JPS63168529A - Inspection of optical fiber connector - Google Patents
Inspection of optical fiber connectorInfo
- Publication number
- JPS63168529A JPS63168529A JP31542986A JP31542986A JPS63168529A JP S63168529 A JPS63168529 A JP S63168529A JP 31542986 A JP31542986 A JP 31542986A JP 31542986 A JP31542986 A JP 31542986A JP S63168529 A JPS63168529 A JP S63168529A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- face
- ferrule
- optical fiber
- screen
- angle
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
- 239000013307 optical fiber Substances 0.000 title claims abstract description 50
- 238000007689 inspection Methods 0.000 title claims description 7
- 238000000034 method Methods 0.000 claims description 9
- 230000000644 propagated effect Effects 0.000 claims description 9
- 239000000853 adhesive Substances 0.000 description 2
- 230000001070 adhesive effect Effects 0.000 description 2
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 2
- 230000007246 mechanism Effects 0.000 description 2
- 101150016901 ALB1 gene Proteins 0.000 description 1
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 1
- 238000005516 engineering process Methods 0.000 description 1
- 239000000835 fiber Substances 0.000 description 1
- 230000001678 irradiating effect Effects 0.000 description 1
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 description 1
- 238000005259 measurement Methods 0.000 description 1
- 238000012544 monitoring process Methods 0.000 description 1
- 239000004575 stone Substances 0.000 description 1
Landscapes
- Length Measuring Devices By Optical Means (AREA)
- Testing Of Optical Devices Or Fibers (AREA)
- Mechanical Coupling Of Light Guides (AREA)
Abstract
Description
この発明は、光ファイバの端部に結合されるコネクタの
不完全性を検査する方法に関する。The present invention relates to a method of inspecting connectors coupled to the ends of optical fibers for imperfections.
光ファイバはコネクタを介して他の光ファイバや機器と
接続されるため、コネクタの完全性が重要である。その
ため、光ファイバコネクタのフェルールの不完全性を検
査する方法が、たとえば特開昭58−31858号公報
などにより提案されている。
この従来の検査方法は、フェルールを■溝ブロックによ
り正確に保持し、光ファイバを伝播した光をこのフェル
ールの端面から出射しスクリーンに投影させながらフェ
ルールを回転させて円軌跡を描かせ、その半径を求める
ことにより、フェルールの機械的中心軸に対する光ファ
イバの角度αを測定するというものである。すなわち、
第3図に示すように円筒形のフェルール2の中心孔に光
ファイバ1が挿入されて接着剤3により固定されている
場合、光ファイバ1の中心軸がフェルール2の機械的中
心軸に対して角度αだけ傾いているとすると、このフェ
ルール2をその中心軸を回転中心軸として回転させれば
、光ファイバ1からの出射光のスクリーンへの投影像は
円軌跡を描く。
そしてこの円軌跡の半径は角度αに対応している。
そこでこの円軌跡の半径を測定することにより、この角
度αを求めることができる。Since optical fibers are connected to other optical fibers and equipment through connectors, the integrity of the connectors is important. Therefore, a method of inspecting the imperfection of a ferrule of an optical fiber connector has been proposed, for example, in Japanese Patent Laid-Open No. 58-31858. In this conventional inspection method, the ferrule is accurately held by a groove block, and the light that has propagated through the optical fiber is emitted from the end face of the ferrule and projected onto a screen, while the ferrule is rotated to draw a circular trajectory. By determining , the angle α of the optical fiber with respect to the mechanical center axis of the ferrule is measured. That is,
As shown in FIG. 3, when the optical fiber 1 is inserted into the center hole of the cylindrical ferrule 2 and fixed with adhesive 3, the center axis of the optical fiber 1 is relative to the mechanical center axis of the ferrule 2. Assuming that the ferrule 2 is tilted by an angle α, if the ferrule 2 is rotated about its central axis, the projected image of the light emitted from the optical fiber 1 onto the screen will draw a circular locus. The radius of this circular locus corresponds to the angle α. Therefore, by measuring the radius of this circular locus, this angle α can be determined.
