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JPS63232949A - Polishing method and tool therefor - Google Patents

Polishing method and tool therefor

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Publication number
JPS63232949A
JPS63232949A JP62062610A JP6261087A JPS63232949A JP S63232949 A JPS63232949 A JP S63232949A JP 62062610 A JP62062610 A JP 62062610A JP 6261087 A JP6261087 A JP 6261087A JP S63232949 A JPS63232949 A JP S63232949A
Authority
JP
Japan
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polishing
workpiece
tool
polished
polymer gel
Prior art date
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Application number
JP62062610A
Other languages
Japanese (ja)
Other versions
JPH0818240B2 (en
Inventor
Manabu Ando
学 安藤
Satoshi Yuasa
聡 湯浅
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Canon Inc
Original Assignee
Canon Inc
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Publication date
Application filed by Canon Inc filed Critical Canon Inc
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Priority to US07/169,060 priority patent/US4974368A/en
Publication of JPS63232949A publication Critical patent/JPS63232949A/en
Priority to US07/569,386 priority patent/US4999954A/en
Priority to US08/157,440 priority patent/US5347763A/en
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  • Finish Polishing, Edge Sharpening, And Grinding By Specific Grinding Devices (AREA)
  • Grinding And Polishing Of Tertiary Curved Surfaces And Surfaces With Complex Shapes (AREA)

Abstract

PURPOSE:To aim at the promotion of high precision of a polishing surface, by setting up a workpiece of an optical element or the like and a polishing tool, sticking polymeric gelatinized material to the surface, in polishing fluid, making this polishing fluid collide with a work surface by their relative motion, and polishing the workpiece. CONSTITUTION:In this polishing tool 12, a porous aluminum ball 16 is fixed to the tip of a turning shaft 14, and hydrophilic polymer gel 18 is stuck to the peripheral surface, and it is set up in polishing fluid 22 in which abrasive grains are contained with water as the base, together with a workpiece of an optical element or a die or the like. And, when the spherical body 16 to which the polymer gel 18 is stuck, is approached to a polished surface of the workpiece 20 while rotating the turning shaft 14, the ambient polishing fluid is dragged around, giving the necessary flow velocity to it, thus the workpiece is polished by the dynamic pressure. In this case, the dragging effect is accelerated by the hydrophilic property of the polymer gel 18, and thereby working efficiency is improved, while if is comes into contact with the workpiece 20, by way of example, it will not damage the surface at all. Thus, forming capacity for a highly accurate surface form and good surface roughness can be secured.

Description

【発明の詳細な説明】 〔産業上の利用分野〕 本発明は光学レンズ等に使用される光学素子の研摩加工
、又は高精度な金型の仕上げ加工に好適に利用される、
研摩方法及び研摩工具に関する。
[Detailed Description of the Invention] [Industrial Application Field] The present invention is suitably used for polishing optical elements used in optical lenses, etc., or for finishing high-precision molds.
This invention relates to a polishing method and a polishing tool.

〔従来の技術〕[Conventional technology]

従来、被加工物と研摩工具を研摩液中に配置し、前記研
摩工具に回転を与えて、前記研摩液を被加工物の加工表
面に衝突させて、前記被加工物の表面を研摩する研摩方
法が知られている。
Conventionally, polishing involves placing a workpiece and a polishing tool in a polishing liquid, rotating the polishing tool, and causing the polishing liquid to collide with the surface of the workpiece to polish the surface of the workpiece. method is known.

従来のこの種の研摩方法を、第6図を用いて説明する。A conventional polishing method of this type will be explained with reference to FIG.

尚、第6図は従来の研摩方法を示す概略側面図である。Incidentally, FIG. 6 is a schematic side view showing a conventional polishing method.

図において、2は従来の研摩工具である。該研摩工具2
は円筒状の回転軸4を有し、該I11]4の先端部には
、d IJウレタン等の樹脂で構成された球体のポリウ
レタン球6が接続固定されている。
In the figure, 2 is a conventional polishing tool. The polishing tool 2
has a cylindrical rotating shaft 4, and a spherical polyurethane ball 6 made of resin such as dIJ urethane is connected and fixed to the tip of the I11]4.

