JPS63208736A - 光学系の光学特性測定装置 - Google Patents
光学系の光学特性測定装置Info
- Publication number
- JPS63208736A JPS63208736A JP4179787A JP4179787A JPS63208736A JP S63208736 A JPS63208736 A JP S63208736A JP 4179787 A JP4179787 A JP 4179787A JP 4179787 A JP4179787 A JP 4179787A JP S63208736 A JPS63208736 A JP S63208736A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- target
- optical system
- optical
- lens
- tested
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
Links
- 230000003287 optical effect Effects 0.000 title claims abstract description 60
- 238000012360 testing method Methods 0.000 claims description 14
- 238000003384 imaging method Methods 0.000 claims description 8
- 230000007246 mechanism Effects 0.000 claims description 5
- 238000001514 detection method Methods 0.000 claims description 4
- 230000004907 flux Effects 0.000 claims description 2
- 238000005259 measurement Methods 0.000 abstract description 5
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 8
- 238000003708 edge detection Methods 0.000 description 4
- 238000000034 method Methods 0.000 description 3
- 230000001360 synchronised effect Effects 0.000 description 3
- 230000008859 change Effects 0.000 description 2
- 238000012935 Averaging Methods 0.000 description 1
- 101100261151 Saccharomyces cerevisiae (strain ATCC 204508 / S288c) TPO5 gene Proteins 0.000 description 1
- 230000009471 action Effects 0.000 description 1
- 238000005452 bending Methods 0.000 description 1
- 230000015572 biosynthetic process Effects 0.000 description 1
- 238000006243 chemical reaction Methods 0.000 description 1
- 230000004069 differentiation Effects 0.000 description 1
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 1
- 238000012545 processing Methods 0.000 description 1
- 230000000007 visual effect Effects 0.000 description 1
Landscapes
- Testing Of Optical Devices Or Fibers (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
[産業上の利用分野]
本発明は、被検光学系の球面屈折力、柱面屈折力、その
軸角度、プリズム屈折力及びその基底方向等を計測する
光学系の光学特性測定装置に関するものである。
軸角度、プリズム屈折力及びその基底方向等を計測する
光学系の光学特性測定装置に関するものである。
[従来技術]
従来の光学特性測定装置殊にレンズメータはコリメーテ
ィングレンズと移動可能なターゲット板からなるコリメ
ーターを有し、このコリメータと同軸に被検レンズと焦
点検出用対物レンズ及び所定の位置における結像状態を
観察するための焦点板と接眼レンズが設けられており、
コリメーティングレンズに対してターゲット板を光軸方
向に移動させて、焦点板上で最良の結像状態が得られる
ときのターゲットの位置を読取って、被検レンズの度数
を決定するようになっそいる。
ィングレンズと移動可能なターゲット板からなるコリメ
ーターを有し、このコリメータと同軸に被検レンズと焦
点検出用対物レンズ及び所定の位置における結像状態を
