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JPS63138232A - Vibration testing system - Google Patents

Vibration testing system

Info

Publication number
JPS63138232A
JPS63138232A JP61285138A JP28513886A JPS63138232A JP S63138232 A JPS63138232 A JP S63138232A JP 61285138 A JP61285138 A JP 61285138A JP 28513886 A JP28513886 A JP 28513886A JP S63138232 A JPS63138232 A JP S63138232A
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
vibration
data
specimen
control
limit
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Pending
Application number
JP61285138A
Other languages
Japanese (ja)
Inventor
Toshihiko Takahashi
利彦 高橋
Shinji Kato
真司 加藤
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Tokyo Electron Ltd
Original Assignee
Tokyo Electron Ltd
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Tokyo Electron Ltd filed Critical Tokyo Electron Ltd
Priority to JP61285138A priority Critical patent/JPS63138232A/en
Publication of JPS63138232A publication Critical patent/JPS63138232A/en
Pending legal-status Critical Current

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  • Measurement Of Mechanical Vibrations Or Ultrasonic Waves (AREA)

Abstract

PURPOSE:To execute a test of a product which is weak against a vibration, by controlling a vibration given to a specimen from a result of comparison of a detected vibration data of a part for measuring a vibration and a detected vibration data of a part for controlling a vibration, and a target vibration data and a vibration control data. CONSTITUTION:A data outputted by a limiter use acceleration sensor installed to a part for controlling a vibration in a specimen is collected by a limiter use OAD 6, a counter-limit value comparing module 9 compares said data and a limit data determined in advance, and an amplitude controller 14 controls an amplitude of a vibration which an exciting device S gives to the specimen T, based on a result of this comparison. In such a way, to a part for controlling a vibration in the specimen T, a vibration exceeding some extent is not given. Accordingly, even in case the specimen T is extremely weak against a vibration, a vibration test can be executed without damaging the specimen T.

Description

【発明の詳細な説明】 [発明の目的] (産業上の利用分野) 本発明は、製品の振動試験を行なう振動試験システムに
関する。
DETAILED DESCRIPTION OF THE INVENTION [Object of the Invention] (Industrial Application Field) The present invention relates to a vibration test system for performing vibration tests on products.

(従来の技術) 近年、製品開発技術の進歩や製造メーカ間の競合の激化
に伴なって、製品の小形化、高密度化、軽量化、および
M造コストの低減化の要求が高まっている。
(Conventional technology) In recent years, with advances in product development technology and intensifying competition between manufacturers, there has been an increasing demand for smaller products, higher density, lighter weight, and lower manufacturing costs. .

特に製品の信頼性を高めるための品質管理や開発が重要
になっており、製造部門では製品の振動試験が日夜性な
われている。
In particular, quality control and development to improve product reliability have become important, and manufacturing departments are constantly conducting vibration tests on products.

ところで主要な振動試験であるサイン挿引振動試験は、
非常に多くのテスト時間が必要な上、実用下で起りうる
トラブル現象が試験では再現できないことがあるという
問題があった。
By the way, the main vibration test, the sine insertion vibration test,
In addition to requiring a large amount of testing time, there were problems in that troubles that could occur in actual use could not be reproduced in tests.

こうした事情から近年、多機能型の振動試験システムが
開発され、ランダム加振を中心とする様々な加振方法に
より、製品の実用環境に近い振動試験を極めて容易に行
なうことができるようになった。
Due to these circumstances, multi-functional vibration testing systems have been developed in recent years, and by using various vibration methods, mainly random vibration, it has become extremely easy to conduct vibration tests similar to those in the actual product environment. .

この振動試験システムにより、開発段階において設計性
能および設計限界の評価や確認を行なうことができる上
、製品の共振特性を把握することができるので、最適な
梱包の設計等が可能となる。
This vibration testing system makes it possible to evaluate and confirm design performance and design limits during the development stage, and also to understand the resonance characteristics of a product, making it possible to design optimal packaging.

