12Aを開き燃料要素2
を搬出すると、第1室1からガス置換チャンバ3に汚染
されたヘリウムガスが流れて、図示しない第1室負圧監
視装置が作動し、第1室側のヘリウム制御系が働き、規
定の負圧に戻るまで燃料要素を搬出できないので、タイ
ムロスにつながる。
At this point, if you open the shutter 12A as it is, the fuel element 2
When the helium gas is carried out, contaminated helium gas flows from the first chamber 1 to the gas replacement chamber 3, and the first chamber negative pressure monitoring device (not shown) is activated, and the helium control system on the first chamber side is activated, and the specified negative pressure is activated. The fuel element cannot be removed until pressure is restored, leading to time loss.

これを防ぐために、ガス置換チャンバ3を真空引き後、
ヘリウム供給口からヘリウム流量制御系8を介してヘリ
ウムを供給し、第1室1と同じ負圧(例えば−30nm
 A q )にする。
To prevent this, after evacuating the gas replacement chamber 3,
Helium is supplied from the helium supply port via the helium flow control system 8, and the same negative pressure as the first chamber 1 (for example, -30 nm) is applied.
Aq).

この場合、所定の真空(I X 10″″zTorr 
)から第1室鳳の真空−30nnAq(約758 To
rr)よりも若干低い値(以下A点という)までは、第
1管路の大流量の絞りを通じて、10 Torr/ s
ec以上の圧力勾配で流す、A点圧力から一30naA
qまでは、第2管路の小流量の絞りを通じて、7Tor
r/see以下の圧力勾配で流す。
In this case, a predetermined vacuum (I x 10''zTorr
) to the vacuum of the first chamber -30nnAq (approximately 758 To
rr) to a value slightly lower than 10 Torr/s (hereinafter referred to as point A) through a large flow restriction in the first pipe line.
Flow with a pressure gradient of ec or higher, from point A pressure to -30 naA
7Tor through the small flow rate restriction in the second pipe line.
Flow at a pressure gradient of less than r/see.

ここで、デジタルマノメータを用いた差圧計11の耐圧
保護のために、一定の真空(−2000rrm A q
 )になってから開く開閉弁10を作動させる信号を、
ピラニ真空計9から得ている。また、ヘリウム供給量制
御系8の第1管路と第2管路との切換信号は、差圧計1
1から出される。
Here, in order to protect the differential pressure gauge 11 using a digital manometer, a certain vacuum (-2000 rrm A q
), the signal that activates the on-off valve 10 that opens after reaching
Obtained from Pirani vacuum gauge 9. In addition, the switching signal between the first pipe line and the second pipe line of the helium supply amount control system 8 is controlled by the differential pressure gauge 1.
It is issued from 1.

このように途中で流量を変えるのは、グローブボックス
内で温度変化を起こすことなく、短時間に精度良く目標
圧力を達成するためである。
The reason for changing the flow rate midway in this manner is to achieve the target pressure in a short time and with high precision without causing temperature changes within the glove box.

第1室1とガス置換チャンバ3の負圧が同じになったら
、シャッタ12Aを開き、1本の燃料要素をガス置換チ
ャンバ3に挿入する。
When the negative pressures in the first chamber 1 and the gas replacement chamber 3 become the same, the shutter 12A is opened and one fuel element is inserted into the gas replacement chamber 3.

次に、第1室1側のシャッタ12Aを閉じ、再度、真空
粗引系4により真空スイッチ17の設定圧(I X 1
0″″”Torr)まで粗引きする。
Next, the shutter 12A on the side of the first chamber 1 is closed, and the set pressure of the vacuum switch 17 (I
Roughly pull down to 0'''' Torr).

さらに、電離真空計でモニタしながら水引排気系6によ
りlX10″″’ Torrまで真空排気する。
Further, while monitoring with an ionization vacuum gauge, the vacuum is evacuated to 1×10″″ Torr using the water pumping system 6.

そこで、バックグラウンドの影響により、ガス置換チャ
ンバ内の圧力がI X 10−’ Torrがら上昇す
る度合を記録する。
Therefore, the degree to which the pressure in the gas displacement chamber increases from I x 10-' Torr due to background effects is recorded.

この場合、バックグラウンドを低く抑え、感度を高める
ためには、できるだけ高真空にして測定する必要がある
。現在、実験室的にはlXl0””’Torr程度でチ
ャンバ内を真空排気することも出来るが、生産ラインで
大気圧からさらに超真空に頻繁に繰り返し動作させるこ
とは、技術的に困難であり、生産性も上がらなくなるの
でI X IO−’ Torr程度の真空度で測定する
のが実用的である。 本ガス置換チャンバでは、バック
グラウンドの大きな不安定要因であったパレットをヘリ
ウムリーク試験部分に持ち込まないので、バックグラウ
ンドは安定し、第4図のCに比較してかなり低い値dに
なる。
In this case, in order to keep the background low and increase sensitivity, it is necessary to perform measurements under as high a vacuum as possible. Currently, in the laboratory, it is possible to evacuate the chamber to about 1X10''''' Torr, but it is technically difficult to repeatedly operate from atmospheric pressure to ultra-vacuum on a production line. Since productivity also does not increase, it is practical to measure at a degree of vacuum of about I X IO-' Torr. In this gas replacement chamber, the pallet, which was a major destabilizing factor for the background, is not brought into the helium leak test area, so the background is stable and has a value d that is considerably lower than C in FIG. 4.