観察するための焦点板と接眼レンズが設けられており、
コリメーティングレンズに対してターゲット板を光軸方
向に移動させて、焦点板上で最良の結像状態が得られる
ときのターゲットの位置を読取って、被検レンズの度数
を決定するようになっそいる。
手動式の場合は、測定者の目視により、最良畿位置を決
定するため個人差が生じるとともに、測定に時間がかか
る等の欠点がある。
定するため個人差が生じるとともに、測定に時間がかか
る等の欠点がある。
近年では、前記の欠点を解決するために種々のの自動レ
ンズメータが提案されている。特願昭51−57991
、特願昭53−52187、特願昭56−173525
等である。これらの中には、被検レンズの屈折力による
測定光の偏向を回転するセクターを用いて、時間的なズ
レとして検出し、演算処理し、被検レンズの屈折力を求
めるようになっている。この場合複雑な形状のセクター
とその回転機構を要し、高価となる欠点がある。
ンズメータが提案されている。特願昭51−57991
、特願昭53−52187、特願昭56−173525
等である。これらの中には、被検レンズの屈折力による
測定光の偏向を回転するセクターを用いて、時間的なズ
レとして検出し、演算処理し、被検レンズの屈折力を求
めるようになっている。この場合複雑な形状のセクター
とその回転機構を要し、高価となる欠点がある。
本出願人は、特願昭58−125254にてこれらの欠
点を克服するための技術を提案したが、被検光学系の後
側で光束を二分し、それぞれの光路にターゲットを設け
る構成のものと比較して、やや分解能に劣るという欠点
があったが。
点を克服するための技術を提案したが、被検光学系の後
側で光束を二分し、それぞれの光路にターゲットを設け
る構成のものと比較して、やや分解能に劣るという欠点
があったが。
[発明の目的]
本発明の目的は、上記欠点に鑑み、構造が簡単で短時間
に高精度且つ容易に測定できる光学系の光学特性測定装
置を提供することにある。
に高精度且つ容易に測定できる光学系の光学特性測定装
置を提供することにある。
[発明の構成1
本発明は、上記目的を達成するために、被検光学系の前
側にターゲットを設け、被検光学系通過光束を直交する
少なくとも2光路に分割し、各々のターゲット像の偏位
を検出し、被検光学系の特性を測定する装置において、
イメージセンサ上にターゲット像の複数のエツジを作る
ために、前記ターゲットの非透過部を格子状に形成して
いることを特徴としている。
側にターゲットを設け、被検光学系通過光束を直交する
少なくとも2光路に分割し、各々のターゲット像の偏位
を検出し、被検光学系の特性を測定する装置において、
イメージセンサ上にターゲット像の複数のエツジを作る
ために、前記ターゲットの非透過部を格子状に形成して
いることを特徴としている。
また、ターゲットの非透過部を格子状に形成するととも
に、検出幅の狭いイメージセンサでも検出可能なように
、ターゲット像を結像する結像レンズの焦点位置で、且
つイメージセンサの検出面と直交する方向の夕゛−ゲッ
トの非透過部を補間するように円柱レンズを設けている
ことを特徴としている。
に、検出幅の狭いイメージセンサでも検出可能なように
、ターゲット像を結像する結像レンズの焦点位置で、且
つイメージセンサの検出面と直交する方向の夕゛−ゲッ
トの非透過部を補間するように円柱レンズを設けている
ことを特徴としている。
[本発明の実施例]
第1図は本発明の1実施例である自動レンズメータの光
学系配置図である。
学系配置図である。
1は点光源であり、a、b、c、64個の可視発光の発
光ダイオード(以下LEDと称する)で光軸に対して直
交するように配置される。
光ダイオード(以下LEDと称する)で光軸に対して直
交するように配置される。
もつとも、LEDは必ずしも4個でなくても、1個のL
EDを光軸のまわりに回転させてもいいし、4個の光束
に分離してもよい。
EDを光軸のまわりに回転させてもいいし、4個の光束
に分離してもよい。
2はコンデンサレンズで、点光源1に対し焦点付近に配
置し、点光源からの光束を平行な光束としている。3は
非透過部が格子状の形状をしたターゲット板で第2図に
示すように開口の並びがLEDと直交又は平行な方向に
配置されている。4はコリメーティングレンズで前記コ
ンデンサレンズ2の焦点位置とコリメーティングレンズ
の焦点位置が一致するいわゆるテレセンドリンク光学系
を構成している。5はノーズピースで被検レンズ6を載
せるためにある。ノーズピースの先端位置はコリメーテ
ィングレンズの焦点位置に配置する。このため4個のL
ED像がノーズピースの先端位置に結像する。6は被検
レンズで、7は結像レンズで焦点位置にターゲット像を
結像させる。
置し、点光源からの光束を平行な光束としている。3は
非透過部が格子状の形状をしたターゲット板で第2図に
示すように開口の並びがLEDと直交又は平行な方向に
配置されている。4はコリメーティングレンズで前記コ
ンデンサレンズ2の焦点位置とコリメーティングレンズ
の焦点位置が一致するいわゆるテレセンドリンク光学系
を構成している。5はノーズピースで被検レンズ6を載
せるためにある。ノーズピースの先端位置はコリメーテ
ィングレンズの焦点位置に配置する。このため4個のL
ED像がノーズピースの先端位置に結像する。6は被検
レンズで、7は結像レンズで焦点位置にターゲット像を
