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JPS63138281A - Threshold value measuring instrument - Google Patents

Threshold value measuring instrument

Info

Publication number
JPS63138281A
JPS63138281A JP28503286A JP28503286A JPS63138281A JP S63138281 A JPS63138281 A JP S63138281A JP 28503286 A JP28503286 A JP 28503286A JP 28503286 A JP28503286 A JP 28503286A JP S63138281 A JPS63138281 A JP S63138281A
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
circuit
voltage
output
value
setting circuit
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Pending
Application number
JP28503286A
Other languages
Japanese (ja)
Inventor
Shigeki Kurihara
栗原 繁樹
Akira Hashiguchi
橋口 彰
Motoyasu Tsutsui
筒井 基泰
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Ando Electric Co Ltd
Original Assignee
Ando Electric Co Ltd
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Ando Electric Co Ltd filed Critical Ando Electric Co Ltd
Priority to JP28503286A priority Critical patent/JPS63138281A/en
Publication of JPS63138281A publication Critical patent/JPS63138281A/en
Pending legal-status Critical Current

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  • Testing Of Individual Semiconductor Devices (AREA)

Abstract

PURPOSE:To measure the positive/negative-directional input threshold voltage and hysteresis voltage of a device by making a sweep once by generating and applying a sweep voltage which has gradient characteristics to the device. CONSTITUTION:A gradient value is converted 12 by using data from a control circuit 11 and the sweep voltage based upon the gradient value output is generated 13. Then the sweep voltage signal, a start position signal from a setting circuit 14, and a step position signal from a setting circuit 15 are added 16 and supplied to sample holding circuits 17 and 18 and a device 3. Then, the detected value for deciding the operation point of the device 3 from a setting circuit 2 is compared 22 with the output of the device 3 and a control circuit 23 sends holding signals to the circuits 17 and 18 according to the comparison output. The circuits 17 and 18 detect the positive/negative-directional threshold voltages of the device 3.

Description

【発明の詳細な説明】 (a)発明の技術分野 この発明は、ヒステリシスをもつデバイスのしきい値電
圧などを高速で測定することができるようにしたしきい
値測定装置についてのものである。
DETAILED DESCRIPTION OF THE INVENTION (a) Technical Field of the Invention The present invention relates to a threshold measuring device capable of rapidly measuring the threshold voltage of a device having hysteresis.

(b)従来技術と問題点 最初に、従来技術の構成図を第4図に示す。(b) Conventional technology and problems First, a configuration diagram of the prior art is shown in FIG.

第4図の1は制御回路、2は電源回路、3は試験される
デバイス、4は電圧測定回路である。
In FIG. 4, 1 is a control circuit, 2 is a power supply circuit, 3 is a device to be tested, and 4 is a voltage measurement circuit.

電源回路2の出力はデバイス3に供給され、デバイス3
の出力電圧は電圧−1定回路4で測定される。
The output of power supply circuit 2 is supplied to device 3,
The output voltage is measured by a voltage-1 constant circuit 4.

制御回路1は電源回路2の出力電圧を制御するとともに
、電圧測定回路4の測定電圧からデバイス3のしきい値
を求める。
The control circuit 1 controls the output voltage of the power supply circuit 2 and determines the threshold value of the device 3 from the voltage measured by the voltage measurement circuit 4.

次に、デバイス3の特性図の一例を第5図に示す。Next, an example of a characteristic diagram of the device 3 is shown in FIG.

第5図は、デバイス3がヒステリシス特性をもっている
場合を示し、横軸が入力端子、縦軸が出力電圧を示す。
FIG. 5 shows a case where the device 3 has hysteresis characteristics, the horizontal axis shows the input terminal, and the vertical axis shows the output voltage.

第5図で、入力電圧をあげていくと、人出力特性曲線が
電圧VTIIで急に立上るようになり、また入力端子を
下げていくと、入出力特性曲線が電圧VTLで急に立下
るようになる。
In Figure 5, when the input voltage is increased, the human output characteristic curve suddenly rises at voltage VTII, and when the input terminal is lowered, the input/output characteristic curve suddenly falls at voltage VTL. It becomes like this.