しかしながら、上記の従来の検査法では、投影像の回転
半径が必ずしも角度αのみに依存するものでないことか
ら不十分さが残るという問題がある。たとえば第4図の
ようにフェルール2の端面が光ファイバ1の端面ととも
に角度βだけ傾斜していたとしよう。このときフェルー
ル2の中心軸に対する光ファイバ1の角度αがOであっ
ても、端面に対する入射角度はβとなって直角ではない
ため、Snellの法則により屈折することになるので
、出射光は角度εの方向となる(nsinβ・sinε
、nは光ファイバ1中の屈折率)。
この発明は、光ファイバの角度と端面の傾斜角度とをそ
れぞれ分けて測定することのできる、光ファイバコネク
タ検査法を提供することを目的とする。However, the above-mentioned conventional inspection method has a problem that it remains insufficient because the radius of rotation of the projected image does not necessarily depend only on the angle α. For example, suppose that the end face of the ferrule 2 is inclined at an angle β together with the end face of the optical fiber 1 as shown in FIG. At this time, even if the angle α of the optical fiber 1 with respect to the central axis of the ferrule 2 is O, the incident angle with respect to the end face is β, which is not a right angle, so it will be refracted according to Snell's law, so the emitted light will change at an angle direction of ε (nsinβ・sinε
, n is the refractive index in the optical fiber 1). An object of the present invention is to provide an optical fiber connector inspection method that can separately measure the angle of the optical fiber and the angle of inclination of the end face.
この発明の光ファイバコネクタ検査法は、フェルールの
機械的中心軸がスクリーンと直角となるようにフェルー
ル及びスクリーンを配置し、上記のフェルール中心軸と
平行な光を光ファイバ端面に照射してその端面での反射
光をスクリーン上に投影し、その投影位置を測定し、該
光ファイバを通って伝播してきた光を上記端面がら出射
させて出射光を上記スクリーン上に投影し、その投影位
置を測定し、既知の端面がらスクリーンまでの距離と既
知のフェルール機械的中心軸の上記スクリーン上の位置
と上記の測定した2つの投影位置とにより、Snell
の法則を用いてフェルールの機械的中心軸に対する光フ
ァイバの中心軸の方向及び角度と端面の傾斜方向及び角
度とを計算するようにしたことを特徴とする。In the optical fiber connector inspection method of the present invention, a ferrule and a screen are arranged so that the mechanical center axis of the ferrule is perpendicular to the screen, and the end surface of the optical fiber is irradiated with light parallel to the ferrule center axis. Project the reflected light onto the screen and measure its projection position, emit the light that has propagated through the optical fiber from the end face, project the emitted light onto the screen, and measure its projection position. Then, by using the known distance from the end face to the screen, the known position of the ferrule mechanical center axis on the screen, and the two measured projection positions,
The present invention is characterized in that the direction and angle of the central axis of the optical fiber with respect to the mechanical central axis of the ferrule and the inclination direction and angle of the end face are calculated using the following law.
フェルールの機械的中心軸は種々の方法により求めるこ
とができる。そこで、スクリーンからフェルール端面ま
での距離が所定の距離となり、且つスクリーンに対しフ
ェルール中心軸が直角になるようにフェルールを置き、
上記の中心軸に平行な光を光ファイバ端面に照射し、そ
の反射光をスクリーン上に投影させる。この投影位置を
測定すれば、端面からスクリーンまでの距離は既知であ
るため、端面の傾斜方向及び角度を計算できる。
またフェルールの端面に位置している光ファイバの端面
から、この光ファイバを伝播してきた光を出射させると
、その出射方向は光ファイバ自体の傾きに依存している
とともに、Snellの法則により屈折するので端面の
傾きにも依存することになる。そこで、この出射光のス
クリーンへの投影位置を測定すれば、上記のように端面
の傾斜方向及び角度が算出済みであるため、これを用い
てSnellの法則に基づき、光ファイバ自体の角度を
計算することができる。The mechanical center axis of the ferrule can be determined by various methods. Therefore, the ferrule is placed so that the distance from the screen to the end face of the ferrule is a predetermined distance, and the center axis of the ferrule is perpendicular to the screen.
Light parallel to the central axis is irradiated onto the end face of the optical fiber, and the reflected light is projected onto a screen. By measuring this projection position, since the distance from the end face to the screen is known, the inclination direction and angle of the end face can be calculated. Furthermore, when the light that has propagated through the optical fiber is emitted from the end face of the optical fiber located at the end face of the ferrule, the direction of the light emitted depends on the inclination of the optical fiber itself and is refracted according to Snell's law. Therefore, it also depends on the inclination of the end face. Therefore, by measuring the projection position of this emitted light onto the screen, the inclination direction and angle of the end face have already been calculated as described above, and using this, the angle of the optical fiber itself can be calculated based on Snell's law. can do.
