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JPS6319858A - Bioelectric element circuit - Google Patents

Bioelectric element circuit

Info

Publication number
JPS6319858A
JPS6319858A JP61164191A JP16419186A JPS6319858A JP S6319858 A JPS6319858 A JP S6319858A JP 61164191 A JP61164191 A JP 61164191A JP 16419186 A JP16419186 A JP 16419186A JP S6319858 A JPS6319858 A JP S6319858A
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
film
flavodoxin
bioelectrical
cytochrome
electron transfer
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Pending
Application number
JP61164191A
Other languages
Japanese (ja)
Inventor
Satoru Isoda
悟 磯田
Osamu Tomizawa
富沢 治
Hiroaki Kawakubo
川窪 広明
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Mitsubishi Electric Corp
Original Assignee
Mitsubishi Electric Corp
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Mitsubishi Electric Corp filed Critical Mitsubishi Electric Corp
Priority to JP61164191A priority Critical patent/JPS6319858A/en
Priority to DE19873722941 priority patent/DE3722941A1/en
Priority to US07/072,305 priority patent/US4902555A/en
Publication of JPS6319858A publication Critical patent/JPS6319858A/en
Priority to US07/370,940 priority patent/US5011786A/en
Pending legal-status Critical Current

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Abstract

PURPOSE:To obtain the bioelectric element circuit in which superfine bioelectric elements are used by a method wherein a metal wiring pattern is formed on a bioelectric element layer using a mask which is formed by exposure of an energy beam. CONSTITUTION:An electrode 2 is formed into a desired pattern using a mask exposure-formed by an energy beam, an electrode 5 is formed on a flavodoxin film 3 in the same manner as above, the cytochrome c film, which is the second electron transferring protein having different redox potential, is deposited on the flavodoxin film 3, they are adhered to the electrode 5. The flavodoxin film 6, which is the third film, is laminated on and adhered to the cytochrome c film 4, and a parallel electrode 7 is formed on the flavodoxin film 6 in the same manner as above. A rectifying element is constituted by adhering the two molecules of the cytochrome c and the flavodoxin, and a transistor element of the three molecules the flavodoxin, cytochrome c and flavodoxin.

Description

【発明の詳細な説明】 〔産業上の利用分野〕 この発明は、生体材料を用いて構成された生物電気素子
回路に関し、特にその金属配線に関するものである。
DETAILED DESCRIPTION OF THE INVENTION [Industrial Application Field] The present invention relates to a bioelectric element circuit constructed using biomaterials, and particularly to metal wiring thereof.

〔従来の技術〕[Conventional technology]

従来、集積回路に用いられている電気素子、例えば整流
素子としては、第3図に示すMO3構造のものがあった
。図において、11はp形シリコン基板、12はn影領
域、13はp影領域、14はn影領域、15はS 10
2y、16.17は電極であり、これら2つの電i16
.17間でp−n接合(p影領域13−n影領域14接
合)が形成され、これにより整流特性が実現されている
Conventionally, electric elements such as rectifier elements used in integrated circuits have had an MO3 structure as shown in FIG. In the figure, 11 is a p-type silicon substrate, 12 is an n-shade region, 13 is a p-shade region, 14 is an n-shade region, and 15 is an S 10
2y, 16.17 are electrodes, and these two electrodes i16
.. A pn junction (p shadow region 13-n shadow region 14 junction) is formed between the transistors 17 and 17, thereby realizing rectification characteristics.

〔発明が解決しようとする問題点〕[Problem that the invention seeks to solve]

従来のMO3構造の整流素子は以上のように構成されて
いるため、微細加工が可能であり、現在では上記構造の
整流素子あるいはこれに類似する構造のトランジスタ素
子を用いたLSIとして256にビットLSIが実用化
されている。
Since the conventional MO3 structure rectifier is configured as described above, it can be microfabricated, and currently LSIs using rectifiers with the above structure or transistor elements with a similar structure are used in 256-bit LSIs. has been put into practical use.

