JPS6272522A - アルミナ−チタニア複合粉体及びその製造方法 - Google Patents
アルミナ−チタニア複合粉体及びその製造方法Info
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Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
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Description
【発明の詳細な説明】
[産業上の利用分野J
本発明は、機械的強度が大きく、かつ熱膨張率の小さい
チタン酸アルミニウムセラミックスの原料となる易焼結
性アルミナ−チタニア複合粉体に関する。
チタン酸アルミニウムセラミックスの原料となる易焼結
性アルミナ−チタニア複合粉体に関する。
「従来の技術]
チタン酸アルミニウム(A I 2 T i Os )
は、古くから低熱膨張性のセラミックスとして知られて
いる。
は、古くから低熱膨張性のセラミックスとして知られて
いる。
この低熱膨張性は、チタン酸アルミニウム結晶の者しい
熱膨張係数の異方性により粒界に亀裂を生ずるためだと
されている。この亀裂が主たる原因となってチタン酸ア
ルミニウムの強度は極めて小さく、応用用途発展の妨げ
となっている。
熱膨張係数の異方性により粒界に亀裂を生ずるためだと
されている。この亀裂が主たる原因となってチタン酸ア
ルミニウムの強度は極めて小さく、応用用途発展の妨げ
となっている。
従来のチタン酸アルミニウムの製造方法をその焼結原料
の選び方によって分けると、(i)アルミナ(A120
コ)とチタニア(”I”io。)の粉を混合して用いる
方法、(11)一旦チタン酸アルミニウムを合成したの
ち粉砕して用いる方法、(iii)気相中でアルミニウ
ムとチタンの各ハロゲン化物を酸化して得られるA I
20 !−T io 2の複合粉体を用いる方法とに大
別される。
の選び方によって分けると、(i)アルミナ(A120
コ)とチタニア(”I”io。)の粉を混合して用いる
方法、(11)一旦チタン酸アルミニウムを合成したの
ち粉砕して用いる方法、(iii)気相中でアルミニウ
ムとチタンの各ハロゲン化物を酸化して得られるA I
20 !−T io 2の複合粉体を用いる方法とに大
別される。
(i)に挙げた混合物を原料とする方法の中にも、Al
2O3、Ti0zの原料の選択により程度の差はあるが
、いずれら密度は低く、しかもAl2TiO5の結晶が
成長したドメインもη造を示し大きな亀裂を生じるため
、強度は低い。ただ焼成を急速にするとか、チタン酸ア
ルミニウムを少量あらかじめ添加しておくと、ドメイン
が小さくなり、曲げ強度が上がることが報告されている
が、その効果は僅かであり最高でも2Kg/ax2に満
たず、不十分であった(浜野健也他、窯協誌91 [2
] 94−101(1983))。
2O3、Ti0zの原料の選択により程度の差はあるが
、いずれら密度は低く、しかもAl2TiO5の結晶が
成長したドメインもη造を示し大きな亀裂を生じるため
、強度は低い。ただ焼成を急速にするとか、チタン酸ア
ルミニウムを少量あらかじめ添加しておくと、ドメイン
が小さくなり、曲げ強度が上がることが報告されている
が、その効果は僅かであり最高でも2Kg/ax2に満
たず、不十分であった(浜野健也他、窯協誌91 [2
] 94−101(1983))。
また(ii>に挙げた合成したチタン酸アルミニウム粉
体を用いる場合は、ドメイン構造をとらず、ボールミル
による長時間粉砕により粉砕用のAl2O,ボールより
欠落するA120コ粒子を混入させれば、焼結粒径が小
さくなり、曲げ強度が上がることが知られでいる。特に
例えば1300℃程度の低温で例乏ぼ8時間程度の長時
間焼結したものは、曲げ強度が8.6Kg/iI”程度
の高強度である。しかしながら、熱膨張率は常温〜10
00℃で約()、4%と大きく、しかも密度も理論密度
の82%と小さい欠点を有する。逆に、例えば1500
℃程度の高温で4時間程度焼結したものでは熱膨張率は
小さく、常温〜1000℃で約0.1%であり、密度が
理論密度の94%と比較的高いt、のが得られでいるが
、強度l土石十分でふり、曲げ強度は最高でら5・−6
K g/ ay2程度である(大矢豊他、窯協誌壮(6
j 289−97(1983))。
体を用いる場合は、ドメイン構造をとらず、ボールミル
による長時間粉砕により粉砕用のAl2O,ボールより
欠落するA120コ粒子を混入させれば、焼結粒径が小
さくなり、曲げ強度が上がることが知られでいる。特に
例えば1300℃程度の低温で例乏ぼ8時間程度の長時
間焼結したものは、曲げ強度が8.6Kg/iI”程度
の高強度である。しかしながら、熱膨張率は常温〜10
00℃で約()、4%と大きく、しかも密度も理論密度
の82%と小さい欠点を有する。逆に、例えば1500
℃程度の高温で4時間程度焼結したものでは熱膨張率は
小さく、常温〜1000℃で約0.1%であり、密度が
理論密度の94%と比較的高いt、のが得られでいるが
、強度l土石十分でふり、曲げ強度は最高でら5・−6
K g/ ay2程度である(大矢豊他、窯協誌壮(6
j 289−97(1983))。
更に(i)や(11)の粉体にMyo、SiO2、Z
r O2などの第3成分を添加し、比較的高強度を達成
したという報告(浜野健他他、日化誌、1981 [1
011647−55)があるが、強度はなお不十分であ
り、最高でも5〜6Kg/zx2程度の曲げ強度であっ
た。
r O2などの第3成分を添加し、比較的高強度を達成
したという報告(浜野健他他、日化誌、1981 [1
011647−55)があるが、強度はなお不十分であ
り、最高でも5〜6Kg/zx2程度の曲げ強度であっ
た。
一方、(iii>に挙げた気相中でアルミニウムとチタ
ンの各ハロゲン化物を酸化し、A 120 z−T i
o 2の複合粉体を得る方法としては、Gan1らのr
、「。
ンの各ハロゲン化物を酸化し、A 120 z−T i
o 2の複合粉体を得る方法としては、Gan1らのr
、「。
プラズマによる方法と徳永らの管状反応器による方法と
が公知である。このうちGan1らの複合粉体は平均粒
径30〜170nmであり、それらの結晶型として、A
l2O,が比較的多い範囲でδ−A1203を、T i
O2が比較的多い範囲でルチル相を、また中間相とし
てΔ120.とTiO2のモル比1:1付近ではβ−A
l 2 T i Osを、モル比3:1付近ではδ−
A120.以外にX相を主要な相として見出している(
Gani et al、、 Journal ofM
aterials 5cience、Vol、15.1
915−25(1980))。
が公知である。このうちGan1らの複合粉体は平均粒
径30〜170nmであり、それらの結晶型として、A
l2O,が比較的多い範囲でδ−A1203を、T i
O2が比較的多い範囲でルチル相を、また中間相とし
てΔ120.とTiO2のモル比1:1付近ではβ−A
l 2 T i Osを、モル比3:1付近ではδ−
A120.以外にX相を主要な相として見出している(
Gani et al、、 Journal ofM
aterials 5cience、Vol、15.1
915−25(1980))。
また、徳永らの複合粉体においては、A/20゜は非晶
質であり、TiO2はAl2O,が少ないとアナタース
、多いとルチルであり、1000℃以上の反応温度でか
つA120320モル%以上でβ−AlpTio、を検
出している(徳永ら、日化誌、1982 [11117
58〜1762)。
質であり、TiO2はAl2O,が少ないとアナタース
、多いとルチルであり、1000℃以上の反応温度でか
つA120320モル%以上でβ−AlpTio、を検
出している(徳永ら、日化誌、1982 [11117
58〜1762)。
プラズマ法では、粒子は一旦溶融状態を経由してから結
晶化し、気相→液相→固相という変化を経ているのに対
し、管状反応器では気相から直接固相へ析出する。この
2法においては反応温度が・異なること、液相を経由す
るかしないかの8!構が異なることの2点が主たる原因
となって生成相に差がみられるが、Gan1らの場合と
徳永らの比較的高い反応温度の場合のどちらでも、Al
2OコとTi0zのモル比1:1の付近でチタン酸アル
ミニウム(A LT io 、)が主要な結晶相となっ
ている。
晶化し、気相→液相→固相という変化を経ているのに対
し、管状反応器では気相から直接固相へ析出する。この
2法においては反応温度が・異なること、液相を経由す
るかしないかの8!構が異なることの2点が主たる原因
となって生成相に差がみられるが、Gan1らの場合と
徳永らの比較的高い反応温度の場合のどちらでも、Al
2OコとTi0zのモル比1:1の付近でチタン酸アル
ミニウム(A LT io 、)が主要な結晶相となっ
ている。
このような気相反応によるA 1201− T i O
2粉体を用いても、高い強度の焼結体が得られていない
。
2粉体を用いても、高い強度の焼結体が得られていない
。
[発明が解決しようとする問題点1
上記のように、従来においては、高い強度と低い熱膨張
率を同時に満足させるものは得られていなかった。
率を同時に満足させるものは得られていなかった。
本発明の第1の目的は、従来のチタン酸アルミニウム用
の原料粉体を用いては達成できなかった高い強度と低い
熱膨張率を有する焼結体を低温あるいは短時間の焼結で
達成できるための原料としての易焼結性の粉体及びその
製造方法を提供することにある。Pt52の目的は、こ
のような易焼結性の粉体を用いることにより、従来達成
できなかった8Kg/xz”以上、好適には10 K
g/ ax2以上の曲げ強度と、常温〜1000℃の間
で0.2%以下の熱膨張率とを同時にあわせもつチタン
酸アルミニウムセラミックス焼結体のための原料粉体及
びその製造方法を提供することにある。
の原料粉体を用いては達成できなかった高い強度と低い
熱膨張率を有する焼結体を低温あるいは短時間の焼結で
達成できるための原料としての易焼結性の粉体及びその
製造方法を提供することにある。Pt52の目的は、こ
のような易焼結性の粉体を用いることにより、従来達成
できなかった8Kg/xz”以上、好適には10 K
g/ ax2以上の曲げ強度と、常温〜1000℃の間
で0.2%以下の熱膨張率とを同時にあわせもつチタン
酸アルミニウムセラミックス焼結体のための原料粉体及
びその製造方法を提供することにある。
E問題点を解決するための手段1
発明の鞍(
本発明は、アルミナ(ALOi)約30〜約80重量%
とチタニア(T io 2)約70〜約20重電%が同
−粒子中に存在する複合粉体を形成し、その複合粉体が
実質的にチタン酸アルミニウムとX相(3A 120
:+ −T IQ 2 )を含まず、1品あるいはδ晶
のAl2Oコとルチル相を主とするT i 02を含む
ときに、従来にない低温での焼結ある(1は従来程度の
焼結温度であっても従来よりも短時間での焼結で高強度
かつ低熱膨張性のチタン酸アルミニウムを主要な構成物
とするセラミックスを得ることのできる原料粉体となる
ことを見出すに至りなされたものである。
とチタニア(T io 2)約70〜約20重電%が同
−粒子中に存在する複合粉体を形成し、その複合粉体が
実質的にチタン酸アルミニウムとX相(3A 120