この発明の一実施例では、第1図に示すように光ファイ
バ1が固定されたフェルール2をV溝ブロック4により
保持して測定を行うが、これに先立って、■溝ブロック
4のV溝をスクリーン6に対して正確に直角に保つため
の調整を行う。そのため、この■溝に端面の直角度が正
確な、フェルール2とほぼ同径の基準ゲージを配置する
。そして、光源7から光を出射させ、シャッター8を開
いてその光をレンズ9で集束し、ハーフミラ−10で反
射させて基準ゲージの端面に照射する。すると、基準ゲ
ージの端面で反射した光がハーフミラ−10を通ってス
クリーン6上に投射される。
この状態で、基準ゲージをV溝内で回転させ、スクリー
ン6に投影した像が回転しないように、ステージ5を調
整する。このステージ5はV溝ブロック4を保持するも
ので、X、Y、Zの各方向に移動可能であるとともに、
あおり機構を備えていて自在な方向に傾斜することがで
きるようにされている。このステージ5の調整により、
投影像が回転しなくなったとき、■溝をスクリーン6に
対して直角に保つことができる。このときの投影像の位
置をX−Y座標での原点とする。なお、ハーフミラ−1
0で反射した光がスクリーン6に対して直角に向かうよ
うにあらかじめ調整されているものとする。
つぎにハーフミラ−10で反射した光を照射したまま、
被検査フェルール2を■溝に配置してフェルール2の端
面から光、ファイバ1に光を入射する。そして光ファイ
バ1を伝播した光をスイッチ11によりパワーメーター
13に導き、このパワーメーター13を観察しながらそ
の読みが最大になるようにステージ5の位置をX、Y、
Z方向に移動させる。これにより、ハーフミラ−10を
経て照射している光のビームスポットが光ファイバ1の
コアに当たるようになる。このとき、光ファイバ1の端
面で反射した光がスクリーン6に投影して作る像の位置
(Xl、Yt)を測定しておく。
その後、シャッター8を閉じるとともに、スイッチ11
を切り換えて光源12からの光が光ファイバ1に入射し
て伝播されるようにする。この光ファイバ1を伝播した
光はフェルール2の端面より出射し、ハーフミラ−10
を通ってスクリーン6上に投射される。そこで、この投
射像の位置(X2、Y 2 )を測定する。
つぎにこれらの測定値X1、Yl、X2、Y2を用いて
以下の計算を行う。ここで、フェルール2の端面からス
クリーン6までの距離はあらかじめ測定されていてその
距離がしてあるとする。第2図に示すように、フェルー
ル2の機械的中心軸の方向余弦を(ar、C2、C3)
、端面法線の方向余弦を(br、 bz、b3)、出射
光の方向余弦を(CI、C2、C3)とすれば、
al=a2=Q、C3=1、
b 1= X 1/ L + X 1+ Y 1b2
=Yt/r石TツX〒弓菖ど戸
cz=Yz/ L +X2 +Y2
c3−L / L + 2 +Y2と表すことがで
きる。フェルール2の中心軸に対する端面の傾きβにつ
いては、
β=cos−1(alb1+a2b2+a3b3)の関
係が成立するので、これにより端面の傾きβを求めるこ
とができる。
つぎにフェルール2の中心軸と光ファイバ1の中心軸と
のなす角度αについて計算を行う。まず、端面法線と出
射光の間の角度をδとすると、このδは、
δ=cos−’ (b 1c 1+ b 2C2+ b
3C3)で求めることができる。光ファイバ1の中心
軸の方向余弦を(dl、C2、dx)とすれば、Sne
llの法則により、
7 =sin”((sinδ)/n)
但しγは端面に対する光の入射角度
が成立し、
ci=n(di−bi cos7)+bi 1−n
1−cos 71=1.2.3
の関係により光ファイバ1の中心軸の方向余弦di(C
4,2,3)を求める。こうして光ファイバ1の中心a
=cos−’ (a1dl+a2d2+a3d3)の計
算によって求めることができる。
なお、スイッチ11、シャッター8をコンピュータ制御
し、パワーメーター13の出力によってステージ5の調
整を自動的に行い、スクリーン6上の投影像の位置を位
置測定装置によって読み取ることにより、上記の操作を
全て自動的に行い、その後上記の計算を自動的に実行す
ることもできる。
また、レンズ9の焦点距離を選んでスポット径を光ファ
イバ1のコア径またはビームフィールド径とし、光源7
からの光をハーフミラ−10で反射して光ファイバ1に
入射し、その伝播光の強度をパワーメーター13でモニ
タし、被検査フェルール2を回転させてその測定値の変
化を測定することにより、コアの偏心量の測定を行うこ
とも可能である(スポット径は、無収差レンズの場合、
fを焦点距離、Dをビーム径、^を波長として、0.6
1X (f/D)^で与えられる)。In one embodiment of the invention, as shown in FIG. 1, the ferrule 2 to which the optical fiber 1 is fixed is held by the V-groove block 4 for measurement. Adjustments are made to keep the angle accurately perpendicular to the screen 6. Therefore, a reference gauge with an accurate end face perpendicularity and approximately the same diameter as the ferrule 2 is placed in this groove. Then, light is emitted from the light source 7, the shutter 8 is opened, the light is focused by the lens 9, and is reflected by the half mirror 10 to illuminate the end face of the reference gauge. Then, the light reflected by the end face of the reference gauge passes through the half mirror 10 and is projected onto the screen 6. In this state, the reference gauge is rotated within the V-groove, and the stage 5 is adjusted so that the image projected onto the screen 6 does not rotate. This stage 5 holds the V-groove block 4, and is movable in each direction of X, Y, and Z.
It is equipped with a tilting mechanism so that it can be tilted in any direction. With this stage 5 adjustment,
When the projected image stops rotating, the grooves can be kept perpendicular to the screen 6. The position of the projected image at this time is defined as the origin on the X-Y coordinates. In addition, half mirror 1
It is assumed that the light reflected at 0 is adjusted in advance so that it goes perpendicular to the screen 6. Next, while irradiating the light reflected by half mirror 10,
