[go: up one dir, main page]

JPS63145933A - Electric measurement - Google Patents

Electric measurement

Info

Publication number
JPS63145933A
JPS63145933A JP29289686A JP29289686A JPS63145933A JP S63145933 A JPS63145933 A JP S63145933A JP 29289686 A JP29289686 A JP 29289686A JP 29289686 A JP29289686 A JP 29289686A JP S63145933 A JPS63145933 A JP S63145933A
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
measured
pressure
fluid
primary winding
electromotive force
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Pending
Application number
JP29289686A
Other languages
Japanese (ja)
Inventor
Seiichi Ishibashi
石橋 誠一
Yuji Kanzaki
神崎 勇二
Mitsuo Naito
内藤 光雄
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Individual
Original Assignee
Individual
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Individual filed Critical Individual
Priority to JP29289686A priority Critical patent/JPS63145933A/en
Publication of JPS63145933A publication Critical patent/JPS63145933A/en
Pending legal-status Critical Current

Links

Landscapes

  • Measuring Fluid Pressure (AREA)

Abstract

PURPOSE:To measure quantity to be measured by means of a simple construction, by arranging primary windings near shape-changed parts of a magnetic fluid in a container to detect changes in the shape of the magnetic fluid in the container depending on changes in an electromotive force induced in secondary windings. CONSTITUTION:A magnetic fluid 2 is put into a U-shaped communicating tube 1 and primary windings P and P' are arranged near a reference fluid face of both the rises thereof while secondary windings S and S' at the end of the communicating tube 1 side by side along the axis lines of the primary windings P and P'. AC current flows through the primary windings P and P' and a differential potential is detected between an induced electromotive force generated in the secondary winding S and that generated in the secondary winding S' both by a magnetic flux generated. This enables electrical measurement of pressure as quantity to be measured by means of a handy construction.

Description

【発明の詳細な説明】 〔産業上の利用分野〕 本発明は、測定対象量、特に傾斜、加速度、回転速度、
差圧、圧力、液面位、流量などの電気的測定方法に関す
る。
[Detailed Description of the Invention] [Industrial Field of Application] The present invention is applicable to measurement target quantities, particularly inclination, acceleration, rotational speed,
Related to electrical measurement methods such as differential pressure, pressure, liquid level, flow rate, etc.

〔従来の技術〕[Conventional technology]

連通管、たとえば0字管は差圧、圧力、液面位、流量な
どの基本的測定器として古くから広く用いられている。
Communication pipes, such as 0-shaped pipes, have been widely used since ancient times as basic measuring instruments for differential pressure, pressure, liquid level, flow rate, and the like.

従来、その両脚の流体面の高さの差を電気的信号に変換
するためには、流体面にフロートを浮かべておき、フロ
ートの変位をランクおよびピニオン機構ならびに磁気結
合装置を介して管の外部における回転変位に変換した上
で、なんらかの適当な回転変位−電気信号変換器により
電気信号に変換する方法、または流体面に鉄から成るフ
ロートを浮かべておき、その変位を電磁誘導作用により
管の外部で電気的に検出する方法などが採用されてきた
Conventionally, in order to convert the difference in the height of the fluid surface between the two legs into an electrical signal, a float is floated on the fluid surface, and the displacement of the float is transmitted to the outside of the tube via a rank and pinion mechanism and a magnetic coupling device. There is a method of converting the rotational displacement into an electrical signal using some suitable rotational displacement-electrical signal converter, or floating a float made of iron on the fluid surface and converting the displacement to the outside of the pipe by electromagnetic induction. Electrical detection methods have been adopted.

容器のなかの流体の面が水平加速度により後出の式(1
)に従って傾斜することは周知のとおりであるが、その
傾斜を電気的信号に変換することは従来は容易でなかっ
た。
Due to horizontal acceleration, the surface of the fluid in the container is expressed by the following equation (1
), but it has not been easy to convert this slope into an electrical signal.

円筒容器のなかの流体が、容器の鉛直軸の回りの回転に
より後出の式(2)および式(3)に従って回転放物面
となることは周知のとおりである。しかし、それを電気
的信号に変換することは従来は容易でなかった。そのた
めに、従来は人手により回転放物面の上昇の高さを読み
取る必要があった・ ダイアフラムを用いた差圧測定セルによる差圧測定の場
合には、測定ダイアプラムの微、小偏位をストレンゲー
ジにより電気抵抗の変化に変換する方法、測定ダイアフ
ラムに取り付けた(可動の)電極とそれに対向する固定
電極との間の差動的なキャパシタンスの変化に変換する
方法などが採用されている。これらの方法により得られ
る電気的信号は微小であり、一層大きな電気的信号を直
接的に得ることができれば有利である。
It is well known that the fluid in a cylindrical container becomes a paraboloid of rotation according to equations (2) and (3) below due to rotation around the vertical axis of the container. However, converting it into an electrical signal has not been easy in the past. For this purpose, it was previously necessary to manually read the height of the rise of the paraboloid of revolution. When measuring differential pressure using a differential pressure measurement cell using a diaphragm, it is necessary to manually measure the height of the rise of the paraboloid of revolution. Methods that have been adopted include converting it into a change in electrical resistance using a gauge, and converting it into a change in differential capacitance between a (movable) electrode attached to a measuring diaphragm and a fixed electrode facing it. The electrical signals obtained by these methods are minute, and it would be advantageous if larger electrical signals could be obtained directly.

磁性流体の応用は軸受のシール、金属の浮遊選別、振動
ダンパーなどに開発の重点がおかれており、磁性流体の
形状変化が自由であるという特徴を活かした測定方法の
開発は端緒についたばかりの段階である。
The development of applications for magnetic fluids has focused on bearing seals, metal flotation sorting, vibration dampers, etc., and the development of measurement methods that take advantage of the ability of magnetic fluids to change shape freely has only just begun. It is a stage.

〔発明が解決しようとする問題点〕[Problem that the invention seeks to solve]

本発明の目的は、傾斜、加速度、回転速度、差圧、圧力
、液面位、流量などの電気的測定方法であって、構造お
よび回路が簡単であり、出力電圧が大きく、従ってまた
以後の処理が容易であり、経済性に優れている等々の特
徴を有する測定装置の実現を可能にすることである。
The object of the present invention is to provide an electrical measuring method for inclination, acceleration, rotational speed, differential pressure, pressure, liquid level, flow rate, etc., which has a simple structure and circuit, has a large output voltage, and can be used in the future. The object of the present invention is to make it possible to realize a measuring device that is easy to process and has excellent economical efficiency.

