JPS63131115A - Scanning laser microscope - Google Patents
Scanning laser microscopeInfo
- Publication number
- JPS63131115A JPS63131115A JP27653886A JP27653886A JPS63131115A JP S63131115 A JPS63131115 A JP S63131115A JP 27653886 A JP27653886 A JP 27653886A JP 27653886 A JP27653886 A JP 27653886A JP S63131115 A JPS63131115 A JP S63131115A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- slit
- lens
- sample
- photodetector
- laser
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
Landscapes
- Microscoopes, Condenser (AREA)
Abstract
Description
【発明の詳細な説明】
〔産業上の利用分野〕
本発明は、共焦点タイプの走査レーザ顕微鏡に係り、特
に光学系の調整が容易な、共焦点タイプの走査レーザ顕
微鏡に関する。DETAILED DESCRIPTION OF THE INVENTION [Field of Industrial Application] The present invention relates to a confocal type scanning laser microscope, and particularly to a confocal type scanning laser microscope whose optical system can be easily adjusted.
共焦点タイプの走査レーザ顕微鏡の基本構成(アプライ
ド フィジックス ピー27.211−213(198
2) (Appl、 Phys、 B27.211−
213 (1982))に記載がある。)は第3図のよ
うになる。1はレーザであり、出射したレーザ光2をレ
ンズ31で絞り込み、ポイントン−ストスル。このレー
ザ光をレンズ32で収束し、焦点面に置いた試料4に照
射する。この収束したレーザ光に対して、Vンズ33と
ピンホール5とを共焦点の位置関係になるように配置す
る。試料4を透過してきたV−ザ光はピンホール5を照
射し。Basic configuration of confocal type scanning laser microscope (Applied Physics P. 27.211-213 (198
2) (Appl, Phys, B27.211-
213 (1982)). ) is shown in Figure 3. Reference numeral 1 denotes a laser, and the emitted laser beam 2 is narrowed down by a lens 31 to point-to-point. This laser light is focused by a lens 32 and irradiated onto the sample 4 placed on the focal plane. The V lens 33 and the pinhole 5 are arranged in a confocal positional relationship with respect to this converged laser beam. The V-za light that has passed through the sample 4 irradiates the pinhole 5.
ピンホール5を通過したレーザ光は光検出器6で検出さ
れる。画像を作るために、試料4を焦点面内において、
ステージ71で移動させながら、各各の場所における光
検出器6の信号を記憶する。The laser beam that has passed through the pinhole 5 is detected by a photodetector 6. To create an image, place the sample 4 in the focal plane,
While moving on the stage 71, the signals of the photodetector 6 at each location are stored.
記憶された画像データは表示装置8に表示される。The stored image data is displayed on the display device 8.
共焦点タイプの走査レーザ顕微鏡におけるピンホール5
の役割は分解能を上げることであり、微小な口径のピン
ホールが要求される。このため。Pinhole 5 in a confocal scanning laser microscope
Its role is to increase resolution, and a pinhole with a minute diameter is required. For this reason.
位置合せをして、この微小なピンホールに光を入射させ
るのが難しい。It is difficult to align and make light enter this tiny pinhole.
本発明の目的は、微小なピンホールに替わる、位置合せ
の容易な機構を具備した共焦点タイプの走査レーザ顕微
wlt提供することにある。An object of the present invention is to provide a confocal type scanning laser microscope WLT that is equipped with an easy alignment mechanism in place of a minute pinhole.
上記の目的を達成するために、2個のスリットとレンズ
とを使用して、ピンホールの役割をする光学系を構成す
る。スリットに微小な光を入射させるようにスリットの
位置を調整するのは、一方向の動きだけで済むので容易
である。2個のスリットを調整することで、目的は達成
される。To achieve the above objective, two slits and a lens are used to construct an optical system that acts as a pinhole. Adjusting the position of the slit so that a small amount of light enters the slit is easy because it only requires movement in one direction. By adjusting the two slits, the objective is achieved.
第2図にピンホールの役割をする部分を示す。 Figure 2 shows the part that functions as a pinhole.
2はレーザ光である。81.82はスリットであり、3
4はレンズである。スリット82は、レンズ34による
スリット81の像面の位置にあるものとする。まず、光
検出器6の前にあるスリット82をはずしておき、光検
出器6の出力が最大になるようにスリット81の位置を
調整する。次に。2 is a laser beam. 81.82 is a slit, 3
4 is a lens. It is assumed that the slit 82 is located at the image plane of the slit 81 formed by the lens 34. First, the slit 82 in front of the photodetector 6 is removed, and the position of the slit 81 is adjusted so that the output of the photodetector 6 is maximized. next.