ところで、集積回路のメモリ容量と演算速度を上昇させ
るには、素子そのものの微細化が不可欠であるが、St
を用いる素子では0.2 μm程度の超微細パターンで
電子の平均自由行程と素子サイズとがほぼ等しくなり、
素子の独立性が保たれなくなるという限界を抱えている
。このように、日々発展を続けているシリコンテクノロ
ジーも、微細化の点ではいずれは壁に突きあたることが
予想され、新しい原理に基づく電気凹路素子であって上
記0.2μmの壁を破ることのできるものが求められて
いる。
Incidentally, in order to increase the memory capacity and operation speed of integrated circuits, it is essential to miniaturize the elements themselves, but St.
In devices using ultra-fine patterns of about 0.2 μm, the mean free path of electrons and the device size are almost equal,
This has the limitation that the independence of the elements cannot be maintained. In this way, silicon technology, which continues to develop day by day, is expected to eventually hit a wall in terms of miniaturization, and an electric concave path element based on a new principle has been developed to break the 0.2 μm barrier. There is a need for people who can do this.

このような状況において本件発明者らは生体内に存在し
その酸化還元反応により電子の伝達を行なう電子伝達蛋
白質を用い、異種の電子伝達蛍白質のレドックス(酸化
還元)電位の差異を利用してp、n型半導体を用いたp
−n接合と類似した整流特性を呈する整流素子、及びさ
らにp−n−p接合トランジスタと類似したトランジス
タ特性を呈するトランジスタ素子を開発した。そしてこ
れにより素子サイズを生体分子レベルの超微細な大きさ
とし、回路の高密度化、高速化を実現可能としている。
In this situation, the inventors of the present invention used electron transfer proteins that exist in living organisms and transfer electrons through redox reactions, and took advantage of the difference in redox potential between different types of electron transfer fluorescent proteins. p using p and n type semiconductors
We have developed a rectifier element that exhibits rectifying characteristics similar to those of a -n junction transistor, and a transistor element that exhibits transistor characteristics similar to a pnp junction transistor. This allows the device size to be ultra-fine at the level of biomolecules, making it possible to increase the density and speed of circuits.

そして本発明者らはさらにこのような素子を用いて生物
電気素子回路を構成するため、これらの素子との親和性
の良い抵抗、コンデンサ等の素子を開発したが、次に配
線をいかに行なうかが問題となった。
The inventors further developed resistors, capacitors, and other elements that are compatible with these elements in order to construct bioelectric element circuits using such elements, but the next question is how to perform wiring. became a problem.

この発明は、かかる状況に鑑みてなされたもので、各種
の生物電気素子を用い、これらに配線を施して構成した
生物電気素子回路を得ることを目的とする。
The present invention has been made in view of the above situation, and an object of the present invention is to obtain a bioelectrical element circuit constructed by using various bioelectrical elements and wiring them.

〔問題点を解決するための手段〕[Means for solving problems]

本願の第1の発明に係る生物電気素子回路は、エネルギ
ービームにより露光形成したマスクを用いて、生物電気
素子層上に金属配線パターンを形成するようにしたもの
である。
A bioelectrical element circuit according to the first invention of the present application is configured to form a metal wiring pattern on a bioelectrical element layer using a mask formed by exposure with an energy beam.

また、本願の第2の発明に係る生物電気素子回路は、分
子線、イオンビーム又はレーザを用いたCVD法により
、生物電気素子層上に金属を直接描画して配線を形成す
るようにしたものである。
Further, the bioelectrical element circuit according to the second invention of the present application is one in which wiring is formed by directly drawing metal on the bioelectrical element layer by a CVD method using a molecular beam, an ion beam, or a laser. It is.

〔作用〕[Effect]

本願の第1の発明においては、エネルギービームにより
露光形成したマスクを用いて、生物電気素子層上に金属
配線パターンを形成することによって、超微細な生物電
気素子を用いた生物電気素子回路を得ることができる。
In the first invention of the present application, a bioelectrical element circuit using ultrafine bioelectrical elements is obtained by forming a metal wiring pattern on a bioelectrical element layer using a mask formed by exposure with an energy beam. be able to.

また、本願の第2の発明においては、分子線。Moreover, in the second invention of the present application, a molecular beam.

イオンビーム又はレーザを用いたCVD法により、生物
電気素子層上に金属を直接描画して配線を形成すること
によって、超微細な生物電気素子を用いた生物電気素子
回路を得ることができる。
A bioelectric device circuit using ultrafine bioelectric devices can be obtained by directly drawing metal on the bioelectric device layer to form wiring using a CVD method using an ion beam or a laser.