さらに最終製品の振動試験を行ない、組立て不良や初期
不良を早期に発見し、出荷する製品の品質管理を厳密に
行なうことも可能になる。
Furthermore, by conducting vibration tests on the final product, it becomes possible to detect assembly defects and initial defects at an early stage, and to strictly control the quality of products to be shipped.

ところで製品の中には極端に振動に弱く、振動試験の際
に破損してしまうものがある。特に大型構造物(人工肯
星や航空機等)にこのようなものが多い。
By the way, some products are extremely susceptible to vibration and are damaged during vibration tests. This is especially common in large structures (artificial stars, aircraft, etc.).

したがって製品が極端に振動に弱い場合には、振動試験
を相当慎重に行なわなければならず、繰作者に大きな負
担をかけるという問題があった。
Therefore, if the product is extremely susceptible to vibration, the vibration test must be carried out very carefully, which poses a problem of placing a heavy burden on the operator.

(発明が解決しようとする問題点) 本発明は上述したような事情によりなされたもので、振
動に極端に弱い製品の振動試験を容易に行なうことがで
きる振動試験システムの提供を目的としている。
(Problems to be Solved by the Invention) The present invention has been made in view of the above-mentioned circumstances, and aims to provide a vibration test system that can easily conduct vibration tests on products that are extremely susceptible to vibration.

[発明の構成コ (問題点を解決するための手段) 本発明の振動試験システムは、供試体に振動を与える加
振手段と、前記供試体において振動を測定すべき部分に
装着された第1の振動検出手段と、前記供試体において
振動を規制すべき部分に装着された第2の振動検出手段
と、前記第1の振動検出手段が出力する振動データを収
集して各データの平均化処理を行なうデータ収集平均化
手段と、前記第2の振動検出手段が出力する振動データ
を収集するデータ収集手段と、前記第1の振動検出手段
から得られたデータと予め定められた目標振動データと
を比較する第1のデータ比較手段と、前記第2の振動検
出手段が得たデータと予め定められた振動規制データと
を比較する第2のデータ比叙手段と、各比較結果に基い
て前記加振子段が前記供試体に与える振動の振幅を制御
する加振制御手段とを備えたものである。
[Configuration of the Invention (Means for Solving Problems) The vibration test system of the present invention includes: a vibrating means for applying vibration to a specimen; Collecting vibration data output from the vibration detection means, a second vibration detection means attached to a part of the specimen where vibration is to be regulated, and the first vibration detection means, and averaging each data. data collection means for collecting vibration data outputted by the second vibration detection means; data obtained from the first vibration detection means and predetermined target vibration data; a first data comparing means for comparing the data obtained by the second vibration detecting means and predetermined vibration regulation data; and vibration control means for controlling the amplitude of vibration that the vibrator stage gives to the specimen.

〈作 用) 本発明の振動試験システムでは、供試体において振動を
規制すべき部分に装着された第2の振動検出手段が出力
するデータを第2のデータ収集手段が収集し、第2のデ
ータ比較手段がこのデータと予め定められた振動規制デ
ータとを比較し、加振制御手段がこの比較結果に基いて
加振手段が供試体に与える振動の振幅を制御するので、
供試体において振動を規制すべき部分には、あらかじめ
定められた以上の振動が与えられず、供試体が破損する
おそれがない。
<Function> In the vibration test system of the present invention, the second data collection means collects the data output by the second vibration detection means attached to the part of the specimen where vibration is to be restricted, and the second data collection means The comparison means compares this data with predetermined vibration regulation data, and the vibration control means controls the amplitude of vibration applied to the specimen by the vibration means based on the comparison result.
Vibrations exceeding a predetermined level are not applied to the parts of the specimen whose vibrations should be regulated, and there is no risk of damage to the specimen.

(実施例) 以下、本発明の実施例の詳細を図面に基いて説明する。(Example) Hereinafter, details of embodiments of the present invention will be explained based on the drawings.

第1図は本発明の一実施例システムの構成を示すブロッ
ク図である。
FIG. 1 is a block diagram showing the configuration of a system according to an embodiment of the present invention.

