JPS63165750U - - Google Patents
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- Publication number
- JPS63165750U JPS63165750U JP5877587U JP5877587U JPS63165750U JP S63165750 U JPS63165750 U JP S63165750U JP 5877587 U JP5877587 U JP 5877587U JP 5877587 U JP5877587 U JP 5877587U JP S63165750 U JPS63165750 U JP S63165750U
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- extraction electrode
- electrode
- ion beam
- drawer
- slit
- Prior art date
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- Granted
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- Electron Sources, Ion Sources (AREA)
Description
第１図は本考案の実施例の縦断面図、第２図は
第１図のＸ―Ｘ断面図、第３図は第１図の変形例
、第４図は従来例の縦断面図、第５図は第４図の
Ｙ〜Ｙ断面図を示す。 １……アークチヤンバー、２……引き出しスリ
ツト、３……引き出し電極、４……接地電極、５
……フイラメント。
第１図のＸ―Ｘ断面図、第３図は第１図の変形例
、第４図は従来例の縦断面図、第５図は第４図の
Ｙ〜Ｙ断面図を示す。 １……アークチヤンバー、２……引き出しスリ
ツト、３……引き出し電極、４……接地電極、５
……フイラメント。
Claims (1)
- 【実用新案登録請求の範囲】 アノードを兼ねたアークチヤンバー、該アーク
チヤンバーの側壁に設けた引き出しスリツト、該
引き出しスリツトの近傍に設けたフイラメントな
どからなるイオン源系の前面部と、 該引き出しスリツトの前面に設けられた引き出
し電極、該引き出し電極の前面に設けられた接地
電極からなる引き出し電極系と、 を備えた３電極型イオンビーム発生装置において
、 前記引き出し電極をドーム状に形成し、該引き
出し電極のイオンビーム通過部肉厚を薄くすると
ともに、前記接地電極を該引き出し電極へ突出さ
せ、その突出部を該引き出し電極のドーム状内部
に入れるようにしたイオンビーム発生装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1987058775U JPH0353402Y2 (ja) | 1987-04-20 | 1987-04-20 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1987058775U JPH0353402Y2 (ja) | 1987-04-20 | 1987-04-20 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS63165750U true JPS63165750U (ja) | 1988-10-28 |
| JPH0353402Y2 JPH0353402Y2 (ja) | 1991-11-21 |
Family
ID=30889648
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP1987058775U Expired JPH0353402Y2 (ja) | 1987-04-20 | 1987-04-20 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0353402Y2 (ja) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2007523444A (ja) * | 2003-10-17 | 2007-08-16 | エフ・イ−・アイ・カンパニー | 帯電粒子抽出デバイスおよびその設計方法 |
| JP2016081753A (ja) * | 2014-10-17 | 2016-05-16 | 住友重機械イオンテクノロジー株式会社 | ビーム引出スリット構造及びイオン源 |
Families Citing this family (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP6076838B2 (ja) | 2013-05-31 | 2017-02-08 | 住友重機械イオンテクノロジー株式会社 | 絶縁構造及び絶縁方法 |
-
1987
- 1987-04-20 JP JP1987058775U patent/JPH0353402Y2/ja not_active Expired
Non-Patent Citations (1)
| Title |
|---|
| PROCEEDINGS OF THE INTERNATIONAL ION ENGINEERING CONGRESS=1983 * |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2007523444A (ja) * | 2003-10-17 | 2007-08-16 | エフ・イ−・アイ・カンパニー | 帯電粒子抽出デバイスおよびその設計方法 |
| JP2016081753A (ja) * | 2014-10-17 | 2016-05-16 | 住友重機械イオンテクノロジー株式会社 | ビーム引出スリット構造及びイオン源 |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH0353402Y2 (ja) | 1991-11-21 |