JPS63190354A - 外観検査装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 産業上の利用分野 本発明はＩＣ，トランジスタ等の電子部品の外観検査を
おこなうことができる外観検査装置に関する。

従来の技術 従来、ＩＣ，）ランジスタ等のリードビンを認識する場
合、第７図、第８図に示す外観検査装置が用いられた。

以下、この従来の外観装置について説明スル。

第７図において、１は被検査物であり、２は被検査物１
のリードピン、３はリードピン２を照射する照明源、４
はリードピン２から反射されてくる光を検知する・ライ
ンセンサーカメラである。また、第８図ａで、５はライ
ンセンサーカメラ４が検知する範囲を示したラインセン
サーエリア、６は照明源３の光の照射部である。

次に、上記のように構成された外観検査装置の動作につ
いて説明する。照明源３より発光した光はリードピン２
に照射され、ラインセンサーエリア５内での反射光をカ
メラ４で受光する。このカメラから第８図すに示す出力
波形Ｔを得て、リードピンピッチＰ、リードピン本数Ｎ
、リードビン幅Ｗを検出していた。

発明が解決しようとする問題点 このような従来の構成ではリードピン２の認識を第８図
すに示す出力波形Ｔでみるため、被検査物１のリードの
外曲がり不良または内向がり不良の検出が困難であった
。また、リードピン２の表面処理状態によって、例えば
、半田ディツプを施したリードピンでは、リードビン表
面が半田ディツブにより丸みをおびたものとなり、照射
光が反射する際に、いろいろな方向へ拡散して、ライン
センサーカメラ４が出力波形としてだすべき反射光を受
光できないため、リードビンピッチＰ、リードピン幅Ｗ
を検出することすら困難であった。

また、ラインセンサーカメラ４をＣＣＤカメラにおきか
えた場合による認識では直接リードピン画像として認識
するのでリードピンからの反射光の拡散の影響は少なく
、リードピンピッチＰ、リードピン幅Ｗを検出すること
は可能であるが被検査物１の微妙なリードピン外曲がり
や内曲がりの状態を検出することはできなかった。

本発明は簡単な構成で、リードピンピッチ、リードピン
幅、リードピン本数、リードピン形状。

リードピン内的がりあるいは外曲がり等のリードピンに
関する検査がおこなえる外観検査装置を提供することを
目的とする。

問題点を解決するための手段 この目的を達成するために本発明の外観検査装置は、被
検査物を撮像するカメラと、被検査物のリードピンを照
射する照明系と、リードピンがらの反射光を前記カメラ
へ導く角度揺動可能な画像反射板と、被検査物のリード
への光量を増加しリードピンからの光の反射率を高める
ための照明光反射板とを有し、被検査物のリードピンの
状態を認識するようになっている。

作用 以上の構成により、照明光反射板によって明暗の増強さ
れた被検査物のリードピンの像がカメラによって撮像さ
れ、リードピンのピッチ、幅、形状２本数ばかりでなく
、画像反射板がらの反射画像の明暗を検知することによ
ってリードピンの内曲がり、外曲がり等を認識できる。

実施例 、　第１図は本発明の一実施例による外観検査装置″〒
の側断面図である。以下に、この機器構成についＪ島説
明する。７はＣＣＤカメラ、８は高周波蛍光燈等の光源
、９は光源８近傍に付設された光源カバー、１０は搬送
レールカバー、１１は低歪率の画像反射板、１２は回転
可能な保持体、１３は支持板、１４は被検査物の搬送レ
ール、１５は保持体１２を支持板１３に回動可能に取付
けるための係留ピン、１６は光源８から被検査物のリー
ドピンへの光量を増加し、リードピンからの光反射率を
高めるための照明光反射板である。以下にこの実施例の
動作を説明する。

光源８によってリードピン２は照射され、その反射光を
角度揺動可能な画像反射板１１を調整して、ＣＣＤカメ
ラ７へ導く。そして、このＣＣＤカメラ７はリードピン
２の直接画像としての上面、および画像反射板を介した
反射画像として側面の像を検出する。この検出された像
に基づいて、リードピンピッチ、幅９本数を認識する。