〔問題点を解決するための手段〕[Means for solving problems]

この目的は、本発明によれば、測定対象量による容器内
の磁性流体の形状変化を、前記磁性流体の形状変化部分
の付近に配置されており交流により励磁される一次巻線
から、前記一次巻線の付近に配置されている二次巻線に
誘導される起電力の変化により検出することによって、
測定対象量を測定することにより達成される。
According to the present invention, the purpose of this is to detect the shape change of the magnetic fluid in the container due to the quantity to be measured from the primary winding, which is arranged near the shape changing part of the magnetic fluid and is excited by alternating current. By detecting changes in the electromotive force induced in the secondary winding placed near the winding,
This is achieved by measuring the quantity to be measured.

本発明の好ましい実施態様は特許請求の範囲第2項ない
し第19項に示されている。
Preferred embodiments of the invention are set out in claims 2 to 19.

〔発明の効果〕〔Effect of the invention〕

本発明の電気的測定方法によれば、構造および回路が簡
単であり、出力電圧が太き(、従ってまた以後の処理が
容易であり、経済性に優れている等々の特徴を有する測
定装置が得られる。
According to the electrical measuring method of the present invention, a measuring device having features such as a simple structure and circuit, a large output voltage (therefore, subsequent processing is easy, and is excellent in economical efficiency) can be obtained. can get.

〔実施例〕〔Example〕

以下、図面に示されている実施例により本発明を一層詳
細に説明する。図面を通じて、相応する要素には同一の
参照符号が付されている。
The invention will be explained in more detail below by means of embodiments shown in the drawings. Corresponding elements are provided with the same reference symbols throughout the drawings.

磁性流体は、鉄心にくらべて透磁率は小さいが、形状変
化が自由であるという特徴を有する。透磁率が小さいこ
とは、以下に説明するような機械的量の検出の感度を小
さくするが、本願出願人の実験によれば、磁性流体を用
いる場合の感度は鉄心を用いる場合の感度の少なくとも
17%であり、以後の処理になんら支障を来さない。な
お、磁性流体はヒステリシスを生ぜず、また渦電流が、
本願出願人の実験によれば、問題とならないという特徴
をも有する。
A magnetic fluid has a lower magnetic permeability than an iron core, but has the characteristic of being free to change shape. A small magnetic permeability reduces the sensitivity of detecting mechanical quantities as explained below, but according to the applicant's experiments, the sensitivity when using a magnetic fluid is at least as high as the sensitivity when using an iron core. It is 17% and does not cause any trouble in subsequent processing. Note that magnetic fluid does not produce hysteresis, and eddy currents
According to the applicant's experiments, this also has the characteristic that it does not pose a problem.

以下に説明するいくつかの実施例においては、鉄心に相
当する磁性流体が巻線の一端を越えて長く延びている点
で、従来公知の差動変圧器と基本的に相違している。第
1図は、軸線方向に並び合って一次巻線の両側に二次巻
線が配置されている場合(以下では3段型と呼ぶ)の磁
性流体の先端位置と二次巻線の誘導起電力との間の関係
を示すグラフである。V、は第1図で左側の二次巻線の
誘導起電力を示し、vs′は第1図で右側の二次巻線の
誘導起電力を示し、Vs()はVSとVS′との差電圧
を示し、またVs  (+)ばV、とy 、 Jとの和
電圧を示す。また第2図は、一次巻線に対して半径方向
に重なり合って二次巻線が配置されている場合(以下で
は2段型と呼ぶ)の磁性流体の先端位置と二次巻線の誘
導起電力との間の関係を示すグラフである。vsは第2
図で左側の二次巻線の誘導起電力を示し、v、lは第2
図で右側の二次巻線の誘導起電力を示し、Vs()はV
、とvs′との差電圧を示す。3段型における第1図か
ら、1つの二次巻線の誘導起電力を利用する場合にくら
べて2つの二次巻線の誘導起電力の差を利用する場合に
は、単調関数的な範囲はやや狭くなるが、直線性が改善
され、かつベース分が小さい(最大/最小比が大きい)
点で有利であることがわかる。また、1つの二次巻線の
誘導起電力を利用する場合にくらべて2つの二次巻線の
誘導起電力の和を利用する場合には、単調関数的な範囲
が広くなり、直線性も改善されるが、ベース分が大きい
ことは1つの二次巻線の誘導起電力を利用する場合と同
様である。3段型を2¥!jt型と比較すると、3段型
のほうが直線性を得られる範囲は広いが、特性曲線の傾
斜は緩い、すなわち感度は低いことがわかる。(なお、
後出の第10図かられかるように、一次巻線により生ず
る磁束が二次巻線と有効に鎖交する割合が、3段型では
2段型にくらべて約1/3であるから、一次巻線の励磁
アンペアターンを同一とした場合の感度の点では、2段
型は3段型にくらべてはるかに優れていると言える。) 次に本発明の第1の実施例として、連通管、たとえば0
字管の両脚の流体面の差を検出する場合を説明する。こ
の場合、両脚の検出領域に、おける管の断面積が実質的
に等しいことは有利である。
Some of the embodiments described below differ fundamentally from previously known differential transformers in that the magnetic fluid corresponding to the core extends beyond one end of the winding. Figure 1 shows the tip position of the magnetic fluid and the induced induction of the secondary winding when the secondary windings are arranged in the axial direction on both sides of the primary winding (hereinafter referred to as a three-stage type). It is a graph showing the relationship between power and electric power. V, indicates the induced electromotive force in the left secondary winding in Figure 1, vs' indicates the induced electromotive force in the right secondary winding in Figure 1, and Vs() is the difference between VS and VS'. It shows the difference voltage, and Vs (+) shows the sum voltage of V, y, and J. Figure 2 also shows the tip position of the magnetic fluid and the induced effect of the secondary winding when the secondary winding is arranged radially overlapping the primary winding (hereinafter referred to as a two-stage type). It is a graph showing the relationship between power and electric power. vs is second
In the figure, the induced electromotive force of the left secondary winding is shown, and v and l are the second
The figure shows the induced electromotive force in the secondary winding on the right, and Vs() is V
, and vs'. From Figure 1 for the 3-stage type, it is clear that when using the difference between the induced electromotive forces of two secondary windings, the range is monotonous, compared to when using the induced electromotive force of one secondary winding. is slightly narrower, but linearity is improved and the base is smaller (larger maximum/minimum ratio)
It can be seen that this is advantageous in some respects. In addition, when using the sum of the induced electromotive forces of two secondary windings, the monotonous range becomes wider and the linearity is also lower than when using the induced electromotive force of one secondary winding. Although this is improved, the base component is large, which is the same as when using the induced electromotive force of one secondary winding. 2 yen for 3 tiers! When compared with the JT type, it can be seen that the three-stage type has a wider range of linearity, but the slope of the characteristic curve is gentler, that is, the sensitivity is lower. (In addition,
As can be seen from Figure 10 below, the rate at which the magnetic flux generated by the primary winding effectively interlinks with the secondary winding is approximately 1/3 in the three-stage type compared to the two-stage type. In terms of sensitivity when the excitation ampere turns of the primary winding are the same, it can be said that the two-stage type is far superior to the three-stage type. ) Next, as a first embodiment of the present invention, a communication pipe, for example 0
A case will be described in which the difference in fluid levels between the two legs of the tube is detected. In this case, it is advantageous for the cross-sectional areas of the tubes in the detection areas of both legs to be substantially equal.

