JPS63246642A - フレキシブル配線板の回路欠陥検査方法 - Google Patents
フレキシブル配線板の回路欠陥検査方法Info
- Publication number
- JPS63246642A JPS63246642A JP8000987A JP8000987A JPS63246642A JP S63246642 A JPS63246642 A JP S63246642A JP 8000987 A JP8000987 A JP 8000987A JP 8000987 A JP8000987 A JP 8000987A JP S63246642 A JPS63246642 A JP S63246642A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- circuit
- wiring board
- printed wiring
- flexible wiring
- roll
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
- 238000000034 method Methods 0.000 title claims abstract description 11
- 238000007689 inspection Methods 0.000 claims abstract description 19
- 230000003287 optical effect Effects 0.000 claims abstract description 8
- 238000005530 etching Methods 0.000 claims abstract description 6
- 239000013067 intermediate product Substances 0.000 claims abstract description 4
- 230000007547 defect Effects 0.000 claims description 13
- RYGMFSIKBFXOCR-UHFFFAOYSA-N Copper Chemical compound [Cu] RYGMFSIKBFXOCR-UHFFFAOYSA-N 0.000 abstract description 6
- 239000011889 copper foil Substances 0.000 abstract description 3
- 239000000047 product Substances 0.000 abstract description 3
- 238000000605 extraction Methods 0.000 abstract description 2
- 238000001514 detection method Methods 0.000 abstract 1
- 238000004804 winding Methods 0.000 description 4
- 229910052802 copper Inorganic materials 0.000 description 3
- 239000010949 copper Substances 0.000 description 3
- 230000002950 deficient Effects 0.000 description 2
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 2
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 2
- 238000011179 visual inspection Methods 0.000 description 2
- 238000005516 engineering process Methods 0.000 description 1
- 239000011521 glass Substances 0.000 description 1
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 description 1
- 239000000463 material Substances 0.000 description 1
- 238000007639 printing Methods 0.000 description 1
Landscapes
- Investigating Materials By The Use Of Optical Means Adapted For Particular Applications (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
〔産業上の利用分野〕
本発明はフレキシブル配線板における回路欠陥の検査方
法の改良に関するものである。
法の改良に関するものである。
従来、フレキシブル配線板は第３図に示すように、ベー
スフィルム１１と、通常銅箔をエツチングにより形成し
た回路１１ａから構成されている。しかしながら上記回