又、図示する8は被加工物である。該被加工物8は研摩
工具2のポリウレタン球6部と一緒に、研摩液10中に
配置されている。該研摩液10中には研摩砥粒が含まれ
ている。
Further, numeral 8 shown in the figure is a workpiece. The workpiece 8 together with the polyurethane bulb 6 of the polishing tool 2 is placed in a polishing liquid 10 . The polishing liquid 10 contains polishing abrasive grains.

そして、この研摩液10中でポリウレタン球6を回転さ
せ、周囲の研摩液10をつれ回りさせることにより該研
摩液10に必要な流速を与え、ポリウレタン球6を被加
工物8の研摩加工したい部分に近づけることで、ポリウ
レタン球6と被加工物8の間に研摩液10の動圧を得て
、これによシ研摩」工を行う。
Then, the polyurethane ball 6 is rotated in this polishing liquid 10 and the surrounding polishing liquid 10 is rotated to give the necessary flow velocity to the polishing liquid 10, and the polyurethane ball 6 is moved to the part of the workpiece 8 that is desired to be polished. By bringing the polyurethane ball 6 and the workpiece 8 close to each other, dynamic pressure of the polishing liquid 10 is obtained between the polyurethane ball 6 and the workpiece 8, thereby performing polishing.

〔発明が解決しようとする問題点〕[Problem that the invention seeks to solve]

しかしながら、上述の如き従来技術による研摩方法では
次の様な問題点を有する。
However, the conventional polishing method described above has the following problems.

即ち、問題点の1番目として、ポリウレタン球の加工精
度を上げることが困難なため、被加工物にポリウレタン
球をあまり近づけることができない。なぜなら回転する
ポリウレタン球を被加工物に接触させてしまうと、被加
工物の表面に微小なキズがつき、良好な表面粗さを得る
ことができないため。
That is, the first problem is that it is difficult to increase the processing accuracy of the polyurethane balls, so the polyurethane balls cannot be brought very close to the workpiece. This is because if the rotating polyurethane ball comes into contact with the workpiece, it will cause minute scratches on the surface of the workpiece, making it impossible to obtain a good surface roughness.

問題点の2番目として、従来のポリウレタン球を回転さ
せることによって生ずるgylリウレタン球の近傍の被
加工物との距離による研摩液流速の変化率は、第7図の
グラフに示す様に、ポリウレタン球の表面が被加工物の
表面から離れるにつれて急激に低下するので、加工点に
十分な動圧を与えようとすると、どうしてもポリウレタ
ン球を皺加工物に近づけなくてはならない。即ち、この
ことは前述の問題点の1番目と同様にポリウレタン球と
被加工物との接触の危険がある。又、球の加工精度が悪
いので、このことからも近づけることができない。
The second problem is that, as shown in the graph in Figure 7, the rate of change in the polishing fluid flow rate due to the distance between the gyl urethane ball and the workpiece in the vicinity of the polyurethane ball, which is caused by rotating the conventional polyurethane ball, is The surface of the polyurethane ball decreases rapidly as it moves away from the surface of the workpiece, so in order to apply sufficient dynamic pressure to the processing point, the polyurethane ball must be brought closer to the wrinkled workpiece. That is, this poses a risk of contact between the polyurethane bulb and the workpiece, similar to the first problem mentioned above. Also, since the processing accuracy of the ball is poor, it is impossible to get close to it for this reason.

問題点の3番目として、従来例ではそれでも被加工物に
近づけなければならないので、非常に精密な工具移動系
を持たなければならない。
The third problem is that in the conventional example, the tool still has to be brought close to the workpiece, so it is necessary to have a very precise tool movement system.

問題点の4番目として、上記のことから適正な加工条件
を維持することが困難であるため、加工能率は非常に悪
い。
The fourth problem is that because of the above, it is difficult to maintain appropriate processing conditions, resulting in very poor processing efficiency.

従来例は以上の如くの間頃点を有する。The conventional example has the intermediate point as described above.

〔目的〕〔the purpose〕

本発明は上達従来技術の問題点に鑑みなされたものであ
り、その目的は従来の研摩方法において、研摩液のつれ
回りの効率を上げることによシ、高精度な表面形状の形
成能力と、非常に良好な表面粗さを得ることを可能とす
る、研摩方法及び研摩工具を提供することにある。
The present invention has been developed in view of the problems of the conventional polishing technology, and its purpose is to improve the efficiency of polishing liquid circulation in the conventional polishing method, thereby improving the ability to form a highly accurate surface shape. The object of the present invention is to provide a polishing method and a polishing tool that make it possible to obtain very good surface roughness.