すなわち、この場合には、一方の脚における流体面の低
下と他方の脚における流体面の上昇とが互いに等しいの
で、いずれか一方の脚における流体面のみを検出するこ
とも考えられるし、また両脚において検出を行う場合に
も両脚に同様に設計された検出手段を設ければ足りる。
In other words, in this case, the decrease in the fluid level in one leg is equal to the increase in the fluid level in the other leg, so it is possible to detect only the fluid level in either leg, or it is possible to detect the fluid level in both legs. In the case of detection, it is sufficient to provide similarly designed detection means on both legs.

本発明の好ましい実施例では、第3図に示すように、両
脚において検出が行われる。U字状の連通管1に磁性流
体2が入れられており、その両脚における基準流体面の
付近に各1つの一次巻線P、P’が配置されている。一
次巻線P、P’と軸線方向に並び合って連通管lの端の
側に二次巻線s、s’が配置されている。一次巻線P、
P’に交流電流を流すことにより生ずる磁束によって二
次巻線Sに生ずる誘導起電力と二次巻線S′に生ずる誘
導起電力との差VS(−)を検出する。両脚において検
出を行う理由は、第1に、第4図に示すように、流体面
の変位と二次巻線の誘導起電力との間の直線的関係が得
られることである。第2に、外気温度の影響などにより
基準流体面が変化しても、その影響をほとんど受けない
ようにすることができることである。磁性流体は、本願
出願人の実測によれば約Q、 065%/ d e g
の体積膨張率を有するので、たとえば磁性流体の長さが
lQcm、外気温度の変化が50°Cとすれば、基準流
体面が3.25mm変化する。第5図の実験結果に示す
示すように、両脚で検出を行うことにより、基準流体面
にこの程度の変化があっても、測定結果がほとんど影響
を受けない範囲が存在することが確認された。これは、
各脚における流体面と誘導起電力との間の関係がいずれ
も直線性を有する範囲を利用することにより可能となる
ものである。
In a preferred embodiment of the invention, detection is performed on both legs, as shown in FIG. A magnetic fluid 2 is contained in a U-shaped communication tube 1, and one primary winding P, P' is arranged in the vicinity of a reference fluid level on both legs of the magnetic fluid 2. Secondary windings s and s' are arranged on the end side of the communication pipe l, axially aligned with the primary windings P and P'. Primary winding P,
The difference VS (-) between the induced electromotive force generated in the secondary winding S and the induced electromotive force generated in the secondary winding S' by the magnetic flux generated by flowing an alternating current through P' is detected. The reason for performing detection in both legs is, firstly, that a linear relationship is obtained between the displacement of the fluid surface and the induced electromotive force in the secondary winding, as shown in FIG. Second, even if the reference fluid level changes due to the influence of outside air temperature, it can be made almost unaffected. According to actual measurements by the applicant, the magnetic fluid has a magnetic flux of about Q, 065%/d e g
For example, if the length of the magnetic fluid is lQcm and the outside temperature changes by 50°C, the reference fluid level changes by 3.25 mm. As shown in the experimental results in Figure 5, by performing detection with both legs, it was confirmed that there is a range in which the measurement results are hardly affected even if there is a change of this degree in the reference fluid level. . this is,
This is possible by utilizing a range in which the relationship between the fluid level and the induced electromotive force in each leg is linear.

なお、第3図の実施例では、各脚に各1つの二次巻線が
配置されているが、各脚に一次巻線の両側に軸線方向に
並び合って各1つの二次巻線を配置しておき、一方の脚
における両側の二次巻線の誘導起電力の差と他方の脚に
おける両側の二次巻線の誘導起電力の差との間の差を検
出することもできる。代替的に、一方の脚における両側
の二次巻線の誘導起電力の和と他方の脚における両側の
二次巻線の誘導起電力の和との間の差を検出することも
できる。
In the embodiment shown in FIG. 3, one secondary winding is disposed on each leg, but one secondary winding is disposed on each leg axially on both sides of the primary winding. It is also possible to detect the difference between the induced electromotive force difference between the secondary windings on both sides in one leg and the induced electromotive force difference between the secondary windings on both sides in the other leg. Alternatively, it is also possible to detect the difference between the sum of the induced emfs of both secondary windings in one leg and the sum of the induced emfs of both secondary windings in the other leg.

連通管の両脚における流体面の差は、第1に両脚に与え
られる圧力の差により生ずる(第6図(a))。第2に
、一方の脚の圧力が一定に保たれていれば、他方の脚に
与えられる圧力により生ずる(第6図(b))。第3に
、一方の脚の圧力を基準圧力に保ち、他方の脚を液面位
を測定したい流体を含む容器の底付近に接続しておけば
、容器の液面位に関係して生ずる(第6図(C))。第
4に、絞り機構の両側における圧力差が両脚に与えられ
ていれば、絞り機構を通過する流体の流量に関係して生
ずる(第6図(d))、第5に、連通管が傾斜すれば、
その傾斜の角度に関係して生ずる(第6図(e))。第
6に、連通管が水平方向に加速度を受ければ、第6図(
f)に示すように、後出の式(1)に従って両脚の流体
面に差が生ずる。
The difference in fluid level between the two legs of the communicating tube is caused firstly by the difference in pressure applied to the two legs (FIG. 6(a)). Second, if the pressure in one leg is kept constant, it is caused by the pressure applied to the other leg (Figure 6(b)). Thirdly, if the pressure of one leg is maintained at the reference pressure and the other leg is connected near the bottom of the container containing the fluid whose liquid level is to be measured, the Figure 6(C)). Fourthly, if the pressure difference on both sides of the throttle mechanism is applied to both legs, it will occur in relation to the flow rate of the fluid passing through the throttle mechanism (Figure 6(d)).Fifth, the communicating pipe is inclined. if,
This occurs depending on the angle of inclination (Fig. 6(e)). Sixth, if the communication pipe is subjected to acceleration in the horizontal direction, as shown in Fig. 6 (
As shown in f), a difference occurs in the fluid levels between the two legs according to equation (1) below.