スリット81の方向と交叉するように、スリット82を
光検出器6の前に置き、光検出器6の出力が最大になる
ように、スリット82を調整する。A slit 82 is placed in front of the photodetector 6 so as to cross the direction of the slit 81, and the slit 82 is adjusted so that the output of the photodetector 6 is maximized.
このように、スリットの位置調整は一次元なので。In this way, the slit position adjustment is one-dimensional.
ピンホールの位置調整より容易である。This is easier than adjusting the position of a pinhole.
以下1本発明の一実施例を第1図により説明する。 An embodiment of the present invention will be described below with reference to FIG.
レーザ1から出射したレーザ光2をレンズ31で絞りポ
イントソースとする。迷光を遮断するために、適宜、絞
υ込まれたところにピンホールを置いてよい。試料4は
、レンズ32によるポイントソースの像面に置く。試料
4はステージ71によシ走査することができる。試料4
を透過したレーザ光をレンズ33で集光し、スリット8
1上へ絞り込む。スリット81はステージ72により移
動することができ、スリット81を最適な位置に合わす
ことができる。スリット81を通過したレーザ光はし/
ズ34で、再度、スリット82上に絞り込まれる。スリ
ット82は層脱可能になっている。スリット82をはず
したとき、レンズ34から出射したレーザ光は、けられ
ることなく光検出器6に入射するようになっている。ス
リット81の調整はスリット82をはずした状態で行な
い、光検出器6の出力が最大になるようにする。A laser beam 2 emitted from a laser 1 is focused by a lens 31 and used as an aperture point source. In order to block stray light, a pinhole may be placed in a narrowed area as appropriate. The sample 4 is placed on the image plane of the point source formed by the lens 32. The sample 4 can be scanned by the stage 71. Sample 4
The laser beam that has passed through is focused by the lens 33, and the slit 8
Narrow down to 1. The slit 81 can be moved by the stage 72, and the slit 81 can be adjusted to an optimal position. The laser beam that passed through the slit 81/
At step 34, it is narrowed down onto slit 82 again. The slit 82 is capable of removing the layer. When the slit 82 is removed, the laser light emitted from the lens 34 enters the photodetector 6 without being eclipsed. Adjustment of the slit 81 is performed with the slit 82 removed so that the output of the photodetector 6 is maximized.
スリット82も光検出器6の出力が最大になる位置に合
わせられるように、ステージ73により移動できる。光
検出器6からの信号は、ステージ71からの試料の位置
信号のもとに1画像表示装置8の画像メモリに書き込ま
れた後、m像表示装置8に表示される。The slit 82 can also be moved by the stage 73 so that it is aligned with the position where the output of the photodetector 6 is maximized. The signal from the photodetector 6 is written into the image memory of the one-image display device 8 based on the sample position signal from the stage 71, and then displayed on the m-image display device 8.
本発明によれば、共焦点タイプの走査レーザ顕微鏡にお
けるピンホールの位置合せを必要とせず。According to the present invention, there is no need for pinhole alignment in a confocal type scanning laser microscope.
その代わりに、2個のスリットの位置合せをすることに
なる。スリットの位置合せは一次元方向だけなので、ピ
ンホールの位置合せと比べて非常に容易になる。このた
め、走査レーザ顕微鏡の調整に要する時間を短縮するこ
とが可能になる。Instead, two slits will be aligned. Since slit alignment is only one-dimensional, it is much easier than pinhole alignment. Therefore, it is possible to shorten the time required for adjusting the scanning laser microscope.