結像させる。
また、コリメーティングレンズの焦点位置と結像レンズ
の焦点位置とは一致しており、テレセンドリンク光学系
を成している。
の焦点位置とは一致しており、テレセンドリンク光学系
を成している。
8はビームスプリッタで光軸に対し直交する2本のリニ
アイメージセンサ10x、10yに光を分割し供給する
ためにある。9X、9yは円柱しンズで弥生経線焦点位
置にリニアイメージセンサ10x、10yを配置し、イ
メージセンサ受光面とノーズピースの先端位置とを共役
関係にしている。リニアイメージセンサ10x110y
は結像レンズのほぼ焦点位置に配置しターゲット像を受
光する。
アイメージセンサ10x、10yに光を分割し供給する
ためにある。9X、9yは円柱しンズで弥生経線焦点位
置にリニアイメージセンサ10x、10yを配置し、イ
メージセンサ受光面とノーズピースの先端位置とを共役
関係にしている。リニアイメージセンサ10x110y
は結像レンズのほぼ焦点位置に配置しターゲット像を受
光する。
11はパルスモータでターゲット板を光軸上に移動する
ために用いる。被検レンズ6の屈折力に応じイメージセ
ンサ上のターゲット像がピントが合うようにターゲット
を動かす。パルスモータ11はマイクロコンピュータに
よって制御され、ターゲット板の移動量はマイクロコン
ピュータがパルスモータに加えたパルス数から知ること
ができる。
ために用いる。被検レンズ6の屈折力に応じイメージセ
ンサ上のターゲット像がピントが合うようにターゲット
を動かす。パルスモータ11はマイクロコンピュータに
よって制御され、ターゲット板の移動量はマイクロコン
ピュータがパルスモータに加えたパルス数から知ること
ができる。
12.13は光軸を曲げるための平面ミラーである。
第3図は円柱レンズ9の働きを示す図であり、この図か
ら判るように非透過部が格子状のターゲットの暗部(非
透過部)を補間するために用いられる。
ら判るように非透過部が格子状のターゲットの暗部(非
透過部)を補間するために用いられる。
第4図〜第8図までは受光素子上のターゲット像の状態
から被検レンズの光学特性を得るための原理を説明する
ための図である。
から被検レンズの光学特性を得るための原理を説明する
ための図である。
第4図は、被検レンズ屈折力がOD(ディオプタ)の場
合の受光素子上のターゲット像の状態を示しているが、
4個の点光源が作るターゲット像の結像位置は全て同じ
となる。
合の受光素子上のターゲット像の状態を示しているが、
4個の点光源が作るターゲット像の結像位置は全て同じ
となる。
しかしながら、被検レンズ屈折力がODでない場合では
、4個の点光源が作るターゲット像は同一位置に結像せ
ず、その屈折力に応じて離れた位置に結像する。
、4個の点光源が作るターゲット像は同一位置に結像せ
ず、その屈折力に応じて離れた位置に結像する。
第5図は、被検レンズが球面屈折力をもつ場合の各ター
ゲット像の位置を示したものであるが、解り易くするた
めにターゲット像の中心座標のみを示している(以下の
説明では、同様な記述をする)。
ゲット像の位置を示したものであるが、解り易くするた
めにターゲット像の中心座標のみを示している(以下の
説明では、同様な記述をする)。
第6図は、被検レンズが柱面屈折力をもつ場合の各ター
ゲット像の中心位置A−Dを示したものである。この場
合、柱面レンズに入射する平行な光束は弱主経線又は弥
生経線に直交する方向に屈折力が働き焦点面上に焦光し
結像する。
ゲット像の中心位置A−Dを示したものである。この場
合、柱面レンズに入射する平行な光束は弱主経線又は弥
生経線に直交する方向に屈折力が働き焦点面上に焦光し
結像する。
第6図に示すターゲット像の中心位置A−Dの各X、y
座標から柱面レンズの屈折度(CYL)′が測定できる
。
座標から柱面レンズの屈折度(CYL)′が測定できる
。
ここで円柱レンズの任意の経線上での屈折力は1、ユ
Sinθカーブを描き、X軸、y軸から見た屈折力Dx
、[)yは Dx=CYLco?θ Dy=CYLs i n”θ ・(1)(1
)より、 CY L = D X + D V ・
(2”)が得られる。
、[)yは Dx=CYLco?θ Dy=CYLs i n”θ ・(1)(1
)より、 CY L = D X + D V ・
(2”)が得られる。
また、第6図のx、yと[)x、Dyはそれぞれ等しい
ものだから、 CYL−x+y ・・・(3)とな
る。
ものだから、 CYL−x+y ・・・(3)とな
る。
また、4個のLEDと円柱レンズの主経線方向又は
によって示される。
第7図は、被検レンズが球面屈折力及び柱面屈折力の両
方有する場合の4つのターゲット像の中心位置を示しし
ている。この場合には、前述の2例を複合した屈折力に
相当した分だけターゲット像が移動する。
方有する場合の4つのターゲット像の中心位置を示しし
ている。この場合には、前述の2例を複合した屈折力に
相当した分だけターゲット像が移動する。
ここで、A′、B′、σ、6は被検レンズの柱面屈折力
によって移動したターゲット像の位置を示している。更
に被検レンズの球面屈折力によってA。
によって移動したターゲット像の位置を示している。更
に被検レンズの球面屈折力によってA。
CはX軸方向に、B、Dはy軸方向にSPH/2分だけ
移動する。
移動する。
移動した座標位置をA、B、C,Dとし AのX軸方向