[EVT[Iは正方向入力スレッシュホールド電圧であ
り、電圧VTLは負方向入力スレッシュホールド電圧で
ある。
[EVT[I is the positive-going input threshold voltage, and voltage VTL is the negative-going input threshold voltage.

第5図の電圧ΔVTはヒステリシス電圧であり、電圧Δ
VT=電圧VTII−電圧VTLである。
The voltage ΔVT in FIG. 5 is a hysteresis voltage, and the voltage ΔVT
VT=voltage VTII−voltage VTL.

次に、第5図の特性をもつデバイス3を測定する場合の
従来技術を説明する。
Next, a conventional technique for measuring the device 3 having the characteristics shown in FIG. 5 will be described.

このような場合の従来技術に、インクリメント機能によ
る測定方法がある。
A conventional technique for such cases is a measurement method using an increment function.

インクリメント機能とは、第6図のようにステップ状に
増加するステップ電圧を電源回路2で作り、制御回路l
の制御のもとにデバイス3に加えていく方l去である。
The increment function means that the power supply circuit 2 generates a step voltage that increases stepwise as shown in Figure 6, and the control circuit l
It is preferable to add it to device 3 under the control of .

第6図のようなステップ電圧をデバイス3に加え、デバ
イス3の出力電圧を電圧測定回路4で測定すれば、電圧
VTIIの値を正確に検出することができる。
If a step voltage as shown in FIG. 6 is applied to the device 3 and the output voltage of the device 3 is measured by the voltage measuring circuit 4, the value of the voltage VTII can be accurately detected.

電圧Vlりを測定するには、第6図とは逆にステップ状
に減少するステップ電圧を電源回路2で作り、MrB回
路1の制御のもとにデバイス3に加えればよい。これを
ディクリメント機能による測定という。
In order to measure the voltage Vl, a step voltage that decreases in a stepwise manner, contrary to that shown in FIG. This is called measurement using the decrement function.

しかし、デバイス3の電圧VTII、 VTL及びΔV
Tを精度よく測定するためには、ステップ電圧を小さく
しなければならない。
However, the voltages VTII, VTL and ΔV of device 3
In order to accurately measure T, the step voltage must be made small.

例えば、1mVのステップ電圧を1vから2Vまで0.
5nsの間隔で変えるとすると、  500m5の時間
がかかることになる。
For example, a step voltage of 1 mV from 1v to 2V is 0.
If it is changed at an interval of 5 ns, it will take 500 m5.

このように、インクリメント機能による測定方法で精度
をあげようとすると、時間がかかるという問題がある。
As described above, there is a problem in that it takes a long time when trying to improve accuracy using the measurement method using the increment function.

次に、第5図の特性をもつデバイス3を測定する場合の
他の従来技術を説明する。
Next, another conventional technique for measuring the device 3 having the characteristics shown in FIG. 5 will be described.

他の従来技術には、バイナリ−サーチ機能による測定方
法がある。
Another prior art technique includes a measurement method using a binary search function.

バイナリ−サーチ機能とは、第7図(ア)のようなステ
ップ電圧を電源回路2で作り、制御回路1の制御のもと
にデバイス3に加える方法である。
The binary search function is a method in which a step voltage as shown in FIG.

第7図(ア)がデバイス3への入力端子であり、第7図
(イ)がデバイス3からの出力電圧を示す。
FIG. 7(A) shows the input terminal to the device 3, and FIG. 7(B) shows the output voltage from the device 3.

第7図では、電圧V+ 、V2 、V3の順にデバイス
3に加えていく。
In FIG. 7, voltages V+, V2, and V3 are applied to the device 3 in this order.

この場合、次の関係になるようにする。In this case, the following relationship should be established.