〔間頃点を解決するための手段〕[Means to solve the problem]

上記目的は本発明によれば、被加工物と、工具の表面に
高分子のダル状物質が付着されている研摩工具とを研摩
液中に配置し、前記研摩工具の被加工物に対する相対的
な運動によシ酌記研摩液を被加工物の表面に衝突せしめ
て研摩を行う、研摩方法によって達成され、 又、上記方法に使用される研摩工具として、工具の表面
に高分子のダル状物質が付着されていることを特徴とす
る、研摩工具が提供される。
According to the present invention, the above object is achieved by arranging a workpiece and an abrasive tool having a polymer dull substance adhered to the surface of the tool in a polishing liquid, and disposing the polishing tool relative to the workpiece. This is achieved by a polishing method in which polishing is performed by causing a polishing liquid to collide with the surface of the workpiece through a movement, and the polishing tool used in the above method is coated with a polymer dull-like material on the surface of the tool. An abrasive tool is provided, the abrasive tool having a substance deposited thereon.

〔実施例〕〔Example〕

以下、本発明に係る研摩方法及び研摩工具の実施例を図
面に基づいて具体的且つ詳細に説明する。
DESCRIPTION OF THE PREFERRED EMBODIMENTS Examples of the polishing method and polishing tool according to the present invention will be described in detail below with reference to the drawings.

研摩液は水をペースにしたものである。The polishing fluid is water based.

第1図は本発明の研摩方法の一実施例を示す概略側面図
である。
FIG. 1 is a schematic side view showing an embodiment of the polishing method of the present invention.

図において、12は本発明の研摩工具である。In the figure, 12 is a polishing tool of the present invention.

該研摩工具12は円筒状の回転軸14を有する。The polishing tool 12 has a cylindrical rotating shaft 14 .

該軸14の先端部には、材料がアルミニウムで構成され
且つ多孔性を有する多孔性アルミニウム球体16が接続
固定されている。更に、該球体16の外周には親水性の
ポリマーダル18(例えば、ポリビニルピロリドンダル
)が付着されている。
A porous aluminum sphere 16 made of aluminum and having porous properties is connected and fixed to the tip of the shaft 14 . Furthermore, a hydrophilic polymer 18 (for example, polyvinylpyrrolidondal) is attached to the outer periphery of the sphere 16.

研摩液は水をベースにしたものであるので、ポリマーダ
ルとしては親水性のものが適当である。
Since the polishing liquid is water-based, it is appropriate that the polymer dull be hydrophilic.

又、図示する20は被加工物である。該被加工物20は
研摩工具12のアルミニウム球体1 s m及び親水性
のポリマーダル18と一緒に、研摩液22中に配置され
ている。該研摩液22中には研摩砥粒が含まれている。
Further, the illustrated reference numeral 20 is a workpiece. The workpiece 20 is placed in a polishing liquid 22 together with the aluminum spheres 1 s m of the polishing tool 12 and the hydrophilic polymer barrel 18 . The polishing liquid 22 contains polishing abrasive grains.

そして、研摩液22の中でポリマーダル18が付着され
ている球体16を回転させ、周囲の研摩液22をつれ回
シさせることによシ該研摩液22に必要な流速を与え、
ポリマーダル18を被加工物20の研摩加工したい部分
に近づけることで、ポリマーダル18と被加工物200
間に研摩液22の動圧を得て、これにより研摩加工を行
う。
Then, the sphere 16 to which the polymer barrel 18 is attached is rotated in the polishing liquid 22 to cause the surrounding polishing liquid 22 to circulate, thereby giving the polishing liquid 22 the necessary flow velocity.
By bringing the polymer dull 18 close to the part of the workpiece 20 to be polished, the polymer dull 18 and the workpiece 200 are
In the meantime, the dynamic pressure of the polishing liquid 22 is obtained, and the polishing process is performed using this.

以上の様に、本実施例の研摩加工方法は基本的な加工原
理は従来例と同様である。違う点は研摩工具の先端部に
、親水性のポリマーダルが設けられていることにある。
As described above, the basic processing principle of the polishing method of this embodiment is the same as that of the conventional example. The difference is that a hydrophilic polymer barrel is provided at the tip of the polishing tool.