磁性流体と反対側の連通管の開口が第7図のように接続
管により接続されていることは、磁性流体の蒸発などの
影響を避は得る点で有利である。
Connecting the opening of the communication tube on the side opposite to the magnetic fluid with a connecting tube as shown in FIG. 7 is advantageous in that effects such as evaporation of the magnetic fluid can be avoided.

この場合、上記の接続管に絞り機構3を設けることによ
り、動特性を所望の特性にすることができる。
In this case, by providing the throttle mechanism 3 in the connecting pipe, the dynamic characteristics can be made into desired characteristics.

第8図には、1つの容器5のなかの磁性流体2の流体面
の傾斜を測定する実施例が示されている。
FIG. 8 shows an example in which the inclination of the fluid surface of the magnetic fluid 2 in one container 5 is measured.

ここで磁性流体の流体面の傾斜は、容器の傾斜によるも
のであってもよいし、容器の水平方向(第8図では左向
き)の加速度により θ=a r c t a n  (a/g)     
 (1)ここで、aは水平加速度、gは重力加速度に従
って生ずるものであってもよい。基準流体面の付近に一
次巻線Pが配置されている。一次巻線Pに対して半径方
向に重なり合って二次巻線S、S′が互いに軸線方向に
隣接して配置されている。二次巻線Sの誘導起電力と二
次巻線S′の誘導起電力との差を検出する。第9図には
、磁性流体の流体面の傾斜角度と二次巻線の誘導起電力
との間の関係の実測結果が示されている。二次巻線を一
次巻線に対して半径方向に重ねて配置した理由は、一次
巻線のなかに席に磁性流体が入っているように一次巻線
を二次巻線から十分に離して下方に配置すると、一次巻
線による磁束が二次巻線と鎖交する割合が第10図(横
軸は2つの巻線の軸線方向中心間の距離dと2つの巻線
の互いに等しい軸線方向長さDとの比)に示すように著
しく減少することである。一次巻線のなかに磁性流体が
常に入っていることは、磁性流体の流体面がその軸線に
対して垂直な場合には流体面の位置と誘導起電力との間
の直線性の点で有利であるが、いまの場合にはそのよう
なことが実現困難であるので、一次巻線による磁束がで
きるかぎり多く二次巻線と鎖交するように、二次巻線を
一次巻線に対して半径方向に重ねて配置したのである。
Here, the inclination of the fluid surface of the magnetic fluid may be due to the inclination of the container, or may be due to the acceleration of the container in the horizontal direction (leftward in FIG. 8).
(1) Here, a may be generated according to horizontal acceleration, and g may be generated according to gravitational acceleration. A primary winding P is arranged near the reference fluid level. Secondary windings S and S' are arranged radially overlapping the primary winding P and adjacent to each other in the axial direction. The difference between the induced electromotive force of the secondary winding S and the induced electromotive force of the secondary winding S' is detected. FIG. 9 shows actual measurement results of the relationship between the inclination angle of the fluid surface of the magnetic fluid and the induced electromotive force of the secondary winding. The reason why the secondary winding is arranged radially overlapping the primary winding is to keep the primary winding far enough away from the secondary winding that the magnetic fluid is contained in the primary winding. When placed downward, the rate at which the magnetic flux from the primary winding interlinks with the secondary winding is shown in Figure 10 (the horizontal axis is the distance d between the axial centers of the two windings and the mutually equal axial direction of the two windings). This is a significant decrease as shown in the ratio to length D). Having the magnetic fluid always in the primary winding is advantageous in terms of linearity between the position of the fluid surface and the induced electromotive force when the fluid surface of the magnetic fluid is perpendicular to its axis. However, in this case, it is difficult to achieve this, so the secondary winding is connected to the primary winding so that as much magnetic flux from the primary winding as possible interlinks with the secondary winding. They were placed one on top of the other in the radial direction.

容器内の流体面の傾斜を検出する場合にも、基準(無傾
斜)流体面の位置が外気温度などにより変化することを
考慮に入れなければならない。第11図は傾斜角度をパ
ラメータとして基準流体面の位置と誘導起電力との間の
関係を実測した結果を示す。この図かられかるように、
基準流体面の位置により誘導起電力がほぼ直線的に、少
なくともぐ非直線的ではあっても)単調に変化する領域
が存在し、また基準流体面の位置により誘導起電力があ
まり変化しない領域も存在することが確認された。基準
流体面の変化が外気温度の変化によるものとして、たと
えばマンガニン線抵抗と銅線抵抗とを組み合わせた補償
回路により補償する場合には、前者の領域を利用するの
が有利であり、他方、このような補償を行わない場合に
は後者の変化の小さい領域を利用するのが有利である。
When detecting the inclination of the fluid level in a container, it must be taken into account that the position of the reference (non-inclined) fluid level changes depending on the outside temperature and the like. FIG. 11 shows the results of actually measuring the relationship between the position of the reference fluid level and the induced electromotive force using the inclination angle as a parameter. As you can see from this diagram,
There are regions where the induced electromotive force changes monotonically (almost linearly or at least slightly non-linearly) depending on the position of the reference fluid level, and there are also areas where the induced electromotive force does not change much depending on the position of the reference fluid level. It has been confirmed that it exists. If the change in the reference fluid level is due to a change in the outside temperature and is compensated for by a compensation circuit that combines a manganin wire resistance and a copper wire resistance, for example, it is advantageous to use the former region; If such compensation is not performed, it is advantageous to use the latter region where the change is small.

第12図は第9図の特性を式(1)により水平加速度a
 (重力加速度gに対する比)と誘導起電力との間の関
係に換算したものである。この図で、水平加速度が小さ
い場合には、感度が低いことがわかる。非直線性をたと
えば折線関数回路を用いて直線化することは容易である
。しかし、低い加速度も高い感度で測定したい場合には
、第6図<r>に示したような連通管による方法を併用
することも考えられる。
Figure 12 shows the characteristics of Figure 9 as horizontal acceleration a using equation (1).
(ratio to gravitational acceleration g) and induced electromotive force. In this figure, it can be seen that when the horizontal acceleration is small, the sensitivity is low. It is easy to linearize nonlinearity using, for example, a broken line function circuit. However, if it is desired to measure low accelerations with high sensitivity, it is also possible to use a method using a communicating tube as shown in FIG. 6<r>.

なお、第9図に記入されている構造例では、構造をコン
パクトにするため、円筒容器5の長さが一次巻線Pの長
さに等しく選定されており、流体面が約51°傾斜する
と、流体の頂および底が容器5の頂および底に接するに
至る。代替的な構造として、一次巻線Pの長さよりも十
分に長い容器を使用することもできる。
In the structure example shown in FIG. 9, in order to make the structure compact, the length of the cylindrical container 5 is selected to be equal to the length of the primary winding P, and when the fluid surface is inclined at approximately 51 degrees, , until the top and bottom of the fluid touch the top and bottom of the container 5. As an alternative construction, it is also possible to use a container that is sufficiently longer than the length of the primary winding P.