同図において1は加振装置S、加振装置用増幅器A1、
制御用加速度センサ(4チヤンネル、図示せず)、振動
規制用(以下リミット用と称する)加速度センサ(32
チヤンネル、図示せず)、センサ用増幅器A2 、A3
および接続用のケーブル等からなる外部負荷である。
In the figure, 1 is an excitation device S, an amplifier A1 for the excitation device,
Control acceleration sensor (4 channels, not shown), vibration regulation (hereinafter referred to as limit) acceleration sensor (32
channels, not shown), sensor amplifiers A2 and A3
and an external load consisting of connection cables, etc.

そして2は制御用加速度センサからの振動レベルデータ
(以下RMS値と称ずろ)を計測する制御用オーバオー
ルディテクタ(4チヤンネル、以下制御用OADと称す
る)、3は1回のループで1度、4チヤンネル分のRM
S値をメモリに読込み、平均処理をするデータ収集/平
均処理モジュール、4はセットアツプ時に設定する目標
スペクトルデータが格納されている目標スペクトルデー
タ格納モジュール、5は目標スペクトルと制御チャンネ
ルのRMS値の平均とを比較し、次に供試   一体1
゛に加えるべき振動の振幅を計算する対iYA値比較モ
ジュールである。
2 is a control overall detector (4 channels, hereinafter referred to as control OAD) that measures vibration level data (hereinafter referred to as RMS value) from the control acceleration sensor; 3 is once in one loop; RM for 4 channels
A data collection/average processing module that reads the S values into memory and averages them; 4 is a target spectrum data storage module that stores target spectrum data set during setup; 5 is a module that stores the RMS values of the target spectrum and control channel; Compare with the average, then test sample 1
This is a pair-iYA value comparison module that calculates the amplitude of vibration to be applied to the iYA value.

また6はリミッタ用加速度センサからのRMS値を11
測するリミッタ用OAD、7は1回のループで1度に3
2チャンネル分のRMS値をメモリへ読込むデータ収集
モジュール、8はセット771時に設定するチャンネル
ごとのリミット値(64種類のリミット値を設定するこ
とができ、各チャンネルにつき前記64種類のうち4種
類のリミット値を選択することができ、これらに対応す
る4種類の周波数を設定することができる)を格納する
りミツト値テーブル格納モジュール、9はリミット値と
リミッタチャンネル計測値とを比較し、リミット値を超
えているか否かを判断する対リミット値比較モジュール
である。
Also, 6 is the RMS value from the limiter acceleration sensor to 11
OAD for limiter to measure, 7 is 3 at a time in one loop
A data collection module that reads the RMS values for two channels into memory, 8 is a limit value for each channel that is set when setting 771 (64 types of limit values can be set, and 4 types out of the above 64 types for each channel) A limit value table storage module 9 can be used to compare the limit value with the limiter channel measurement value, This is a limit value comparison module that determines whether the limit value is exceeded.

さらに10はスイープレート、周波数範囲、ループ回数
より、現ループにおける振動の周波数を計算する周波数
コントローラであり、この周波数は目標スペクトルから
現ループの周波数における値を取出すのと次のサイン波
を計算するために使用される。
Furthermore, 10 is a frequency controller that calculates the frequency of vibration in the current loop from the sweep rate, frequency range, and number of loops, and this frequency is calculated by extracting the value at the frequency of the current loop from the target spectrum and calculating the next sine wave. used for.