:+ −T IQ 2 )を含まず、1品あるいはδ晶
のAl2Oコとルチル相を主とするT i 02を含む
ときに、従来にない低温での焼結ある(1は従来程度の
焼結温度であっても従来よりも短時間での焼結で高強度
かつ低熱膨張性のチタン酸アルミニウムを主要な構成物
とするセラミックスを得ることのできる原料粉体となる
ことを見出すに至りなされたものである。
即ち、本発明は、1品又はδ晶のアルミナ約30〜約8
0重量%とルチル相を主とする約70〜約20重量%の
チタニアの両方を同−粒子中に含有し、X相(3AN2
03−Ti02)とチタン酸アルミニウム用を実質的に
含まないアルミナ−チタニア複合粉体に関する。
0重量%とルチル相を主とする約70〜約20重量%の
チタニアの両方を同−粒子中に含有し、X相(3AN2
03−Ti02)とチタン酸アルミニウム用を実質的に
含まないアルミナ−チタニア複合粉体に関する。
なお、ここで[ルチル相を主とする]とはルチル(11
0)と7ナタース(101)の回折ピークの積分強度の
比が2:1よりも大きいことを意味するものとする。ま
た、ここで[X相を実質的に含まない」とはX相がXi
回折で認められないことを意味するものとし、[チタン
酸アルミニウムを実質的に含まない]とはX線回折で認
められるとしても主ピークのみに過ぎないことを意味す
るものとする。
0)と7ナタース(101)の回折ピークの積分強度の
比が2:1よりも大きいことを意味するものとする。ま
た、ここで[X相を実質的に含まない」とはX相がXi
回折で認められないことを意味するものとし、[チタン
酸アルミニウムを実質的に含まない]とはX線回折で認
められるとしても主ピークのみに過ぎないことを意味す
るものとする。
また、このような原料粉体は、例えば下記の特定の製造
条件のもとに得られることが見出だされた。即ち、本願
における製造方法の発明は、燃焼する火炎中にA IC
/、、T:C14の混合蒸気を吹き込んで酸化し、アル
ミナとチタニアからなる複合粉体を製造するに当たり、
A (Ic e、Ifス、1冒C!4ガス、可燃性ガス
、支燃性がス及びキャリヤーガスガスが混合されて燃焼
が生ずる混合部の温度を約145 (1”C以上でチタ
ン酸アルミニウムの融点未満とし、混合部に接続した反
応部の出口部分の温度を約800℃以上とし、混合部と
反応部の平均ガス滞留時間をあわせて20〜500 m
5ecとするアルミナ−チタニア複合粉体の製造方法に
関する。
条件のもとに得られることが見出だされた。即ち、本願
における製造方法の発明は、燃焼する火炎中にA IC
/、、T:C14の混合蒸気を吹き込んで酸化し、アル
ミナとチタニアからなる複合粉体を製造するに当たり、
A (Ic e、Ifス、1冒C!4ガス、可燃性ガス
、支燃性がス及びキャリヤーガスガスが混合されて燃焼
が生ずる混合部の温度を約145 (1”C以上でチタ
ン酸アルミニウムの融点未満とし、混合部に接続した反
応部の出口部分の温度を約800℃以上とし、混合部と
反応部の平均ガス滞留時間をあわせて20〜500 m
5ecとするアルミナ−チタニア複合粉体の製造方法に
関する。
発明の具本攻麦a IIJI
まず、本発明の複合粉体について説明する。
本発明の複合粉体における各粉体粒子はそれぞれA(b
osとTiO2の両方を含有する。この上うな構成にす
ることにより、A1.O,単独の粒子とTiO2単独の
粒子との混合系に比べて、TiO2がAl2O,に比し
低温で焼結可能な物質であるという特徴が一層生かされ
、複合粉体の焼結挙動はT + 02により強く支配さ
れ、飛躍的に焼結性が高められる。
osとTiO2の両方を含有する。この上うな構成にす
ることにより、A1.O,単独の粒子とTiO2単独の
粒子との混合系に比べて、TiO2がAl2O,に比し
低温で焼結可能な物質であるという特徴が一層生かされ
、複合粉体の焼結挙動はT + 02により強く支配さ
れ、飛躍的に焼結性が高められる。
各粉体粒子1つ1つ毎に、Al2O,とT + 02の
両方が含有されることは、エネルギー分散分析機能付き
の透過型電子顕微鏡により確認され得る。
両方が含有されることは、エネルギー分散分析機能付き
の透過型電子顕微鏡により確認され得る。
複合粉体の平均粒子径としては、好ましくは25〜10
0nsの範囲が用いられる。上記範囲より小さいと表面
積が大きく、′a集粉粒子生じやすいため、また吸着水
分が多くなるため、これを原料として焼結体を製造した
場合、lll1密な成形体を与えにくく、と記範囲より
大きいと焼結性が低くなるためである。
0nsの範囲が用いられる。上記範囲より小さいと表面
積が大きく、′a集粉粒子生じやすいため、また吸着水
分が多くなるため、これを原料として焼結体を製造した
場合、lll1密な成形体を与えにくく、と記範囲より
大きいと焼結性が低くなるためである。
なお、上記平均粒子径は、透過型電子顕微鏡写真から2
(H)個以上の粒子を粒度毎に集計して求める方法によ
る。
(H)個以上の粒子を粒度毎に集計して求める方法によ
る。
本発明の複合粉体を構成するAbOxは、1品又は5品
からなり、α晶及びアモルファス相はできるだけ少ない
力が望ましい。
からなり、α晶及びアモルファス相はできるだけ少ない
力が望ましい。
A l 20 :lの結晶相がaとなったものはα晶化
に伴う物質移動、粒子の成長の結果、空隙の多い凝集し
た粒子となる。このような粒子を多量に含む粉体は密度
の低い成形体しか与えず、焼結用の出発物質として不適
当であるからである。
に伴う物質移動、粒子の成長の結果、空隙の多い凝集し
た粒子となる。このような粒子を多量に含む粉体は密度
の低い成形体しか与えず、焼結用の出発物質として不適
当であるからである。
またA120zの結晶相を検出しない場合、即ちアモル
ファス相を多量に含む場合は多量の水を吸着するので、
水を除いた正味の成形密度が低く緻密な焼結体を与える
ことができないからである。
ファス相を多量に含む場合は多量の水を吸着するので、
水を除いた正味の成形密度が低く緻密な焼結体を与える
ことができないからである。
これに対し1品又はδ晶のAl2O5は凝集や水の吸着
が少なく良好な結果を与えるのである。
が少なく良好な結果を与えるのである。
このような理由からα晶を実質的に含まないAl2O3
が最も好ましい、ここで[α晶を実質的に含まない]と
はa品AN203en(113)面の回折ピーク(面間
隔2,085人)の積分強度が、1品の(440)面あ
るいは8品Al2O,の(400)面の回折ピーク(面
間隔1.97〜1.99人)の積分強度の1/4以下で
あることを指していうものとする。
が最も好ましい、ここで[α晶を実質的に含まない]と
はa品AN203en(113)面の回折ピーク(面間
隔2,085人)の積分強度が、1品の(440)面あ
るいは8品Al2O,の(400)面の回折ピーク(面
間隔1.97〜1.99人)の積分強度の1/4以下で
あることを指していうものとする。
Al1,03の含有量は、約30重量%〜約80重量%
の範囲が用いられる。この範囲を外れると、チタン酸ア
ルミニウムを主成分とした焼結体を与乏る組成ではな(
なり、熱膨張率が高(なろためである。
の範囲が用いられる。この範囲を外れると、チタン酸ア
ルミニウムを主成分とした焼結体を与乏る組成ではな(
なり、熱膨張率が高(なろためである。
特に、Al2O3の含有量がチタン酸アルミニウムの量
論比より多く約75重量%以下であって且つT i O
zの含有量が約40重量%〜約20重量%のらの、ある
いはTiO2の含有量がチタン酸アルミニウムの量論比
より多(約60重量%以下であって且つAl2O,の含
有量が約52重量%〜約35重量%のらのは、チタン酸
アルミニウム焼結粒子の界面に過剰の/M20.あるい
はT i O2の粒子が均一に分散して存在する焼結体
を与え、強度が者しく向上するので、特にこの範囲が好
ましい。
論比より多く約75重量%以下であって且つT i O
zの含有量が約40重量%〜約20重量%のらの、ある
いはTiO2の含有量がチタン酸アルミニウムの量論比
より多(約60重量%以下であって且つAl2O,の含
有量が約52重量%〜約35重量%のらのは、チタン酸
アルミニウム焼結粒子の界面に過剰の/M20.あるい
はT i O2の粒子が均一に分散して存在する焼結体
を与え、強度が者しく向上するので、特にこの範囲が好
ましい。
本発明の複合粉体を構成するもう一方のT i O2は
ルチル相を主とする。TiO2の結晶相が7ナタースを
とる場合は、At’zOzとの複合が均一に行われてい
ないときであり、あまり大量に7ナタースを含む場合は
、良好な焼結性を与えないからである。
ルチル相を主とする。TiO2の結晶相が7ナタースを
とる場合は、At’zOzとの複合が均一に行われてい
ないときであり、あまり大量に7ナタースを含む場合は
、良好な焼結性を与えないからである。
ルチルの結晶子径は、複合粉体の平均粒子径と30n醜
のいずれよりも小さいことが望ましく、待に、結晶子が
1つ1つの複合粒子中になるべく小さく多数存在するこ
とが焼結性向トのために望ましい。 なお、上記平均結
晶子径は、ルチル相T + 02の(110)而の回折
ピークの半価幅を、内部標準として加えたシリコンの(
111)ピークによって補正し、S cherrerの
式から求める方法による。
のいずれよりも小さいことが望ましく、待に、結晶子が
1つ1つの複合粒子中になるべく小さく多数存在するこ
とが焼結性向トのために望ましい。 なお、上記平均結
晶子径は、ルチル相T + 02の(110)而の回折
ピークの半価幅を、内部標準として加えたシリコンの(
111)ピークによって補正し、S cherrerの
式から求める方法による。
ルチル相結晶の格子定数C6は、純粋なルチルの場合の
2.9592人(JCPDS21−1276)と比べ小
さく、特に2,95 f30Å以下となることが望まし
い。このような場合にはルチル相のT i O2が単に
l’20.と同一粒子を構成しているだけでなく、粒子
中のTiO2相の部分に固溶したAl2O3を含むこと
によって生ずるのであり、その結果、焼結性が高められ
ると考えられる。
2.9592人(JCPDS21−1276)と比べ小
さく、特に2,95 f30Å以下となることが望まし
い。このような場合にはルチル相のT i O2が単に
l’20.と同一粒子を構成しているだけでなく、粒子
中のTiO2相の部分に固溶したAl2O3を含むこと
によって生ずるのであり、その結果、焼結性が高められ
ると考えられる。
coが2.9580Å以下の場合の八120.の固溶量
はS 1epetysら(R,A、5lepetys
and P、A。
はS 1epetysら(R,A、5lepetys
and P、A。
Vaughan、 J、Phys、Chem、、 7
32157−62(1969))からみて約0.5重量
%以上である。
32157−62(1969))からみて約0.5重量
%以上である。
この格子定数の決定は、ルチル相Tie2についてシリ
コンを内部標準物質として複数(4本以上)試料の回折
ピークの面間隔を求め、最小二乗法によって計算する方
法による。
コンを内部標準物質として複数(4本以上)試料の回折
ピークの面間隔を求め、最小二乗法によって計算する方
法による。
T + 02の含有量は、約70重量%〜約20重覗%
の範囲が用いられる。この範囲を外れると、AF20.
