JPS63137497A - Manufacture of ceramic wiring circuit board - Google Patents
Manufacture of ceramic wiring circuit boardInfo
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Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。(57) [Summary] This bulletin contains application data before electronic filing, so abstract data is not recorded.
Description
【発明の詳細な説明】
〔技術分野〕
この発明は、従来の平面状基板に回路形成をしたセラミ
ック配線回路板とは異なり、異形ないし立体形状の基板
に回路形成をし、電子機器のケース等に応用することに
より、電子機器のコンパクト化、軽量化に役立てること
を目的としたセラミックス材料の選択および製造プロセ
スに関するものである。[Detailed Description of the Invention] [Technical Field] Unlike the conventional ceramic wiring circuit board in which a circuit is formed on a flat board, the present invention enables a circuit to be formed on an irregularly or three-dimensionally shaped board, and is used for cases such as cases of electronic devices. The present invention relates to the selection and manufacturing process of ceramic materials that are used to make electronic devices more compact and lightweight.
近年、電子機器の小型化、軽量化への要求は、年々厳し
くなって来ており、電子部品の小型化は日進月歩で進ん
で来ている。電子回路基板も、片面配線から、両面配線
、そして多層化へとすすみ、電子機器の限られた空間に
出来る丈多くの機能をつめ込むためにフレキシブル配線
板の使用も実施されている。In recent years, the demand for smaller and lighter electronic devices has become stricter year by year, and the miniaturization of electronic components is progressing day by day. Electronic circuit boards have also progressed from single-sided wiring to double-sided wiring to multilayer wiring, and flexible wiring boards are being used to pack more functions into the limited space of electronic devices.
更に、機能をつめ込む方法として、電子機器のケースと
配線とを一体化させ、即ち、ケース表面に配線回路を施
こすという方法が採用されている。この場合、用いられ
る素材はアルミをベースとし、絶縁層としてエポキシ系
樹脂を使用した金属基板であり、まず、平板の金属基板
に回路を形成し、然る後にプレスによりケースを成形す
るものであり、商品としては電卓、小型ラジオ等に用い
られている。Furthermore, as a method of integrating functions, a method has been adopted in which the case of the electronic device and the wiring are integrated, that is, a wiring circuit is provided on the surface of the case. In this case, the material used is a metal substrate with an aluminum base and an epoxy resin as an insulating layer. First, a circuit is formed on the flat metal substrate, and then a case is formed by pressing. As products, it is used in calculators, small radios, etc.
即ち、従来までの異形状(非平面状の)配線回路基板は
、殆んど全部がプラスチックスまたはプラスチックスと
金属の複合材料であり、セラミックスを素材とする配線
回路基板は平面のものに限られていた。In other words, conventional irregularly shaped (non-planar) printed circuit boards are almost entirely made of plastic or a composite material of plastics and metal, and printed circuit boards made of ceramics are limited to planar ones. It was getting worse.
この発明は、焼成前のセラミックグリーンシートに回路
形成を行ない、プレス加工により非平面状に成形したの
ち、焼成することにより、電子機器のコンパクト化、軽
量化に役立つ異形状を持つ配線回路基板を製造するため
の方法を提供することを目的とする。This invention forms a circuit on a ceramic green sheet before firing, presses it into a non-planar shape, and then fires it to create a printed circuit board with an irregular shape that is useful for making electronic devices more compact and lightweight. The purpose is to provide a method for manufacturing.
非平面状のセラミックス配線回路基板をつくるには、ま
ず、非平面状のセラミックスを成形焼成し、然る後に回
路を印刷等の方法で形成するという方法が考えられるが
、この方法では、曲面への印刷というやっかいな問題が
住じる。In order to make a non-planar ceramic wiring circuit board, it is possible to first mold and fire the non-planar ceramic and then form the circuit by printing or other methods. There is the troublesome problem of printing.
そこで、本発明者らは、セラミックスを焼成する前に回
路を形成しておき、セラミックスと4体回路とを同時焼
成することによりこの問題を解決した。Therefore, the present inventors solved this problem by forming a circuit before firing the ceramic and firing the ceramic and the four-body circuit simultaneously.
以下、この発明をプロセスを追って詳細に説明する。Hereinafter, this invention will be explained in detail following the process.