また11は次のループで出力するサイン波形(振幅一定
)を作成するサイン波形作成モジュール、12は作成し
たディジタルデータのサイン波形をアナログ信号に変換
するディジタル−アナログ(D/A)コンバータ、13
はリミットチャンネルがリミット値を超えた場合はリミ
ット制御、それ以外の場合には平均制御に切換えるリミ
ット制御/平均制御切換モジュール、14は次のループ
で出力するサイン波の振幅を決定する振幅コントローラ
、15はD/Aコンバータ12からの出力サイン波の振
幅を調整し、適正値にする出力アッテネータ、16は階
段状になっているD/Aコンバータ12の出力を平滑化
するスムージングフィルタである。
Further, 11 is a sine waveform creation module that creates a sine waveform (constant amplitude) to be output in the next loop, 12 is a digital-to-analog (D/A) converter that converts the created sine waveform of digital data into an analog signal, and 13
14 is a limit control/average control switching module that switches to limit control when the limit channel exceeds the limit value and to average control otherwise; 14 is an amplitude controller that determines the amplitude of the sine wave to be output in the next loop; 15 is an output attenuator that adjusts the amplitude of the output sine wave from the D/A converter 12 to a proper value, and 16 is a smoothing filter that smoothes the stepped output of the D/A converter 12.

本実施例システムでは正弦波掃引加振コントロールの際
、供試体′rの保護の目的とするリミット機能をリミッ
タ用加速度データ収集手段を利用して行なう、これによ
りコントロールソフトウェアの負担が軽減され、多チャ
ンネル、同時データ入力、各リミットデータの保存、各
リミットチャンネルごとのリミットパターンの制御等が
可能となる。
In this embodiment system, during sinusoidal sweep excitation control, the limit function for the purpose of protecting the specimen 'r is performed using the limiter acceleration data collection means. This reduces the burden on the control software and increases the Channels, simultaneous data input, saving of each limit data, control of limit patterns for each limit channel, etc. are possible.

これらの機能は、両足や航空機を始めとする大型構造物
の振動試験において特に必要であるが、本実施例システ
ムでは多チヤンネルデータ入力を実現したことによりリ
ミット制御精度が極めて高い。
These functions are especially necessary in vibration tests of large structures such as legs and aircraft, but the system of this embodiment achieves extremely high limit control accuracy by realizing multi-channel data input.

第2図は本実施例システムを具体的に構成した場合のブ
ロック図であり、GR−2514バイブレーシヨンコン
トロールシステム(商品名、米国ジエンラッド社製)を
用いている。
FIG. 2 is a block diagram of a concrete configuration of the system of this embodiment, in which GR-2514 vibration control system (trade name, manufactured by Zienrad, USA) is used.

なお図中17はリミット検出器であり、12チヤンネル
の0PT−4006(商品名、東京エレクトロン社製)
が3台(最大4台)用いられている。
In addition, 17 in the figure is a limit detector, which is a 12-channel 0PT-4006 (product name, manufactured by Tokyo Electron).
Three (maximum four) are used.

本実施例システムではメニュ一方式によるオペレーショ
ンが採用されており、多点(制御チャンネル+リミット
チャンネル=最大48チャンネル)のリミット値制御が
可能である。
The system of this embodiment employs a one-menu operation, and is capable of controlling limit values at multiple points (control channel + limit channel = maximum 48 channels).

そしてRMS値を保存し、各リミットチャンネル毎にリ
ミット値を設定することが可能である。
It is then possible to save the RMS value and set a limit value for each limit channel.

また10種類の加振保護機能(後述)をもち、試験中の
表示機能としては9種類のスペクトル表示と6種・類の
数値表示が可能である。
It also has 10 types of vibration protection functions (described later), and can display 9 types of spectrum display and 6 types/classes of numerical display during testing.

以下本実施例システムの仕様について説明する。The specifications of the system of this embodiment will be explained below.