以下、上述の研摩方法において、親水性ポリマーrルが
設けられている研摩工具を使用することの効果について
説明する。
Hereinafter, the effect of using a polishing tool provided with a hydrophilic polymer roller in the above-mentioned polishing method will be explained.

第2図は本発明の研摩工具12を研摩液中で回転させた
ときの該工具の周囲における研摩液22のつれ回9速度
を示すグラフである。
FIG. 2 is a graph showing the rotation speed of the polishing liquid 22 around the polishing tool 12 of the present invention when the tool is rotated in the polishing liquid.

第2図のグラフに示す様に、親水性のポリマーダル層は
周囲の研摩液をつれ回シするので、研摩液のつれ回シ速
度が中心のアルミニウム球体からグル周分だけ移動した
ことと同じことになる。これはケ°ル層を中心球体とし
て考えないで済むことによるから。(また、ミクロ的に
もダル層は架橋が極めてまばらなため、固体とはいえな
い。)その結果、中心球体(アルミニウム球体16)を
被加工物から十分離しても、能率を下げずに研摩加工を
することが可能となる。又、このととにより、接触だ対
する安全性が増す。
As shown in the graph in Figure 2, the hydrophilic polymer dull layer carries around the surrounding polishing liquid, so the dragging speed of the polishing liquid is equivalent to moving from the central aluminum sphere by the radius of the glue. It turns out. This is because the Kel layer does not need to be considered as a central sphere. (Also, from a microscopic perspective, the dull layer is extremely sparsely cross-linked, so it cannot be called a solid.) As a result, even if the center sphere (aluminum sphere 16) is sufficiently far away from the workpiece, it can be polished without reducing efficiency. Processing becomes possible. This also increases safety from contact.

又、本実施例の様に、回転軸14の先端部に設けられる
球体の材料としてアルミニウム類のものを用いた場合、
後述する様に該球体の加工精度を高くすることができ、
従りて回転精度も向上させることができる。
Furthermore, when aluminum is used as the material for the sphere provided at the tip of the rotating shaft 14 as in this embodiment,
As will be described later, the processing accuracy of the sphere can be increased,
Therefore, rotation accuracy can also be improved.

又、アルミニウム球体16の外周に設けられた親水性2
リマーダル層18が被加工物20に接触しても、該被加
工物20にはキズがつかない。従って、流速の高い(即
ち球体16に近い)部分を使用できるので、加工能率が
向上する。
In addition, the hydrophilic 2 provided on the outer periphery of the aluminum sphere 16
Even if the remardal layer 18 comes into contact with the workpiece 20, the workpiece 20 is not scratched. Therefore, a portion with a high flow rate (that is, close to the sphere 16) can be used, thereby improving processing efficiency.

又、研摩液中の研摩剤(砥粒)として、シリカの極微粉
(粒径、数10X)を使用すれば、ダル層18中に研摩
液22が浸透し、一段と研摩液と加工球体の境界をあい
iいにすることができる。
Furthermore, if ultrafine silica powder (particle size, several tens of times) is used as the abrasive agent (abrasive grains) in the polishing liquid, the polishing liquid 22 will penetrate into the dull layer 18, further improving the boundary between the polishing liquid and the processed sphere. You can make love to each other.

以上が本発明の研摩工具を使用した場合の効果の説明で
ある。
The above is an explanation of the effects when using the polishing tool of the present invention.

以下、本発明の研摩工具の製造方法の一例を、第3図(
1)〜(d)を用いて説明する。
An example of the method for manufacturing the abrasive tool of the present invention will be described below with reference to FIG.
This will be explained using 1) to (d).

第3図(a)に示す様に、工具軸30の先端部にエポキ
シ接着などによシ多孔性のアルミニウム材32を固着す
る。そして、第3図(b)に示す様に、該アルミニウム
材32を切削加工により球面にする。
As shown in FIG. 3(a), a porous aluminum material 32 is fixed to the tip of the tool shaft 30 by epoxy bonding or the like. Then, as shown in FIG. 3(b), the aluminum material 32 is made into a spherical surface by cutting.

この様にされた研摩工具を第3図(Qに示す様なモール
ド型34(上下)に、軸基準で挾持し、第3図(d) 
K示す様に、親水性のモノマー溶液36を注入して重合
させる。
The polishing tool made in this way is held in the mold 34 (upper and lower) as shown in Fig. 3 (Q) with the axis reference, and
As shown in K, a hydrophilic monomer solution 36 is injected and polymerized.