ガス置換チャンバ3に燃料要素2を1本挿入し、所定の
真空度まで引いた後、数分経過したときのガス置換チャ
ンバ3の圧力上昇をpとすると、(p−d)Xfを求め
、第4図のeと比較し、合否を判定する。
After inserting one fuel element 2 into the gas replacement chamber 3 and drawing it to a predetermined degree of vacuum, let p be the pressure rise in the gas replacement chamber 3 after several minutes have elapsed, calculate (p-d)Xf, Compare with e in Fig. 4 to determine pass/fail.

なお、標準リーク排気系は、操業前にガス置換チャンバ
3をlXl0″″’ Torrまで真空排気し、すべて
の弁を閉じてチャンバに入ってくるバックグラウンドa
を測定しておき、次に、標準線源から3 X 10−’
 Torr−n /seeのガスを放出させ、バックグ
ラウンドbを測定し、装置感度fを求めるためのもので
ある。
In addition, the standard leak exhaust system evacuates the gas replacement chamber 3 to lXl0''''' Torr before operation, closes all valves, and removes the background a that enters the chamber.
3 x 10-' from the standard radiation source.
This is to emit a gas of Torr-n/see, measure the background b, and determine the device sensitivity f.

〔発明の効果〕〔Effect of the invention〕

本発明によれば、第1室グローブボツクスと第2室オー
プンボツクスとをつなぐガス置換チャンバにヘリウムリ
ーク試験機能を兼ねさせ、しかもバックグラウンドの不
安定要因であったパレットをこの段階から排除してあり
、燃料要素を1本毎に測定できるので、燃料要素のヘリ
ウムリーク試験をオンラインで短時間に高精度に実施可
能であり、ヘリウムリーク試験専用のガス置換チャンバ
を作る必要がなくなり、全体として省スペースかつ低コ
ストのガス置換チャンバが得られる。
According to the present invention, the gas exchange chamber connecting the glove box in the first room and the open box in the second room also serves as a helium leak test function, and the pallet, which was a source of background instability, is eliminated from this stage. Since it is possible to measure each fuel element individually, helium leak tests on fuel elements can be performed online in a short time and with high accuracy, and there is no need to create a gas replacement chamber specifically for helium leak tests, resulting in overall savings. A space-saving and low-cost gas exchange chamber is obtained.

【図面の簡単な説明】[Brief explanation of drawings]

第1図は本発明によるガス置換チャンバの一実施例を示
す系統図、第2図は本発明のガス置換チャンバの構成の
概要を示す図、第3図はガス置換チャンバとヘリウムリ
ーク試験設備を分けて設けた従来の系統構成の概略を示
す図、第4図はヘリウムリーク試験の1九量測定のガス
レベルの関係を示す図である。 1・・・第1室(グローブボックス)、2・・・燃料要
素。 3・・・ガス置換チャンバ、4・・・真空粗引系、5・
・・標準リーク排気系、6・・・本川排気系、7・・・
ヘリウムリークテスト系、8・・・ヘリウム供給量制御
系、9・・・ピラニ真空計、10・・・開閉弁、11・
・・差圧真空計、12・・・シャッタ、13・・・電磁
弁、14・・・電磁真空計、15・・・標準線源、16
・・・電磁弁、17・・・真空スイッチ。
Fig. 1 is a system diagram showing an embodiment of the gas replacement chamber according to the present invention, Fig. 2 is a diagram showing an outline of the configuration of the gas replacement chamber of the present invention, and Fig. 3 shows the gas replacement chamber and helium leak test equipment. FIG. 4 is a diagram showing an outline of a conventional system configuration provided separately. FIG. 4 is a diagram showing the relationship between gas levels in helium leak test measurements. 1... First chamber (glove box), 2... Fuel element. 3... Gas replacement chamber, 4... Vacuum roughing system, 5...
・Standard leak exhaust system, 6... Honkawa exhaust system, 7...
Helium leak test system, 8... Helium supply amount control system, 9... Pirani vacuum gauge, 10... Open/close valve, 11.
... Differential pressure vacuum gauge, 12 ... Shutter, 13 ... Solenoid valve, 14 ... Electromagnetic vacuum gauge, 15 ... Standard radiation source, 16
...Solenoid valve, 17...Vacuum switch.