の場合と同様チタン酸アルミニウムを主成分とした焼結
体を与える組成ではなくなり、熱膨張率が高くなるため
である。
の範囲が用いられる。この範囲を外れると、AF20.
の場合と同様チタン酸アルミニウムを主成分とした焼結
体を与える組成ではなくなり、熱膨張率が高くなるため
である。
なお、A/2(’)、、T + 02の含有量は粉体を
アルカリ融解し、硝酸酸性溶液としたのち、Y(イツト
リウム)を内部標準として102発光分光分析による値
である。
アルカリ融解し、硝酸酸性溶液としたのち、Y(イツト
リウム)を内部標準として102発光分光分析による値
である。
本発明の複合粉体は、アルミナとチタニアのみからなる
系が好ましいが、アルミナとチタニアの池、不純物程度
に5iOz、MgO1l r O2等を含んでもよい。
系が好ましいが、アルミナとチタニアの池、不純物程度
に5iOz、MgO1l r O2等を含んでもよい。
これらのいずれを含まなくても、本発明の複合粉体は、
従来のチタン酸アルミニウムの原料粉体にS + 02
、MgO,ZrO2のいずれかを加えて焼結したらのよ
りも焼結性が良好であり、これらの添加物なしに緻密な
焼結体が得られる。
従来のチタン酸アルミニウムの原料粉体にS + 02
、MgO,ZrO2のいずれかを加えて焼結したらのよ
りも焼結性が良好であり、これらの添加物なしに緻密な
焼結体が得られる。
本発明ノ複合粉体は、X 相(3A bo x−T 1
02>とチタン酸アルミニウム(A bT io s)
を実質的に含まないものである。[実質的の含まない]
の意義は前記した通りである。
02>とチタン酸アルミニウム(A bT io s)
を実質的に含まないものである。[実質的の含まない]
の意義は前記した通りである。
これらは本発明の複合粉体の焼結性を促進させてl+’
るT!Oze 3A120*・T!027)Zli’は
AN2”「+Osという形で捕捉し焼結性を減じてしま
うからである。ただ、若干量の存在は問題ないので、実
質的に含まれていなければよい。
るT!Oze 3A120*・T!027)Zli’は
AN2”「+Osという形で捕捉し焼結性を減じてしま
うからである。ただ、若干量の存在は問題ないので、実
質的に含まれていなければよい。
本発明の複合粉体は、その形状が球状であることが望ま
しく、これは、後記する特定の製造条件によって可能で
ある。
しく、これは、後記する特定の製造条件によって可能で
ある。
次に本発明の複合粉体の製造方法について説明する。
本発明のA I2203− T ! 02複合粉体は、
例えば第1図に示すようなプロセスと装置によって製造
される。このプロセス70−シートに基づいて以下に説
明する。
例えば第1図に示すようなプロセスと装置によって製造
される。このプロセス70−シートに基づいて以下に説
明する。
原料としては、比較的低温で気化するアルミニウム化合
物とチタニウム化合物を用いうるが、特に気化温度が適
当なこと、Mσ生戒物の処理が比較的容易なこと、安価
であることの点から、無水塩化アルミニウム(/l’c
1.)と四塩化チタン(TiCf−)が最も好ましい。
物とチタニウム化合物を用いうるが、特に気化温度が適
当なこと、Mσ生戒物の処理が比較的容易なこと、安価
であることの点から、無水塩化アルミニウム(/l’c
1.)と四塩化チタン(TiCf−)が最も好ましい。
A ICI、は常温で固体であり、約180℃に昇嚢点
をもつ物質であるから、Al2O3粒子などを流動媒体
とする流動床タイプの蒸発器1を用い、そ、の蒸発器上
g2よりA ic 1.を連続的あるいは断続的は供給
する。蒸発器温度は電気炉3を用いて一定に保たれ、A
I C1vの蒸気圧と、流動床下部4より吹き込まれ
るA ICI、のキャリヤーガスがスである窒素(N2
)によってA IC1,蒸気の反応装置へのフィード量
がきまる。
をもつ物質であるから、Al2O3粒子などを流動媒体
とする流動床タイプの蒸発器1を用い、そ、の蒸発器上
g2よりA ic 1.を連続的あるいは断続的は供給
する。蒸発器温度は電気炉3を用いて一定に保たれ、A
I C1vの蒸気圧と、流動床下部4より吹き込まれ
るA ICI、のキャリヤーガスがスである窒素(N2
)によってA IC1,蒸気の反応装置へのフィード量
がきまる。
T i C14は常温で液体であるので、TiC1,容
器5より定量ポンプ6を用いてフィードされ、例えばリ
ボンヒーターなどでTiCl4の沸点以上に保r= h
r−fl登器7で基登3ね−が又道人口8十n改き込
まれるTlC1aのキャリヤーガスゲスであるN2と混
合される。
器5より定量ポンプ6を用いてフィードされ、例えばリ
ボンヒーターなどでTiCl4の沸点以上に保r= h
r−fl登器7で基登3ね−が又道人口8十n改き込
まれるTlC1aのキャリヤーガスゲスであるN2と混
合される。
A IC1,とキャリヤーガスゲスN2との混合がスと
、T:CI、とキャリヤーガスゲスN2との混合jスは
、リボンヒーターでA IC1,やTiCl4の析出あ
るいは凝縮が起こらない十分な高温、望ましくは300
℃以上の温度に加熱された導管を通って、混合器9で混
合されたのち、反応装置の混合部10へ吹き込まれる。
、T:CI、とキャリヤーガスゲスN2との混合jスは
、リボンヒーターでA IC1,やTiCl4の析出あ
るいは凝縮が起こらない十分な高温、望ましくは300
℃以上の温度に加熱された導管を通って、混合器9で混
合されたのち、反応装置の混合部10へ吹き込まれる。
混合部10にはガス導入ロ11より水素(N2)、ガス
導入ロ12より酸素(02)が水モに渦状の火炎を生ず
るように吹き込まれる。この混合部10の温度は約14
50℃以上でチタン酸アルミニウムの融点未満の温度に
保たれる。この範囲より低温では結晶化が十分に進まず
、非晶質相が増加して良好な焼結性を示さない。またこ
のI11囲より高温では粉体は溶融状態を経由するため
、粒子同志の融着を生じ、成形用の粉体として必要な分
散性のよい状態ではなくなる。好適には約1550〜1
700℃の範囲が用いられる。反応〃大温度の実測は、
腐食性ガスを含む雰囲気のため困難であるので、塩化物
をフィードせずに他のN2.02、N2は流した状態で
装置を空運転し、挿入した熱電灯と反応装置の内張り耐
火物に埋め込んだ複数の熱電対によって反応ガス温度と
耐火物温度との関係を求めておき、塩化物をフィードし
た時の反応ガス温度は耐火物温度から推定する方法によ
る。
導入ロ12より酸素(02)が水モに渦状の火炎を生ず
るように吹き込まれる。この混合部10の温度は約14
50℃以上でチタン酸アルミニウムの融点未満の温度に
保たれる。この範囲より低温では結晶化が十分に進まず
、非晶質相が増加して良好な焼結性を示さない。またこ
のI11囲より高温では粉体は溶融状態を経由するため
、粒子同志の融着を生じ、成形用の粉体として必要な分
散性のよい状態ではなくなる。好適には約1550〜1
700℃の範囲が用いられる。反応〃大温度の実測は、
腐食性ガスを含む雰囲気のため困難であるので、塩化物
をフィードせずに他のN2.02、N2は流した状態で
装置を空運転し、挿入した熱電灯と反応装置の内張り耐
火物に埋め込んだ複数の熱電対によって反応ガス温度と
耐火物温度との関係を求めておき、塩化物をフィードし
た時の反応ガス温度は耐火物温度から推定する方法によ
る。
混合部10において混合され、一部反応が進行した混合
物は、その下流の比較的細長い反応部13に導かれ、反
応を完了する。
物は、その下流の比較的細長い反応部13に導かれ、反
応を完了する。
反応部13の温度は、末端部でも約800℃以上に保つ
、約800℃以下では、特にA Ic l、の酸化反応
速度が非常に遅くなると考えられるからである。
、約800℃以下では、特にA Ic l、の酸化反応
速度が非常に遅くなると考えられるからである。
混合部10と反応部13におけるガスの滞留時間は合計
で20 m5ec以上で500 m5ec以下とする。
で20 m5ec以上で500 m5ec以下とする。
更に好ましくは、40 m5ec以上で200 m5e
c以下である。あまり短時間では反応が完全には終了せ
ず、また長時間過ぎると粒子間の凝集が着しくなって焼
結用の原料粉体として不適当となる。
c以下である。あまり短時間では反応が完全には終了せ
ず、また長時間過ぎると粒子間の凝集が着しくなって焼
結用の原料粉体として不適当となる。
反応部13を出たガス中の粉体を捕集する方法として、
乾燥した状態で捕集する方法と、水などの溶媒中に捕集
する方法とがある。乾燥した状態で捕集しても、異物や
it大粒子除去のために水に再分散させる必要があるこ
と、水中に捕集する方が捕集効率が高いことの2つの効
率上の理由から水中に捕集する方法が望ましい。
乾燥した状態で捕集する方法と、水などの溶媒中に捕集
する方法とがある。乾燥した状態で捕集しても、異物や
it大粒子除去のために水に再分散させる必要があるこ
と、水中に捕集する方が捕集効率が高いことの2つの効
率上の理由から水中に捕集する方法が望ましい。
反応部13を出たガスは、急冷M114でほぼ常温まで
冷却される。急冷は分離ドラム15の底部の恩濁水をポ
ンプ16により昇圧し、急冷部14スプレーすることに
より行われる。
冷却される。急冷は分離ドラム15の底部の恩濁水をポ
ンプ16により昇圧し、急冷部14スプレーすることに
より行われる。
分離ドラム15では、気液の分離が行われる。
反応で生成した大部分のAl2Ox−T 102複合粉
