JPS63178541A - ウエ−ハ収納箱 - Google Patents
ウエ−ハ収納箱Info
- Publication number
- JPS63178541A JPS63178541A JP62011601A JP1160187A JPS63178541A JP S63178541 A JPS63178541 A JP S63178541A JP 62011601 A JP62011601 A JP 62011601A JP 1160187 A JP1160187 A JP 1160187A JP S63178541 A JPS63178541 A JP S63178541A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- wafer
- wafers
- case
- partition plate
- damaged
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
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- 238000005192 partition Methods 0.000 claims description 22
- 238000000638 solvent extraction Methods 0.000 abstract 4
- 238000011109 contamination Methods 0.000 abstract 1
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 2
- 239000012634 fragment Substances 0.000 description 2
- 230000035939 shock Effects 0.000 description 2
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- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 description 1
- 239000000463 material Substances 0.000 description 1
- 239000011347 resin Substances 0.000 description 1
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- 230000009291 secondary effect Effects 0.000 description 1
Landscapes
- Packaging Frangible Articles (AREA)
- Container, Conveyance, Adherence, Positioning, Of Wafer (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
〔産業上の利用分野〕
本発明はウェーハ収納箱に関する。
従来のウェーハ収納箱は、１個のケース内に２０枚程度
のウェーハを収納しているが収納されたウェーハごとの
仕切り板はなく、ウェーハごとにウェーハ支持部で固定
して箱内に収容している。
のウェーハを収納しているが収納されたウェーハごとの
仕切り板はなく、ウェーハごとにウェーハ支持部で固定
して箱内に収容している。
上述した従来のウェーハ収納箱は、収納するウェーハご
とに仕切り板を設けていないので、ウェーハ収納箱を運
搬中の振動又は落下環の衝撃のために１部のウェーハが
破損した場合、その破片で他のウェーハを傷つけたりウ
ェーハの屑で他のウェーハを汚染するという欠点がある
。
とに仕切り板を設けていないので、ウェーハ収納箱を運
搬中の振動又は落下環の衝撃のために１部のウェーハが
破損した場合、その破片で他のウェーハを傷つけたりウ
ェーハの屑で他のウェーハを汚染するという欠点がある
。
本発明のウェーハ収納箱は、平行に配列して収納される
ウェーハごとに該ウェーハの両側を支持するウェーハ支
持部と少くとも１枚の前記ウェーハごとに挿入される仕
切り板とを備え一面が開口したケースと、前記一面に装
着されそれぞれの前記仕切り板が挿入される仕切り板支
持部とそれぞれの前記ウェーハを固定するウェーハ押え
とを備える蓋とを含んで構成される。
ウェーハごとに該ウェーハの両側を支持するウェーハ支
持部と少くとも１枚の前記ウェーハごとに挿入される仕
切り板とを備え一面が開口したケースと、前記一面に装
着されそれぞれの前記仕切り板が挿入される仕切り板支
持部とそれぞれの前記ウェーハを固定するウェーハ押え
とを備える蓋とを含んで構成される。
次に、本発明について図面を参照して説明する。