V3 = (Vl +V2 ) /2 すなわち、第7図のバイナリ−サーチ機能による測定方
法は、入力電圧に応じて出力電圧が反転しながら出てく
るが、そのたびに入力電圧の振幅を一定の条件で小さく
なるように制御回路1で制御しながら、デバイス3のし
きい値に入力電圧を近づけていくものである。
V3 = (Vl + V2) /2 In other words, in the measurement method using the binary search function shown in Fig. 7, the output voltage is inverted depending on the input voltage, but each time the amplitude of the input voltage is set to a certain condition. The input voltage is brought closer to the threshold value of the device 3 while being controlled by the control circuit 1 so that the input voltage becomes smaller.

第7図は、入力電圧を1v〜4vの間で変化させ、デバ
イス3の出力電圧を判定して、出力レベルが「1」から
「0」、または「0」から「1」に変わる入力端子の値
を求めていく場合を例示している。
FIG. 7 shows an input terminal whose output level changes from "1" to "0" or from "0" to "1" by changing the input voltage between 1v and 4v and determining the output voltage of the device 3. This example shows how to find the value of .

したがって、第7図のしきい値は、2vになる。Therefore, the threshold value in FIG. 7 is 2v.

しかし、バイナリ−サーチ機能による測定では、電圧v
3などを作りながら、しきい値を検出していくので、時
間がかかるとともに、制御回路lのプログラムが複雑に
なるという問題がある。
However, in measurement using the binary search function, the voltage v
3 and so on, the threshold value is detected while creating the control circuit 1, which takes time and makes the program for the control circuit 1 complicated.

また、バイナリ−サーチ機能によるM1定方法は、イン
バータなどのように、ヒステリシスの幅が狭いものには
有効であるが、第5図のようにヒステリシス電圧Δ■の
大きいデバイス3を測定する場合、ヒステリシスの幅の
中に入力電圧が入って(ると、正確にしきい値を検出す
ることができなくなるという問題がある。
Furthermore, the M1 determination method using the binary search function is effective for devices with a narrow hysteresis width such as inverters, but when measuring a device 3 with a large hysteresis voltage Δ■ as shown in FIG. If the input voltage falls within the hysteresis width, there is a problem that the threshold cannot be detected accurately.

いいかえると、インクリメント機能による測定方法によ
れば、ヒステリシス特性のデバイス3を測定することが
できるが、バイナリ−サーチ機能による測定では、ヒス
テリシス特性の幅の狭いものしか測定できないというこ
とである。
In other words, according to the measurement method using the increment function, it is possible to measure the device 3 with hysteresis characteristics, but when using the measurement method using the binary search function, it is possible to measure only a device with a narrow width of hysteresis characteristics.

(c1発明の目的 この発明は、従来技術とは別の構成による測定装置を提
供するものであり、傾斜特性をもったII!引電圧電圧
生し、この掃引電圧をデバイス3に加えることにより、
1回の掃引でデバイス3の電圧VTR,VTR及びΔV
Tの測定ができるようにし、測定時間を短くすることを
目的とする。
(c1 Purpose of the Invention The present invention provides a measuring device with a configuration different from that of the prior art, which generates an II! pull voltage with a slope characteristic and applies this sweep voltage to the device 3 to
Voltage VTR, VTR and ΔV of device 3 in one sweep
The purpose is to enable measurement of T and to shorten the measurement time.

(d)発明の実施例 まず、この発明による実施例の構成図を第1図に示す。(d) Examples of the invention First, a block diagram of an embodiment according to the present invention is shown in FIG.

第1図の11は制御回路、12は傾斜値変換回路、13
は積分回路、14はスタート値設定回路、15はストッ
プ値設定回路、16は加算回路、17!:18はサンプ
ルホールド回路、21は検出レベル設定回路、22は比
較回路、23は制御回路である。
11 in FIG. 1 is a control circuit, 12 is a slope value conversion circuit, and 13
is an integrating circuit, 14 is a start value setting circuit, 15 is a stop value setting circuit, 16 is an addition circuit, 17! : 18 is a sample hold circuit, 21 is a detection level setting circuit, 22 is a comparison circuit, and 23 is a control circuit.