の延長線とC及びCのy軸方向の延長線との交点をそれ
ぞれP、P’とし、ぼのX軸方向の延長線とσのy軸方
向の延長線との交点をQ′とし、面屈折度をSとすると
、 ΔA’C’P’とΔ8′σQ′とが相似形であることか
ら、X=X−8,y=Y−8より、 (6)式から、 0= (X−8)(Y−8) −Ax−Ay=S”−S
(X+Y)+)+−Y−Ax−Ay・・・(7) となる。
の延長線とC及びCのy軸方向の延長線との交点をそれ
ぞれP、P’とし、ぼのX軸方向の延長線とσのy軸方
向の延長線との交点をQ′とし、面屈折度をSとすると
、 ΔA’C’P’とΔ8′σQ′とが相似形であることか
ら、X=X−8,y=Y−8より、 (6)式から、 0= (X−8)(Y−8) −Ax−Ay=S”−S
(X+Y)+)+−Y−Ax−Ay・・・(7) となる。
柱面屈折度CYLは、Xとyの和であるから、CYL=
(X−S)+ (Y−8) ・ <9)から算出
する。
(X−S)+ (Y−8) ・ <9)から算出
する。
また、(9)式に(8)式を代入して、CYL= (X
+Y)+4Ax−Ay ・ (10)とし、球面屈折
度Sを S= (X+Y)/2±CYL/2 ・・・(11)
として算出してもよい。
+Y)+4Ax−Ay ・ (10)とし、球面屈折
度Sを S= (X+Y)/2±CYL/2 ・・・(11)
として算出してもよい。
軸角度AXiSは、
本実施例の装置においては、柱面屈折度CYLの算出は
、算出過程の少ない(10)式を用いて行っている。
、算出過程の少ない(10)式を用いて行っている。
また、第1図の実施例では、測定精度を向上させるため
、サーボ機構によりターゲット板をリニアイメージセン
サ上のターゲット像のボケが少なくなるように光軸上を
移動させる構成となっている。
、サーボ機構によりターゲット板をリニアイメージセン
サ上のターゲット像のボケが少なくなるように光軸上を
移動させる構成となっている。
この場合のボケ量の検出は、(11)式の(X+Y)/
2の項から求められ、ボケIDEは次式で表される。
2の項から求められ、ボケIDEは次式で表される。
DE= (X+Y)/2 ・・・(13)
ターゲット板はDEがOになるように移動する。
ターゲット板はDEがOになるように移動する。
球面レンズの場合には、球面屈折力とほぼ同じ位置にタ
ーゲット板は移動し、柱面レンズでは柱面屈折力の1/
2の屈折力とほぼ等しい位置にターゲット板が移動する
。
ーゲット板は移動し、柱面レンズでは柱面屈折力の1/
2の屈折力とほぼ等しい位置にターゲット板が移動する
。
ターゲット板を移動させるサーボ機構はパルスモータを
用い、マイクロコンピュータが制御し、ターゲット移動
位置を管理する。本自動レンズメータにおいては、パル
スモータの1ステツプにおけるターゲット板の移動口は
、約0.2Dとなり、DEは必ずしもOとはならない。
用い、マイクロコンピュータが制御し、ターゲット移動
位置を管理する。本自動レンズメータにおいては、パル
スモータの1ステツプにおけるターゲット板の移動口は
、約0.2Dとなり、DEは必ずしもOとはならない。
このためターゲット板の移動位置TPO8とDEとによ
り被検レンズの各経線における平均屈折力Aoを求め、
球面屈折力SPHを得る。
り被検レンズの各経線における平均屈折力Aoを求め、
球面屈折力SPHを得る。
Ao=TPO5+DE −(14)SPH−A
o±CYL/2 ・ (15)プリズム屈折力はリ
ニアイメージセンサ上の4つのターゲット像の、被−検
レンズが無いプリズム屈折力Oのときの中心座標を原点
とし、被検プリズムによって生ずるプリズム屈折力によ
って移動した中心座標から求める。
o±CYL/2 ・ (15)プリズム屈折力はリ
ニアイメージセンサ上の4つのターゲット像の、被−検
レンズが無いプリズム屈折力Oのときの中心座標を原点
とし、被検プリズムによって生ずるプリズム屈折力によ
って移動した中心座標から求める。
第8図はプリズム屈折力によって生じたリニアイメージ
センサ上での4つのターゲット像A、B。
センサ上での4つのターゲット像A、B。
C,D)の座標をそれぞれA (Xa、Ya) 、B(
Xb、Yb) 、C(Xc、Yc) 、D (X
cf。
Xb、Yb) 、C(Xc、Yc) 、D (X
cf。
・・・ (16)
・・・ (17)
となる。
第9図は、この発明にかかる電気系のブロックダイヤグ
ラムである。
ラムである。
20は、4個のLEDa、b、c、dを順次点灯するた
めのLED駆動回路、21はリニアイメージセンサ10
x、10yを駆動するための駆動回路である。23はタ
ーゲット板3を移動するためのパルスモータの駆動回路
、24はリニアイメージセンサから送られてくるターゲ
ット像信号のピーク電圧を検出し保持するピークホール
ド回路である。
めのLED駆動回路、21はリニアイメージセンサ10
x、10yを駆動するための駆動回路である。23はタ
ーゲット板3を移動するためのパルスモータの駆動回路
、24はリニアイメージセンサから送られてくるターゲ
ット像信号のピーク電圧を検出し保持するピークホール
ド回路である。
25はリニアイメージセンサからのターゲット像信号の
明暗エツジを検出するエツジ検出回路で、コンパレータ
28と微分回路から構成され、ラッチ回路26に供給す
るストローブ信号を発生させる。26はストローブ信号
に同期したクロックカウンタカウンタ22の値を保持す