〔実施例〕〔Example〕

次に、この発明の一実施例を図について説明する。 Next, an embodiment of the present invention will be described with reference to the drawings.

まず、本発明の生物電気素子回路を説明する前に、上述
の生物電気素子としての整流素子、スイッチ素子、抵抗
素子、及びコンデンサ素子について説明する。
First, before explaining the bioelectric element circuit of the present invention, the rectifying element, switch element, resistance element, and capacitor element as the above-mentioned bioelectric elements will be explained.

即ち、本発明者らが開発した整流素子は、第4図(a)
に示すように、異なるレドックスく酸化還元)電位を有
する2種の電子伝達蛋白質、即ち、例えばチトクローム
C分子1とフラボトキシン分子2とを接着接合して構成
したものである。そしてこの素子においては、チトクロ
ームC1とフラボトキシン2のレドックス電位が第4図
〜)に示すように異なるため、電子は図中実線矢印で示
すレドックス電位の負の準位から正の準位へ(以下これ
を正方向という)は容易に流れるが、逆方向(図中破線
矢印方向)へは流れにくいという整流特性を呈すること
となり、これによりn型半導体とp型半導体とを接合し
たp−n接合ダイオードと類似の整流特性を示す整流素
子が得られるものである。
That is, the rectifying element developed by the present inventors is shown in Fig. 4(a).
As shown in Figure 2, it is constructed by adhesively bonding two types of electron transport proteins having different redox (oxidation/reduction) potentials, ie, for example, cytochrome C molecule 1 and flavotoxin molecule 2. In this device, the redox potentials of cytochrome C1 and flavotoxin 2 are different as shown in Figure 4~), so electrons move from the negative level of the redox potential shown by the solid arrow in the figure to the positive level ( It exhibits a rectifying characteristic in which it flows easily in the forward direction (hereinafter referred to as the forward direction), but is difficult to flow in the reverse direction (in the direction of the dashed arrow in the figure). A rectifying element exhibiting rectifying characteristics similar to those of a junction diode can be obtained.

なお図中、4a、4bは本素子を整流素子として動作さ
せる場合に該素子に電圧■を印加するための電極である
In the figure, reference numerals 4a and 4b are electrodes for applying a voltage ■ to the device when the device operates as a rectifying device.

また本発明者らが開発したスイッチ素子は第5図に示す
ように、レドックス電位の異なる2種以上の3つの電子
伝達蛋白質2a、1,2bを用いてp−n−p接合半導
体からなるトランジスタ素子と類似の特性を示すトラン
ジスタ素子を構成するようにしたものである。なお第5
図中、4a。
Furthermore, as shown in FIG. 5, the switch element developed by the present inventors is a transistor made of a p-n-p junction semiconductor using two or more types of three electron transfer proteins 2a, 1, and 2b having different redox potentials. A transistor element exhibiting characteristics similar to those of the element is constructed. Furthermore, the fifth
In the figure, 4a.

4b、4cは電極である。4b and 4c are electrodes.

また、本発明者らが開発した抵抗素子としては、例えば
、上記整流素子に用いた2種の電子伝達蛋白質を接着接
合した電子伝達複合体を、単数、又はこれをその電子伝
達通路が平行となるよう複数並列配置したものを一対の
電極間に配置して構成したものがあり、また、コンデン
サ素子としては、例えば、上記電子伝達複合体を一対の
電極間に該電極とその電子伝達通路とが、平行となるよ
う配置して、あるいはまた電子伝達機能のない蛋白質分
子を一対の電極間に配置して構成したものがある。
In addition, the resistance element developed by the present inventors may include, for example, a single electron transfer complex formed by adhesively bonding two types of electron transfer proteins used in the rectifying element, or a single electron transfer complex in which the electron transfer paths thereof are parallel to each other. There is a capacitor element in which a plurality of electron transfer complexes are arranged in parallel between a pair of electrodes, and for example, the above electron transfer complex is placed between a pair of electrodes and the electron transfer path is connected to the electrode. However, there are structures in which the electrodes are arranged in parallel, or in which a protein molecule without an electron transport function is arranged between a pair of electrodes.

また上記整流素子の実際の構成は第6図に示す通りとな
る。
Further, the actual configuration of the rectifying element is as shown in FIG.