体は、急冷部で水と接触することにより液中に捕集され
、生成した複合粉体は、分離ドラム15の底部よりスラ
リーとして取り出される。
体は、急冷部で水と接触することにより液中に捕集され
、生成した複合粉体は、分離ドラム15の底部よりスラ
リーとして取り出される。
なお、前記混合器9から混合部10には、吹込みノズル
17を介して混合ガスが吹き込まれるが、このノズルの
111m防止のために、ノズル17の外部18より吹込
みノズル保護用のN2yスを吹き込むの力C望ましい。
17を介して混合ガスが吹き込まれるが、このノズルの
111m防止のために、ノズル17の外部18より吹込
みノズル保護用のN2yスを吹き込むの力C望ましい。
以下に、上記方法で製造された複合粉体を原料として焼
結セラミックス成形体を製造する場合の前処理成形方法
について説明する。
結セラミックス成形体を製造する場合の前処理成形方法
について説明する。
一般に、セラミックの微粉体から均一な成形体を年賀す
るには、例えば乾式アイソタクチックプレス法、スリッ
プキャスト法、インジエンクシタンモールディング法、
ドクターブレード法等さまざまな方法があるが、本発明
のアルミナ−チタニア複合粉体にもそれらの方法が適用
可能である。
るには、例えば乾式アイソタクチックプレス法、スリッ
プキャスト法、インジエンクシタンモールディング法、
ドクターブレード法等さまざまな方法があるが、本発明
のアルミナ−チタニア複合粉体にもそれらの方法が適用
可能である。
また成形方法に応じて、その成形前に粉体には通常さま
ざまな面処理を与える。これは、均質で密度の高いある
いは強度の商い成形体を得るために必要な操作で、例え
ば適当な造粒を行う処理、可塑剤を加元て粒子間の滑り
を良くし充填性を高める処理、又はパイグーを加えて強
度をあげる処理等が行われる。
ざまな面処理を与える。これは、均質で密度の高いある
いは強度の商い成形体を得るために必要な操作で、例え
ば適当な造粒を行う処理、可塑剤を加元て粒子間の滑り
を良くし充填性を高める処理、又はパイグーを加えて強
度をあげる処理等が行われる。
以下特にアイソスタチック法の前処理について例示する
。
。
本発明に基づき製造されたA l 20 y −T i
O2複合粉体は、通常、水中に捕集され、恩濁したス
ラリー状態で装置から取り出される。このスラリーは強
い酸性であるので、#置しておくと粉体は沈降し、上澄
み液と分離できる。あるいは遠心分離によって沈降させ
ることもできる。上澄み液を除いたのち、適当な量の蒸
留水を加え、pHと固型分濃度を調整したのち、超音波
振動を与えて粉体を均一に水中に分散させる。pHは2
〜3、スラリー中の固型分濃度10wL%以下で良好な
分散が達成される。このスラリーを、例えば定量濾紙5
A(目開き公称7μ#)を用いて吸引濾過する。この操
作によってスラリー中に存在する異物やオ…大粒子が除
去される。
O2複合粉体は、通常、水中に捕集され、恩濁したス
ラリー状態で装置から取り出される。このスラリーは強
い酸性であるので、#置しておくと粉体は沈降し、上澄
み液と分離できる。あるいは遠心分離によって沈降させ
ることもできる。上澄み液を除いたのち、適当な量の蒸
留水を加え、pHと固型分濃度を調整したのち、超音波
振動を与えて粉体を均一に水中に分散させる。pHは2
〜3、スラリー中の固型分濃度10wL%以下で良好な
分散が達成される。このスラリーを、例えば定量濾紙5
A(目開き公称7μ#)を用いて吸引濾過する。この操
作によってスラリー中に存在する異物やオ…大粒子が除
去される。
定量濾紙を通った濾液を遠心分離にかけ、固液を分離し
、回収したケーキを比較的低温、例えば80℃で乾燥す
゛る。濾液を遠心分離にかけずにそのまま凍結乾燥する
方法も良好な結果を与える。
、回収したケーキを比較的低温、例えば80℃で乾燥す
゛る。濾液を遠心分離にかけずにそのまま凍結乾燥する
方法も良好な結果を与える。
ケーキを乾燥して得られた粉体を700乃至900℃で
仮焼する。仮焼することにより、塩素イオンの除去がな
されると共に、結晶相の変化が僅かに生じTiO2の7
ナタース相が減り、ルチルが増え、しかもルチルの結晶
子径が若干大きくなる。Al2O3の結晶は1品からδ
晶へと若干結晶化がすすむ。この仮焼において、700
℃以下の温度では仮焼の効果が殆どなく、また900℃
を越える温度で仮焼すると結晶変化が着しくなり、Al
2O,のα晶化がすすみ、T i O2のルチル結晶子
の径が増大し、またルチル相T i O2中に準安定的
に固溶していたA12o、が、TiO2からはき出され
る現象が見られ、Al2O,と’r i O2の混合の
均一性が低下する。またこれらの結晶変化に伴って粒子
間の付着、焼結がすすみ、焼結用原料としては望ましく
ない形態となる。
仮焼する。仮焼することにより、塩素イオンの除去がな
されると共に、結晶相の変化が僅かに生じTiO2の7
ナタース相が減り、ルチルが増え、しかもルチルの結晶
子径が若干大きくなる。Al2O3の結晶は1品からδ
晶へと若干結晶化がすすむ。この仮焼において、700
℃以下の温度では仮焼の効果が殆どなく、また900℃
を越える温度で仮焼すると結晶変化が着しくなり、Al
2O,のα晶化がすすみ、T i O2のルチル結晶子
の径が増大し、またルチル相T i O2中に準安定的
に固溶していたA12o、が、TiO2からはき出され
る現象が見られ、Al2O,と’r i O2の混合の
均一性が低下する。またこれらの結晶変化に伴って粒子
間の付着、焼結がすすみ、焼結用原料としては望ましく
ない形態となる。
仮焼を行わず、ケーキを蒸留水中へ再分散させ、遠心分
離を行い、再びケーキを回収するという操作を繰り返し
行うことによっても塩素イオンの除去を行うことができ
るが、面倒な操作である。塩素イオン除去は行った方が
望ましいが、行わなくても従来の粉体よりもはるかに良
好な焼結性が得られる。
離を行い、再びケーキを回収するという操作を繰り返し
行うことによっても塩素イオンの除去を行うことができ
るが、面倒な操作である。塩素イオン除去は行った方が
望ましいが、行わなくても従来の粉体よりもはるかに良
好な焼結性が得られる。
仮焼を終了した粉体は、湿式ボールミル処理を行うこと
が望ましい。このボールミル処理の目的は仮焼により生
じた粉体粒子間の軽い焼結を崩すこと、メカノケミカル
な効果により焼結性を高めること、添加剤を均一に粉体
表面に分布させ、乾燥時の凝集を防ぎ成形時の滑りを良
くすることである。ボールミル処理時間については1時
間でも効果があるが、長い方が効果が増す。
が望ましい。このボールミル処理の目的は仮焼により生
じた粉体粒子間の軽い焼結を崩すこと、メカノケミカル
な効果により焼結性を高めること、添加剤を均一に粉体
表面に分布させ、乾燥時の凝集を防ぎ成形時の滑りを良
くすることである。ボールミル処理時間については1時
間でも効果があるが、長い方が効果が増す。
ボールミル処理したスラリーを乾燥したのち、ふるいを
通して細かくしてから、容器に入れ10〜3Orpmで
20〜40時間回転造粒する。この操作により、10〜
50μl程度の比較的丸く、適度に凝集した状態の造粒
粒子が作られる。この造粒粒子を用いることにより、造
粒操作をしない場合と比べ、高い成形密度と焼結密度が
得られる。
通して細かくしてから、容器に入れ10〜3Orpmで
20〜40時間回転造粒する。この操作により、10〜
50μl程度の比較的丸く、適度に凝集した状態の造粒
粒子が作られる。この造粒粒子を用いることにより、造
粒操作をしない場合と比べ、高い成形密度と焼結密度が
得られる。
造粒する方法として標準的なスプレードライの方法も用
いられうるが、前述の造粒方法と比べ若干、成形密度、
焼結密度が低くなる。成形は、−紬の加圧装置で型押し
、はぼ一定の試験片及1ペレツトの形状としたのち、ゴ
ムのチューブに詰め、アイソタクチックプレス(ラバー
プレス)法により行う。
いられうるが、前述の造粒方法と比べ若干、成形密度、
焼結密度が低くなる。成形は、−紬の加圧装置で型押し
、はぼ一定の試験片及1ペレツトの形状としたのち、ゴ
ムのチューブに詰め、アイソタクチックプレス(ラバー
プレス)法により行う。
次に、本発明のA lzo z−T io 2複合粉体
を原料として月いてチタン酸アルミニウムを含む焼結体
を作製する場合の焼結方法について説明する。
を原料として月いてチタン酸アルミニウムを含む焼結体
を作製する場合の焼結方法について説明する。
焼結条件によって焼結体の微#IfIlt造と機械的性
質は変化する。この場合の焼結条件としては、昇降温速
度、最高温度、最高温度での保持時間の3点が重要であ
る。
質は変化する。この場合の焼結条件としては、昇降温速
度、最高温度、最高温度での保持時間の3点が重要であ
る。
昇降温速度としては、特に1000〜1300℃の間の
昇温速度が重要で、この速度を200℃/h〜1000
℃/hとすることが望ましい。昇温を200℃/hより
遅くすると、チタン酸アルミニウムが生成する1300
℃前後よりも低い温度でα晶Al2O*とルチル相T
i O2からなる比較的a密な焼結体を生じ、この組織
は高温でチタン酸アルミニウム化させると適当な昇温速
度を選んだとさと比べ、密度が低くドメインサイズの大
きな組織となる。
昇温速度が重要で、この速度を200℃/h〜1000
℃/hとすることが望ましい。昇温を200℃/hより
遅くすると、チタン酸アルミニウムが生成する1300