(1) セラミックスのグリーンシートを準備する工
程
セラミックスとしては成形・焼成後の特性が、電気的に
絶縁性で、機械的強度が大きく、耐湿性、耐水性に強い
ものであれば、どんなものでも良いが、一般に用いられ
ているアルミナ系磁器、ステアタイト系磁器、ガラスセ
ラミックス系磁器等が用いられ・る。(1) Process of preparing ceramic green sheets Any ceramic can be used as long as it has electrically insulating properties, high mechanical strength, and strong moisture and water resistance after forming and firing. However, commonly used alumina porcelain, steatite porcelain, glass ceramic porcelain, etc. can be used.
例えば、アルミナ系のセラミックスの場合、その原材料
としては、アルミナ(平均粒径0.5μ〜5μのものが
好ましい)を92%〜99.5%、フラックスとして、
粘土、クレー、シリカ、炭酸カルシウム、炭酸マグネシ
ウムおよび(または)それらの混合物を、たとえば0.
5〜8%混合し、粉砕して乾燥したものを用いる。また
、ガラスセラミックス系の場合には、絶縁性ガラスの微
粉末を主成分とし、その粉末に、アルミナ、・ステアタ
イト、シリカ、フォルステライトなどの絶縁性の無機粉
末を加え、混合、粉砕して乾燥したものを用いる。For example, in the case of alumina-based ceramics, the raw materials include 92% to 99.5% alumina (preferably those with an average particle size of 0.5μ to 5μ) and flux.
Clays, clays, silicas, calcium carbonates, magnesium carbonates and/or mixtures thereof, such as
A mixture of 5 to 8%, pulverized and dried is used. In the case of glass ceramics, the main component is fine powder of insulating glass, and insulating inorganic powders such as alumina, steatite, silica, and forsterite are added to the powder, mixed, and ground. Use dried ones.
これらのセラミックス粉末より、グリーンシートをつく
るには、大別して押出成形法とドクターブレード成形法
とがある。There are two main methods for producing green sheets from these ceramic powders: extrusion molding and doctor blade molding.
押出成形法では、まず、セラミックスの原材料粉末とバ
インダー、可塑剤、分散剤、水(又は溶媒)等を混合、
混練し、押出成形機より押出金型からシート状に押出成
形する。薄い方で0.2 w、厚いものでは数龍のシー
トを押出成形することが出来る。In the extrusion molding method, first, ceramic raw material powder is mixed with binder, plasticizer, dispersant, water (or solvent), etc.
The mixture is kneaded and extruded into a sheet from an extrusion mold using an extrusion molding machine. It is possible to extrude a thin sheet of 0.2W and a thick sheet of several dragons.
他方、ドクターブレード成形法では、セラミックスの原
材料粉末とバインダー、分散剤、可塑剤、溶媒とを混合
し、スラリー状にしたものを、ドクターブレードと呼ば
れるナイフとポリエステルフィルムのすき間から流し出
し、塗工し、フィルム上でスラリーを乾燥させてから剥
離して、シートを作成する。薄いシートの成形に有利で
、o、。On the other hand, in the doctor blade molding method, ceramic raw material powder is mixed with a binder, a dispersant, a plasticizer, and a solvent, and the slurry is poured out through the gap between a knife called a doctor blade and a polyester film, and then coated. The slurry is then dried on the film and then peeled off to create a sheet. Advantageous for forming thin sheets, o.
5龍〜1鶴のシートが成形できる。A sheet of 5 dragons to 1 crane can be formed.
本発明の目的のためには、いずれの方法を用いても良い
が、夫々の方法に適したバインダー、可塑剤、分散剤の
組み合わせを選択せねばならないシート成形に用いられ
るバインダーとしては、セルロース系(メチルセルロー
ス、エチルセルロース等)、PVA、アクリル系、ポリ
ビニルブチラール等が主として用いられる。For the purpose of the present invention, any method may be used, but a combination of binder, plasticizer, and dispersant suitable for each method must be selected.As the binder used for sheet forming, cellulose-based (methyl cellulose, ethyl cellulose, etc.), PVA, acrylic, polyvinyl butyral, etc. are mainly used.
可塑剤としては、ジブチルフタレート、ジオクチルフタ
レート、グリセリン等が、分散剤としては非イオン系界
面活性剤等が用いられる。As the plasticizer, dibutyl phthalate, dioctyl phthalate, glycerin, etc. are used, and as the dispersant, a nonionic surfactant, etc. are used.