(1)機能 セットアツプ・・・制御パラメータの指定テスト・・・
制御実行 データリプレイ・・・ディスクからのデータ読出および
表示 ループチェック・・・試験前の結線の確認リジュームテ
スト・・・中断した試験の再実行アナリシス・・・デー
タ収集のみを行なうポストテスト・・・加振試験の終了
または停止理由のレポート (2)アナログ入力 入力チャンネル数 制御用・・・最大8チヤンネル リミット用・・・最大40チヤンネル 入力レベル・・・最大±10V 加速度計感度・・・各入力チャンネル毎に設定(3)デ
ィテクタ入力(リミット制rn)リミント値・・・各チ
ャンネル毎にセットアツプ横軸モード・・・各周波数軸
(分解能1024本)アボート値・・・各リミット値に
対して十dBをセット (4)アナログ出力 出力チャンネル・・・1チャンネル 出力レベル・・・±10V 出力レベル制御・・・12ピッl−D/Aコンバツバ×
12ビットアッテネータ 出力波形・・・正弦波 (5)制御仕様 制御方式・・・1チヤンネル、多チヤンネル平均リミッ
ト制御併用、多チャンネル 最大値、最小値 制御スペクトル・・・実効値制御 周波数範囲・・・5〜2000ヘルツ 周波数精度・・・加振周波数に対し0.1%以内最大出
力レベル・・・±IOV 最小入出力レベル・・・±10mVrms入出力ダイナ
ミックレンジ・・・60dB婦引時間精度・・・11%
以内 掃引速度・・・0.01〜50 o c t / m 
i n(対数) (6)試験実行方式 自動モード・・・スイープ速度の指定、試験時間の指定 手動モード・・・スイープの停止、逆方向へのスイープ
指定、スィーブの再起動 (7)データの保存 セットアツプ項目 制御信号(各チャンネル1024ポイントで保存可) *但し合計48点(40チヤンネルリミツト+8チヤン
ネルコントロール) (8)保護機能 ループチェック・・・試験前に結線が正常であることを
確認する アラーム・・・制御の誤差が指定範囲を外れると警告す
る アボート・・・制御の誤差が指定範囲を外れると停止す
る リミットアボート・・・リミット値より高レベルの許容
値を設定し、この 範囲を超えた場合に停止 する 外部負荷最大定格・・・加振装置の最大定格を設定し、
目標スペクトルが 定格を超えた場合に警告 する コントロール信号損失・・・コントロール信号がノイズ
レベル以下に下っ た場合、試験を停止する コントロール信号の平均 値が目標値に対して、2 0dB以上異なる場合、 試験を停止する チャンネルオーバロード オペレータアボート スタートアップタイム シャットダウンタイム 可変コンプレッションスピード 可変スイープスピード 外部アラームアボート(RCI ) (9)表示機能 一スベクトル表示− コントロールチャンネルの平均値 リミットコントロールチャンネル ドライブスペクトル値 目標スペクトル コントロールアラームレベル コントロールアボートレベル リミットレベル リミットアボートレベル 制御に使われている値 エラースペクトル 一数値表示− ネ1回のループで次の値を表示する 制御に使われているチャンネル(リミットチャンネルを
含む) 試験開始後の時間 現在の周波数 目標値 ユニット(加速度、速度、変位、その他)制御値 (10)再表示(スペクトル、数値表示)コントロール
チャンネル リミットチャンネル ドライブスペクトル 目標スペクトル コントロールアラーム、アボートレベルリミットチャン
ネルリミット、アボートレベル 制御に使われた値 エラースペクトル(コントロールと目標との差) (11)リモートコントロール かくして本実施例システムによれば、供試体Tにおいて
振動を規制すべき部分に装着されたリミッタ用加速度セ
ンサが出力するデータをリミッタ用0AD6が収集し、
対リミット値比較モジュール9がこのデータと予め定め
られたリミットデータとを比較し、振幅コントローラ1
4がこの比較結果に基いて加振装置Sが供試体′rに与
える振動の振幅を制御するので、供試体Tにおいて振動
を規制すべき部分には、ある程度以上の振動が与えられ
ない。
(1) Function setup...control parameter specification test...
Control execution data replay...Reading data from disk and display loop check...Checking connections before testingResume test...Rerunning interrupted testsAnalysis...Post test that only collects data... Report on the reason for the end or stop of the vibration test (2) Analog input For controlling the number of input channels...Maximum 8 channel limit...Maximum 40 channels Input level...Maximum ±10V Accelerometer sensitivity...Each input Setting for each channel (3) Detector input (limit control rn) Limit value...Set up for each channel Horizontal axis mode...Each frequency axis (resolution 1024 lines) Abort value...For each limit value Set 10 dB (4) Analog output Output channel...1 channel Output level...±10V Output level control...12 pin l-D/A converter x