即ち、第6図において、76は絶縁特性を持つ基板、7
7はAg、Au、Atなどの金属製電極で、基板76上
に複数条が平行に形成されている。
That is, in FIG. 6, 76 is a substrate with insulating properties;
7 is a metal electrode such as Ag, Au, At, etc., and a plurality of strips are formed in parallel on the substrate 76.

78は基板76上にL B (Langmuir−Bl
odgett)法等により作成されたチトクロームCか
らなる第1電子伝達蛋白質膜、79は同じ<LB法等に
より作成されたフラボトキシンからなる第2電子伝達蛋
白質膜で、上記第1電子伝達蛋白貫膜78に累積して接
着接合されている。801ま複数条の平行型1577と
直角方向に形成された複数条の平行電極で、第2電子伝
達蛋白質膜79上に形成されている。
78 is a LB (Langmuir-Bl) on the substrate 76.
79 is a second electron transfer protein membrane made of flavotoxin prepared by the same <LB method, etc.; 78 are cumulatively adhesively bonded. A plurality of parallel electrodes 801 and a plurality of parallel electrodes 1577 are formed in a direction perpendicular to each other, and are formed on the second electron transfer protein membrane 79 .

また上記スイッチ素子の実際の構成は第7図に示す通り
となる。
Further, the actual configuration of the switch element is as shown in FIG.

即ち、第7図において、86は絶縁特性を持つ基板、8
7はAg、Au、A1などの金属製電極で、基板86上
に複数条が平行に形成されている。
That is, in FIG. 7, 86 is a substrate with insulating properties;
7 is a metal electrode such as Ag, Au, A1, etc., and a plurality of strips are formed in parallel on the substrate 86.

8日は基板86上にLB法等により作成されたフラボト
キシンからなる第1電子伝達蛋白質膜で、上記複数条の
電極87上に形成されている。90は上記複数条の平行
電極87と直角方向に形成された′yL数条の平行電極
で、上記第1電子伝達蛋白質膜88上に形成されている
。89は同じ<LB法等により作成されたチトクローム
Cからなる第2電子伝達蛋白質膜で、第1電子伝達蛋白
質膜88に累積して接着接合され、電F590に接合さ
れている。91は同じ<LB法等により作成されたフラ
ボトキシンからなる第3電子伝達蛋白質膜で、上記第2
電子伝達蛋白質膜89に累積して接着接合されている。
On the 8th, a first electron transfer protein film made of flavotoxin is formed on the substrate 86 by the LB method or the like, and is formed on the plurality of electrodes 87. Reference numeral 90 denotes several parallel electrodes 90 formed perpendicularly to the plurality of parallel electrodes 87, which are formed on the first electron transfer protein membrane 88. 89 is a second electron transfer protein film made of cytochrome C prepared by the same <LB method, etc., which is cumulatively adhesively bonded to the first electron transfer protein film 88 and bonded to the electron F590. 91 is a third electron transfer protein membrane made of flavotoxin prepared by the same <LB method etc.;
It is cumulatively adhesively bonded to the electron transport protein membrane 89.

92は上記複数条の平行電極90と直角方向に形成され
た複数条の平行電極で、第3電子伝達蛋白質膜91上に
形成されている。
A plurality of parallel electrodes 92 are formed perpendicularly to the plurality of parallel electrodes 90, and are formed on the third electron transfer protein membrane 91.

以下、本発明の実施例を図について説明する。Hereinafter, embodiments of the present invention will be described with reference to the drawings.

第1図は本発明の一実施例による生物電気素子回路を示
し、第2図はその分解斜視図である。両図において、1
は絶縁特性を持つ基板、2はAg。
FIG. 1 shows a bioelectric device circuit according to an embodiment of the present invention, and FIG. 2 is an exploded perspective view thereof. In both figures, 1
2 is a substrate with insulating properties, and 2 is Ag.