るためのラッチ回路である。27はマイクロコンピュー
タ部で、各部を制御する。28はA/D用コシコンパレ
ータピークホールド回路24から出力されるアナログ電
圧をD/Aコンバータ29の出力電圧と比較してA/D
変換する。29はO/Aコンバータでマイクロコンピュ
ータが出力するデジタル値に比例したアナログ信号を出
力しエツジ検出回路25にターゲット像信号のピーク電
圧の1/2を供給し、また前述のA/D変換するために
用いる。30はグララフイックディスプレイ制御回路で
CRTディスプレイ31上に表示する画像の映像信号を
発生し、また各種タイミング信号をCRTディスプレイ
に供給する。32はデジタル表示部で測定結果を表示す
る。
明暗エツジを検出するエツジ検出回路で、コンパレータ
28と微分回路から構成され、ラッチ回路26に供給す
るストローブ信号を発生させる。26はストローブ信号
に同期したクロックカウンタカウンタ22の値を保持す
るためのラッチ回路である。27はマイクロコンピュー
タ部で、各部を制御する。28はA/D用コシコンパレ
ータピークホールド回路24から出力されるアナログ電
圧をD/Aコンバータ29の出力電圧と比較してA/D
変換する。29はO/Aコンバータでマイクロコンピュ
ータが出力するデジタル値に比例したアナログ信号を出
力しエツジ検出回路25にターゲット像信号のピーク電
圧の1/2を供給し、また前述のA/D変換するために
用いる。30はグララフイックディスプレイ制御回路で
CRTディスプレイ31上に表示する画像の映像信号を
発生し、また各種タイミング信号をCRTディスプレイ
に供給する。32はデジタル表示部で測定結果を表示す
る。
以上のような構成となっている自動レンズメータの動作
を次ぎに説明する。
を次ぎに説明する。
4個(7)LEDa−dは、LED回路20によって順
次切替えられ点滅する。この場合同時に2つ以上のLE
Dが点灯することはない。またマイクロコンピュータ2
7はa〜dのどれが点灯しているか常に検知可能となっ
ている。
次切替えられ点滅する。この場合同時に2つ以上のLE
Dが点灯することはない。またマイクロコンピュータ2
7はa〜dのどれが点灯しているか常に検知可能となっ
ている。
この点は、プリズムで適当に偏光する等の操作によりイ
メージセンサ上の像を明確に区別することにより、同時
点灯は可能となる。
メージセンサ上の像を明確に区別することにより、同時
点灯は可能となる。
LEDからの光はコンデンサレンズ12によりターゲッ
ト板3を照明し透過した光は、コリメーティングレンズ
4、被検レンズ6、結像レンズ7、ハーフミラ−8を介
して直交する2つのリニアイメージセンサ9a、9b上
にそれぞれ結像する。
ト板3を照明し透過した光は、コリメーティングレンズ
4、被検レンズ6、結像レンズ7、ハーフミラ−8を介
して直交する2つのリニアイメージセンサ9a、9b上
にそれぞれ結像する。
リニアイメージセンサは駆動回路21によりリニアイメ
ージセンサ9a、9b上に結像しているターゲット像の
明暗に比例した映像信号を出力す゛る・。
ージセンサ9a、9b上に結像しているターゲット像の
明暗に比例した映像信号を出力す゛る・。
第10図はこの映像信号を示す。映像信号をエツジ検出
回路25中のコンパレータを通して2値信号に変換する
。コンパレータに供給する明暗判定にするための参照電
圧は一周期前にピークホールド回路24によって検出し
たターゲット録のピーク電圧の1/2を用いる。この回
路動作により安定した明暗エツジ検出が可能となる。ま
た、2値化された信号を微分し明暗エツジに同期したス
トローブ信号を発生させる。
回路25中のコンパレータを通して2値信号に変換する
。コンパレータに供給する明暗判定にするための参照電
圧は一周期前にピークホールド回路24によって検出し
たターゲット録のピーク電圧の1/2を用いる。この回
路動作により安定した明暗エツジ検出が可能となる。ま
た、2値化された信号を微分し明暗エツジに同期したス
トローブ信号を発生させる。
ストローブ信号はラッチ回路26に供給され、ラッチ回
路26はリニアイメージセンサの画素子(フォトエレメ
ント)位置(アドレス)に同期したカウンターの値をス
トローブ信号に同期して読込む。読込まれた明暗エツジ
のアドレス値はマイクロコンピュータ27に入力される
。
路26はリニアイメージセンサの画素子(フォトエレメ
ント)位置(アドレス)に同期したカウンターの値をス
トローブ信号に同期して読込む。読込まれた明暗エツジ
のアドレス値はマイクロコンピュータ27に入力される
。
本自動レンズメータで使用するリニアイメージセンサは
2048BITの画素子を有するCCD型のセンサであ
るが特にこれに限定されていない。
2048BITの画素子を有するCCD型のセンサであ
るが特にこれに限定されていない。
例えば、フォトダイオードアレイ等のセンサでも使用可
能である。
能である。
CCD型リニアイメージセンサでは、内部のフォトダイ
オードからの電荷を外部に出力するためのアナログシフ
トレジ、スタがあり、フォトダイオードの電荷を−Hア
ナログシフトレジスタに転送し、駆動回路より供給する
クロックにより順次フォトダイオードの光信号を外部に
出力する。このようにしてフォトダイオードからアナロ
グシフトレジスタに電荷を移動するタイミングに同期し
てカウンタをリセットして、リニアイメージセンサに供