傾斜値変換回路12は掃引電圧の傾斜角を決めるもので
あり、制御回路11の指令により、ディジタル値をアナ
ログ値に変換するDA変換器を使用する。
The slope value conversion circuit 12 determines the slope angle of the sweep voltage, and uses a DA converter that converts a digital value into an analog value according to a command from the control circuit 11.

積分回路13は、傾斜値変換回路12の出力を積分する
もので、fJ引主電圧作り出す。
The integrating circuit 13 integrates the output of the slope value converting circuit 12, and produces the fJ main voltage.

スタート値設定回路14は、掃引電圧のスタート位置を
設定する。
The start value setting circuit 14 sets the start position of the sweep voltage.

ストップ値設定回路15は、t11引電圧のストップ位
置を設定する。
The stop value setting circuit 15 sets the stop position of the t11 pull voltage.

スタート値設定回路14とストップ値設定回路15は、
13A&換器で実現することができる。
The start value setting circuit 14 and the stop value setting circuit 15 are
It can be realized with 13A & converter.

加算回路16は、積分回路13の掃引出力とスタート値
設定回路14の出力を加算して、掃引電圧のスタート電
圧を作り、積分回路13の掃引出力とストップ値設定回
路15の出力を加算して、掃引電圧のストップ電圧を作
る。
The adder circuit 16 adds the sweep output of the integrator circuit 13 and the output of the start value setting circuit 14 to create a start voltage of the sweep voltage, and adds the sweep output of the integrator circuit 13 and the output of the stop value setting circuit 15. , create a stop voltage for the sweep voltage.

サンプルホールド回路17.18は比較回路22の出力
に応じて動作し、サンプルホールド回路17は電圧V 
Tl1m出用、サンプルホールド回路18は電圧V丁り
検出用である。
The sample and hold circuits 17 and 18 operate according to the output of the comparison circuit 22, and the sample and hold circuit 17 operates according to the output of the comparison circuit 22.
The sample and hold circuit 18 for outputting Tl1m is for detecting the voltage V.

次に、加算回路16の出力波形図を第2図に示す。Next, an output waveform diagram of the adder circuit 16 is shown in FIG.

第2図のSTはスタート電圧であり、SPはストップ電
圧である。
ST in FIG. 2 is a start voltage, and SP is a stop voltage.

第2図の横軸は時間を示し、縦軸は電圧を示す。The horizontal axis in FIG. 2 shows time, and the vertical axis shows voltage.

第2図(71は右上りの掃引電圧を示し、第2図(イ)
は右下がりの掃引電圧を示す。
Figure 2 (71 indicates the upward right sweep voltage, Figure 2 (a)
indicates a downward-sloping sweep voltage.

傾斜変換回路12は、!−引電圧の傾斜角を設定する。The slope conversion circuit 12 is! - Set the inclination angle of the pulling voltage.

第2図(つ)は右上りから右下がりに変化する掃引電圧
である。
FIG. 2(T) shows the sweep voltage changing from upward to right to downward to right.

なお、傾斜変換回路12、積分回路13は従来技術で実
現することができる。
Incidentally, the slope conversion circuit 12 and the integration circuit 13 can be realized using conventional techniques.

デバイス3がヒステリシス特性のときは、第2図(つ)
の掃引電圧を使用し、ヒステリシスの幅が狭いときは、
第2図(T)または第2図(イ)を使用する。
When device 3 has hysteresis characteristics, Figure 2 (T)
When using a sweep voltage of , and the hysteresis width is narrow,
Use Figure 2 (T) or Figure 2 (A).

次に、第2図の掃引電圧をデバイス3に加えたときのデ
バイス3の入出力電圧を第3図に示す。
Next, FIG. 3 shows the input/output voltages of the device 3 when the sweep voltage shown in FIG. 2 is applied to the device 3.