第１図は本発明の第１の実施例を示す断面図、第２図は
第１図のケースの平面図である。
第１図のケースの平面図である。
第１図及び第２図に示すように、第１の実施例は平行に
配列して収納されるウェーハ３ごとにウェーハ３の両側
を支持するウェーハ支持部１１と、それぞれのウェーハ
３の間に挿入される仕切り板１２とを漏え上面が開口し
た箱状のケース１と、ケース１の上面を覆って装着され
それぞれの仕切り板１２が挿入される仕切り板支持部２
１と、それぞれのウェーハ３の上側面を固定するウェー
ハ押え２２とを備えるＷ２とを含む。
配列して収納されるウェーハ３ごとにウェーハ３の両側
を支持するウェーハ支持部１１と、それぞれのウェーハ
３の間に挿入される仕切り板１２とを漏え上面が開口し
た箱状のケース１と、ケース１の上面を覆って装着され
それぞれの仕切り板１２が挿入される仕切り板支持部２
１と、それぞれのウェーハ３の上側面を固定するウェー
ハ押え２２とを備えるＷ２とを含む。
このような楕蓬であるから、蓋２をケース１の開口面に
装着することにより、仕切り板１２が仕切り板支持部２
１に挿入され、それぞれが１枚のウェーハ３を収納しそ
れぞれが分割されたウェーハ収納室１３が区分される。
装着することにより、仕切り板１２が仕切り板支持部２
１に挿入され、それぞれが１枚のウェーハ３を収納しそ
れぞれが分割されたウェーハ収納室１３が区分される。
ウェーハ３はウェーハ押え２２により固定される。なお
、ケース１．蓋２及び仕切り板１２は４ふっ化樹脂等の
化学的に安定な材料を使用する。
、ケース１．蓋２及び仕切り板１２は４ふっ化樹脂等の
化学的に安定な材料を使用する。
又、仕切り板１２は約７ｍｍの間隔で設置する。
以上説明したウェーハ収納箱を使用することにより、運
搬中の振動又は落下等の衝撃のためにウェーハを破損し
た場合、その被害を最少限にとどめる事が可能となる。
搬中の振動又は落下等の衝撃のためにウェーハを破損し
た場合、その被害を最少限にとどめる事が可能となる。
即ち、ウェーハ収納室１３が各ウェーハ３ごとに独立し
ているために、ウェーハ収納箱内の１部のウェーハが破
損しても、その破片が破損していない正常なウェーハの
表面を傷つけなり、ウェーハの屑が表面を汚染すること
はない。
ているために、ウェーハ収納箱内の１部のウェーハが破
損しても、その破片が破損していない正常なウェーハの
表面を傷つけなり、ウェーハの屑が表面を汚染すること
はない。
第３図は本発明の第２の実施例のケースの平面図である
。
。
第３図に示すように、仕切り板１２の数は使用目的に応
じて選定できる。第２の実施例では、ウェーハ５枚ごと
に仕切り板１２を設は各ウェーハ収納室ごとに同一種類
のウェーハ３−．３ｂ 。
じて選定できる。第２の実施例では、ウェーハ５枚ごと
に仕切り板１２を設は各ウェーハ収納室ごとに同一種類
のウェーハ３−．３ｂ 。
３ｃ、３ｄ、３−をそれぞれ分類して収納している。
このように構成することにより、ウェーハの使用に当っ
て容易に所望のウェーハを取出すことができる利点が生
じる。
て容易に所望のウェーハを取出すことができる利点が生
じる。
以上説明したように本発明のウェーハ収納箱は、仕切り
板を設はウェーハ収納室を空間的に分離独立することに
より、運搬中の振動又は落下等の衝撃のために１部のウ
ェーハを破損しても、破損していない正常なウェーハの
表面を傷つけたり、ウェーハの屑により表面を汚染する
ことがなく、その被害を最少限にとどめることができる
という効果がある。
板を設はウェーハ収納室を空間的に分離独立することに
より、運搬中の振動又は落下等の衝撃のために１部のウ
ェーハを破損しても、破損していない正常なウェーハの
表面を傷つけたり、ウェーハの屑により表面を汚染する
ことがなく、その被害を最少限にとどめることができる
という効果がある。
最近のウェーハの大口径化により、１枚のウェーハを破
損した時の経済的あるいは生産管理上の被害は増大する
傾向にあり、本発明による効果は大口径ウェーハにおい
てより大きくなる傾向にある。更に、ウェーハの大口径
化とともにウェーハ収納箱も大型化し、その機械的強度
を増すことが重要となるが仕切り板を入れることにより
機械的強度が増すという副次的効果もある。
損した時の経済的あるいは生産管理上の被害は増大する
傾向にあり、本発明による効果は大口径ウェーハにおい
てより大きくなる傾向にある。更に、ウェーハの大口径
化とともにウェーハ収納箱も大型化し、その機械的強度
を増すことが重要となるが仕切り板を入れることにより
機械的強度が増すという副次的効果もある。
第１図は本発明の第１の実施例の断面図、第２図は第１
図のケースの正面図、第３図は本発明の第２の実施例の
ケースの正面図である。 １・・・ケース、２・−ｉ、３．３−．３ｂ 、３ｃ。 ３ｄ、３−・・・ウェーハ、１１，１１．・・・ウェー