12-bit attenuator output waveform...Sine wave (5) Control specifications Control method...1 channel, multi-channel average limit control combination, multi-channel maximum value, minimum value control spectrum...Effective value control frequency range... 5 to 2000 Hz Frequency accuracy...within 0.1% of excitation frequency Maximum output level...±IOV Minimum input/output level...±10mVrms Input/output dynamic range...60dB reduction Time accuracy...・11%
Sweep speed: 0.01 to 50 oct/m
i n (logarithm) (6) Test execution method automatic mode...specify sweep speed, test time manual mode...stop sweep, specify sweep in the opposite direction, restart sweep (7) Data Save setup item control signal (1024 points for each channel can be saved) *Total 48 points (40 channel limit + 8 channel control) (8) Protection function loop check... Confirm that the wiring is normal before testing Alarm...Abort that warns when the control error is outside the specified range...Limit Abort that stops when the control error falls outside the specified range...Set a tolerance value that is higher than the limit value, and Maximum external load rating that will stop if exceeds... Set the maximum rating of the vibration device,
Control signal loss that warns when the target spectrum exceeds the rating...If the control signal falls below the noise level, the test will be stopped.If the average value of the control signal differs from the target value by 20 dB or more, Stop the test Channel Overload Operator Abort Startup Time Shutdown Time Variable Compression Speed Variable Sweep Speed External Alarm Abort (RCI) (9) Display Function - Spread Vector Display - Control Channel Average Value Limit Control Channel Drive Spectrum Value Target Spectrum Control Alarm Level Control Abort Level Limit Level Limit Abort Value used for Level Control Error Spectrum Single Value Display Channels used for control (including limit channels) that display the next value in one loop After the test starts Time Current frequency Target value Unit (acceleration, velocity, displacement, etc.) Control value (10) Redisplay (spectrum, numerical display) Control channel limit Channel drive spectrum target Spectrum control Alarm, abort level limit Channel limit, abort level control Value used for error spectrum (difference between control and target) (11) Remote control According to the system of this embodiment, the limiter acceleration sensor attached to the part of the specimen T where vibration is to be restricted outputs Data is collected by limiter 0AD6,
A limit value comparison module 9 compares this data with predetermined limit data, and the amplitude controller 1
4 controls the amplitude of the vibration applied to the specimen 'r by the vibration excitation device S based on this comparison result, so that vibrations exceeding a certain level are not applied to the portion of the specimen T where vibration should be regulated.