第3図(ア)はデバイス3への入力端子であり、時間T
1でしきい値に達する。
Figure 3 (a) shows the input terminal to device 3, and the time T
The threshold is reached at 1.

第3図(イ)はデバイス3の出力電圧であり、時間T1
で電圧が「1」から「0」に変化する。
Figure 3 (a) shows the output voltage of device 3, and time T1
The voltage changes from "1" to "0".

第1図の検出レベル設定回路21は、検出値を設定する
DA変換器である。検出値とは、デバイス3の動作点を
出力側で判断するために設定する値である。
The detection level setting circuit 21 in FIG. 1 is a DA converter that sets a detection value. The detected value is a value set to determine the operating point of the device 3 on the output side.

比較回路22は、デバイス3の出力と検出レベル設定回
路21を入力とし、検出値をこえたとき、サンプルホー
ルド回路17または18を動作させる43号を出す。
The comparison circuit 22 receives the output of the device 3 and the detection level setting circuit 21 as inputs, and outputs No. 43 which activates the sample and hold circuit 17 or 18 when the detected value is exceeded.

制御回路23は、比較回路22の出力から、サンプルホ
ールド回路17またはサンプルホールド回路18へホー
ルド信号を送る。
The control circuit 23 sends a hold signal from the output of the comparison circuit 22 to the sample and hold circuit 17 or the sample and hold circuit 18.

すなわち、第1図のしきい値測定装置の特徴は、デバイ
ス3に加える電圧または電流を連続的に変化することで
、制御回路11とのやり取りを最小限にとどめ、測定時
間を短くしたところにある。
In other words, the feature of the threshold measuring device shown in FIG. 1 is that by continuously changing the voltage or current applied to the device 3, interaction with the control circuit 11 is kept to a minimum and the measurement time is shortened. be.

実際の動作を要約すると、次のようになる。The actual operation can be summarized as follows.

(1)制御回路11からの傾斜データ、検出データなど
がそれぞれ傾斜変換回路12、検出レベル設定回路に転
送される。
(1) Slope data, detection data, etc. from the control circuit 11 are transferred to the slope conversion circuit 12 and the detection level setting circuit, respectively.

(イ)測定開始で、傾斜変換回路12から連続的に増加
または減少する第2図の電圧がデバイス3に加えられる
(a) At the start of measurement, the voltage shown in FIG. 2 that continuously increases or decreases from the slope conversion circuit 12 is applied to the device 3.

(う)入力電圧が変化ししていき、デバイス3の出力が
変化すると、その変化が比較回路22の入力端子となり
、この入力電圧と検出レベル設定回路21の出力とが比
較回路22で比較され、一致したときに、ホールド信号
をサンプルホールド回路17.18に伝達する。
(c) When the input voltage changes and the output of the device 3 changes, this change becomes the input terminal of the comparison circuit 22, and this input voltage and the output of the detection level setting circuit 21 are compared in the comparison circuit 22. , and when they match, a hold signal is transmitted to the sample and hold circuits 17 and 18.

(1)ホールド信号を受けたサンプルホールド回路17
.18は傾斜出力に比例した値を保ち、その値を測定値
とする。
(1) Sample and hold circuit 17 that receives a hold signal
.. 18 maintains a value proportional to the tilt output, and uses that value as the measured value.

(11(7)〜(1)の動作で、傾斜出力を連続的に増
加させて、デバイス3の出力変化を検出し続け、自動的
に傾斜出力を連続的に減少させて、再度、デバイス3の
出力変化を検出すれば、測定値は電圧VTHと電圧VT
Lとなり、電圧VTII−電圧VTLの値から電圧ΔV
Tが求められ、1回のテストで電圧VTR,VTL、Δ
VTの測定を終了する。
(In the operations of 11(7) to (1), the slope output is continuously increased, the output change of the device 3 is continued to be detected, the slope output is automatically continuously decreased, and the slope output is automatically decreased again, and the slope output is continuously detected. If the output change is detected, the measured value will be the voltage VTH and voltage VT.
The voltage becomes L, and the voltage ΔV is calculated from the value of voltage VTII - voltage VTL.
T is determined, and the voltages VTR, VTL, Δ
Finish the VT measurement.