(2ン グリーンシート上に導体回路を形成する方法
。(2) A method of forming a conductor circuit on a green sheet.
本発明の目的のためには、大別して2つの方法が有効で
ある。Broadly speaking, two methods are effective for the purpose of the present invention.
まず、グリーンシート上に直接印刷する方法は、グリー
ンシートを予め(必要があるならば)穴空は加工を行っ
たのち、スクリーン印刷により、セラミックスに合致し
た導体ペーストを印刷するつぎに転写紙をセットする方
法がある。予め、スクリーン印刷や、転写印刷により、
熱分解性の良い高分子フィルムの上に、導体ペーストを
印刷して得られる転写紙を、プレス成形する前にグリー
ンシート上にセット又は張りつける方法である導体ペー
ストは、セラミックスの材料、即ち、焼結特性に応じて
選択しなければならない。First, the method of printing directly onto a green sheet is to first process the holes in the green sheet (if necessary), then print a conductive paste that matches the ceramics using screen printing, and then apply transfer paper. There is a way to set it. By screen printing or transfer printing in advance,
Conductive paste is a method in which a transfer paper obtained by printing conductive paste on a polymer film with good thermal decomposition is set or pasted on a green sheet before press molding. The choice must be made according to the binding characteristics.
例えば、セラミックスが92%アルミナの場合には、焼
結温度が1300℃を超えるため、金や銀などの低融点
金属ペーストでは不都合で、タングステン、モリブデン
、マンガンおよびそれらの混合物(又は合金)等が用い
られる。For example, when the ceramic is 92% alumina, the sintering temperature exceeds 1300°C, so it is inconvenient to use low-melting point metal pastes such as gold or silver, and tungsten, molybdenum, manganese, and mixtures (or alloys) thereof are inconvenient. used.
他方、セラミックスが、ガラスセラミックスの場合には
、概ね1000℃以下での焼成が可能となるので、金、
銀、銅などの金属ペーストが用いられる。On the other hand, if the ceramic is glass ceramic, it can be fired at approximately 1000°C or less, so gold,
Metal pastes such as silver and copper are used.
直接印刷法によると、印刷した金属ペーストがプレス成
形の際に成形金型の表面に直接、接触し、応力が加わる
ことになるので、極端な曲げ加工や、ネジリ、絞り加工
が入るようなプレス成形は望めない。According to the direct printing method, the printed metal paste comes into direct contact with the surface of the mold during press molding, and stress is applied to the surface of the mold. Cannot be molded.
一方、転写紙をセットするもう一方の方法では、成形金
型の表面には、フィルム状の転写用台紙が接触するだけ
なので、回路に大巾なダメージを与えるということは殆
どない。On the other hand, in the other method of setting the transfer paper, only the film-like transfer mount comes into contact with the surface of the molding die, so there is almost no possibility of major damage to the circuit.
コスト高にはなるが、変形加工度の大きなセラミックス
にはこの方法が有利である。Although the cost is high, this method is advantageous for ceramics that are highly deformed.
(3)異形状に成形する方法
回路形成したグリーンシートを異形状に成形するには、
プレス成形が望ましい。(3) Method of forming a circuit-formed green sheet into an unusual shape.
Press molding is preferable.
その成形条件は、グリーンシートの材料配合によって決
まる材料物性に応じて決める。The molding conditions are determined depending on the material properties determined by the material composition of the green sheet.
例えば、アルミナ系のセラミックス材料を熱可塑性のア
クリル系のバインダーを用いて押出し成形したような場
合には、予めシートを加熱し、柔軟性を出しておき、冷
却した金型でプレス成形する方法が用いられる。For example, if an alumina-based ceramic material is extruded using a thermoplastic acrylic binder, it is best to heat the sheet in advance to make it flexible, and then press-form it in a cooled mold. used.
また、同じアルミナ系のセラミックス材料でも、熱ゲル
化する性質を持つメチルセルロースをバインダーとして
用いて、押出成形したようなシートの場合には、室温以
下に保ったシートを加熱した金型でプレス成形する方法
が用いられる。In addition, in the case of extrusion-molded sheets of the same alumina-based ceramic material using methylcellulose, which has the property of thermally gelling, as a binder, the sheet is kept at room temperature or below and then press-molded in a heated mold. method is used.