給されるクロックと同期してカウンタを累進することに
よりリニアイメージセンサのどの位置のフォトダイオー
ドからの信号であるかカウンタの値から知ることができ
る。
オードからの電荷を外部に出力するためのアナログシフ
トレジ、スタがあり、フォトダイオードの電荷を−Hア
ナログシフトレジスタに転送し、駆動回路より供給する
クロックにより順次フォトダイオードの光信号を外部に
出力する。このようにしてフォトダイオードからアナロ
グシフトレジスタに電荷を移動するタイミングに同期し
てカウンタをリセットして、リニアイメージセンサに供
給されるクロックと同期してカウンタを累進することに
よりリニアイメージセンサのどの位置のフォトダイオー
ドからの信号であるかカウンタの値から知ることができ
る。
このようにしてターゲット像の明暗エツジの位置を検出
することが可能となる。
することが可能となる。
本自動レンズメータのターゲット板は第2図に示すよう
に複数の開口を有している。これによりリニアイメージ
センサの1走査中に複数の明暗エツジが検出される。
に複数の開口を有している。これによりリニアイメージ
センサの1走査中に複数の明暗エツジが検出される。
複数の明暗エツジの位置データを平均化して用いること
により高精度・高分解能なターゲット像の位置検出が可
能となる。
により高精度・高分解能なターゲット像の位置検出が可
能となる。
これは、リニアイメージセンサの画素いわゆるフォトダ
イオード部とフォトダイオード部との間には不感帯部が
あり、仮に不感帯部に像のエツジが結像されると信号と
して変化が得られない。このため複数のエツジが不感帯
にあって信号の変化が得られない確率を低下するととも
に平均化されることによりより正確な像の位置検出が可
能となる。
イオード部とフォトダイオード部との間には不感帯部が
あり、仮に不感帯部に像のエツジが結像されると信号と
して変化が得られない。このため複数のエツジが不感帯
にあって信号の変化が得られない確率を低下するととも
に平均化されることによりより正確な像の位置検出が可
能となる。
直交する2本のリニアイメージセンサからは各々ラッチ
回路26を通して明暗エツジ位置データがマイクロコン
ピュータ27に入力され演算処理し、球面屈折度、柱面
屈折度、軸角度、プリズム屈折度、基底方向などを求め
、結果をデジタル表示部32に表示する。CRTディス
プレイ31はグラフィックディスプレイ制御回路30に
よって制御され、マイクロコンピュータが作るクロスラ
インターゲットを表示する。
回路26を通して明暗エツジ位置データがマイクロコン
ピュータ27に入力され演算処理し、球面屈折度、柱面
屈折度、軸角度、プリズム屈折度、基底方向などを求め
、結果をデジタル表示部32に表示する。CRTディス
プレイ31はグラフィックディスプレイ制御回路30に
よって制御され、マイクロコンピュータが作るクロスラ
インターゲットを表示する。
このクロスラインターゲットは、軸角度、プリズム屈折
度、基底方向などの演算結果から移動ならびに回転を行
う。これにより被検レンズを測定光学系の光軸と被検レ
ンズの軸角度をレンズ処方値にあわせ印点を行う作業が
簡易化される。
度、基底方向などの演算結果から移動ならびに回転を行
う。これにより被検レンズを測定光学系の光軸と被検レ
ンズの軸角度をレンズ処方値にあわせ印点を行う作業が
簡易化される。
第11図は、CRTディスプレイ表示の1例である。
[発明の効果]
以上の説明から明らかなように、この発明によれば機械
的な可動部が少なく構造が簡単でありながら、高精度な
測定が短時間に行える光学系の光学特性測定装置を得る
ことができる。
的な可動部が少なく構造が簡単でありながら、高精度な
測定が短時間に行える光学系の光学特性測定装置を得る
ことができる。
第1図は、この発明の詳細な説明する光学系の配置図、
第2図は、ターゲット板のターゲット形状と4個の点光
源のしEOの方向の関連を示している。第3図は円柱レ
ンズの作用を説明するための図である。第4図〜第8図
までは受光素子上のターゲット像の状態から被検レンズ
の光学特性を得るための原理を説明するための図である
。第9図は電気系ブロックダイアグラム、第10図は、
リニアイメージセンサからの出力信号波形ならびに回路
の信号のタイミングを示している。第11図は、CRT
ディスプレイの表示例である。
第2図は、ターゲット板のターゲット形状と4個の点光
源のしEOの方向の関連を示している。第3図は円柱レ
ンズの作用を説明するための図である。第4図〜第8図
までは受光素子上のターゲット像の状態から被検レンズ
の光学特性を得るための原理を説明するための図である
。第9図は電気系ブロックダイアグラム、第10図は、
リニアイメージセンサからの出力信号波形ならびに回路
の信号のタイミングを示している。第11図は、CRT
ディスプレイの表示例である。
Claims (1)
- 【特許請求の範囲】 1)被検光学系の前側にターゲットを設け、被検光学系
通過光束を少なくとも直交する2光路に分割し、各々の
ターゲット像の偏位を検出し、被検光学系の特性を測定
する装置において、前記ターゲットの非透過部を格子状
に形成したことを特徴とする光学系の光学特性測定装置
。 2)前記ターゲットが被検光学系保持部の先端部に前記
光源を結像させるコリメーティングレンズの略焦点位置
に固定されていることを特徴とするた特許請求の範囲第