(e)発明の効果 この発明によれば、デバイスに加える電圧、または電流
は、1回のテスト中に、連続的に変化させることができ
るので、1回あたりのテスト時間を、インクリメント機
能による測定や、バイナリ−サーチ機能による測定に比
べ、短くすることができる。
(e) Effects of the Invention According to this invention, the voltage or current applied to the device can be continuously changed during one test, so the test time per test can be measured using the increment function. It can be shorter than measurements using a binary search function or a binary search function.

また、この発明によるしきい値測定装置は、従来装置に
併設することができる。
Further, the threshold measuring device according to the present invention can be installed alongside a conventional device.

【図面の簡単な説明】[Brief explanation of the drawing]

第1図はこの発明による実施例の構成図、第2図は加算
回路16の出力波形1図、第3図はデバイス3に加える
入力電圧波形図とデバイス3の出力波形図、 第4図は従来技術による測定装置の構成図、第5図はデ
バイス3の特性波形図の一例図。 第6図はインクリメント機能による測定波形図、第7図
はパイナリーサーヂ機能による測定波形図。 l・・・・・・制御回路、2・・・・・・電源回路、3
・・・・・・デバイス、4・・・・・・電圧測定回路、
11・・・・・・制御回路、12・・・・・・傾斜変換
回路、13・・・・・・積分回路、14・・・・・・ス
タート値設定回路、15・・・・・・ストップ値設定回
路、18・・・・・・加算回路、17・・・・・・サン
プルホールド回路、18・・・・・・サンプルホールド
回路、21・・・・・・検出レベル設定回路、22・・
・・・・比較回路、23・・・・・・制御回路。 代理人  弁理士  小 俣 欽 4 第   1   図 検出レベル設定回路     比較回路    制御回
路第   2   図 (ア)      (イ)     (つ)第   3
   図 時間 第   4   図 第5図 vTL       VTH 第6図 □時間 □時間 □時間 昭和61年12月25日 1、事件の表示  昭和61年特許願第285032号
2、発明の名称  しきい値測定装置 3、補正をする者 事件との関係  特許出願人 住 所  東京都大田区蒲田4丁目19番7号安藤電気
株式会社内           −。 氏名(8402)弁理士小俣欽司、°“パi5、補正命
令の日付   自 発           i   
′6、補正により増加する発明の数  07、補正の対
象  明細書の「発明の詳細な説明」の欄。 8、補正の内容 (1)明細書第4ページ第14行のrO,5nsJをr
O,5m5Jと補正する。 (2)明細書第7ページ第5行のrVTHJをrVTL
Jと補正する。 (3)明細書第7ページ第10行の「傾斜値変換口」を
「傾斜変換口」と補正する。 (4)明細書第7ページ第16行の「傾斜値変換回路」
を「傾斜変換回路」と補正する。 (5)明細書第7ページ第20行の「傾斜値変換回路」
を「傾斜変換回路」と補正する。 (G)明細書第11ページ第2行の「変化ししていき、
」を「変化していき、」と補正する。
FIG. 1 is a block diagram of an embodiment according to the present invention, FIG. 2 is a diagram of the output waveform of the adder circuit 16, FIG. 3 is a diagram of the input voltage waveform applied to the device 3 and the output waveform of the device 3, and FIG. FIG. 5 is a configuration diagram of a measuring device according to the prior art. FIG. 5 is an example of a characteristic waveform diagram of the device 3. FIG. 6 is a measurement waveform diagram using the increment function, and FIG. 7 is a measurement waveform diagram using the pinary surge function. l... Control circuit, 2... Power supply circuit, 3
...device, 4...voltage measurement circuit,
11... Control circuit, 12... Slope conversion circuit, 13... Integrating circuit, 14... Start value setting circuit, 15...... Stop value setting circuit, 18... Addition circuit, 17... Sample hold circuit, 18... Sample hold circuit, 21... Detection level setting circuit, 22・・・
... Comparison circuit, 23 ... Control circuit. Agent Patent Attorney Kin Omata 4 Figure 1 Detection level setting circuit Comparison circuit Control circuit Figure 2 (A) (B) (T) 3
Figure Time 4 Figure 5 vTL VTH Figure 6 □ Time □ Time □ Time December 25, 1985 1. Display of incident Patent application No. 285032 of 1985 2. Title of invention Threshold measuring device 3 , Relationship with the case of the person making the amendment Patent Applicant Address: Inside Ando Electric Co., Ltd., 4-19-7 Kamata, Ota-ku, Tokyo. Name (8402) Patent Attorney Kinji Omata, °“Pa i5, Date of Amendment Order Voluntary i
'6. Number of inventions increased by amendment 07. Subject of amendment "Detailed description of the invention" column of the specification. 8. Contents of amendment (1) rO, 5nsJ on page 4, line 14 of the specification is r
Correct it to O, 5m5J. (2) rVTHJ on page 7, line 5 of the specification is rVTL
Correct with J. (3) Correct "Slope value conversion port" in the 10th line of page 7 of the specification to "Slope conversion port". (4) “Slope value conversion circuit” on page 7, line 16 of the specification
is corrected as a "slope conversion circuit". (5) “Slope value conversion circuit” on page 7, line 20 of the specification
is corrected as a "slope conversion circuit". (G) On page 11, line 2 of the specification, “As the changes continue,
” is corrected to ``As it changes,''.