Claims (1)

【特許請求の範囲】 1、負圧雰囲気の第1室と大気雰囲気の第2室の雰囲気
が混入しないように被搬送物を受け渡すガス置換チャン
バにおいて、 前記第1室から前記被搬送物を受け取る前に前記チャン
バを所定の低真空まで排気する粗引排気系と、 前記第1室と同種類のガスを流量を変えながら前記チャ
ンバに供給するガス供給系と、 前記第1室から前記被搬送物を受け取つた後にヘリウム
リーク試験の真空条件まで真空引きする本排気系と、 前記真空条件下でヘリウムリーク試験を行うヘリウムリ
ークテスト系と、 操業前に前記真空条件下で前記チャンバ内のヘリウム検
出感度を測定しておく標準リーク排気系と からなるヘリウムリーク検出装置を備えたことを特徴と
するガス置換チャンバ。
[Scope of Claims] 1. In a gas purge chamber where objects to be transported are transferred so that the atmospheres of a first chamber with a negative pressure atmosphere and a second chamber with an atmospheric atmosphere are not mixed, the object to be transported is transferred from the first chamber. a rough evacuation system that evacuates the chamber to a predetermined low vacuum before receiving the gas; a gas supply system that supplies the same type of gas as the first chamber to the chamber while changing the flow rate; A main exhaust system that evacuates to the vacuum conditions for a helium leak test after receiving a conveyed object; A helium leak test system that performs a helium leak test under the vacuum conditions; and A helium leak test system that evacuates the helium in the chamber under the vacuum conditions before operation. A gas replacement chamber characterized by being equipped with a helium leak detection device consisting of a standard leak exhaust system for measuring detection sensitivity.
JP62086662A 1987-04-08 1987-04-08 Fuel element helium leak detection test method Expired - Lifetime JP2555347B2 (en)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP62086662A JP2555347B2 (en) 1987-04-08 1987-04-08 Fuel element helium leak detection test method

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP62086662A JP2555347B2 (en) 1987-04-08 1987-04-08 Fuel element helium leak detection test method

Publications (2)

Publication Number Publication Date
JPS63252296A true JPS63252296A (en) 1988-10-19
JP2555347B2 JP2555347B2 (en) 1996-11-20

Family

ID=13893244

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP62086662A Expired - Lifetime JP2555347B2 (en) 1987-04-08 1987-04-08 Fuel element helium leak detection test method

Country Status (1)

Country Link
JP (1) JP2555347B2 (en)

Cited By (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
EP1207380A4 (en) * 1999-07-23 2002-08-28 Otkrytoe Aktsionernoe Obschest Method and device for controlling leak tightness of fuel elements
JP4595152B2 (en) * 2000-02-01 2010-12-08 パナソニック株式会社 Vacuum exhaust apparatus and method

Citations (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS53143891A (en) * 1977-04-29 1978-12-14 Westinghouse Electric Corp Method of detecting leakage of nuclear fuel element
JPS60181693A (en) * 1984-02-28 1985-09-17 株式会社島津製作所 Manufacturing system of fuel element for nuclear reactor

Patent Citations (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS53143891A (en) * 1977-04-29 1978-12-14 Westinghouse Electric Corp Method of detecting leakage of nuclear fuel element
JPS60181693A (en) * 1984-02-28 1985-09-17 株式会社島津製作所 Manufacturing system of fuel element for nuclear reactor

Cited By (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
EP1207380A4 (en) * 1999-07-23 2002-08-28 Otkrytoe Aktsionernoe Obschest Method and device for controlling leak tightness of fuel elements
JP4595152B2 (en) * 2000-02-01 2010-12-08 パナソニック株式会社 Vacuum exhaust apparatus and method

Also Published As

Publication number Publication date
JP2555347B2 (en) 1996-11-20

Similar Documents

Publication Publication Date Title
US5831147A (en) Tracer gas leak detection with gross leak detection by measuring differential pressure
US3888111A (en) Sealed beam headlamp unit leak detection system
JP6791944B2 (en) Method to control leakage resistance of sealed products and leakage detection device
JP2000298073A (en) Dual-mode leak detector
TWI582401B (en) Helium leak detector
JP3201667B2 (en) Check valve test apparatus and check valve test method
CN110068430A (en) A kind of leakage test method of aerospace composite tank
CN110068431A (en) A kind of leakage test method of aerospace composite tank at low ambient temperatures
JP3430979B2 (en) Leak test method and leak test device
CN109932141A (en) A leak test device for aerospace low-temperature composite material storage tanks
JP4091367B2 (en) Leak inspection method
JPS63252296A (en) Fuel element helium leak detection test method
JP3348484B2 (en) Leak test method and leak test device
JP5098732B2 (en) Airtight leakage inspection method and airtight leakage inspection device
JP4562303B2 (en) Leak test apparatus and leak test method
CN209570303U (en) A leakage testing device for aerospace low-temperature composite storage tanks
JP4605927B2 (en) Leak test equipment
JP2817498B2 (en) Leak inspection device
JP2024083171A (en) Small amount gas supply method, small amount gas supply device, leak inspection method, and leak inspection device
WO2022054169A1 (en) Leak test method
JP3385536B2 (en) Gas supply source
JPS6093936A (en) Leak detector
JPH07286928A (en) Helium leak detector
JPH05172686A (en) Leak testing apparatus and method
JP2012122756A (en) Leakage inspection device

Legal Events

Date Code Title Description
EXPY Cancellation because of completion of term
FPAY Renewal fee payment (event date is renewal date of database)

Free format text: PAYMENT UNTIL: 20070905

Year of fee payment: 11