The ferrule 2 to be inspected is placed in the groove 2, and light is incident on the fiber 1 from the end face of the ferrule 2. Then, the light propagated through the optical fiber 1 is guided to the power meter 13 by the switch 11, and while observing the power meter 13, the position of the stage 5 is adjusted in X, Y, etc. so that the reading becomes maximum.
Move in the Z direction. Thereby, the beam spot of the light irradiated through the half mirror 10 comes to hit the core of the optical fiber 1. At this time, the position (Xl, Yt) of the image formed by the light reflected by the end face of the optical fiber 1 projected onto the screen 6 is measured. After that, the shutter 8 is closed, and the switch 11 is closed.
is switched so that the light from the light source 12 enters the optical fiber 1 and is propagated. The light propagated through the optical fiber 1 is emitted from the end face of the ferrule 2, and is emitted from the half mirror 10.
and is projected onto the screen 6. Therefore, the position (X2, Y 2 ) of this projected image is measured. Next, the following calculations are performed using these measured values X1, Yl, X2, and Y2. Here, it is assumed that the distance from the end face of the ferrule 2 to the screen 6 has been measured in advance. As shown in Figure 2, the direction cosine of the mechanical center axis of ferrule 2 is (ar, C2, C3).
, if the direction cosine of the end face normal is (br, bz, b3) and the direction cosine of the emitted light is (CI, C2, C3), then al=a2=Q, C3=1, b 1=X 1/L + X 1+ Y 1b2
It can be expressed as =Yt/r stone Ttsu Regarding the inclination β of the end face with respect to the central axis of the ferrule 2, the relationship β=cos−1(alb1+a2b2+a3b3) holds, so that the inclination β of the end face can be determined from this. Next, the angle α between the central axis of the ferrule 2 and the central axis of the optical fiber 1 is calculated. First, if the angle between the end face normal and the emitted light is δ, then δ=cos-' (b 1c 1+ b 2C2+ b
3C3). If the direction cosine of the central axis of the optical fiber 1 is (dl, C2, dx), then Sne
According to ll's law, 7 = sin'' ((sin δ)/n), where γ is the angle of incidence of light on the end surface, and ci = n (di-bi cos7) + bi 1-n
1-cos 71=1.2.3, the direction cosine di(C
4, 2, 3). In this way, the center a of the optical fiber 1
=cos-' (a1dl+a2d2+a3d3). All of the above operations can be performed by controlling the switch 11 and shutter 8 by computer, automatically adjusting the stage 5 based on the output of the power meter 13, and reading the position of the projected image on the screen 6 using a position measuring device. It is also possible to do this automatically and then perform the above calculations automatically. In addition, the focal length of the lens 9 is selected to set the spot diameter to the core diameter or beam field diameter of the optical fiber 1, and the light source 7
By reflecting the light from the half mirror 10 and entering the optical fiber 1, monitoring the intensity of the propagated light with the power meter 13, and measuring the change in the measured value by rotating the ferrule 2 to be inspected, It is also possible to measure the amount of eccentricity of the core (the spot diameter is, in the case of an aberration-free lens,
where f is the focal length, D is the beam diameter, and ^ is the wavelength, 0.6
1X (f/D)^).