1項記載の光学系の光学特性測定装置。 3)前記ターゲットが光軸方向に移動可能で、移動量が
既知である機構を有することを特徴とするた特許請求の
範囲第1項記載の光学系の光学特性測定装置。 4)被検光学系の前側にターゲットを設け、被検光学系
通過光束を少なくとも直交する2光路に分割し、各々の
ターゲット像の偏位を検出し、被検光学系の特性を測定
する装置において、前記ターゲットの非透過部を格子状
に形成し、ターゲット像を結像する結像レンズの焦点位
置で、且つイメージセンサの検出面と直交する方向のタ
ーゲットの非透過部を補間するように円柱レンズを設け
ることを特徴とする光学系の光学特性測定装置。 5)前記ターゲットが被検光学系保持部の先端部に前記
光源を結像させるコリメーティングレンズの略焦点位置
に固定されていることを特徴とするた特許請求の範囲第
4項記載の光学系の光学特性測定装置。 6)前記ターゲットが光軸方向に移動可能で、移動量が
既知である機構を有することを特徴とするた特許請求の
範囲第4項記載の光学系の光学特性測定装置。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP4179787A JPS63208736A (ja) | 1987-02-24 | 1987-02-24 | 光学系の光学特性測定装置 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP4179787A JPS63208736A (ja) | 1987-02-24 | 1987-02-24 | 光学系の光学特性測定装置 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPS63208736A true JPS63208736A (ja) | 1988-08-30 |
JPH0323856B2 JPH0323856B2 (ja) | 1991-03-29 |
Family
ID=12618325
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP4179787A Granted JPS63208736A (ja) | 1987-02-24 | 1987-02-24 | 光学系の光学特性測定装置 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JPS63208736A (ja) |
Cited By (8)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US5432596A (en) * | 1992-06-30 | 1995-07-11 | Nidek Co., Ltd. | Lens measurement apparatus providing measurements of multiple lens characteristics |
US5896194A (en) * | 1996-12-20 | 1999-04-20 | Kabushiki Kaisha Topcon | Lens meter |
US5910836A (en) * | 1996-09-30 | 1999-06-08 | Kabushiki Kaisha Topcon | Lens meter |
DE19509158B4 (de) * | 1994-04-28 | 2005-06-23 | Nidek Co., Ltd., Gamagori | Linsenmeßeinrichtung |
CN102607443A (zh) * | 2012-03-17 | 2012-07-25 | 哈尔滨工业大学 | 基于点目标像拼合的图像传感器像素间距测量方法与装置 |
CN102607815A (zh) * | 2012-03-17 | 2012-07-25 | 哈尔滨工业大学 | 基于点目标像拼合的光学系统横向放大率测量方法与装置 |
CN102607442A (zh) * | 2012-03-17 | 2012-07-25 | 哈尔滨工业大学 | 基于匀速动点目标的图像传感器像素间距测量方法与装置 |
CN110672624A (zh) * | 2019-10-22 | 2020-01-10 | 北京领邦智能装备股份公司 | 工件侧面成像系统、缺陷检测系统及工件侧面成像方法 |
-
1987
- 1987-02-24 JP JP4179787A patent/JPS63208736A/ja active Granted
Cited By (10)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US5432596A (en) * | 1992-06-30 | 1995-07-11 | Nidek Co., Ltd. | Lens measurement apparatus providing measurements of multiple lens characteristics |
DE19509158B4 (de) * | 1994-04-28 | 2005-06-23 | Nidek Co., Ltd., Gamagori | Linsenmeßeinrichtung |
US5910836A (en) * | 1996-09-30 | 1999-06-08 | Kabushiki Kaisha Topcon | Lens meter |