路１１ａは製造工程中の種々の要因例えば印刷、焼付時
の異物や取扱のキズなどにより回路欠陥を生ずるが、上
記欠陥としては第４図に示すごとく断線１２、欠け１３
、ピンホール１５、細り１４、短絡１８、残銅１６、突
起１７などが挙げられる。そしてこれらの欠陥は主とし
て拡大鏡を用いた目視検査法および電気的な導通検査法
によって検出している。なお、最近は硬質プリント配線
板には特徴抽出法や比較法を用いた光学式パターン検査
装置が利用されはじめたが、軟質のフレキシブル配線板
に利用されたケースは少なくまた検査を自動化した例は
ほとんどない。
スフィルム１１と、通常銅箔をエツチングにより形成し
た回路１１ａから構成されている。しかしながら上記回
路１１ａは製造工程中の種々の要因例えば印刷、焼付時
の異物や取扱のキズなどにより回路欠陥を生ずるが、上
記欠陥としては第４図に示すごとく断線１２、欠け１３
、ピンホール１５、細り１４、短絡１８、残銅１６、突
起１７などが挙げられる。そしてこれらの欠陥は主とし
て拡大鏡を用いた目視検査法および電気的な導通検査法
によって検出している。なお、最近は硬質プリント配線
板には特徴抽出法や比較法を用いた光学式パターン検査
装置が利用されはじめたが、軟質のフレキシブル配線板
に利用されたケースは少なくまた検査を自動化した例は
ほとんどない。
しかしながら上記目視検査法の場合は疲れなどにより欠
陥を見逃し易（、又導通検査法では回路の短絡１８と断
線１２は検出できるが欠け１３、ピンホール１５、細り
１４、残銅１６、突起１７などの欠陥の検出は不可能で
ある。本発明は上記問題点に鑑みてなされたものであり
、回路欠陥を光学式パターン検査装置により自動的に検
出する方法を提供することを目的としたものである。
陥を見逃し易（、又導通検査法では回路の短絡１８と断
線１２は検出できるが欠け１３、ピンホール１５、細り
１４、残銅１６、突起１７などの欠陥の検出は不可能で
ある。本発明は上記問題点に鑑みてなされたものであり
、回路欠陥を光学式パターン検査装置により自動的に検
出する方法を提供することを目的としたものである。
上記目的を達成するための手段を実施例に対応する第１
図及び第２図を用いて説明すると、本発明は、エツチン
グ法により回路（３ａ）を形成した多数のフレキシブル
配線板（３）の連続体でかつ中間製品であるロール状フ
レキシブル配線板（１）を用い投光器（４）、受光検査
ヘッド（５）などで構成される光学式パターン検査装置
により上記回路（３ａ）の欠陥を自動的に検出するよう
に構成されている。
図及び第２図を用いて説明すると、本発明は、エツチン
グ法により回路（３ａ）を形成した多数のフレキシブル
配線板（３）の連続体でかつ中間製品であるロール状フ
レキシブル配線板（１）を用い投光器（４）、受光検査
ヘッド（５）などで構成される光学式パターン検査装置
により上記回路（３ａ）の欠陥を自動的に検出するよう
に構成されている。
以下に本発明の実施例を第１図、第２図により説明する
と、第１図は本発明によるロール状フレキシブル配線板
の一実施例を示す斜視図、第２図は本発明による光学式
検査装置及び検査手段の一実施例を示すシステムブロッ
ク図である。図において、１は、銅箔をエツチング法に
より形成した回路３ａとベースフィルム２からなる多数
のフレキシブル配線板３の連続体で、かつ中間製品であ
るロール状フレキシブル配線板である。７は、被検査体
であるロール状フレキシブル配線板１の自動送り出し部
、８は自動巻取り部である。４はロール状フレキシブル
配線板１の裏面から光を投光する投光器、５は、ロール
状フレキシブル配線板１の表面側において上記投光を受
光する受光検査ヘッド、１０は透過光の製品データを画
像処理する画像処理部、６は回路に欠陥がある場合にこ
れをマークするマーキング部である。又９はシステム全
体を制御する制御部である。
と、第１図は本発明によるロール状フレキシブル配線板
の一実施例を示す斜視図、第２図は本発明による光学式
検査装置及び検査手段の一実施例を示すシステムブロッ
ク図である。図において、１は、銅箔をエツチング法に
より形成した回路３ａとベースフィルム２からなる多数
のフレキシブル配線板３の連続体で、かつ中間製品であ
るロール状フレキシブル配線板である。７は、被検査体
であるロール状フレキシブル配線板１の自動送り出し部
、８は自動巻取り部である。４はロール状フレキシブル
配線板１の裏面から光を投光する投光器、５は、ロール
状フレキシブル配線板１の表面側において上記投光を受
光する受光検査ヘッド、１０は透過光の製品データを画
像処理する画像処理部、６は回路に欠陥がある場合にこ
れをマークするマーキング部である。又９はシステム全
体を制御する制御部である。
上記構成によりロール状フレキシブル配線板工は自動送
り出し部７から送り出され自動巻取り部８に巻取られる
がこの途中において投光器４と受光検査ヘッドの間を通
過する。この時に透過光による回路の画像が画像処理部
１０に送られ、特徴抽出されたネガ画像と良品のパター
ンデータとが比較される。その結果回路の不良個所が検
出された場合にはその個所がマーキング部６においてマ
ークされる。なお画素サイズは２０ノ皿以上とし、６０
μｍ以上の断線、短絡、突起、ピンホール、欠けなどの