この発明の光ファイバコネクタ検査法によれは、光ファ
イバ自体の傾斜と端面の傾斜とを分けて検査することが
できる。しかも簡単に検査でき、自動測定も可能である
。また投影像に回折縞やダークライン等の不整があるか
どうかを観察することにより光ファイバの断線をも容易
にチェックできる。さらに若干の機構の付加により光フ
ァイバの偏心の測定もできる。According to the optical fiber connector inspection method of the present invention, the inclination of the optical fiber itself and the inclination of the end face can be inspected separately. Moreover, it can be easily inspected and can be automatically measured. Furthermore, by observing whether there are irregularities such as diffraction fringes or dark lines in the projected image, it is possible to easily check for breaks in the optical fiber. Furthermore, by adding some mechanisms, it is also possible to measure the eccentricity of optical fibers.
第1図はこの発明の一実施例の模式的な斜視図、第2図
は端面における光の方向を説明するための模式図、第3
図は従来例を説明するための断面図、第4図は端面が傾
斜しているときの光の経路を説明するための模式図であ
る。
1・・・光ファイバ、2・・・フェルール、3・・・接
着剤、4・・・V溝ブロック、5・・・ステージ、6・
・・スクリーン、7.12・・・光源、8・・・シャッ
ター、9・・・レンズ、10・・・ハーフミラ−111
・・・スイッチ、13・・・パワーメーター。FIG. 1 is a schematic perspective view of one embodiment of the present invention, FIG. 2 is a schematic diagram for explaining the direction of light at the end face, and FIG.
The figure is a sectional view for explaining a conventional example, and FIG. 4 is a schematic diagram for explaining the path of light when the end face is inclined. DESCRIPTION OF SYMBOLS 1... Optical fiber, 2... Ferrule, 3... Adhesive, 4... V groove block, 5... Stage, 6...
...Screen, 7.12...Light source, 8...Shutter, 9...Lens, 10...Half mirror-111
...Switch, 13...Power meter.
Claims (1)
なるようにフェルール及びスクリーンを配置し、上記の
フェルール中心軸と平行な光を光ファイバ端面に照射し
てその端面での反射光をスクリーン上に投影し、その投
影位置を測定し、該光ファイバを通って伝播してきた光
を上記端面から出射させて出射光を上記スクリーン上に
投影し、その投影位置を測定し、既知の端面からスクリ
ーンまでの距離と既知のフェルール機械的中心軸の上記
スクリーン上の位置と上記の測定した2つの投影位置と
により、Snellの法則を用いてフェルールの機械的
中心軸に対する光ファイバの中心軸の方向及び角度と端
面の傾斜方向及び角度とを計算するようにしたことを特
徴とする光ファイバコネクタ検査法。(1) Arrange the ferrule and screen so that the mechanical center axis of the ferrule is perpendicular to the screen, irradiate the optical fiber end face with light parallel to the ferrule center axis, and reflect the light from the end face onto the screen. The light propagated through the optical fiber is emitted from the end face, the emitted light is projected onto the screen, the projected position is measured, and the light propagated through the optical fiber is projected onto the screen from the known end face. Using Snell's law, the direction of the optical fiber's central axis relative to the ferrule's mechanical central axis and the known position of the ferrule's mechanical central axis on the screen and the two measured projection positions are determined. An optical fiber connector inspection method characterized by calculating an angle, an inclination direction and an angle of an end face.