成形加工した薄いシートを、形状をくずすことなく離型
するのが成形のポイントである。そのための条件は、ケ
ースバイケースで設定してゆかねばならない。
−
(4)焼成する方法
非平面状に成形したグリーンシートを焼成するときに留
意すべき点は、
■脱バインダーの条件を適切に設定すること、■焼結温
度を適切に設定すること、
■焼成の雰囲気をコントロールすること、■シートを保
持するための治具をマツチさせたものにすること、
である。以下、順を追って説明する。The key to molding is to release the formed thin sheet from the mold without losing its shape. Conditions for this must be established on a case-by-case basis.
- (4) Method of firing When firing a green sheet formed into a non-flat shape, the following points should be kept in mind: ■ Appropriate setting of binder removal conditions; ■ Appropriate setting of sintering temperature; ■ These are: controlling the firing atmosphere; ■ matching the jigs to hold the sheets; The following is a step-by-step explanation.
■ 脱バインダーの条件
成形に必要なバインダーは、焼結前までに分解・焼結し
て除去しておく必要がある。脱バインダーが不充分であ
ると、バインダーの残香(主にカーボン)が残り、焼成
物の絶縁性に悪い影響を及ぼす、脱バインダーのために
かける温度が急激すぎると、シートにふくれが発生した
り、クランクが発生したり、変形が生じる。従って、一
般的にはバインダーが分解・焼結する温度域で出来るだ
け時間をかけて(ゆっくりと)昇温する方法が採られる
。例えば、メチルセルロース系のバインダーを用いて、
成形したようなシートでは、300℃〜500°℃の昇
温を2時間〜4時間かけて行なう。■ Conditions for removing the binder The binder required for forming must be removed by decomposition and sintering before sintering. If the binder removal is insufficient, the residual aroma of the binder (mainly carbon) will remain, which will have a negative effect on the insulation properties of the fired product.If the temperature applied to remove the binder is too rapid, the sheet may blister. , cranking or deformation may occur. Therefore, a method is generally adopted in which the temperature is raised as slowly (as slowly as possible) in a temperature range where the binder decomposes and sinters. For example, using a methylcellulose binder,
For molded sheets, the temperature is raised to 300°C to 500°C over 2 to 4 hours.
■ 焼結温度
焼結温度は、セラミックスの材料の種類によって決まる
焼結特性に応じて設定すべきものである。例えば、アル
ミナ系のセラミックスでは1500℃〜1600℃の温
度で1時間〜3時間が必要である。■ Sintering temperature The sintering temperature should be set according to the sintering characteristics determined by the type of ceramic material. For example, alumina ceramics require 1 to 3 hours at a temperature of 1500°C to 1600°C.
ガラスセラミックスでは800℃〜1000℃の温度で
、30分〜3時間が必要である。Glass ceramics require 30 minutes to 3 hours at a temperature of 800°C to 1000°C.
焼結が不充分な場合には、密度が理論密度にまで上がら
ず、従って、空げきが残り、強度が弱く、耐湿性に劣る
ものしか得られないこ・とになる。If sintering is insufficient, the density will not rise to the theoretical density, and therefore voids will remain, resulting in a product with low strength and poor moisture resistance.
焼結が過度になると、シートが軟化変形したり、セラミ
ックスのグレインが異常に成長しすぎて、強度低下を引
き起こしたり、導体として用いている金属が融けて拡散
したり、揮発したりする。If sintering becomes excessive, the sheet may become soft and deformed, the grains of the ceramic may grow excessively, causing a decrease in strength, and the metal used as a conductor may melt, diffuse, or volatilize.
■ 焼成の雰囲気
導体として、金、銀、パラジウム系の金属を用いる場合
は空気中焼成で良く、雰囲気については、それ程注意す
る必要が無い。導体として、銅、タングステン、モリブ
デン、マンガンを用いる場合には、酸化性の雰囲気で焼
成すると、金属が酸化物に変わり、導体としての役割り
を発揮できない。従って、銅を用いる場合には、少なく
とも非酸化性の雰囲気が必要であり、窒素が良く用いら
れる。(2) Atmosphere for firing If gold, silver, or palladium-based metals are used as conductors, firing may be performed in air, and there is no need to be very careful about the atmosphere. When copper, tungsten, molybdenum, or manganese is used as a conductor, when fired in an oxidizing atmosphere, the metal turns into an oxide and cannot function as a conductor. Therefore, when copper is used, at least a non-oxidizing atmosphere is required, and nitrogen is often used.