欠陥を検出でさるようにする。
り出し部７から送り出され自動巻取り部８に巻取られる
がこの途中において投光器４と受光検査ヘッドの間を通
過する。この時に透過光による回路の画像が画像処理部
１０に送られ、特徴抽出されたネガ画像と良品のパター
ンデータとが比較される。その結果回路の不良個所が検
出された場合にはその個所がマーキング部６においてマ
ークされる。なお画素サイズは２０ノ皿以上とし、６０
μｍ以上の断線、短絡、突起、ピンホール、欠けなどの
欠陥を検出でさるようにする。
上記のようにエツチング法により回路を形成した多数の
フレキシブル配線板の連続体であるロール状フレキシブ
ル配線板を巻取り移動させながら光学式パターン検査装
置により回路欠陥を自動的に検出するようにしたのでフ
レキシブル配線板の回路欠陥検出の精度向上と自動化に
よる効率向上を図ることができその効果は極めて大であ
る。
フレキシブル配線板の連続体であるロール状フレキシブ
ル配線板を巻取り移動させながら光学式パターン検査装
置により回路欠陥を自動的に検出するようにしたのでフ
レキシブル配線板の回路欠陥検出の精度向上と自動化に
よる効率向上を図ることができその効果は極めて大であ
る。
第１図は本発明によるロール状フレキシブル配線板の一
実施例を示す斜視図、第２図は本発明による光学式検査
装置及び検査手段の一実施例を示すシステムブロック図
、第３図はフレキシブル配線板の斜視図、第４図は回路
欠陥を有するフレキシブル配線板の斜視図である。 符号の説明 １・・・ロール状フレキシブル配線板 ２・−・ベースフィルム ３・・・フレキシブル配線
板３ａ・・・回路 ４・・・投光器５・・・
受光検査ヘッド ６・・・マーキング部７・・・自動
送り出し部 ８・・・自動巻取り部９・・・制御部
１０・・・画像処理部１１・・・ベースフィルム
ｌｌａ・・・回路１２・・・断線 １
３・・・欠け１４・・・細り １５・・・
ピンホール１６・・・残銅 １７・・・突起
１８・・・短絡。
実施例を示す斜視図、第２図は本発明による光学式検査
装置及び検査手段の一実施例を示すシステムブロック図
、第３図はフレキシブル配線板の斜視図、第４図は回路
欠陥を有するフレキシブル配線板の斜視図である。 符号の説明 １・・・ロール状フレキシブル配線板 ２・−・ベースフィルム ３・・・フレキシブル配線
板３ａ・・・回路 ４・・・投光器５・・・
受光検査ヘッド ６・・・マーキング部７・・・自動
送り出し部 ８・・・自動巻取り部９・・・制御部
１０・・・画像処理部１１・・・ベースフィルム
ｌｌａ・・・回路１２・・・断線 １
３・・・欠け１４・・・細り １５・・・
ピンホール１６・・・残銅 １７・・・突起
１８・・・短絡。
Claims (1)
- １、 エッチング法により回路を形成した多数のフレキ
シブル配線板の連続体でかつ中間製品であるロール状フ
レキシブル配線板を用い投光器、受光検査ヘッドなどで
構成される光学式パターン検査装置により上記回路の欠
陥を自動的に検出することを特徴とするフレキシブル配
線板の回路欠陥検査方法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP8000987A JPS63246642A (ja) | 1987-04-01 | 1987-04-01 | フレキシブル配線板の回路欠陥検査方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP8000987A JPS63246642A (ja) | 1987-04-01 | 1987-04-01 | フレキシブル配線板の回路欠陥検査方法 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS63246642A true JPS63246642A (ja) | 1988-10-13 |
Family
ID=13706328
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP8000987A Pending JPS63246642A (ja) | 1987-04-01 | 1987-04-01 | フレキシブル配線板の回路欠陥検査方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS63246642A (ja) |
Cited By (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| WO2000007031A1 (en) * | 1998-07-28 | 2000-02-10 | Matsushita Electric Works, Ltd. | Inspection system for inspecting discrete wiring patterns formed on a continuous substrate sheet of a flexible material |
| JP2007093305A (ja) * | 2005-09-27 | 2007-04-12 | Matsushita Electric Works Ltd | 金属箔張り積層板の検査装置 |