Au、AIなどの金属製電極であり、これは基板1上に
複数条が平行に形成されている。そして本願の第1の発
明ではこの電極2はエネルギービームにより露光形成し
たマスクを用いて所望のパターンに形成され、本願の第
2の発明ではこの電極2は分子線、イオンビーム又はレ
ーザを用いたCV D法により金属を直接描画して所望
の配線パターンに形成される。3は第1の電子伝達蛋白
質であるフラボトキシンを用いてLB法(Langmu
ir−Blodgett法)により作成した第1の膜で
あるフラボトキシン膜、5は上記複数条の平行電極2と
直角方向に形成された複数条の平行電極であり、これは
上記フラボトキシン膜3上に上記電極2と同様の方法で
形成されている。4は上記フラボトキシンのレドックス
電位と異なるレドックス電位を有する第2の電子伝達蛋
白質であるチトクロームCを用いて上記フラボトキシン
膜3と同様の方法で作成されたチトクロームC膜で、上
記フラボトキシン膜3に累積して接着接合され、電極5
に接合されている。6はフラボトキシンを用いて同様に
作成された第3の膜であるフラボトキシン膜で、上記チ
トクロームC膜4上に累積して接着接合されている。7
は複数条の平行電極5と直角方向に形成された複数条の
平行電極で、上記フラボトキシン膜6上に上記電極2.
5と同様の方法で形成されている。
The electrodes are made of metal such as Au or AI, and a plurality of strips are formed in parallel on the substrate 1. In the first invention of the present application, this electrode 2 is formed into a desired pattern using a mask formed by exposure with an energy beam, and in the second invention of the present application, this electrode 2 is formed using a molecular beam, an ion beam, or a laser. A desired wiring pattern is formed by directly drawing metal using the CVD method. 3 uses the LB method (Langmu) using flavotoxin, which is the first electron transfer protein.
The flavotoxin film 5 is a first film prepared by the ir-Blodgett method, and is a plurality of parallel electrodes formed perpendicularly to the plurality of parallel electrodes 2, which are formed on the flavotoxin film 3. The electrode 2 is formed in the same manner as the electrode 2 described above. Reference numeral 4 denotes a cytochrome C membrane prepared in the same manner as the flavotoxin membrane 3 using cytochrome C, which is a second electron transfer protein having a redox potential different from that of the flavotoxin; are cumulatively adhesively bonded to the electrode 5.
is joined to. A flavotoxin film 6 is a third film similarly prepared using flavotoxin, and is cumulatively adhesively bonded to the cytochrome C film 4. 7
is a plurality of parallel electrodes formed perpendicular to the plurality of parallel electrodes 5, and the electrodes 2. and 2. are formed on the flavotoxin film 6.
It is formed in the same manner as No. 5.

以上の第1図の回路において、チトクロームCとフラボ
トキシンの2分子が接着接合されたものは整流素子を構
成しており、フラボトキシンとチトクロームCとフラボ
トキシンの3分子が接着されたものはトランジスタ素子
を構成しており、各素子の蛋白質はいずれかの電i2,
5.7に接続されて整流素子のアノード、カソード、及
びトランジスタ素子のソース、ドレイン、ゲートの各端
子の取り出しが行なわれている。
In the circuit shown in Figure 1 above, the one in which two molecules of cytochrome C and flavotoxin are glued together constitutes a rectifier, and the one in which three molecules of flavotoxin, cytochrome C, and flavotoxin are glued together is a transistor. The protein of each element contains one of the electrons i2,
5.7, and the anode and cathode of the rectifying element and the source, drain, and gate terminals of the transistor element are taken out.

このように本実施例では、半導体集積回路と同じ金属配
線パターンの形成方法、即ちエネルギービームにより露
光形成したマスクを用いる方法、あるいは分子線、イオ
ンビーム又はレーザを用いたCVD法により金属を直接
描画する方法により金属配線パターンを形成し、生物電
気素子回路を構成したので、そのサイズを分子レベルの
超微細な大きさまで近づけた、超高密度、超高速の回路
を得ることができる。
As described above, in this embodiment, the metal wiring pattern is formed using the same method as in semiconductor integrated circuits, that is, using a mask exposed to energy beams, or directly drawing metal by CVD using molecular beams, ion beams, or lasers. By forming a metal wiring pattern and constructing a bioelectric device circuit using this method, it is possible to obtain an ultra-high-density, ultra-high-speed circuit whose size approaches the ultra-fine size at the molecular level.

なお、上記実施例では、各電極を複数の平行な線状電極
としたが、これは任意の形状の電極にできることはもち
ろんである。
In the above embodiment, each electrode is a plurality of parallel linear electrodes, but it goes without saying that the electrodes can have any shape.