タングステン、モリブデン、マンガン等のm体を用いる
場合には、水素ガスと窒素ガスとの混合ガスを用いて、
還元性の雰囲気にしている場合が多い。When using m-isomers such as tungsten, molybdenum, and manganese, a mixed gas of hydrogen gas and nitrogen gas is used.
In many cases, the atmosphere is reducing.
■ 焼成治具
成形した異形状のシートを平板のセッターの上に置いて
焼成した場合、焼結時の高温にさらされると、自重で変
形することがある。その様な場合には、置き方を変える
か、自重がかかっても変形しないように、支持する治具
を置くなどの工夫が要る。■ Firing jig If a shaped sheet with an irregular shape is placed on a flat setter and fired, it may deform under its own weight if exposed to the high temperatures during sintering. In such a case, it is necessary to change the way it is placed or to place a supporting jig so that it does not deform even under its own weight.
以上、本発明をプロセスに従って説明したが、以下、実
施例を中心に更に詳細に説明する。Although the present invention has been described above according to the process, it will be described in more detail below, focusing on examples.
実施例1・ ■グリーンシートの準備 以下の材料および配合で実施した。Example 1・ ■Preparation of green sheet It was conducted using the following materials and formulations.
以上の配合物をポルミルに入れ、24時間溶解、混合、
粉砕した後、真空脱泡機にて脱泡してスラリーを作成し
た。このスラリーをドクターブレード法により、約1f
iの厚さのグリーンシートに成形した。Put the above mixture into Polmir, dissolve and mix for 24 hours,
After pulverizing, the mixture was defoamed using a vacuum degassing machine to create a slurry. Approximately 1f of this slurry was processed using the doctor blade method.
It was formed into a green sheet with a thickness of i.
■ 導体ペースト印刷
タングステンとモリブデンの微粉末を主成分とする導体
ペーストを用い、準備したグリーンシート上にスクリー
ン印刷法により回路印刷を行なった。■ Conductor paste printing A circuit was printed on the prepared green sheet by screen printing using a conductor paste whose main ingredients were fine powders of tungsten and molybdenum.
■ プレス成形
上記のグリーンシートを約70℃に予熱(70℃にセッ
トした乾燥機に15分入れる)して、20℃以下に保持
した金型に投入して直圧プレス成形により異形状に成形
した。得られたものの形状を第1図に示した。■Press molding Preheat the above green sheet to approximately 70°C (put it in a dryer set at 70°C for 15 minutes), then put it into a mold kept below 20°C and form it into an irregular shape using direct pressure press molding. did. The shape of the obtained product is shown in FIG.
■ 焼成
箱型の電気炉の中で、室温から500℃までは空気を通
しながら、500℃より窒素を通しはじめ、1000℃
から窒素・水素の混合ガスを通し、最高温度1550℃
にて1時間キープして焼成した。300℃〜500℃の
脱バインダー域には昇温に3時間かけた。■ In a firing box-shaped electric furnace, air is passed from room temperature to 500℃, nitrogen is passed from 500℃, and then the temperature is increased to 1000℃.
A mixture of nitrogen and hydrogen gas is passed through, and the maximum temperature is 1550℃.
It was kept for 1 hour and fired. The temperature was increased for 3 hours in the binder removal region from 300°C to 500°C.
以上のプロセスの結果、ケースの裏面に導体回路を形成
した異形のセラミックス配線回路基板が得られた。As a result of the above process, an irregularly shaped ceramic printed circuit board with a conductive circuit formed on the back surface of the case was obtained.
実施例 2
■ 導体ペーストを印刷した転写フィルムの作成
ポリメチルメタアクリル系の樹脂シート(厚み10μ)
にタングステンとモリブデンとの微粉末を主成分とする
w体ペーストを用いて、スクリーン印刷法により回路を
印刷した。Example 2 ■ Creation of transfer film printed with conductor paste Polymethylmethacrylic resin sheet (thickness 10μ)
A circuit was printed using a screen printing method using a w-type paste mainly composed of fine powders of tungsten and molybdenum.
■ 転写フィルムとグリーンシートとの密着同時成形。■ Simultaneous molding of transfer film and green sheet in close contact.