℃前後よりも低い温度でα晶Al2O*とルチル相T
i O2からなる比較的a密な焼結体を生じ、この組織
は高温でチタン酸アルミニウム化させると適当な昇温速
度を選んだとさと比べ、密度が低くドメインサイズの大
きな組織となる。
JuB iQ alf 廖Ice 1000で/h上0
凍中に入と7試料内に温度差が生じ、そのための熱応力
あるいは不均一な焼結による収縮のためクラック状の欠
陥を生じ、機械的性質は劣ったものとなる。
凍中に入と7試料内に温度差が生じ、そのための熱応力
あるいは不均一な焼結による収縮のためクラック状の欠
陥を生じ、機械的性質は劣ったものとなる。
焼結最高温度と保持時間は、密度とチタン酸アルミニウ
ム結晶の発達に影響を与える0本発明のA l 203
− T i O2複合粉体は良好な焼結性を与えるので
、密度を向上させるために温度を高くあZいは時間を長
くする必要は少ない。チタン酸アルミニウム結晶を適度
に発達させ、機械的強度と膨張率が所期のものとなるよ
うに、焼結最高温度と保持時間を選択する。焼結温度に
ついては、約1300℃より低いとチタン酸アルミニウ
ムの結晶の発達が不完全で十分低膨張とはならず、約1
300℃以上が必要である。組成がチタン酸アルミニウ
ム量論比に近い場合には、結晶の発達が速く、例えば1
′400℃で1時間あるいは1500℃で20分程度の
比較的低温短時間の焼結最高温度と保持時間が望ましく
、−力量論比から外れ、特にAl2O,が大幅に過剰な
場合には、例えば1500℃で4時間あるいは1600
℃で1時間程度の比較的高温長時間の焼結最高温度と保
持時間が望ましい。
ム結晶の発達に影響を与える0本発明のA l 203
− T i O2複合粉体は良好な焼結性を与えるので
、密度を向上させるために温度を高くあZいは時間を長
くする必要は少ない。チタン酸アルミニウム結晶を適度
に発達させ、機械的強度と膨張率が所期のものとなるよ
うに、焼結最高温度と保持時間を選択する。焼結温度に
ついては、約1300℃より低いとチタン酸アルミニウ
ムの結晶の発達が不完全で十分低膨張とはならず、約1
300℃以上が必要である。組成がチタン酸アルミニウ
ム量論比に近い場合には、結晶の発達が速く、例えば1
′400℃で1時間あるいは1500℃で20分程度の
比較的低温短時間の焼結最高温度と保持時間が望ましく
、−力量論比から外れ、特にAl2O,が大幅に過剰な
場合には、例えば1500℃で4時間あるいは1600
℃で1時間程度の比較的高温長時間の焼結最高温度と保
持時間が望ましい。
[実施例1]
tlIJ1図に示すようなプロセスと装置において、以
下のような条件でA 1203− T ! 02複合粉
体を作製した。
下のような条件でA 1203− T ! 02複合粉
体を作製した。
装置要部寸法
混合部:内径50JFI%長さ60iv絞り部:混合部
内径5011IIから反応部内径30xmまでの長さ2
0IIMの間で絞る反応部:内径30xx%長さ200
JII!製造条件 A IC1,蒸発器温度 150℃A Ic 1
.のキャリヤーガスN 2 0 、42 N xコ/
h(フィードされたAlCl、量 100./h)T
+ C14フィード量 55g/hTiC1
,のキャリヤーガスN2 0.4ONJIコ/h吹込み
ノズル保護用N 2 0 、10 Nx3/ hバー
ナー用H20,8N J1/hバーナー用02 0.9 N13
/h圧力 常圧混合品温度 1600 ’C反
応部末端温度 980℃混合部滞留時間
25 xsce反応部滞留時間
50xsec運転は2時間で打ち切り、分離ドラムより
スラリーを回収し、回収ケーキを80℃で乾燥し、得ら
れた粉体を仮焼する前処理を行った。仮焼け800℃、
1時間の条件で行った。最終的に得らhたA12o3−
T;o2粉体jj: 75 gテJ>ツタ。コノ粉体の
組成はA 120361.8 wt%、Ti0z38,
2wt%であり、各粒子毎に/M!20.とTi0zを
含むことが確認された。
内径5011IIから反応部内径30xmまでの長さ2
0IIMの間で絞る反応部:内径30xx%長さ200
JII!製造条件 A IC1,蒸発器温度 150℃A Ic 1
.のキャリヤーガスN 2 0 、42 N xコ/
h(フィードされたAlCl、量 100./h)T
+ C14フィード量 55g/hTiC1
,のキャリヤーガスN2 0.4ONJIコ/h吹込み
ノズル保護用N 2 0 、10 Nx3/ hバー
ナー用H20,8N J1/hバーナー用02 0.9 N13
/h圧力 常圧混合品温度 1600 ’C反
応部末端温度 980℃混合部滞留時間
25 xsce反応部滞留時間
50xsec運転は2時間で打ち切り、分離ドラムより
スラリーを回収し、回収ケーキを80℃で乾燥し、得ら
れた粉体を仮焼する前処理を行った。仮焼け800℃、
1時間の条件で行った。最終的に得らhたA12o3−
T;o2粉体jj: 75 gテJ>ツタ。コノ粉体の
組成はA 120361.8 wt%、Ti0z38,
2wt%であり、各粒子毎に/M!20.とTi0zを
含むことが確認された。
この粉体のX線回折を第2図に示す。検出されたピーク
はT r 02のルチル相とAl2O,の1品又はδ晶
のいずれかと弱いα晶が認められ、X相及びチタン酸ア
ルミニウム相は認められなかった。
はT r 02のルチル相とAl2O,の1品又はδ晶
のいずれかと弱いα晶が認められ、X相及びチタン酸ア
ルミニウム相は認められなかった。
仮焼を行わない粉体の場合はルチル相のピークが通常の
回折ピークと比べやや広く、またTiO2としてアナタ
ース相も若干検出された。ルチルの(110)ピークの
半価幅から結晶子径を求めたところ、18na+であっ
た。なお、仮焼前の結晶子径は9 、4 nmであった
。ルチル結晶の格子定数を求めたところC0は2.95
65λで昔しいずれを生じていた。
回折ピークと比べやや広く、またTiO2としてアナタ
ース相も若干検出された。ルチルの(110)ピークの
半価幅から結晶子径を求めたところ、18na+であっ
た。なお、仮焼前の結晶子径は9 、4 nmであった
。ルチル結晶の格子定数を求めたところC0は2.95
65λで昔しいずれを生じていた。
この粉体の仮焼前の透過型電子顕微鏡写真(倍率so、
ooo倍)をfjSa図に示す。粒子は球状で20nm
以下あるいは120nm以上の粒子は殆ど見当たらない
、平均粒径(度数平均)は39r+mであった。
ooo倍)をfjSa図に示す。粒子は球状で20nm
以下あるいは120nm以上の粒子は殆ど見当たらない
、平均粒径(度数平均)は39r+mであった。
仮焼を含む前処理を施されたA 120 :l −T
+ 02複合粉体は、アイソタクチックプレス法により
、3ton/cz2の圧力で成形された。
+ 02複合粉体は、アイソタクチックプレス法により
、3ton/cz2の圧力で成形された。
十分乾燥された試料を250℃で2時間予熱したのち3
00℃/hの昇降温速度で、1300℃で1時間、ある
いは1500℃で1時間の条件で焼結した。焼結密度は
、理論密度に対する比率としての相対密度で表して、何
者は95.6%、後者は93.2%となった。
00℃/hの昇降温速度で、1300℃で1時間、ある
いは1500℃で1時間の条件で焼結した。焼結密度は
、理論密度に対する比率としての相対密度で表して、何
者は95.6%、後者は93.2%となった。
また、750℃で仮焼を行った場合、α晶が認められず
、上記他の物性は800℃仮焼と同一の結果が得られた
。
、上記他の物性は800℃仮焼と同一の結果が得られた
。
なお、本明細書を通じて、実施例、比較例におけるAn
!203−TiO2複合粉体を原料として製造された焼
結体の物性は、前記E問題点を解決するための手段1の
項で特に説明したものを除き、次のような方法によって
測定したものである。
!203−TiO2複合粉体を原料として製造された焼
結体の物性は、前記E問題点を解決するための手段1の
項で特に説明したものを除き、次のような方法によって
測定したものである。
密度は試料の重量と=r法から決定できる。焼結前の成
形体についても同様である。(焼結後の試料の密度は水
銀アルキメデス法によっても測定できるが、重量と寸法
による方法と大差はない。)焼結前の成形体、1000
〜1250℃で焼結された試料、1300〜1600℃
で焼結された試料では結晶相が違っているが、目標とす
る焼結体は1300℃以上で焼結されたものであるので
、チタン酸アルミニウムの反応は完全に進行し、A l
20 :lが過剰の場合はα−A120.が、TiO
2が過剰の場合はルチル相のTiO2がチタン酸アルミ
ニウムと共存しているとして理論密度を計算し、この理
論密度に対する比率で相対密度を示す。
形体についても同様である。(焼結後の試料の密度は水
銀アルキメデス法によっても測定できるが、重量と寸法
による方法と大差はない。)焼結前の成形体、1000
〜1250℃で焼結された試料、1300〜1600℃
で焼結された試料では結晶相が違っているが、目標とす
る焼結体は1300℃以上で焼結されたものであるので
、チタン酸アルミニウムの反応は完全に進行し、A l
20 :lが過剰の場合はα−A120.が、TiO
2が過剰の場合はルチル相のTiO2がチタン酸アルミ
ニウムと共存しているとして理論密度を計算し、この理
論密度に対する比率で相対密度を示す。
チタン酸アルミニウム、α−A1203、ルチル相T
+ 02の比重はそれぞれ、3.702.3.987.