US6236453B1 (en) * | 1996-09-30 | 2001-05-22 | Kabushiki Kaisha Topcon | Lens meter |
US5896194A (en) * | 1996-12-20 | 1999-04-20 | Kabushiki Kaisha Topcon | Lens meter |
CN102607443A (zh) * | 2012-03-17 | 2012-07-25 | 哈尔滨工业大学 | 基于点目标像拼合的图像传感器像素间距测量方法与装置 |
CN102607815A (zh) * | 2012-03-17 | 2012-07-25 | 哈尔滨工业大学 | 基于点目标像拼合的光学系统横向放大率测量方法与装置 |
CN102607442A (zh) * | 2012-03-17 | 2012-07-25 | 哈尔滨工业大学 | 基于匀速动点目标的图像传感器像素间距测量方法与装置 |
CN110672624A (zh) * | 2019-10-22 | 2020-01-10 | 北京领邦智能装备股份公司 | 工件侧面成像系统、缺陷检测系统及工件侧面成像方法 |
CN110672624B (zh) * | 2019-10-22 | 2022-03-15 | 北京领邦智能装备股份公司 | 工件侧面成像系统、缺陷检测系统及工件侧面成像方法 |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JPH0323856B2 (ja) | 1991-03-29 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
US3781110A (en) | Optical range finding system | |
US6172349B1 (en) | Autofocusing apparatus and method for high resolution microscope system | |
EP0532169B1 (en) | Optical Inspection Probe | |
JP2005504305A (ja) | 三次元走査カメラ | |
TW201337243A (zh) | 高速自動對焦系統 | |
US6636310B1 (en) | Wavelength-dependent surface contour measurement system and method | |
US5521700A (en) | Meter for testing progressive multifocus lenses | |
JPH0466834A (ja) | 自動レンズメーター | |
CN100570274C (zh) | 建筑物裂缝检测方法 | |
JP3435019B2 (ja) | レンズ特性測定装置及びレンズ特性測定方法 | |
CA2334225C (en) | Method and device for opto-electrical acquisition of shapes by axial illumination | |
JPS6017335A (ja) | オ−トレンズメ−タ | |
US4429993A (en) | Method and apparatus for testing the correspondence of line of sight with target line | |
US4281926A (en) | Method and means for analyzing sphero-cylindrical optical systems | |
JPS63208736A (ja) | 光学系の光学特性測定装置 | |
KR20020066378A (ko) | 안경 렌즈 또는 콘택트 렌즈의 특성 측정용 렌즈 미터 | |
JP2542754B2 (ja) | 集積回路の電界測定用プロ―ブ位置決め方法および位置決め装置 | |
EP0157431A1 (en) | Procedure to measure the dimensions of a body in movement in a three-dimensional field, and an optoelectronic device to carry out such procedure | |
JP3226241B2 (ja) | レンズメータ | |
US4758731A (en) | Method and arrangement for aligning, examining and/or measuring two-dimensional objects | |
JPH0820334B2 (ja) | 自動レンズメータ | |
JP3011742B2 (ja) | 自動レンズメーター | |
JPS6034699B2 (ja) | 硬さ試験機 | |
JPH0540012A (ja) | 干渉計及び干渉計のアライメント方法 | |
JP3429109B2 (ja) | レンズメ−タ |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
EXPY | Cancellation because of completion of term |