実施例1で準備したグリーンシートの上に、転写フィル
ムをセットし、約70℃に予熱した後、20℃以下に保
持した金型に投入して、直圧プレス成形により異形状に
成形した。得られたものの形状を第1図に示し゛た。A transfer film was set on the green sheet prepared in Example 1, and after preheating to about 70°C, it was put into a mold kept at 20°C or lower, and molded into an irregular shape by direct pressure press molding. The shape of the obtained product is shown in FIG.
■ 焼成
実施例1で実施したのと同様の条件にて焼成し、異形の
セラミックス配線回路基板を得た。(2) Firing Firing was carried out under the same conditions as in Example 1 to obtain an irregularly shaped ceramic wiring circuit board.
実施例3 ■ グリーンシートの準備 以下の材料および配合で実施した。Example 3 ■ Preparation of green sheet It was conducted using the following materials and formulations.
ガラス粉末 100重量部メチルセル
ロース 10 〃ワックスエマルジョン
5 〃ジエチレングリコール 3
〃水 23
〃上記の配合において使用したガラス粉末の組成は
つぎの通りであった。Glass powder 100 parts by weight Methyl cellulose 10 Wax emulsion
5 Diethylene glycol 3
〃Wed 23
The composition of the glass powder used in the above formulation was as follows.
S、0. 57.1重量部Aj!z
c)+ 23.8 〃B2O34
,8〃
CaO1,9//
MgO12,4〃
以上の配合物を加圧ニーグーで約30分間混合・混練し
て押出成形機にかけ、厚さ1.5Hのグリーンシートを
成形した。S, 0. 57.1 parts by weight Aj! z
c) + 23.8 〃B2O34
, 8〃 CaO1,9 // MgO12,4〃 The above mixture was mixed and kneaded for about 30 minutes using a pressurized knee gun, and then applied to an extruder to form a green sheet with a thickness of 1.5H.
■ 導体ペーストの印刷
銀を主成分とする導体ペーストをスクリーン印刷により
、前記■で準備したグリーンシート上に印刷し、回路形
成した。(2) Printing of conductive paste A conductive paste containing silver as a main component was printed on the green sheet prepared in (2) above by screen printing to form a circuit.
■ プレス成形
上記のグリーンシートを余熱することなく、100℃に
セントした金型の中に導入し、直圧プレス成形により異
形状に成形した。得られたものの形状は第1図に示した
。■Press molding The green sheet described above was introduced into a mold heated to 100° C. without preheating, and molded into an irregular shape by direct pressure press molding. The shape of the obtained product is shown in FIG.
■ 焼成
箱型の電気炉の中で、空気中の雰囲気の中で、最高温度
950℃にて1時間キープすることによって焼成した。(2) Firing The product was fired in a box-shaped electric furnace in an air atmosphere at a maximum temperature of 950°C for 1 hour.
脱バインダーのため、昇温過程では300℃〜500℃
の範囲を3時間かけた。以上のプロセスを経て、異形状
の導体回路を形成したセラミックス回路基板を得た。To remove the binder, the temperature is 300℃ to 500℃ during the temperature increase process.
It took 3 hours to cover the area. Through the above process, a ceramic circuit board on which an irregularly shaped conductor circuit was formed was obtained.
実施例 4
導体ペーストとして、金ペーストを用いて実施例3に示
したのと同様の方法で異形状の導体回路を形成したセラ
ミックス回路基板を得た。Example 4 A ceramic circuit board was obtained in which an irregularly shaped conductor circuit was formed in the same manner as in Example 3 using gold paste as the conductor paste.
実施例 5
■ 導体ペーストを印刷した転写フィルムの作成
ポリメチルメタアクリレート系の樹脂(厚み10μ)に
金ペーストを用いてスクリーン印刷法により回路を印刷
した。Example 5 ■ Creation of transfer film printed with conductive paste A circuit was printed on a polymethyl methacrylate resin (thickness: 10 μm) using gold paste by screen printing.
■ 転写フィルムとグリーンシートとの密着同時成形
実施例3で準備したグリーンシートの上に転写フィルム
をセットし、100℃にセットした金型の中に導入し、
直圧プレス成形により異形状に成形した。得られたもの
の形状は第1図に示した。■ Simultaneous adhesion molding of transfer film and green sheet The transfer film was set on top of the green sheet prepared in Example 3, and introduced into a mold set at 100°C.
It was molded into an irregular shape by direct pressure press molding. The shape of the obtained product is shown in FIG.
■ 焼成 実施例3と同様の条件にて焼成した。■ Baking Firing was performed under the same conditions as in Example 3.