第13図には、垂直軸の回りの回転速度を測定する実施
例が示されている。円筒がその軸の回りに回転する場合
、円筒内に封入されている流体が、第14図ならびに式
(2)または式(3)に示すように回転放物面となるこ
とは知られている。
FIG. 13 shows an embodiment for measuring the rotational speed about a vertical axis. It is known that when a cylinder rotates around its axis, the fluid enclosed within the cylinder becomes a paraboloid of revolution as shown in Figure 14 and equation (2) or equation (3). .

h= (ycrn/60)  2/g       (
2)H−(n ・2yrr/60)  ・ (hc/2
g) l72ここで、hは静止流体面から最高流体面お
よび最低流体面までの距離(第14図(a))、rは円
筒の半径、nは回転速度(rpm)、gは重力加速度、
hcは最高流体面がまさに容器の上面に接するときのh
の値(第14図(b)’) 、Hは最高流体面が容器の
上面に接するに至った後の最高流体面から最低流体面ま
での距離(第14図(C)) 実験に用いた円筒では、ある回転数を越えると、凹みの
底が円筒の底に達するので、その場合には、かりに円筒
の底に達しなげれば凹むであろう磁性流体の体積が回転
放物面の内側に付いているものと近似して計算した。こ
の計算の結果を図示したのが第15図である。第13図
で一次巻線に対して半径方向に外側に二次巻線を配置し
たのは、先に第8図に関連して述べた理由と同じ理由に
よるものである。第8図および第9図の場合と同じく、
二次巻線Sの誘導起電力と二次巻線S′の誘導起電力と
の差を検出する。第16図には巻線の位置を種々に変え
た場合の特性が示されている。この図で巻線の位置は、
回転数がOのときの水平流体面から上方への一次巻線の
中心の距離により示されている。第16図(a)かられ
かるように、ある回転数以上では基準流体面の位置によ
る特性の変化が小さい範囲が存在する。このような位置
に巻線を配置すれば、外気温度の変化などによる基準流
体面の変化の影響をわずかにとどめることができる。ま
た、巻線の位置の選定によっては第16図(b)に示す
ように、ある回転数を境にして誘導起電力がステップ状
に変化する特性が得られる。このような特性は回転速度
スイッチまたは遠心力スイッチとして有用である。
h= (ycrn/60) 2/g (
2) H-(n ・2yrr/60) ・(hc/2
g) l72 Here, h is the distance from the static fluid level to the highest and lowest fluid levels (Fig. 14 (a)), r is the radius of the cylinder, n is the rotational speed (rpm), g is the gravitational acceleration,
hc is h when the highest fluid level is just in contact with the top surface of the container
(Figure 14 (b)'), H is the distance from the highest fluid level to the lowest fluid level after the highest fluid level touches the top surface of the container (Figure 14 (C)). In a cylinder, when the rotation speed exceeds a certain number, the bottom of the concave reaches the bottom of the cylinder, so in that case, the volume of the magnetic fluid that would be concave if it did not reach the bottom of the cylinder is inside the paraboloid of rotation. Calculated by approximating that attached to . FIG. 15 illustrates the results of this calculation. The placement of the secondary winding radially outwardly with respect to the primary winding in FIG. 13 is for the same reason as previously discussed in connection with FIG. As in the case of Figures 8 and 9,
The difference between the induced electromotive force of the secondary winding S and the induced electromotive force of the secondary winding S' is detected. FIG. 16 shows the characteristics when the winding positions are varied. In this figure, the position of the winding is
It is indicated by the distance of the center of the primary winding upward from the horizontal fluid level when the rotational speed is O. As can be seen from FIG. 16(a), above a certain number of rotations, there is a range in which the change in characteristics due to the position of the reference fluid level is small. By arranging the winding at such a position, the influence of changes in the reference fluid level due to changes in outside air temperature can be minimized. Further, depending on the selection of the position of the winding, as shown in FIG. 16(b), a characteristic in which the induced electromotive force changes stepwise after a certain number of revolutions is obtained can be obtained. Such characteristics are useful as rotational speed switches or centrifugal force switches.

第17図には、磁性流体を封入したダイアフラム式測定
セルにより圧力差などを測定する装置の概要が示されて
いる。両側に受圧ダイアフラム6.6′を有するボディ
7のなかにフローティングダイアフラム8によりセル9
が保持されている。
FIG. 17 shows an outline of an apparatus for measuring pressure differences and the like using a diaphragm type measurement cell filled with magnetic fluid. A cell 9 is formed by a floating diaphragm 8 in a body 7 having pressure receiving diaphragms 6,6' on both sides.
is retained.

セル9は、中空部とこの中空部と両側面とを結ぶ孔とを
有する電気絶縁性ボディ10と、電気絶縁性ボディ10
の中央に張られた測定ダイアフラム11と、測定ダイア
フラム11に取り付けられた薄膜状の一次巻線12と、
一次巻線12と向かい合って電気絶縁性ボディ10の内
側両面に取り付けられた薄膜状の二次巻線13.13′
とを有する。受圧ダイアフラム6.6′、ボディ7、フ
ローティングダイアフラム8およびセル9により囲まれ
る測定ダイアフラム11の両側の空間は磁性流体2によ
り満たされている。圧力の差に応じて受圧ダイアフラム
6.6′が偏位し、従ってまた磁性流体の形状が変化す
る。この磁性流体の形状変化に伴って偏位する測定ダイ
アフラム11に固定されている薄膜状の一次巻線12か
ら、電気絶縁性ボディ10に固定されている薄膜状の二
次巻線13.13′に誘導される起電力の変化を検出す
ることによって、両側の受圧ダイアフラム6.6′に与
えられる圧力の差を測定することができる。第18図は
、一方の側を大気圧とし、他方の側に与えた圧力と誘導
起電力との間の関係を実測した一例である。この圧力差
測定方法は、連通管の場合と同じく、圧力、液面位およ
び流量の測定にも応用可能であることは言うまでもない
The cell 9 includes an electrically insulating body 10 having a hollow part and a hole connecting the hollow part to both side surfaces;
A measuring diaphragm 11 stretched in the center of the measuring diaphragm 11, a thin film primary winding 12 attached to the measuring diaphragm 11,
A thin film-like secondary winding 13.13' attached to both inner surfaces of the electrically insulating body 10, facing the primary winding 12.
and has. The space on both sides of the measuring diaphragm 11 surrounded by the pressure-receiving diaphragm 6 , 6 ′, the body 7 , the floating diaphragm 8 and the cell 9 is filled with magnetic fluid 2 . Depending on the pressure difference, the pressure-receiving diaphragm 6.6' deflects and thus also changes the shape of the magnetic fluid. From a thin-film primary winding 12 fixed to the measuring diaphragm 11, which deflects as the magnetic fluid changes shape, to a thin-film secondary winding 13, 13' fixed to the electrically insulating body 10. By detecting changes in the electromotive force induced in the diaphragms 6, 6', it is possible to measure the difference in pressure applied to the pressure receiving diaphragms 6,6' on both sides. FIG. 18 is an example in which one side is set to atmospheric pressure and the relationship between the pressure applied to the other side and the induced electromotive force is actually measured. It goes without saying that this pressure difference measuring method can also be applied to measuring pressure, liquid level, and flow rate, as in the case of communicating pipes.