4.250g/cm”(JCPDX Powcler
D 1frraetion F ileの値)であるの
で、AbO3とT + 02のみからなる複合粉体を用
いて作製した焼結体では、次のように理論密度と相対密
度を計算する。
+ 02の比重はそれぞれ、3.702.3.987.
4.250g/cm”(JCPDX Powcler
D 1frraetion F ileの値)であるの
で、AbO3とT + 02のみからなる複合粉体を用
いて作製した焼結体では、次のように理論密度と相対密
度を計算する。
(i)量論比よりもA121.過剰の場合、Al2O。
の重量%をAとすると、
(ii)量論比よりもTie2過剰の場合、AI、0゜
の重量%をAとすると (iii)相対密度は X線回折では試料焼結面、あるいは試料切断面か破断面
について行い、その結晶相を同定する。
の重量%をAとすると (iii)相対密度は X線回折では試料焼結面、あるいは試料切断面か破断面
について行い、その結晶相を同定する。
試料焼結面ではチタン酸アルミニウム結晶の者しい配向
がみられる。本発明のAlzOz−TiO2複合粉体を
原料として用いる場合には、出発原料中のAl2O,と
TlO2の混合が均一であるので、未反応の状態で存在
する/l!20.とTlO2は僅かで、チタン酸アルミ
ニウムを生成する反応がよく進行する。
がみられる。本発明のAlzOz−TiO2複合粉体を
原料として用いる場合には、出発原料中のAl2O,と
TlO2の混合が均一であるので、未反応の状態で存在
する/l!20.とTlO2は僅かで、チタン酸アルミ
ニウムを生成する反応がよく進行する。
ファインセラミックスの市げ強さ試験方法はJIS
R1601に規定されているが、実験室規模で生産量の
少ない本発明の粉体のような場合には、粉体の量を節約
するために試験片寸法を小さくすることが行われる。本
発明の実験では試験片寸法は約311X411X21J
FIとし、スパン16mxの3点曲げで、試料数も4〜
6本と少なくしている。その他の条件はJIS と同
じである。
R1601に規定されているが、実験室規模で生産量の
少ない本発明の粉体のような場合には、粉体の量を節約
するために試験片寸法を小さくすることが行われる。本
発明の実験では試験片寸法は約311X411X21J
FIとし、スパン16mxの3点曲げで、試料数も4〜
6本と少なくしている。その他の条件はJIS と同
じである。
熱膨張率は例えば試験片(3X4X21iv)を用い、
高純度石英ガラスを対照として理学型8!製サーモフレ
ックスTMA![によって室温〜1000℃の間で6℃
/ninの昇降温速度で測定し、最高温度1000℃で
10分保持する方法による。
高純度石英ガラスを対照として理学型8!製サーモフレ
ックスTMA![によって室温〜1000℃の間で6℃
/ninの昇降温速度で測定し、最高温度1000℃で
10分保持する方法による。
[実施例21
実施例1の条件で、AICbの仕込み量とキャリヤーガ
スN2を増し、T i C14フィード量とキャリヤー
ガスN2を減する以外は同一条件で装置を運転した。
スN2を増し、T i C14フィード量とキャリヤー
ガスN2を減する以外は同一条件で装置を運転した。
即ち、
A ICI、のキャリヤーガスN 2 0 、46
N mコ/h(フィードされたA Ic 1.量 11
0g/h)TiCLフィード量 45g/h
TiC1,のキャリヤーガスN 2 0 、36 N
aコ/h1時間の運転で得られた粉体を実施例1と同
一の条件で処理し、約35gの粉体を得た。組成はAl
2oz69.1wt%* T io 230.9 wt
%であり、各粉体毎ににAl2O,とT i O2を含
有することが確認された。仮焼条件は850℃、30分
とした。
N mコ/h(フィードされたA Ic 1.量 11
0g/h)TiCLフィード量 45g/h
TiC1,のキャリヤーガスN 2 0 、36 N
aコ/h1時間の運転で得られた粉体を実施例1と同
一の条件で処理し、約35gの粉体を得た。組成はAl
2oz69.1wt%* T io 230.9 wt
%であり、各粉体毎ににAl2O,とT i O2を含
有することが確認された。仮焼条件は850℃、30分
とした。
この粉体の結晶相はTie:としでルチル、AI。
03としてγ晶又は5品が検出されるのみで、他の相は
検出されなかった。
検出されなかった。
ルチル相の結晶子径は、仮焼前で12nm、仮焼写真(
倍率50,000倍)を第4図に示す。
倍率50,000倍)を第4図に示す。
平均粒径は33nmであった。なお850℃、30分仮
焼後の粉体形状と分布は仮焼前と変わらないことが電子
顕微鏡で確認された。
焼後の粉体形状と分布は仮焼前と変わらないことが電子
顕微鏡で確認された。
この粉体を実施例1と同様に成形、焼結したところ、焼
結密度については、1300℃、1時間の焼結の場合で
94.8%、1500℃、1時間の焼結の場合で94.
5%の相対密度となった。
結密度については、1300℃、1時間の焼結の場合で
94.8%、1500℃、1時間の焼結の場合で94.
5%の相対密度となった。
[実施例3.4.51
A Ic 12とTiCl4のフィード量を下記のよう
に変更した他は実施例1と同様にして粉体を作製し、仮
焼け800℃、1時間として3種類の粉体(試料No、
3.4.5)を調整した。
に変更した他は実施例1と同様にして粉体を作製し、仮
焼け800℃、1時間として3種類の粉体(試料No、
3.4.5)を調整した。
試料No、3
A IC1,のキャリヤーガスN2 0.3NIコ/
h(フィードされたA ICI、量 70g/h)T
iCLフィード量 10 (1g/hTiC1
,のキャリヤーガスN 2 0 、52 N itコ
/h試料No、4 A #/’ A Ak−、11”5 kl
ハ A Oλf、3/L(フィードさ
れたA Ic 1.量 t15FI/h)T + C1
4フィード量 4ONxゴ/hT:C14の
キャリヤーガスN 2 0 、34 N IIコ/h
試料No、5 A Ic 1.のキャリヤーガスN2 0.36 Nm
3/h(フィードされたA IC1,量 85g/h
)T i C14フィード量 70g/hT
iCLのキャリヤーガスN2 0.46 Nz3/h
各粉体は、各粒子毎にA1.O,とT i O2の両方
を含み、それらの組成は以下の通りであった。
h(フィードされたA ICI、量 70g/h)T
iCLフィード量 10 (1g/hTiC1
,のキャリヤーガスN 2 0 、52 N itコ
/h試料No、4 A #/’ A Ak−、11”5 kl
ハ A Oλf、3/L(フィードさ
れたA Ic 1.量 t15FI/h)T + C1
4フィード量 4ONxゴ/hT:C14の
キャリヤーガスN 2 0 、34 N IIコ/h
試料No、5 A Ic 1.のキャリヤーガスN2 0.36 Nm
3/h(フィードされたA IC1,量 85g/h
)T i C14フィード量 70g/hT
iCLのキャリヤーガスN2 0.46 Nz3/h
各粉体は、各粒子毎にA1.O,とT i O2の両方
を含み、それらの組成は以下の通りであった。
試料No、 4
AbOz40,3wL%、Ti0z59.6wt%試料
No、4 ALOz73,5wt%、TiO226,5wL%試料
No、4 AbOx55.9wL%、Ti0z44,1wt%これ
らの粉体に関するデータを前記実施例1および2のデー
タと共にまとめて第1表に示した。
No、4 ALOz73,5wt%、TiO226,5wL%試料
No、4 AbOx55.9wL%、Ti0z44,1wt%これ
らの粉体に関するデータを前記実施例1および2のデー
タと共にまとめて第1表に示した。
[比較例1.2.3]
実施例と同じ粉体製造装置を用いて、A lc 1゜の
みフィードする場合と、T r C14のみフィードす
る場合の2回の実験を行い、A b O:l、TiC2
の粉体を別々に作製した。
みフィードする場合と、T r C14のみフィードす