したがって供試体Tが#!端に振動に弱い場合でも、供
試体Tが破損するようなおそれがない。
Therefore, the specimen T is #! Even if the ends are susceptible to vibration, there is no risk that the specimen T will be damaged.

[発明の効果コ 以上説明したように本発明システムによれば、供試体に
おいて振動を規制すべき部分に装着された第2の振動検
出手段が出力するデータを第2のデータ収集手段が収集
し、第2のデータ比較手段がこのデータと予め定められ
たリミットデータとを比較し、加振制御手段がこの比較
結果に基いて加振手段が供試体に与える振動の振幅を制
御するので、振動に極めて弱い供試体の振動試験を極め
て容易に行なうことができる。
[Effects of the Invention] As explained above, according to the system of the present invention, the second data collection means collects the data output from the second vibration detection means attached to the part of the specimen where vibration is to be regulated. , the second data comparison means compares this data with predetermined limit data, and the vibration control means controls the amplitude of the vibration applied to the specimen by the vibration means based on the comparison result, so that the vibration Vibration tests on specimens that are extremely susceptible to vibration can be performed extremely easily.

【図面の簡単な説明】[Brief explanation of the drawing]

第1図は本発明の一実施例の構成を示すブロック図、第
2図は同実施例を具体的に示すブロック図である。 1・・・負荷、2・・・制御用オーバオールディテクタ
、3・・・データ収集/平均処理モジュール、4・・・
目標スペクトルデータ格納モジュール、5・・・対目標
値比教モジュール、6・・・リミッタ用オーバオールデ
ィテクタ、7・・・データ収集モジスール、8・・・リ
ミット値テーブル格納モジュール、9・・・対リミット
値比較モジュール、10・・・周波数コントローラ、1
1・・・サイン波形作成モジュール、12・・・D/A
コンバータ、13・・・リミット制御/平均制御切換モ
ジュール、14・・・振幅コントローラ、15・・・出
力アッテネータ、16・・・スムージングフィルタ、1
7・・・リミット検出器、18・・・バイブレーション
コントロールシステム、T・・・供試体、S・・・加振
装置。 出願人 東京エレクトロン株式会社 代理人 弁理士  須 山 佐 − 第1図
FIG. 1 is a block diagram showing the configuration of an embodiment of the present invention, and FIG. 2 is a block diagram specifically showing the embodiment. DESCRIPTION OF SYMBOLS 1...Load, 2...Overall detector for control, 3...Data collection/average processing module, 4...
Target spectrum data storage module, 5...Target value comparison module, 6...Overall detector for limiter, 7...Data collection module, 8...Limit value table storage module, 9...Pair Limit value comparison module, 10...Frequency controller, 1
1... Sine waveform creation module, 12... D/A
Converter, 13... Limit control/average control switching module, 14... Amplitude controller, 15... Output attenuator, 16... Smoothing filter, 1
7... Limit detector, 18... Vibration control system, T... Specimen, S... Vibration device. Applicant Tokyo Electron Co., Ltd. Agent Patent Attorney Sasa Suyama - Figure 1

Claims (1)

【特許請求の範囲】[Claims] (1)供試体に振動を与える加振手段と、前記供試体に
おいて振動を測定すべき部分に装着された第1の振動検
出手段と、前記供試体において振動を規制すべき部分に
装着された第2の振動検出手段と、前記第1の振動検出
手段が出力するデータを収集する第1のデータ収集手段
と、前記第2の振動検出手段が出力するデータを収集す
る第2のデータ収集手段と、前記第1の振動検出手段か
ら得られたデータと予め定められた目標振動データとを
比較する第1のデータ比較手段と、前記第2の振動検出
手段から得られたデータと予め定められた振動規制デー
タとを比較する第2のデータ比較手段と、各比較結果に
基いて前記加振手段が前記供試体に与える振動の振幅を
制御する加振制御手段とを備えてなることを特徴とする
振動試験システム。
(1) A vibration excitation means for applying vibration to the specimen, a first vibration detection means attached to a part of the specimen where vibration is to be measured, and a first vibration detection means attached to a part of the specimen where vibration is to be regulated. a second vibration detection means; a first data collection means for collecting data output from the first vibration detection means; and a second data collection means for collecting data output from the second vibration detection means. a first data comparison means for comparing data obtained from the first vibration detection means and predetermined target vibration data; and a first data comparison means for comparing data obtained from the second vibration detection means and predetermined target vibration data and vibration control means for controlling the amplitude of the vibration applied to the specimen by the vibration excitation means based on each comparison result. vibration test system.
JP61285138A 1986-11-29 1986-11-29 Vibration testing system Pending JPS63138232A (en)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP61285138A JPS63138232A (en) 1986-11-29 1986-11-29 Vibration testing system

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP61285138A JPS63138232A (en) 1986-11-29 1986-11-29 Vibration testing system

Publications (1)

Publication Number Publication Date
JPS63138232A true JPS63138232A (en) 1988-06-10

Family

ID=17687594

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP61285138A Pending JPS63138232A (en) 1986-11-29 1986-11-29 Vibration testing system

Country Status (1)

Country Link
JP (1) JPS63138232A (en)

Cited By (9)

* Cited by examiner, † Cited by third party
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