以上においては本発明をいくつかの好ましい実施例につ
いて説明してきたが、本発明はこれらの実施例に限定さ
れるものではなく、本発明の範囲内で種々の実施例が可
能であることは当業者にとって明らかであろう。
Although the present invention has been described above with reference to some preferred embodiments, it is understood that the present invention is not limited to these embodiments, and that various embodiments are possible within the scope of the present invention. This will be obvious to businesses.

【図面の簡単な説明】[Brief explanation of the drawing]

第1図は、軸線方向に並び合って一次巻線の両側に二次
巻線が配置されている場合(3段型)の磁性流体の先端
位置と二次巻線の誘導起電力との間の関係を示すグラフ
、第2図は、一次巻線に対して半径方向に重なり合って
二次巻線が配置されている場合(2段型)の磁性流体の
先端位置と二次巻線の誘導起電力との間の関係を示すグ
ラフ、第3図は連通管の両脚の流体面の高さの差を測定
する実施例の概要図、第4図は第3図の実施例における
連通管の両脚の流体面の高さの差と二次巻線の誘導起電
力との間の関係を示すグラフ、第5図は連通管の両脚の
流体面の高さの差をパラメータとして基準流体面の位置
と誘導起電力との間の関係を示すグラフ、第6図は連通
管の両脚の流体面の高さの差の測定を介して種々の量を
測定する応用例を示す概要図、第7図は第3図の実施例
を変形した例の概要図、第8図は1つの容器のなかの磁
性流体の流体面の傾斜を測定する実施例の概要図、第9
図は第8図の実施例における傾斜角度と二次巻線の誘導
起電力との間の関係を示すグラフ、第10図は一次巻線
による磁束が二次巻線と鎖交する割合と一次巻線と二次
巻線との間の距離との関係を示す図、第11図は傾斜角
度をパラメータとして基準流体面の位置と誘導起電力と
の間の関係を示すグラフ、第12図は第9図の特性を水
平加速度と誘導起電力との間の関係に換算したグラフ、
第13図は垂直軸の回りの回転速度を測定する実施例の
概要図、第14図は回転する円筒のなかでの流体の形状
を説明するための図、第15図は第13図の実施例にお
ける回転円筒内の流体の形状を示す図、第16図は巻線
の位置を種々に変えた場合の回転速度と誘導起電力との
間の関係を示すグラフ、第17図は、磁性流体を封入し
たダイアフラム式測定セルにより圧力差などを測定する
実施例の概要図、第18図は第17図の実施例における
圧力と誘導起電力との間の関係を示すグラフである。 1・・・連通管、2・・・磁性流体、3・・・調整絞り
、5・・・円筒容器、6.6′・・・受圧ダイアフラム
、7・・・ボディ、8・・・フローティングダイアフラ
ム、9・・・セル、10・・・電気絶縁性ボディ、11
・・・測定ダイアフラム、12・・・一次巻線、13.
13′・・・二次巻線、P、P’・・・一次巻線、s、
s’・・・二次巻線特許出願人   石 橋 截 − 神崎勇二 内藤光雄 t+ngii力Vm+Vs’  (arVIIJ48電
力V冨 ++l  (Ml u4am力v、  (−1F)11 鳩4起電力V=、v、’  [mVl ljlil起電力V+  +−1I九]第4図 −404nnm 14位置) 特許出願人  石橋域−神崎勇二 内悲光雄    、
i15図第6図 第7図 二次壱確の位置cdIO】 第10図 ″1IlIJl斜角 θ (d e g)第9図 −4−21)      2     4mm(蟇j位
l NI II! !Al2g 第13図 (σ1.JJ(bl    fcl 第14図 m転数1reml                 
   11転敞+rpml(ml          
             (b)第1gIII 圧力(kgrl 第18図
Figure 1 shows the distance between the tip position of the magnetic fluid and the induced electromotive force of the secondary winding when the secondary windings are arranged in the axial direction on both sides of the primary winding (three-stage type). Figure 2 is a graph showing the relationship between the tip position of the magnetic fluid and the induction of the secondary winding when the secondary winding is arranged radially overlapping the primary winding (two-stage type). A graph showing the relationship between the electromotive force and the electromotive force. FIG. 3 is a schematic diagram of an example of measuring the difference in fluid level height between both legs of a communicating tube. FIG. 4 is a graph showing the relationship between the two legs of a communicating tube. Figure 5 is a graph showing the relationship between the height difference between the fluid levels of both legs and the induced electromotive force of the secondary winding. FIG. 6 is a graph showing the relationship between position and induced electromotive force; FIG. 6 is a schematic diagram showing an application example of measuring various quantities through the measurement of the height difference between the fluid levels of the two legs of a communicating tube; FIG. The figures are a schematic diagram of a modified example of the embodiment shown in Figure 3, Figure 8 is a schematic diagram of an embodiment for measuring the inclination of the fluid surface of a magnetic fluid in one container, and Figure 9
The figure is a graph showing the relationship between the inclination angle and the induced electromotive force of the secondary winding in the embodiment shown in Figure 8, and Figure 10 is a graph showing the relationship between the magnetic flux from the primary winding and the secondary winding and the relationship between the primary and secondary windings. FIG. 11 is a graph showing the relationship between the distance between the winding and the secondary winding, FIG. 11 is a graph showing the relationship between the position of the reference fluid level and the induced electromotive force using the inclination angle as a parameter, and FIG. A graph converting the characteristics in Figure 9 into the relationship between horizontal acceleration and induced electromotive force,
Fig. 13 is a schematic diagram of an embodiment for measuring rotational speed around a vertical axis, Fig. 14 is a diagram for explaining the shape of a fluid in a rotating cylinder, and Fig. 15 is an implementation of Fig. 13. FIG. 16 is a graph showing the relationship between rotational speed and induced electromotive force when the winding position is variously changed. FIG. 17 is a graph showing the shape of the fluid in the rotating cylinder in the example. FIG. 18 is a graph showing the relationship between pressure and induced electromotive force in the embodiment of FIG. 17. DESCRIPTION OF SYMBOLS 1...Communication pipe, 2...Magnetic fluid, 3...Adjustment orifice, 5...Cylindrical container, 6.6'...Pressure receiving diaphragm, 7...Body, 8...Floating diaphragm , 9... Cell, 10... Electrically insulating body, 11
... Measuring diaphragm, 12... Primary winding, 13.
13'...Secondary winding, P, P'...Primary winding, s,
s'... Secondary winding patent applicant Akira Ishibashi - Yuji Kanzaki Mitsuo Naito t + ngii force Vm + Vs' (arVIIJ48 power V ++l (Ml u4am force v, (-1F) 11 pigeon 4 electromotive force V =, v, '[mVl ljlil electromotive force V+ +-1I9] Fig. 4 - 404nm 14 position) Patent applicant: Ishibashi Yuji, Kanzaki Yuji, Uchiyoshi Mitsuo,
i15 Fig. 6 Fig. 7 Second position cdIO] Fig. 10 "1IlIJl Oblique angle θ (d e g) Fig. 9-4-21) 2 4mm (Tobj position l NI II! ! Al2g Figure 13 (σ1.JJ(bl fcl Figure 14 m rotation number 1reml
11 turns + rpm (ml
(b) 1st gIII pressure (kgrl Fig. 18