第1図は、実施例の概略図、第2図はスリットを使用し
た光学系の概略図、第3図は共焦点タイプの走査レーザ
顕微鏡の概略図である。
1・・・レーザ、2・・・V−ザ光、31,32,33
゜34・・・レンズ、4・・・試料、5・・・ピンホー
ル、6・・・光検出器、71,72.73・・・ステー
ジ、81゜篤 / δ
′11.曾2 スリ、7ト
¥J 2 圀
囁 3 ロFIG. 1 is a schematic diagram of an embodiment, FIG. 2 is a schematic diagram of an optical system using a slit, and FIG. 3 is a schematic diagram of a confocal type scanning laser microscope. 1... Laser, 2... V-za light, 31, 32, 33
゜34... Lens, 4... Sample, 5... Pinhole, 6... Photodetector, 71, 72.73... Stage, 81゜ Atsushi / δ '11. 2 Pickpockets, 7 ¥J 2 Kunihisa 3 Ro
Claims (1)
束させポイントソースとするための第1のレンズと、こ
のレーザ光を再び収束し、試料をポイントソースの像面
に置くための第2のレンズと、試料を透過したレーザ光
を収束するための第3のレンズと、該第3のレンズによ
る試料の像面に位置し移動可能とした第1のスリットと
、該第1のスリットを通過したレーザ光を収束するため
の第4のレンズと、該第4のレンズによる上記第1のス
リットの像面に位置し、上記第1のスリットの方向と交
叉しかつ移動可能とした第2のスリットと、該第2のス
リットを透過したレーザ光を検出する光検出器からなる
ことを特徴とする走査レーザ顕微鏡。1. A laser, a first lens for converging the laser beam emitted by the laser to form a point source, and a second lens for converging the laser beam again and placing the sample on the image plane of the point source. a lens, a third lens for converging the laser beam transmitted through the sample, a first slit that is movable and located on the image plane of the sample by the third lens, and a laser beam that passes through the first slit. a fourth lens for converging the laser beam; and a second lens positioned on the image plane of the first slit by the fourth lens, intersecting the direction of the first slit and movable. A scanning laser microscope comprising a slit and a photodetector that detects laser light transmitted through the second slit.
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP27653886A JPS63131115A (en) | 1986-11-21 | 1986-11-21 | Scanning laser microscope |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP27653886A JPS63131115A (en) | 1986-11-21 | 1986-11-21 | Scanning laser microscope |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPS63131115A true JPS63131115A (en) | 1988-06-03 |
Family
ID=17570869
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP27653886A Pending JPS63131115A (en) | 1986-11-21 | 1986-11-21 | Scanning laser microscope |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JPS63131115A (en) |
Cited By (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH06500637A (en) | 1991-06-08 | 1994-01-20 | レニショウ トランスデューサ システムズリミテッド | confocal spectroscopy |
US6219181B1 (en) * | 1997-06-09 | 2001-04-17 | Olympus Optical Co., Ltd. | Monitor-aided microscope |
-
1986
- 1986-11-21 JP JP27653886A patent/JPS63131115A/en active Pending
Cited By (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH06500637A (en) | 1991-06-08 | 1994-01-20 | レニショウ トランスデューサ システムズリミテッド | confocal spectroscopy |
US6219181B1 (en) * | 1997-06-09 | 2001-04-17 | Olympus Optical Co., Ltd. | Monitor-aided microscope |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
JP5554965B2 (en) | Laser microscope using phase modulation spatial light modulator | |
US10514533B2 (en) | Method for creating a microscope image, microscopy device, and deflecting device | |
JPH0618785A (en) | Confocal type laser scanning transmission microscope | |
JPH04350818A (en) | Confocal optical system | |
JPH10311950A (en) | Scanning microscope | |
JP2018533769A (en) | Wide-field high-resolution microscope | |
JPS63765B2 (en) | ||
JP2000275027A (en) | Slit confocal microscope and surface profile measuring device using it | |
JP4820759B2 (en) | Scanning microscope | |
JP2007506955A (en) | Scanning microscope with evanescent wave illumination | |
WO2024217203A1 (en) | Single-objective light-sheet three-dimensional fluorescence imaging system | |
JP2017538139A (en) | Optical system for generating a lithographic structure | |
US9729800B2 (en) | Image generation system | |
TW200521481A (en) | Focusing system and method | |
CN113552709B (en) | Microprism-based reflective axial light sheet fluorescence microscopy imaging device and method | |
JP2002023059A (en) | Microscope assembly | |
JPS63131115A (en) | Scanning laser microscope | |
US20050078362A1 (en) | Microscope | |
JPS607764B2 (en) | Scanning photodetector | |
JP4207467B2 (en) | Microscope illumination device | |
JP2006106337A (en) | Scanning optical microscope | |
JP3299144B2 (en) | Position detecting apparatus and position detecting method applied to proximity exposure | |
JP3265546B2 (en) | Position detection method and apparatus applied to proximity exposure | |
JPH0784187A (en) | Pupil projection optical system | |
JPH0540225A (en) | Scanning microscope |