親水性のポリマーダルとしては、親水性ポリマーに架橋
構造を付与したものが用いられる。該親水性ポリマーは
、これを構成するモノマーの主要部分が親水性モノマ一
単位より成るポリマーである。このような親水性モノマ
一単位を例示するならば、非イオン性の親水性モノマ一
単位としては、例えばアクリルアミド、メタクリルアミ
ド、 N、N−ジメチルアクリルアミド等のアクリルア
ミド類、N−ビニルホルムアミド、N−ビニルアセトア
ミド、N−ビニルピロリドン等のN−ビニルアミド類、
メチルビニルエーテル、エチレンオキシド等のエーテル
類、ヒドロキシエチルメタクリレート、ビ3ルアルコー
ル等のアルコール類な°どを挙げる事ができる。
As the hydrophilic polymer dull, a hydrophilic polymer with a crosslinked structure is used. The hydrophilic polymer is a polymer in which the major portion of the monomers constituting the polymer is composed of one hydrophilic monomer unit. Examples of such hydrophilic monomer units include acrylamide, methacrylamide, acrylamides such as N,N-dimethylacrylamide, N-vinylformamide, and N-vinylformamide. N-vinylamides such as vinylacetamide and N-vinylpyrrolidone,
Examples include ethers such as methyl vinyl ether and ethylene oxide, and alcohols such as hydroxyethyl methacrylate and vinyl alcohol.

また、アニオン性の親水性モノマ一単位としてtlJえ
ば、アクリル酸、メタクリル酸、ビニル酢酸、マレイン
酸、N−カルボキシメチルアクリルアミド等のカル?ン
酸類、スチレンスルホン酸、ビニルスルホン酸、2−ア
クリルアミド−2−メチルプロパンスルホン酸等のスル
ホン酸類などを挙げることができる。
In addition, as one unit of anionic hydrophilic monomer, tlJ includes acrylic acid, methacrylic acid, vinyl acetic acid, maleic acid, N-carboxymethylacrylamide, etc. Examples include sulfonic acids such as phosphoric acids, styrenesulfonic acid, vinylsulfonic acid, and 2-acrylamido-2-methylpropanesulfonic acid.

また、カチオン性の親水性モノマ一単位としては例えば
、ジメチルアミノエチルメタクリレート、ジメチルアミ
ンプロピルメタクリルアミド、アリルアミン、エチレン
イミン、ビニルピリジン等のアミン類や、トリメチル−
N−アクリロイル−3−アミノプロピルアンモニウムク
ロライド、メタクリロイルオキシエチルトリメチルアン
モニウムクロライド等のアンモニウム塩類を挙げる事が
できる。
Examples of the cationic hydrophilic monomer unit include amines such as dimethylaminoethyl methacrylate, dimethylamine propyl methacrylamide, allylamine, ethyleneimine, and vinylpyridine, and trimethyl-
Ammonium salts such as N-acryloyl-3-aminopropylammonium chloride and methacryloyloxyethyltrimethylammonium chloride can be mentioned.

必要に応じて2種以上の親水性モノマ一単位を有する親
水性ポリマーを用いてもよい。
If necessary, a hydrophilic polymer having one unit of two or more types of hydrophilic monomers may be used.

親水性ポリマーへの架橋構造の付与には、従来公知の架
橋方法を用いることができるが、例示するならば、親水
性高分子を褌成するモノマーと架橋性モノマーとを共存
させて高分子化反応を行うことによシ高分子合成と同時
に架橋を形成させる方法や、あらかじめ調製した高分子
に架橋剤や輻射線を作用させる方法が挙げられる。
Conventionally known crosslinking methods can be used to impart a crosslinked structure to a hydrophilic polymer. For example, a monomer that forms a hydrophilic polymer and a crosslinking monomer may coexist to form a polymer. Examples include a method in which a crosslink is formed simultaneously with polymer synthesis by performing a reaction, and a method in which a crosslinking agent or radiation is applied to a previously prepared polymer.