る場合の2回の実験を行い、A b O:l、TiC2
の粉体を別々に作製した。
このうち、Al2O3の製造においては、製造条件とし
て、 A IC13蒸発器温度 150℃A ICI、
のキャリヤーガスN 2 0 、6 N zコ/h(
フィードされたA ICIz Ji 140 g/
h)T r C14フィード量 TiC&’4のキャリヤーガスN2 フィードせず
とした他は、実施例1と同様とし、反応器を3時間運転
し、停止したのち、スラリーを分離ドラムから回収した
。スラリーを長時間静置させて固型分を沈降させ、上澄
み液を除去し、蒸留水を加えて固型公約5wt%、pH
約2のスラリーとし、定量濾紙5A(目開き公称7μl
)を用いて吸引濾過し、異物や粗大粒子を除いたのち、
遠心分離にがl十−因清冬分鰭 言 ケ一 番停め
因μm今)本日tlVl−80℃で乾燥し、145gの
Al2O,粉体を得た。
て、 A IC13蒸発器温度 150℃A ICI、
のキャリヤーガスN 2 0 、6 N zコ/h(
フィードされたA ICIz Ji 140 g/
h)T r C14フィード量 TiC&’4のキャリヤーガスN2 フィードせず
とした他は、実施例1と同様とし、反応器を3時間運転
し、停止したのち、スラリーを分離ドラムから回収した
。スラリーを長時間静置させて固型分を沈降させ、上澄
み液を除去し、蒸留水を加えて固型公約5wt%、pH
約2のスラリーとし、定量濾紙5A(目開き公称7μl
)を用いて吸引濾過し、異物や粗大粒子を除いたのち、
遠心分離にがl十−因清冬分鰭 言 ケ一 番停め
因μm今)本日tlVl−80℃で乾燥し、145gの
Al2O,粉体を得た。
このAl2O,粉体の粒径は350Aであった。
また、T’i02の製造においては、製造条件として、
A Ic 13M発器温度 150℃(但し、A
Ic 1.を充填せず) AICムのキャリヤーガスN= 0.22 Nl1
1’/hT + Cl 4 フィード礒 14
0り/h”riCLのキャリヤーガスN 2 0 、
6 N mコ/hとした他は、実施例1と同様にして、
反応器を2時間運転した。得られたスラリーをAl2O
3の場合と同様に処理し、70gのTiO2粉体を得た
。
Ic 1.を充填せず) AICムのキャリヤーガスN= 0.22 Nl1
1’/hT + Cl 4 フィード礒 14
0り/h”riCLのキャリヤーガスN 2 0 、
6 N mコ/hとした他は、実施例1と同様にして、
反応器を2時間運転した。得られたスラリーをAl2O
3の場合と同様に処理し、70gのTiO2粉体を得た
。
このT i 02粉体の平均粒子径は490人であった
。
。
こうして得られたAl2O3とTiO2の粉体を、実施
例1.3.4の組成と同じになるように、3種類計量し
、水中に分散させて混合したのち乾燥し、さらに800
℃、1時間の条件で仮焼した。
例1.3.4の組成と同じになるように、3種類計量し
、水中に分散させて混合したのち乾燥し、さらに800
℃、1時間の条件で仮焼した。
仮焼後の処理は、実施例1と同様に行い、3種類の粉体
を得て、これらをそれぞれ比較例1.2.3の粉体とし
た。
を得て、これらをそれぞれ比較例1.2.3の粉体とし
た。
いずれの粉体についても、結晶相としてAl2O。
のδ晶、Ti0zの7ナタースとルチルの2相が検出さ
れた。比較例1の粉体のルチル相Ti’02の結晶子径
は55nmで、Ti0zの平均粒径(算術平均)よりも
少し大きく、ルチルの格子定数も2.9585人と理論
値とほぼ等しいので、これらルチル相のT i 02粒
子は単独粒子として存在し、Al2O,と共存して粒子
を構成したり、固溶したA 1203を含んだりはして
いない。
れた。比較例1の粉体のルチル相Ti’02の結晶子径
は55nmで、Ti0zの平均粒径(算術平均)よりも
少し大きく、ルチルの格子定数も2.9585人と理論
値とほぼ等しいので、これらルチル相のT i 02粒
子は単独粒子として存在し、Al2O,と共存して粒子
を構成したり、固溶したA 1203を含んだりはして
いない。
比較例2.3の場合も、ルチル相TiO□の結晶子径、
格子定数は比較例1と等しがった。
格子定数は比較例1と等しがった。
これら比較例1.2.3の粉体を実施例1と同様に成形
、焼結した。
、焼結した。
焼結密度についで、1300℃、1時間の焼結では、そ
れぞれ85.2%、90.3%、76.5%、1500
℃、1時間の焼結では79.9%、90.7%、88.
4%の相対密度となった。
れぞれ85.2%、90.3%、76.5%、1500
℃、1時間の焼結では79.9%、90.7%、88.
4%の相対密度となった。
実施例1〜5、比較例1〜3で得られた粉体の焼M密度
と組成との関係をまとめて、1300℃、1時間の焼結
の場合を第5図に、1500℃、1時間の焼結の場合を
tlS6図に示した。
と組成との関係をまとめて、1300℃、1時間の焼結
の場合を第5図に、1500℃、1時間の焼結の場合を
tlS6図に示した。
1300℃、11L!間の焼結の場合のデータでは実験
l@囲のいずれの条件でも本発明の複合粉体が高い密度
を与えた。大火らのチタン酸アルミニウムの合成粉体を
原料とした場合の1300℃、2時間焼結のデータも示
したが、実施例のみならず比較例よりも焼結性が低いこ
とが判る。
l@囲のいずれの条件でも本発明の複合粉体が高い密度
を与えた。大火らのチタン酸アルミニウムの合成粉体を
原料とした場合の1300℃、2時間焼結のデータも示
したが、実施例のみならず比較例よりも焼結性が低いこ
とが判る。
1500℃、1時間のデータでは、本発明の粉体が実験
範囲において93〜95%のほぼ一定の相対密度を示し
たのに対して、比較例ではチタン酸アルミニウム量論比
(A 1xO356、1at%、TiO□43.9wt
%)に近いところで者しく密度が低下した。
範囲において93〜95%のほぼ一定の相対密度を示し
たのに対して、比較例ではチタン酸アルミニウム量論比
(A 1xO356、1at%、TiO□43.9wt
%)に近いところで者しく密度が低下した。
これらのデータに示されるように、本発明の複合粉体を
用いることにより、これを原料として製造される焼結体
は、従来になく低温、短時間の焼結で高密度を達成でき
た。
用いることにより、これを原料として製造される焼結体
は、従来になく低温、短時間の焼結で高密度を達成でき
た。
[実施例61
実施例1の粉体を用いて、焼結の昇降温速度を600℃
/h(10℃/si口)とし、最高温度1500℃、2
時間の条件で焼結した。焼結密度95.5%、平均曲げ
強度8 、5 Kg/m1x2、室温〜1o。
/h(10℃/si口)とし、最高温度1500℃、2
時間の条件で焼結した。焼結密度95.5%、平均曲げ
強度8 、5 Kg/m1x2、室温〜1o。
0℃の熱膨張率0.137%の値を得た。破断面を走査
型電子顕微鏡で観察したところ、5〜30μlの塊状の
チタン酸アルミニウム粒子の粒界に0.5〜3μlのA
I、O,粒子がより均一に分散しており、これが焼結体
を強化していると考えられる。
型電子顕微鏡で観察したところ、5〜30μlの塊状の
チタン酸アルミニウム粒子の粒界に0.5〜3μlのA
I、O,粒子がより均一に分散しており、これが焼結体
を強化していると考えられる。
[実施例7]
実施例4の粉体を用いて、焼結の昇降温速度を300℃
/h(5℃/win)とし、最高温度1600℃、2時
間の条件で焼結した。焼結密度95.1%、平均曲げ強
度11.3Ky/ax2、室温〜1000℃の熱膨張率
0.187%の値を得た。
/h(5℃/win)とし、最高温度1600℃、2時
間の条件で焼結した。焼結密度95.1%、平均曲げ強
度11.3Ky/ax2、室温〜1000℃の熱膨張率
0.187%の値を得た。
[実施例8J
実施例5の粉体100重量部に対し、比較例で用いたδ
晶のAl2034重量部をボールミルで十分混合し、出
発粉体とした。
晶のAl2034重量部をボールミルで十分混合し、出
発粉体とした。
焼結の昇降温速度を600℃/hとし、最高温度95.