以上のプロセスにより、異形状の導体回路を形成したセ
ラミックス回路基板を得た。Through the above process, a ceramic circuit board on which a conductor circuit of an irregular shape was formed was obtained.
以上に示したように、従来までは作成が困難であった異
形状のセラミックス回路基板を、導体との同時焼成技術
を応用することにより、簡単なプロセスにて、作成する
ことが出来るようになった。この部品は、電子機器の、
たとえばケースそのものに使用でき、たとえば電子機器
の小型化軽量化に大いに役立てることが出来る効果があ
る。As shown above, it is now possible to create irregularly shaped ceramic circuit boards, which were previously difficult to create, through a simple process by applying co-firing technology with conductors. Ta. This part is used in electronic equipment.
For example, it can be used for the case itself, and has the effect of greatly contributing to the miniaturization and weight reduction of electronic devices, for example.
第1図は、この発明の方法によって製造されたセラミッ
クス回路基板の実例を示す斜視図である。
1はセラミックス、2は導体FIG. 1 is a perspective view showing an example of a ceramic circuit board manufactured by the method of the present invention. 1 is ceramic, 2 is conductor
Claims (4)
た後、非平板形状にプレス成形加工し、しかる後に焼成
することを特徴とする非平板形状のセラミック配線回路
板の製法。(1) A method for producing a non-flat ceramic wiring circuit board, which comprises forming an electric circuit on a ceramic green sheet, press-molding it into a non-flat shape, and then firing it.
ン印刷する方法を選んだことを特徴とする特許請求の範
囲第(1)項記載のセラミック配線回路板の製法。(2) A method for manufacturing a ceramic wiring circuit board according to claim (1), wherein a method of screen printing on a green sheet is selected as the circuit forming method.
を印刷した転写紙をグリーンシートに貼付して転写する
方法を選択したことを特徴とする特許請求の範囲第(1
)項記載のセラミック配線回路板の製法。(3) As the circuit formation method, a method is selected in which a transfer paper on which a circuit is printed by screen printing is attached to a green sheet and transferred.
) The manufacturing method of the ceramic wiring circuit board described in item 2.
以下で焼結するセラミック材料を用い、回路用の導体と
して金、銀、パラジウム、銅を用いることを特徴とする
特許請求の範囲第(1)項ないし第(3)項記載のセラ
ミック配線回路板の製法。(4) 1000℃ as a ceramic green sheet
A ceramic wiring circuit board according to claims (1) to (3), characterized in that a ceramic material is sintered in the following manner, and gold, silver, palladium, or copper is used as a circuit conductor. manufacturing method.
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP28544686A JPS63137497A (en) | 1986-11-28 | 1986-11-28 | Manufacture of ceramic wiring circuit board |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP28544686A JPS63137497A (en) | 1986-11-28 | 1986-11-28 | Manufacture of ceramic wiring circuit board |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPS63137497A true JPS63137497A (en) | 1988-06-09 |
Family
ID=17691620
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP28544686A Pending JPS63137497A (en) | 1986-11-28 | 1986-11-28 | Manufacture of ceramic wiring circuit board |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JPS63137497A (en) |
Cited By (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH03229407A (en) * | 1990-02-03 | 1991-10-11 | Taiyo Yuden Co Ltd | Laminated electronic component and manufacture thereof |
JPH04502238A (en) * | 1989-10-02 | 1992-04-16 | ヒューズ・エアクラフト・カンパニー | Three-dimensional microcircuit structure and its manufacturing method from ceramic tape |
JPH04199757A (en) * | 1990-11-29 | 1992-07-20 | Mitsubishi Materials Corp | Ceramic three-dimensional wiring substrate and manufacture thereof |
-
1986
- 1986-11-28 JP JP28544686A patent/JPS63137497A/en active Pending
Cited By (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH04502238A (en) * | 1989-10-02 | 1992-04-16 | ヒューズ・エアクラフト・カンパニー | Three-dimensional microcircuit structure and its manufacturing method from ceramic tape |
JPH03229407A (en) * | 1990-02-03 | 1991-10-11 | Taiyo Yuden Co Ltd | Laminated electronic component and manufacture thereof |
JPH04199757A (en) * | 1990-11-29 | 1992-07-20 | Mitsubishi Materials Corp | Ceramic three-dimensional wiring substrate and manufacture thereof |
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