上述の架橋性モノマーとしては、例えば、N、N’−メ
チレンビスアクリルアミド9、エチレングリコールジメ
タクリレート、グリシジルメタクリレート、°N−メチ
ロールアクリルアミド、N−メトキシメチルアクリルア
ミド等を挙げることができる。
Examples of the above-mentioned crosslinking monomer include N,N'-methylenebisacrylamide 9, ethylene glycol dimethacrylate, glycidyl methacrylate, °N-methylolacrylamide, N-methoxymethylacrylamide, and the like.

また、上述の架橋剤としては例えば、ホルムアルデヒド
、グルタルアルデヒド、塩化シアヌル、ブタジエンノエ
ポキシド等を挙げる事ができる。また、輻射線としては
、紫外線、γ線等を用いる事ができる。
Further, examples of the above-mentioned crosslinking agent include formaldehyde, glutaraldehyde, cyanuric chloride, butadienoepoxide, and the like. Further, as the radiation, ultraviolet rays, gamma rays, etc. can be used.

本例ではビニルピロリドン5%水溶液(水溶性モ/W−
)ニ、架橋剤としてN、N’メチレンビスアクリルアミ
ド9を0.2%加え、適当な重合開始剤(ラソカル開始
剤)を加え、ただちにモールド型に注入する。
In this example, a 5% aqueous solution of vinylpyrrolidone (water-soluble mono/W-
) D. Add 0.2% of N,N'methylenebisacrylamide 9 as a crosslinking agent, add a suitable polymerization initiator (lasocal initiator), and immediately pour into a mold.

その後、適当な温度に加熱して重合を開始する。Thereafter, polymerization is initiated by heating to an appropriate temperature.

すると、第4図に示す様に、アルζ多孔体4oの空孔中
にもモノマー42が浸入して重合を開始するので、出来
上がったグル44は強固に球体表面46に付着されてい
る。
Then, as shown in FIG. 4, the monomer 42 also enters the pores of the Alζ porous body 4o and starts polymerization, so that the completed glue 44 is firmly attached to the spherical surface 46.

又、ダル外面の球精度はモールド型精度で決まるので、
比較的精度は良い。
Also, since the spherical accuracy of the outer surface of the barrel is determined by the mold accuracy,
Accuracy is relatively good.

次に、この様に製造された研摩工具の実際の使用例を、
第5図に示す。
Next, we will show an example of the actual use of the polishing tool manufactured in this way.
It is shown in FIG.

第5図は本発明の研摩方法を実施するための研摩装置の
一実施例を示す概略構成図である。
FIG. 5 is a schematic diagram showing an embodiment of a polishing apparatus for carrying out the polishing method of the present invention.

第5図に訃いて、50f′i基台であシ、該基台上には
該基台に対し相対的にX方向に往復移動可能なyテーブ
ル52が取付けられている。54は該yテーブルの移動
を駆動するためのモータであυ、該モータにはエンコー
ダ56が付設されておシ、該エンコーダによシ上記yテ
ーブルのX方向移動量が検出される。yテーブル52上
には該yテーブル九対しX方向に相対的に往復移動可能
なXテーブル5.8が取付けられている。60は該Xテ
ーブルの移動を駆動するためのモータであり、該モータ
にはエンコーダ62が付設されておシ、該エンコーダに
よシ上記XテーブルのX方向移動量が検出される。
As shown in FIG. 5, there is a 50f'i base, on which is mounted a Y table 52 which is movable back and forth in the X direction relative to the base. Reference numeral 54 denotes a motor for driving the movement of the y-table. An encoder 56 is attached to the motor, and the amount of movement of the y-table in the X direction is detected by the encoder. An X table 5.8 is mounted on the Y table 52 and is movable back and forth in the X direction relative to the Y table 9. Reference numeral 60 denotes a motor for driving the movement of the X table, and an encoder 62 is attached to the motor, and the amount of movement of the X table in the X direction is detected by the encoder.

該Xテーブル58上には研摩槽64が固設されている。A polishing tank 64 is fixedly installed on the X-table 58.

該研摩槽中には支持体66が固定されており、該支持体
には軸68によシ被研摩物保持体70が取付けられてい
る。該保持体は5字形状をなしており、その垂直面部分
に軸68が接続されている。該軸はX方向を向いていて
、従って保持体70はX方向のまわシに回動可能である
。上記支持体66にはモータ72が取付けられておシ、
その駆動回転軸は上記軸68に結合されている。
A support body 66 is fixed in the polishing tank, and a polished object holder 70 is attached to the support body through a shaft 68. The holder has a five-shape shape, and a shaft 68 is connected to its vertical surface. The axis is oriented in the X direction, so the holding body 70 is rotatable in the X direction. A motor 72 is attached to the support 66.
Its drive rotation shaft is coupled to the shaft 68.