| KR100820917B1 (ko) * | 2005-12-28 | 2008-04-10 | 스템코 주식회사 | 연성인쇄회로기판의 외관 검사 장치 및 방법 |
| CN102095737A (zh) * | 2010-12-23 | 2011-06-15 | 东莞市升力智能科技有限公司 | 一种单工作台挠性印制电路表面缺陷自动检测机 |
-
1987
- 1987-04-01 JP JP8000987A patent/JPS63246642A/ja active Pending
Cited By (5)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| WO2000007031A1 (en) * | 1998-07-28 | 2000-02-10 | Matsushita Electric Works, Ltd. | Inspection system for inspecting discrete wiring patterns formed on a continuous substrate sheet of a flexible material |
| US6700603B1 (en) | 1998-07-28 | 2004-03-02 | Matsushita Electric Works, Ltd. | Inspection system for inspecting discrete wiring patterns formed on a continuous substrate sheet of a flexible material |
| JP2007093305A (ja) * | 2005-09-27 | 2007-04-12 | Matsushita Electric Works Ltd | 金属箔張り積層板の検査装置 |
| KR100820917B1 (ko) * | 2005-12-28 | 2008-04-10 | 스템코 주식회사 | 연성인쇄회로기판의 외관 검사 장치 및 방법 |
| CN102095737A (zh) * | 2010-12-23 | 2011-06-15 | 东莞市升力智能科技有限公司 | 一种单工作台挠性印制电路表面缺陷自动检测机 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| CN100573236C (zh) | 目测装置以及使用目测装置检查显示面板的方法 | |
| CN112730462B (zh) | 印制电路板蚀刻装置、蚀刻残留检测装置和方法 | |
| CN102033073A (zh) | 确定自动光学检测设备性能的方法及标准片 | |
| JP2005024386A (ja) | 配線パターン検査装置 | |
| JP2006250930A (ja) | 自動光学検査システム | |
| JP2018004272A (ja) | パターン検査装置およびパターン検査方法 | |
| JPS63246642A (ja) | フレキシブル配線板の回路欠陥検査方法 | |
| JP2000009447A (ja) | テープキャリアの欠陥検出装置および欠陥検出方法 | |
| KR100673962B1 (ko) | 플렉시블 인쇄회로기판의 광학적 검사장치 | |
| KR20090131000A (ko) | 플렉시블 인쇄회로기판의 통합 검사 시스템 및 그 방법 | |
| JP2000227401A (ja) | テープキャリア欠陥検査装置及びテープキャリア欠陥検査装置におけるテープキャリアの搬送方法 | |
| KR101228321B1 (ko) | 반도체 기판의 광학적 검사 방법 및 그 장치 | |
| JPS61120907A (ja) | プリント基板のホ−ル検査方法 | |
| KR101176936B1 (ko) | 테이프 캐리어 패키지의 외관 검사 장치 | |
| JPH05256790A (ja) | プリント配線板の検査方法 | |
| JPH10111252A (ja) | ガラス板の欠点検出装置 | |
| JP3375265B2 (ja) | 光透過型表示パネルの欠陥修正方法および欠陥修正装置 | |
| KR100583787B1 (ko) | 인쇄회로기판 제조용 패턴필름 제조방법 | |
| US4765743A (en) | Method of inspecting a master member | |
| JPS6123951A (ja) | 回路の自動外観検査の検出方法 | |
| JPH01297538A (ja) | 厚膜回路基板の微小欠陥検出方法 | |
| JP2000249662A (ja) | テープキャリア欠陥検査装置及びテープキャリア欠陥検査装置における撮像手段の位置合わせ方法 | |
| JP2002158437A (ja) | プリント基板における無半田部分の除去方法およびその装置 | |
| JP2981510B2 (ja) | リード部品検査装置 | |
| JPH06275686A (ja) | 半導体装置の製造方法及び製造装置 |