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP31542986A JPS63168529A (en) | 1986-12-29 | 1986-12-29 | Inspection of optical fiber connector |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP31542986A JPS63168529A (en) | 1986-12-29 | 1986-12-29 | Inspection of optical fiber connector |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPS63168529A true JPS63168529A (en) | 1988-07-12 |
Family
ID=18065268
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP31542986A Pending JPS63168529A (en) | 1986-12-29 | 1986-12-29 | Inspection of optical fiber connector |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JPS63168529A (en) |
Cited By (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2008102051A (en) * | 2006-10-20 | 2008-05-01 | Fujinon Corp | Interferometer angle sensitivity calibration method |
WO2016098419A1 (en) * | 2014-12-15 | 2016-06-23 | オリンパス株式会社 | Connector pair, method for manufacturing connector pair, and endoscope |
CN105928685A (en) * | 2016-03-24 | 2016-09-07 | 苏州伽蓝致远电子科技股份有限公司 | Optical switch operation collimator test platform |
-
1986
- 1986-12-29 JP JP31542986A patent/JPS63168529A/en active Pending
Cited By (6)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2008102051A (en) * | 2006-10-20 | 2008-05-01 | Fujinon Corp | Interferometer angle sensitivity calibration method |
WO2016098419A1 (en) * | 2014-12-15 | 2016-06-23 | オリンパス株式会社 | Connector pair, method for manufacturing connector pair, and endoscope |
JP6076554B2 (en) * | 2014-12-15 | 2017-02-08 | オリンパス株式会社 | A set of connectors, a flange, a method of manufacturing a set of connectors, and an endoscope |
JPWO2016098419A1 (en) * | 2014-12-15 | 2017-04-27 | オリンパス株式会社 | A set of connectors, a flange, a method of manufacturing a set of connectors, and an endoscope |
CN105928685A (en) * | 2016-03-24 | 2016-09-07 | 苏州伽蓝致远电子科技股份有限公司 | Optical switch operation collimator test platform |
CN105928685B (en) * | 2016-03-24 | 2018-07-20 | 苏州伽蓝致远电子科技股份有限公司 | A kind of photoswitch operation collimator test platform |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
US6937333B2 (en) | Apparatus for measuring film thickness formed on object, apparatus and method of measuring spectral reflectance of object, and apparatus and method of inspecting foreign material on object | |
US6636308B1 (en) | Apparatus for measuring characteristics of optical angle | |
CN109358435B (en) | Device and method for adjusting perpendicularity of double telecentric lenses | |
US5309214A (en) | Method for measuring distributed dispersion of gradient-index optical elements and optical system to be used for carrying out the method | |
US5416574A (en) | Automated optical measurement apparatus | |
US6947149B2 (en) | Method of assisting sample inclination error adjustment | |
JPS63168529A (en) | Inspection of optical fiber connector | |
JP3078133B2 (en) | Method for inspecting alignment state of optical waveguide and optical waveguide | |
US6873412B2 (en) | Method and device for suppressing multiple scattering when examining turbid media by means of three-dimensional cross-correlation technique | |
EP0128183A1 (en) | Inspection apparatus and method. | |
JP2960905B2 (en) | Apparatus for measuring flying height and azimuth of magnetic head with respect to transparent medium based on leaky total internal reflection | |
JP4136911B2 (en) | Infrared microscope and measuring position determination method thereof | |
JPH06222013A (en) | Optical inspecting device for surface | |
JPS60209106A (en) | Flatness inspecting device | |
JPS60142204A (en) | Dimension measuring method of object | |
JPH01235807A (en) | Depth measuring instrument | |
Honda et al. | Holographic Rapid Error Detection Of Precise Gear Surfaces. | |
JP3219494B2 (en) | End face shape measuring device for obliquely polished optical connector ferrule and method for measuring end face shape of obliquely polished optical connector ferrule | |
JP3829663B2 (en) | Spectrophotometer | |
JP2666495B2 (en) | Refractive index distribution measuring method and refractive index distribution measuring device | |
CA1295476C (en) | Method and apparatus of measuring outer diameter and structure of optical fiber | |
US20100118308A1 (en) | Composite Optical Focusing Devices | |
JPH02290536A (en) | Microspectral measuring instrument | |
SU1758422A1 (en) | Method of checking curvature radius of second-degree optic surfaces | |
JPH11295212A (en) | Surface inspection apparatus |