3% 平均曲げ強度9.0Kg/1ts2、室温〜t
ooo℃の熱膨張率0.125%の値を得た。
3% 平均曲げ強度9.0Kg/1ts2、室温〜t
ooo℃の熱膨張率0.125%の値を得た。
[比較例41
比較例1の粉体を用いて、実施例6と同様に焼結の昇降
温速度を600℃/h(10℃/win)とし、最高温
度1500℃、2時間の条件で焼結した。
温速度を600℃/h(10℃/win)とし、最高温
度1500℃、2時間の条件で焼結した。
焼結密度83.2%、平均血げ強度2.6Kg/ma2
、室温〜1000℃の熱膨張率0.170%の値を得た
。破断面を走査型電子顕微鏡でa察したところ、多孔質
の組織で、ドメイン構造を示していた。
、室温〜1000℃の熱膨張率0.170%の値を得た
。破断面を走査型電子顕微鏡でa察したところ、多孔質
の組織で、ドメイン構造を示していた。
[実施例91
実施例3の粉体と実施例5の粉体を重量比1:1の割合
で、ボールミルで十分混合し、A1.0゜48.1wL
%、Ti0z5.1,9wL%の組成の粉体とした。焼
結の昇降温速度を600℃/hとし、最高温度1300
℃、4時間の条件で焼結した。焼結密度96.8%、平
均曲げ強度8.2Ky/mm”、室温〜1000℃の熱
膨張率0.078%を得た。
で、ボールミルで十分混合し、A1.0゜48.1wL
%、Ti0z5.1,9wL%の組成の粉体とした。焼
結の昇降温速度を600℃/hとし、最高温度1300
℃、4時間の条件で焼結した。焼結密度96.8%、平
均曲げ強度8.2Ky/mm”、室温〜1000℃の熱
膨張率0.078%を得た。
破断面を走査型電子顕微鏡で観察したところ、10粒界
に1〜5μm程度の大きさのT ! 02粒子が分散し
、またチタン酸アルミニウム粒子内にも1μl以下のT
i 02粒子が分散し、これらの分散したTiO□粒
子が組織を強化していると考えられる。
に1〜5μm程度の大きさのT ! 02粒子が分散し
、またチタン酸アルミニウム粒子内にも1μl以下のT
i 02粒子が分散し、これらの分散したTiO□粒
子が組織を強化していると考えられる。
[発明の効果]
本発明によるAffizO:+−TiOz複合粉体を原
料として用いて作製したチタン酸アルミニウム系焼結体
は、従来にない特徴を持っている。
料として用いて作製したチタン酸アルミニウム系焼結体
は、従来にない特徴を持っている。
まず、本発明の粉体を用いて作製したチタン酸アルミニ
ウム焼結体は、比較的低温又は短時間の焼結で従来にな
く高密度の焼結体が得られる。さらに、原料中のAl2
O,とT r 02の混合が均一・であるので、チタン
酸アルミニウムが均一に生成し、過剰のAl2O,ある
いはT i O2がチタン酸アルミニウム中に均一に分
散した組織となる。この高密度と組織の均−性及び過剰
のAlbOs又はTie:の均一分散のために、特にA
1.02あるいはT i O2が若干過剰の範囲で、熱
膨張を十号低く保ちながら、従来にない高強度を得るこ
とが可能となった。
ウム焼結体は、比較的低温又は短時間の焼結で従来にな
く高密度の焼結体が得られる。さらに、原料中のAl2
O,とT r 02の混合が均一・であるので、チタン
酸アルミニウムが均一に生成し、過剰のAl2O,ある
いはT i O2がチタン酸アルミニウム中に均一に分
散した組織となる。この高密度と組織の均−性及び過剰
のAlbOs又はTie:の均一分散のために、特にA
1.02あるいはT i O2が若干過剰の範囲で、熱
膨張を十号低く保ちながら、従来にない高強度を得るこ
とが可能となった。
密度についてまず見ると従来報告されている最も高密度
のチタン酸アルミニウム系焼結体は太夫ら(窯業協会誌
旦(63289−297(1983))が1500℃、
4時間の焼結で報告している相対密度94.5%程度の
ものであるが、本発明の粉体を用いた場合、チタン酸ア
ルミニウムの量論比の組成では1300℃、1時間の焼
結で95.5%の相対密度を示し、太夫らの1300℃
、2時間の焼結では72%であるのと比べ者しく易焼結
性である。1500℃では、1時間の焼結で94.6%
を達成しており、太夫らより短時間で高密度となる。
のチタン酸アルミニウム系焼結体は太夫ら(窯業協会誌
旦(63289−297(1983))が1500℃、
4時間の焼結で報告している相対密度94.5%程度の
ものであるが、本発明の粉体を用いた場合、チタン酸ア
ルミニウムの量論比の組成では1300℃、1時間の焼
結で95.5%の相対密度を示し、太夫らの1300℃
、2時間の焼結では72%であるのと比べ者しく易焼結
性である。1500℃では、1時間の焼結で94.6%
を達成しており、太夫らより短時間で高密度となる。
第1図は、本発明のアルミナ−チタニア複合粉体を製造
するためのプロセスと装置を示すフローシートである。 第2図は、実施例1で作られたアルミナ−チタニア複合
粉体の仮焼後のX#!回折図である。 fjIJ3図は、実施例1で作られたアルミナ−チタニ
ア複合粉体の透過型電子顕微鏡写真である。 fjS4図は、実施例2で作られたアルミナ−チタニア
複合粉体の透過型電子顕微鏡写真である。 第5図は、実施例1〜5、比較例1〜3における130
0℃、1時間の焼結品について、相対密度と組成との関
係を示すグラフである。 第8図は、実施例1〜5、比較例1〜3における150
0℃、1時間の焼結品について、相対密度と組成との関
係を示すグラフである。 第5図 第6図 Aム03 wt九 手続補正書(自発) 昭和60年11月11 日 昭和60年特許願第214237号 2、発明の名称 アルミナ−チタニア複合粉体及びその製造方法3、補4
正をする者 事件との関係 特許出願人 住所 東京都¥芙KB′¥MuMW’x丁目9番11号
名称 Hxo)Wmイε¥デMb式全会社6補正の内容 (1)明細書第15頁第3行の「ルチル相T i O2
に・・・」から同頁第5行の[試料の回折ピークの」ま
でを[シリコンを内部標準物質としたXm回折法により
、複数(4本以上)のルチル相TiO2による回折ピー
クの」に訂正する。 (2)明細書第15頁第14行に[内部標準としてIP
CJとあるのを[内部標準物質として行ったIPCJに
訂正する。 (3)明細書第17頁第12行に「断続的は」とあるの
を「断続的に」に訂正する。 (4)明細書第17頁第1215行に「窒素(N2)に
よって」とあるのを[窒素(N2)の流量によって]に
訂正する。 (5)明細書第37頁第11行〜第12行にrT+ci
’4TiCl 4フィード量l 4のキャリヤーガスN2 フィードせ
ず」とあるのを [TiCl4フィード量 フィードせずTiCL
のキャリヤーガスN20.22Ny”/hJに訂正する
。 手続翁!j正■す: (g1発) 昭和61年12月23日
するためのプロセスと装置を示すフローシートである。 第2図は、実施例1で作られたアルミナ−チタニア複合
粉体の仮焼後のX#!回折図である。 fjIJ3図は、実施例1で作られたアルミナ−チタニ
ア複合粉体の透過型電子顕微鏡写真である。 fjS4図は、実施例2で作られたアルミナ−チタニア
複合粉体の透過型電子顕微鏡写真である。 第5図は、実施例1〜5、比較例1〜3における130
0℃、1時間の焼結品について、相対密度と組成との関
係を示すグラフである。 第8図は、実施例1〜5、比較例1〜3における150
0℃、1時間の焼結品について、相対密度と組成との関
係を示すグラフである。 第5図 第6図 Aム03 wt九 手続補正書(自発) 昭和60年11月11 日 昭和60年特許願第214237号 2、発明の名称 アルミナ−チタニア複合粉体及びその製造方法3、補4
正をする者 事件との関係 特許出願人 住所 東京都¥芙KB′¥MuMW’x丁目9番11号
名称 Hxo)Wmイε¥デMb式全会社6補正の内容 (1)明細書第15頁第3行の「ルチル相T i O2
に・・・」から同頁第5行の[試料の回折ピークの」ま
でを[シリコンを内部標準物質としたXm回折法により
、複数(4本以上)のルチル相TiO2による回折ピー
クの」に訂正する。 (2)明細書第15頁第14行に[内部標準としてIP
CJとあるのを[内部標準物質として行ったIPCJに
訂正する。 (3)明細書第17頁第12行に「断続的は」とあるの
を「断続的に」に訂正する。 (4)明細書第17頁第1215行に「窒素(N2)に
よって」とあるのを[窒素(N2)の流量によって]に
訂正する。 (5)明細書第37頁第11行〜第12行にrT+ci
’4TiCl 4フィード量l 4のキャリヤーガスN2 フィードせ
ず」とあるのを [TiCl4フィード量 フィードせずTiCL
のキャリヤーガスN20.22Ny”/hJに訂正する
。 手続翁!j正■す: (g1発) 昭和61年12月23日
Claims (9)
- (1)γ晶又はδ晶のアルミナ約30〜約80重量%と
ルチル相を主とする約70〜約20重量%のチタニアの
両方を同一粒子中に含有し、X相(3Al_2O_3−
TiO_2)とチタン酸アルミニウム相を実質的に含ま
ないアルミナ−チタニア複合粉体。 - (2)粉体の形状が球状である特許請求の範囲第1項に
記載のアルミナ−チタニア複合粉体。 - (3)チタニアのルチル相結晶の格子定数Coが2.9
580Å以下である特許請求の範囲第1項又は第2項の
いずれかに記載のアルミナ−チタニア複合粉体。 - (4)α晶アルミナを実質的に含まない特許請求の範囲
第1項〜第3項のいずれかに記載のアルミナ−チタニア
複合粉体。 - (5)平均粒子径が25〜100nmである特許請求の
範囲第1項〜第4項のいずれかに記載のアルミナ−チタ
ニア複合粉体。 - (6)ルチル相チタニアの平均結晶子径が、複合粉体の
平均粒子径と30nmうちのいずれよりも小さい特許請
求の範囲第1項〜第5項のいずれかに記載のアルミナ−
チタニア複合粉体。 - (7)アルミナとチタニア以外の成分を含まない特許請
求の範囲第1項〜第6項のいずれかに記載のアルミナ−
チタニア複合粉体。 - (8)燃焼する火炎中にAlCl_3とTiCl_4の
混合蒸気を吹き込んで酸化し、アルミナとチタニアから
なる複合粉体を製造するに際し、可燃性ガス、支燃性ガ
ス、AlCl_3ガスとTiCl_4ガスおよびキャリ
ア−スが混合されて、燃焼が生ずる混合部の温度を約1
450℃以上でチタン酸アルミニウムの融点未満とし、
混合部に接続された反応部の出口部分の温度を約800
℃以上とし、混合部と反応部の平均ガス滞留時間をあわ
せて20〜500msecとするアルミナ−チタニア複
合粉体の製造方法。 - (9)燃焼する火炎中にAlCl_3とTiCl_4の
混合蒸気を吹き込んで酸化し、アルミナとチタニアから
なる複合粉体を製造するに際し、可燃性ガス、支燃性ガ
ス、AlCl_3ガスとTiCl_4ガスおよびキャリ
ヤーガスが混合されで、燃焼が生ずる混合部の温度を約
1450℃以上でチタン酸アルミニウムの融点未満とし
、混合部に接続された反応部の出口部分の温度を約80
0℃以上とし、混合部と反応部の平均ガス滞留時間をあ
わせて20〜500msecとして製造されたアルミナ
−チタニア複合粉体を、さらに700〜900℃の温度
で仮焼するアルミナ−チタニア複合粉体の製造方法。
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