また、上記実施例では、生物電気素子を構成する材料と
して電子伝達蛋白質を用いているが、これは擬似生体材
料からなる電子伝達物質であってもよい。
Furthermore, in the above embodiments, an electron transfer protein is used as the material constituting the bioelectric device, but this may be an electron transfer substance made of a pseudo-biological material.

〔発明の効果〕〔Effect of the invention〕

以上のように本発明によれば、電子伝達蛋白質からなる
生物電気素子層上にエネルギービームにより露光形成し
たマスクを用いて金属配線パターンを形成するか、ある
いは分子線、イオンビーム又はレーザを用いたCVD法
により、金属を直接描画することにより配線を形成する
ようにしたので、生物電気素子を用いた回路を構成でき
、分子レベルの超微細な回路を得ることができる。
As described above, according to the present invention, a metal wiring pattern is formed on a bioelectrical device layer made of an electron transfer protein using a mask formed by exposure with an energy beam, or a metal wiring pattern is formed using a molecular beam, an ion beam, or a laser. Since the wiring is formed by directly drawing metal using the CVD method, it is possible to construct a circuit using bioelectrical elements and obtain an ultrafine circuit at the molecular level.

【図面の簡単な説明】[Brief explanation of drawings]

第1図及び第2図は本発明の一実施例による生物電気素
子回路を示す断面図及び分解斜視図、第3図は従来のM
O3構成の整流素子の一例を示す図、第4図(a)は本
発明者らが開発した整流素子を示す模式図、第4図(b
lはそのレドックス電位状態図、第5図は本発明者らが
開発したスイッチ素子を示す模式図、第6図は本発明者
らが開発した整流素子が組み込まれた装置を示す模式的
断面構成図、第7図は本発明者らが開発したスイッチ素
子が組み込まれた装置を示す模式的断面構成図である。 図において、1は基板、2,5.7は金属電極、3.6
はフラボトキシン膜、4はチトクロームC膜である。 なお図中同一符号は同−又は相当部分を示す。
1 and 2 are a sectional view and an exploded perspective view showing a bioelectric device circuit according to an embodiment of the present invention, and FIG. 3 is a conventional M
FIG. 4(a) is a diagram showing an example of a rectifying element with O3 configuration, and FIG. 4(b) is a schematic diagram showing a rectifying element developed by the present inventors.
1 is a redox potential state diagram, FIG. 5 is a schematic diagram showing a switching element developed by the present inventors, and FIG. 6 is a schematic cross-sectional configuration showing a device incorporating a rectifying element developed by the present inventors. 7 are schematic cross-sectional configuration diagrams showing a device incorporating a switch element developed by the present inventors. In the figure, 1 is the substrate, 2, 5.7 is a metal electrode, 3.6
is a flavotoxin membrane, and 4 is a cytochrome C membrane. Note that the same reference numerals in the figures indicate the same or equivalent parts.

Claims (2)

【特許請求の範囲】[Claims] (1)電子伝達可能な生体材料あるいは擬似生体材料を
用いて構成される生物電気素子からなる回路であって、 上記生物電気素子層の上に、エネルギービームにより露
光形成したマスクを用いて、所望の金属配線パターンを
形成してなることを特徴とする生物電気素子回路。
(1) A circuit consisting of a bioelectrical element constructed using a biological material or a pseudo-biological material capable of electron transfer, in which a mask formed by exposure with an energy beam is formed on the bioelectrical element layer to achieve desired results. A bioelectrical element circuit characterized in that it is formed by forming a metal wiring pattern.
(2)電子伝達可能な生体材料あるいは擬似生体材料を
用いて構成される生物電気素子からなる回路であって、 上記生物電気素子層の上に、分子線、イオンビーム又は
レーザを用いたCVD法により、金属を直接描画して所
望の配線パターンを形成してなることを特徴とする生物
電気素子回路。
(2) A circuit consisting of a bioelectrical element constructed using a biomaterial or a pseudo-biological material capable of electron transfer, which is formed using a CVD method using a molecular beam, an ion beam, or a laser on the bioelectrical element layer. A bioelectrical element circuit characterized in that a desired wiring pattern is formed by directly drawing metal.
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Citations (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
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JPS5286077A (en) * 1976-01-09 1977-07-16 Dios Inc Supercompact device and method of manufacture thereof
JPS61141883A (en) * 1984-12-14 1986-06-28 Ajinomoto Co Inc Functional element coated with electrically conductive protein

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