ハ支持部、１２・・・仕切り板、１３・・・ウェーハ収
納室、２１・・・仕切り板支持部、２２・・・ウェーハ
押え。 代理人 弁理士 内 原 晋６″ 第２ 図 ３ｅ 第３ 図
図のケースの正面図、第３図は本発明の第２の実施例の
ケースの正面図である。 １・・・ケース、２・−ｉ、３．３−．３ｂ 、３ｃ。 ３ｄ、３−・・・ウェーハ、１１，１１．・・・ウェー
ハ支持部、１２・・・仕切り板、１３・・・ウェーハ収
納室、２１・・・仕切り板支持部、２２・・・ウェーハ
押え。 代理人 弁理士 内 原 晋６″ 第２ 図 ３ｅ 第３ 図
Claims (1)
- 平行に配列して収納されるウェーハごとに該ウェーハ
の両側を支持するウェーハ支持部と少くとも１枚の前記
ウェーハごとに挿入される仕切り板とを備え一面が開口
したケースと、前記一面に装着されそれぞれの前記仕切
り板が挿入される仕切り板支持部とそれぞれの前記ウェ
ーハを固定するウェーハ押えとを備える蓋とを含むこと
を特徴とするウェーハ収納箱。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP62011601A JPS63178541A (ja) | 1987-01-20 | 1987-01-20 | ウエ−ハ収納箱 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP62011601A JPS63178541A (ja) | 1987-01-20 | 1987-01-20 | ウエ−ハ収納箱 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS63178541A true JPS63178541A (ja) | 1988-07-22 |
Family
ID=11782423
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP62011601A Pending JPS63178541A (ja) | 1987-01-20 | 1987-01-20 | ウエ−ハ収納箱 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS63178541A (ja) |
Cited By (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH05175320A (ja) * | 1991-12-24 | 1993-07-13 | Mitsubishi Electric Corp | 半導体ウエハカセット |
| WO2004049430A1 (ja) * | 2002-11-26 | 2004-06-10 | Disco Corporation | 複数枚の半導体ウエーハを収容するためのカセット |
| KR100904888B1 (ko) * | 2003-08-14 | 2009-06-29 | 가부시기가이샤 디스코 | 여러 장의 반도체 웨이퍼를 수용하기 위한 카셋트 |
| JP2012199302A (ja) * | 2011-03-18 | 2012-10-18 | Dainippon Screen Mfg Co Ltd | 基板収容器 |
-
1987
- 1987-01-20 JP JP62011601A patent/JPS63178541A/ja active Pending
Cited By (5)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH05175320A (ja) * | 1991-12-24 | 1993-07-13 | Mitsubishi Electric Corp | 半導体ウエハカセット |
| WO2004049430A1 (ja) * | 2002-11-26 | 2004-06-10 | Disco Corporation | 複数枚の半導体ウエーハを収容するためのカセット |
| US7325692B2 (en) | 2002-11-26 | 2008-02-05 | Disco Corporation | Cassette having separation plates for storing a plurality of semiconductor wafers |
| KR100904888B1 (ko) * | 2003-08-14 | 2009-06-29 | 가부시기가이샤 디스코 | 여러 장의 반도체 웨이퍼를 수용하기 위한 카셋트 |
| JP2012199302A (ja) * | 2011-03-18 | 2012-10-18 | Dainippon Screen Mfg Co Ltd | 基板収容器 |
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