一方、上記Xテーブル58には上記研摩槽64の外側に
支持体74が固定されている。該支持体には上下方向即
ち2方向のがイド76が形成されておシ、該がイドに沿
って上下方向に往復移動可能な様に研摩工具保持体78
が取付けられている。
On the other hand, a support body 74 is fixed to the X-table 58 on the outside of the polishing tank 64. The support body is formed with an id 76 extending vertically, that is, in two directions, and an abrasive tool holder 78 is formed so that the id 76 can reciprocate in the vertical direction along the id.
is installed.

該保持体にViX方向のまわ)に回動可能な様にモータ
80が支持されている。該モータ8oの回転軸82の下
端には親水性の、j? IJマーダル層84が設けられ
ている。上記保持体78にはモータ86が取付けられて
おシ、その駆動回転軸は上記モータ80に接続されてh
て、該モータ8oのX方向のまわりの回動を駆動するこ
とができる。88は上記保持体78をがイド76に沿っ
て上下方向に移動させるだめの駆動手段たるエアーシリ
ンダであり、該エアーシリンダのロッド9oの先端が保
持体78と連結されている。
A motor 80 is supported by the holder so as to be rotatable in the ViX direction. The lower end of the rotating shaft 82 of the motor 8o has a hydrophilic material, j? An IJ marble layer 84 is provided. A motor 86 is attached to the holder 78, and its driving rotation shaft is connected to the motor 80.
Accordingly, rotation of the motor 8o in the X direction can be driven. Reference numeral 88 denotes an air cylinder serving as a driving means for moving the holding body 78 in the vertical direction along the guide 76, and the tip of a rod 9o of the air cylinder is connected to the holding body 78.

92は制御装置であシ、上記エンコーダ56゜62から
のyテーブル移動量及びXテーブル移動量が該制御装置
92に入力され、更に上記モータ54.60,72.8
0.86.及びエアーシリンダ88又はモータが該制御
装置92からの指令によシ駆動される。
Reference numeral 92 denotes a control device, into which the y-table movement amount and the X-table movement amount are input from the encoder 56.62, and the motors 54.
0.86. The air cylinder 88 or the motor is driven by a command from the control device 92.

上記研摩装置を用すて研摩を行なう際には、保持体70
上に被研摩物100をa置固定する。該被研摩物は前加
工により所定の表面粗さ及び形状に仕上げられている。
When polishing using the polishing device described above, the holder 70
The object to be polished 100 is fixed at position a on top. The object to be polished is finished to a predetermined surface roughness and shape by pre-processing.

本実施例においては被研摩物100の被研摩面の形状は
凹トIJツク面とされている。
In this embodiment, the surface to be polished of the object 100 to be polished has a concave IJ surface.

又、研摩槽64中には研摩液102が適宜の量だけ注入
されている。
Further, an appropriate amount of polishing liquid 102 is injected into the polishing tank 64.

そして上述の研摩装置において、研摩工具を図示するA
回り方向に回転させて、研摩液102をつれ回シよって
流速を与えることにより、被研摩物100の表面を研摩
する。
In the above-mentioned polishing apparatus, A is a diagram showing the polishing tool.
The surface of the object to be polished 100 is polished by rotating the polishing liquid 102 in the circular direction and applying a flow velocity to the polishing liquid 102.

又、本発明の他の実施例として、研摩工具の球体の部分
は必ずしも球体である必要はなく、半球あるいはその他
の形状のものであっても良い。
Also, in other embodiments of the present invention, the spherical portion of the polishing tool does not necessarily have to be spherical, but may have a hemispherical or other shape.

又、球体の中心部となるものはアルミニウム製の多孔体
でちる必要はない。
Furthermore, the center of the sphere does not need to be made of porous aluminum.

又、ダルは研摩液が水ペースのときは親水性高分子であ
れば他のものでも良い。
Further, when the polishing liquid is aqueous, other materials may be used as long as they are hydrophilic polymers.