Claims (1)

【特許請求の範囲】 1)測定対象量を電気的に測定するための方法において
、測定対象量による容器内の磁性流体の形状変化を、前
記磁性流体の形状変化部分の付近に配置されており交流
により励磁される一次巻線から、前記一次巻線の付近に
配置されている二次巻線に誘導される起電力の変化によ
り検出することによって、測定対象量を測定することを
特徴とする電気的測定方法。 2)連通管、たとえばU字管の両脚の流体面に与えられ
ている圧力の差を測定するため、圧力の差による連通管
内の両脚における磁性流体の流体面の高さの差を、前記
磁性流体の流体面の付近に配置されており交流により励
磁される一次巻線から、前記一次巻線の付近に配置され
ている二次巻線に誘導される起電力の変化により検出す
ることによって、圧力の差を測定することを特徴とする
特許請求の範囲第1項記載の電気的測定方法。 3)連通管の両脚にそれぞれ一次巻線および二次巻線を
配置し、各二次巻線の誘導起電力の差を検出することを
特徴とする特許請求の範囲第2項記載の電気的測定方法
。 4)連通管の両脚の検出領域における断面積が実質的に
等しいことを特徴とする特許請求の範囲第3項記載の電
気的測定方法。 5)1つの一次巻線の軸線方向中心の両側、互いに間隔
をおいた各1つの二次巻線を配置し、これらの2つの二
次巻線の誘導起電力の差または和を検出することを特徴
とする特許請求の範囲第2項または第3項記載の電気的
測定方法。 6)1つの一次巻線に対して半径方向に重なり合わせて
、互いに軸線方向に並び合う2つの二次巻線を配置し、
これらの2つの二次巻線の誘導起電力の差を検出するこ
とを特徴とする特許請求の範囲第2項または第3項記載
の電気的測定方法。 7)磁性流体と反対側の連通管の開口が接続管により接
続されていることを特徴とする特許請求の範囲第2項記
載の電気的測定方法。 8)前記接続管に絞り機構が設けられていることを特徴
とする特許請求の範囲第7項記載の電気的測定方法。 9)連通管の一方の脚の圧力を基準圧力に保ち、他方の
脚に与えられる圧力を測定することを特徴とする特許請
求の範囲第2項ないし第8項のいずれか1項に記載の電
気的測定方法。 10)連通管の一方の脚の圧力を基準圧力に保ち、他方
の脚に接続されている容器内の液面位を測定することを
特徴とする特許請求の範囲第2項ないし第8項のいずれ
か1項に記載の電気的測定方法。 11)絞り機構の両側における圧力差を測定することに
よって絞り機構を通過する流体の流量を測定することを
特徴とする特許請求の範囲第2項ないし第8項のいずれ
か1項に記載の電気的測定方法。 12)傾斜角度を測定することを特徴とする特許請求の
範囲第2項ないし第8項のいずれか1項に記載の電気的
測定方法。 13)水平方向の加速度を測定することを特徴とする特
許請求の範囲第2項ないし第8項のいずれか1項に記載
の電気的測定方法。 14)水平加速度を測定するため、容器のなかの磁性流
体の流体面の傾斜を、前記磁性流体の流体面の付近に配
置されており交流により励磁される一次巻線から、前記
一次巻線の付近に配置されている二次巻線に誘導される
起電力の変化により検出することによって、水平加速度
を測定することを特徴とする特許請求の範囲第1項記載
の電気的測定方法。 15)回転速度を測定するため、回転速度による容器の
なかの磁性流体の流体面の回転放物面状の形状変化を、
前記磁性流体の流体面の付近に配置されており交流によ
り励磁される一次巻線から、前記一次巻線の付近に配置
されている二次巻線に誘導される起電力の変化により検
出することによって、回転速度を測定することを特徴と
する特許請求の範囲第1項記載の電気的測定方法。 16)圧力の差を測定するため、両側に受圧ダイアフラ
ムを有するボディのなかに測定ダイアフラムにより隔て
て磁性流体を封入しておき、また前記圧力の差に応じた
前記受圧ダイアフラムの偏位、従ってまた前記磁性流体
の形状変化を、前記磁性流体の形状変化に伴って偏位す
る前記測定ダイアフラムに固定した一次巻線から、前記
一次巻線の付近に前記ボディ側に配置されている二次巻
線に誘導される起電力の変化により検出することによっ
て、両側の受圧ダイアフラムに与えられる圧力の差を測
定することを特徴とする特許請求の範囲第1項記載の電
気的測定方法。 17)受圧ダイアフラムの一方の圧力を基準圧力に保ち
、他方の受圧ダイアフラムに与えられる圧力を測定する
ことを特徴とする特許請求の範囲第16項記載の電気的
測定方法。 18)受圧ダイアフラムの一方の圧力を基準圧力に保ち
、他方の受圧ダイアフラムに接続されている容器内の液
面位を測定することを特徴とする特許請求の範囲第16
項記載の電気的測定方法。 19)絞り機構の両側における圧力差を測定することに
よって絞り機構を通過する流体の流量を測定することを
特徴とする特許請求の範囲第16項記載の電気的測定方
法。
[Claims] 1) In a method for electrically measuring a quantity to be measured, the change in shape of a magnetic fluid in a container due to the quantity to be measured can be detected by disposing the magnetic fluid in the vicinity of a shape-changing portion of the magnetic fluid. The quantity to be measured is measured by detecting a change in electromotive force induced from a primary winding excited by alternating current to a secondary winding arranged near the primary winding. Electrical measurement method. 2) In order to measure the difference in pressure applied to the fluid surface of both legs of a communicating tube, for example, a U-shaped tube, the difference in the height of the fluid surface of the magnetic fluid in both legs of the communicating tube due to the pressure difference is calculated using the magnetic By detecting changes in electromotive force induced from a primary winding located near the fluid surface of the fluid and excited by alternating current to a secondary winding located near the primary winding, The electrical measuring method according to claim 1, characterized in that a pressure difference is measured. 3) The electrical system according to claim 2, characterized in that a primary winding and a secondary winding are arranged on both legs of the communicating pipe, and the difference in induced electromotive force of each secondary winding is detected. Measuring method. 4) The electrical measurement method according to claim 3, wherein the cross-sectional areas of the detection regions of both legs of the communicating tube are substantially equal. 5) Arranging one secondary winding on each side of the axial center of one primary winding, spaced apart from each other, and detecting the difference or sum of the induced electromotive force of these two secondary windings. An electrical measuring method according to claim 2 or 3, characterized in that: 6) arranging two secondary windings radially overlapping and axially aligned with each other with respect to one primary winding,
The electrical measuring method according to claim 2 or 3, characterized in that the difference in induced electromotive force between these two secondary windings is detected. 7) The electrical measurement method according to claim 2, characterized in that the opening of the communication tube on the opposite side to the magnetic fluid is connected by a connecting tube. 8) The electrical measurement method according to claim 7, wherein the connecting pipe is provided with a throttle mechanism. 9) The method according to any one of claims 2 to 8, characterized in that the pressure in one leg of the communicating pipe is maintained at a reference pressure, and the pressure applied to the other leg is measured. Electrical measurement method. 10) The pressure in one leg of the communication pipe is maintained at a reference pressure, and the liquid level in the container connected to the other leg is measured. The electrical measurement method according to any one of the items. 11) The electricity according to any one of claims 2 to 8, characterized in that the flow rate of fluid passing through the throttle mechanism is measured by measuring the pressure difference on both sides of the throttle mechanism. measurement method. 12) The electrical measuring method according to any one of claims 2 to 8, characterized in that an inclination angle is measured. 13) The electrical measurement method according to any one of claims 2 to 8, characterized in that acceleration in the horizontal direction is measured. 14) To measure the horizontal acceleration, the slope of the fluid surface of the magnetic fluid in the container is measured from the primary winding, which is placed near the fluid surface of the magnetic fluid and is excited by an alternating current, to the primary winding. 2. The electrical measurement method according to claim 1, wherein horizontal acceleration is measured by detecting changes in electromotive force induced in a secondary winding placed nearby. 15) To measure the rotational speed, we measure the change in the paraboloid of revolution shape of the fluid surface of the magnetic fluid in the container due to the rotational speed.
Detection based on changes in electromotive force induced from a primary winding located near the fluid surface of the magnetic fluid and excited by alternating current to a secondary winding located near the primary winding. 2. The electrical measuring method according to claim 1, wherein the rotational speed is measured by: 16) In order to measure the pressure difference, a magnetic fluid is sealed in a body having pressure receiving diaphragms on both sides separated by a measuring diaphragm, and the deflection of the pressure receiving diaphragm according to the pressure difference, and therefore also A secondary winding disposed near the primary winding on the body side is configured to detect the shape change of the magnetic fluid from a primary winding fixed to the measuring diaphragm that deviates with the shape change of the magnetic fluid. 2. The electrical measurement method according to claim 1, wherein the difference in pressure applied to both pressure receiving diaphragms is measured by detecting a change in electromotive force induced in the pressure receiving diaphragm. 17) The electrical measuring method according to claim 16, characterized in that the pressure of one pressure receiving diaphragm is maintained at a reference pressure and the pressure applied to the other pressure receiving diaphragm is measured. 18) Claim 16 characterized in that the pressure of one of the pressure receiving diaphragms is maintained at a reference pressure and the liquid level in the container connected to the other pressure receiving diaphragm is measured.
Electrical measurement method described in section. 19) The electrical measuring method according to claim 16, characterized in that the flow rate of fluid passing through the throttle mechanism is measured by measuring the pressure difference on both sides of the throttle mechanism.
JP29289686A 1986-12-09 1986-12-09 Electric measurement Pending JPS63145933A (en)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP29289686A JPS63145933A (en) 1986-12-09 1986-12-09 Electric measurement