Claims (1)

【特許請求の範囲】 1 制御回路(11)からのデータにより傾斜値を変換
する傾斜変換回路(12)と、 傾斜変換回路(12)の出力を入力とし、掃引電圧を発
生する積分回路(13)と、 前記掃引電圧のスタート位置を設定するスタート値設定
回路(14)と、 前記掃引電圧のストップ位置を設定するストップ値設定
回路(15)と、 前記積分回路(13)の出力とスタート値設定回路(1
4)の出力及びストップ値設定回路(15)の出力を入
力とする加算回路(16)と、 加算回路(16)の出力を入力とするサンプルホールド
回路(17)、(18)と、 検出値を設定する検出レベル設定回路(21)と、検出
レベル設定回路(21)の出力と、加算回路(16)の
出力をデバイス(3)に加え、デバイス(3)からの出
力とを入力とする比較回路(22)と、比較回路(22
)の出力からサンプルホールド回路(17)、(18)
のホールド信号を出す制御回路(23)とを備えること
を特徴とするしきい値測定装置。
[Claims] 1. A slope conversion circuit (12) that converts a slope value based on data from a control circuit (11); and an integration circuit (13) that receives the output of the slope conversion circuit (12) and generates a sweep voltage. ), a start value setting circuit (14) that sets the start position of the sweep voltage, a stop value setting circuit (15) that sets the stop position of the sweep voltage, and the output and start value of the integration circuit (13). Setting circuit (1
4) and the output of the stop value setting circuit (15) as inputs, and sample and hold circuits (17) and (18) that receive the output of the adder circuit (16) as inputs, and the detected value. A detection level setting circuit (21) that sets the detection level setting circuit (21), the output of the detection level setting circuit (21), and the output of the addition circuit (16) are added to the device (3), and the output from the device (3) is input. A comparison circuit (22) and a comparison circuit (22)
) Sample and hold circuits (17), (18) from the output of
A threshold measuring device comprising: a control circuit (23) that outputs a hold signal.
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Citations (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
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JPS5178369A (en) * 1974-12-28 1976-07-07 Fujitsu Ltd
JPS5563768A (en) * 1978-11-08 1980-05-14 Fujitsu Ltd Threshold voltage measuring instrument

Patent Citations (2)

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