高調波変換素子として使用するlo)P単結晶(KH2
PO4)は潮解性(水分を吸収して溶解する)があるの
で水系の研摩液を使用できない。そこで、ポリマーが炭
化水素系のモノマ一単位よシなる非親水性のポリマーに
架橋構造を付与した非親水性のダルたとえばスチレンブ
タツエンラバー、イソプレンラバー、イソブチンラバー
などを単独もしくは共重合させて得られるポリマーを、
鉱物油ペースの研摩液中で十分にダルとして膨潤させて
、本発明で得られる工具として使用することができる。
lo)P single crystal (KH2) used as a harmonic conversion element
PO4) has deliquescent properties (absorbs water and dissolves it), so water-based polishing fluids cannot be used. Therefore, non-hydrophilic polymers such as styrene-butatsuene rubber, isoprene rubber, isobutyne rubber, etc., which are made by adding a cross-linked structure to a non-hydrophilic polymer consisting of one unit of a hydrocarbon-based monomer, are used singly or copolymerized. The obtained polymer,
It can be sufficiently swollen in a mineral oil-based polishing liquid to become dull and used as a tool obtained in the present invention.

本発明では、研摩液の種類によシ高分子のrル状物質の
組成を選択できるので、研摩液の適用範囲が広いという
特徴もある。
In the present invention, the composition of the macromolecular substance can be selected depending on the type of polishing liquid, so the polishing liquid can be applied over a wide range of applications.

〔発明の効果〕〔Effect of the invention〕

以上詳細且つ具体的に説明した様に、本発明によれば、
研摩液のつれ回りの効率を上げることができるので、高
精度な表面形状の形成能力と、非常に良好な表面粗さを
得ることが可能となる。
As described above in detail and specifically, according to the present invention,
Since it is possible to increase the efficiency of the polishing liquid, it is possible to form a highly accurate surface shape and to obtain a very good surface roughness.

【図面の簡単な説明】[Brief explanation of the drawing]

第1図は本発明の研摩方法の一実施例を示す概略側面図
、第2図は本発明によるつれ回シ速度を示すグラフ、第
3図(、)〜(d)は本発明の研摩工具の製造方法を説
明するための図、第4図は本発明の研摩工具の拡大断面
図、第5図は本発明による研摩装置の一実施例を示す概
略構成図、第6図は従来の研摩方法を示す概略側面図、
第7図は従来例によるつれ回シ速度を示すグラフである
。 12・・・研摩工具 16・・・多孔性アルミニウム球体 18・・・親水性ポリマーダル層 20・・・被加工物 22・・・研摩液
FIG. 1 is a schematic side view showing an embodiment of the polishing method of the present invention, FIG. 2 is a graph showing the grinding speed of the present invention, and FIGS. 3 (,) to (d) are the polishing tools of the present invention. FIG. 4 is an enlarged sectional view of the polishing tool of the present invention, FIG. 5 is a schematic diagram showing an embodiment of the polishing device of the present invention, and FIG. 6 is a conventional polishing tool. Schematic side view showing the method;
FIG. 7 is a graph showing the rotation speed according to the conventional example. 12... Polishing tool 16... Porous aluminum sphere 18... Hydrophilic polymer dull layer 20... Workpiece 22... Polishing liquid

Claims (2)

【特許請求の範囲】[Claims] (1)被加工物と、工具の表面に高分子のゲル状物質が
付着されている研摩工具とを研摩液中に配置し、前記研
摩工具の被加工物に対する相対的な運動により前記研摩
液を被加工物の表面に衝突せしめて研摩を行う、研摩方
法。
(1) A workpiece and a polishing tool having a polymeric gel-like substance attached to the surface of the tool are placed in a polishing liquid, and the polishing liquid is caused by relative movement of the polishing tool with respect to the workpiece. A polishing method in which polishing is performed by colliding with the surface of the workpiece.
(2)工具の表面に高分子のゲル状物質が付着されてい
ることを特徴とする、研摩工具。
(2) An abrasive tool characterized in that a polymer gel-like substance is attached to the surface of the tool.
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* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP5700604B1 (en) * 2014-03-20 2015-04-15 西部自動機器株式会社 Processing head moving device
JP2017052095A (en) * 2016-12-26 2017-03-16 富士紡ホールディングス株式会社 Polishing tool

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* Cited by examiner, † Cited by third party
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JP5700604B1 (en) * 2014-03-20 2015-04-15 西部自動機器株式会社 Processing head moving device
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