また、ＣＣＤカメラ７で画像認識した場合に、照明光路
Ｓと前記画像反射板１１の反射率の相互関係は画像反射
板１１の角度を変化させることにより適切な状態に容易
に調整できる。このように画像反射板１１を調整した後
に、第２図に示すように、リードピンの形状が、正常体
２ａ、外曲がり体２ｂ、あるいは内曲がり体２Ｃである
被検査物１をＣＣＤカメラ７の位置で見ると、第３図の
認識画像図の例に示すように、内曲がり不良状態のリー
ドピン１７は、光の反射率が低いため、反射画像は暗（
、画像処理における２値化レベルで正常の状態のリード
ピンと比較認識することができる。また、外曲がり不良
状態のリードピン画像１８は、前記内曲がりのリードピ
ン画像１７の比較認識と同様で、かつ、前記画像反射板
１１を介さずに直接画像１８ａとして認識することも可
能で、直接画像１８ａによる画像認識処理を適正２値化
レベルにおいて行なうことにより２方向の検査をするこ
とが可能である。そして、この２方向の認識をおこなっ
ているため高い精度の認識が得られるわけであるが、被
検査物１単位におけるリードピンの表面処理状態にバラ
ツキがあった場合、リードピンとしては正常体のもので
も、第４図すに示すリードピン１９．２０は、画像とし
ては第５図の同リードピン画像１９ａ、２０ａのような
認識画像として撮像され、２方向からの検査のために逆
に正常体を不良として判定する誤判定を生じることもあ
る。そのために、この２方向がらの認識精度をさらに安
定向上させるために、第５図に示す画像１９ａとしてし
か撮像されない表面処理状態のものも（反射率が低いも
の、但し、１９ｂは正常体として撮像されている）が突
発的に工程内で発生したとしても、安定した正常体のリ
ートピンは正常体のリードピンとして画像認識できるよ
うに被検査物Ｊのリードピンへの光量を増加し、リード
ピンからの反射率を高めるための照明反射板１６をリー
ドピンの下方向に設けており、これによって、安定した
精度の高い認識精度が得られる。

次に、本発明の他の実施例について図面を参照しながら
説明する。

第６図は本発明の他の実施例を示す外観検査装置側断面
図である。

同図において、７はＣＣＤカメラ、８は高周波蛍光燈等
の光源、９は光源８近傍に付設された光源カバー、１０
は搬送レールカバー、１１は低歪率の画像反射板、１２
は回転可能な保持板、１３は支持板、１４は被検査物の
搬送レール、１５は保持体１２を支持板１３に回動可能
に取付けるための係留ピンである。以上は第１図の構成
と同様なものである。第１図の構成と異なるのは照明光
反射板２１を支持板２３に係留ピン２２で揺動可能に設
けた点である。

上記のように構成された外観検査装置について、以下そ
の動作を説明する。

動作は先に述べた実施例と基本的に同様である。異なる
のは照明光反射板２１が揺動可能になっているため、被
検査物１のリードピンへの光量を増加し、リードピンか
らの反射率を高めるための反射率の調整が任意におこな
えるためにり−ドビンの表面状態に適した反射を得るこ
とができ、安定した精度の向上ができるものである。

なお、上記各実施例では被検査物１を撮像するイメージ
センサ−としてＣＣＤカメラ７を用いているが、このＣ
ＣＤカメラ７の代りに撮像管を用いたカメラ等も用いる
こともできる。

発明の効果 このように本発明によれば、角度調整の行なうことので
きる画像反射板を介して反射画像を認識処理しているた
め、光の反射率と画像反射板の相互関係において、また
、光の反射率と照明光反射板の相互関係において認識精
度の高い画像認識処理が行なえるという効果を有するも
のである。

【図面の簡単な説明】

第１図は本発明の一実施例における外観検査装置の側断
面図、第２図は被検査物の側面図、第３図はモニター等
に写しだされる認識画像図、第４図ａ、ｂは被検査物の
正常体のリードピンにおける表面処理状態のバラツキを
表わす側面図、正面図、第５図は第４図示のリードピン
をモニター等に写しだした認識画像図、第６図は本発明
の他の実施例における外観検査装置の側断面図、第７図
は従来の外観検査装置側断面図、第８図ａ、ｂはライン
センサーカメラの各出力波系図である。 １・・・・・・被検査物、７・・・・・・ＣＣＤカメラ
、８・・・・・・光源、１１・・・・・・画像反射板、
１６・・・・・・照明光反射板。 、　　　　　　　　　城 □□□ゴ 、、　　　　　　　　ＣＩ’） 塚　　　　　城

Claims (1)

【特許請求の範囲】
1. 角度揺動可能な画像反射板と、前記画像反射板を介して
   被検査物を撮像するカメラと、前記カメラの撮像可能な
   光量を被検査物へ照射する照明系と、前記被検査物への
   光量を増加する照明光反射板とをそなえた外観検査装置
   。