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP29289686A JPS63145933A (en) 1986-12-09 1986-12-09 Electric measurement

Publications (1)

Publication Number Publication Date
JPS63145933A true JPS63145933A (en) 1988-06-18

Family

ID=17787787

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP29289686A Pending JPS63145933A (en) 1986-12-09 1986-12-09 Electric measurement

Country Status (1)

Country Link
JP (1) JPS63145933A (en)

Cited By (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS63120138U (en) * 1987-01-29 1988-08-03
US4991404A (en) * 1989-02-02 1991-02-12 Emile Yassa Vacuum pressure monitoring system

Cited By (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS63120138U (en) * 1987-01-29 1988-08-03
US4991404A (en) * 1989-02-02 1991-02-12 Emile Yassa Vacuum pressure monitoring system

Similar Documents

Publication Publication Date Title
US5253522A (en) Apparatus for determining fluid level and fluid density
EP0349547A1 (en) Inductive displacement sensors.
EP0874975B1 (en) Mass flowmeter
US3771085A (en) Deviation detecting apparatus
CN100473951C (en) Position sensor
WO1996026455A2 (en) Inductive sensor and method for detecting displacement of a body
JPH07198433A (en) Area type flowmeter
US4015471A (en) Spherical electromagnetic water current velocity sensor with protruding electrodes
US3754446A (en) Apparatus for measuring fluid characteristics
JP3120059B2 (en) Float type flow meter
US4887465A (en) Transducers for hostile environments
JPS63145933A (en) Electric measurement
JPH05340775A (en) Vortex flow measuring device
JP4115036B2 (en) Liquid level detector
JPS58127116A (en) Detecting device for angle of inclination
US3810393A (en) Angular accelerometers
JP3749955B2 (en) Inductive two-dimensional position detector
RU2089855C1 (en) Magnetic compass
JP2883928B2 (en) Area type flow meter
JP2770126B2 (en) Liquid level indicator
RU73071U1 (en) VORTEX LIQUID FLOW CONVERTER
RU1777006C (en) Level detector
RU1812502C (en) Primary measuring transducer for flow velocity vector
SU482685A1 (en) Kiloammeter
SU1270570A1 (en) Electromechanical flow converter