JPS6241513U - - Google Patents
Info
- Publication number
- JPS6241513U JPS6241513U JP13236685U JP13236685U JPS6241513U JP S6241513 U JPS6241513 U JP S6241513U JP 13236685 U JP13236685 U JP 13236685U JP 13236685 U JP13236685 U JP 13236685U JP S6241513 U JPS6241513 U JP S6241513U
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- dicing
- blade
- rotary
- cooling means
- outer periphery
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
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Landscapes
- Processing Of Stones Or Stones Resemblance Materials (AREA)
Description
第１図は本考案のダイシング装置に使用する回
転ダイシングソーの断面図、第２図及び第３図は
ダイシング装置の一例を示す正面図及び側面図で
ある。第４図は従来の回転ダイシングソーの断面
図である。 １……ダイシング装置、７……半導体ウエーハ
、１３……ブレード冷却手段、（ブレードクーラ
ー水ノズル）、１６……回転ダイシングソー、１
７……ハブ、１８……ブレード、θ……ハブのブ
レードと隣接する部分の角度。
転ダイシングソーの断面図、第２図及び第３図は
ダイシング装置の一例を示す正面図及び側面図で
ある。第４図は従来の回転ダイシングソーの断面
図である。 １……ダイシング装置、７……半導体ウエーハ
、１３……ブレード冷却手段、（ブレードクーラ
ー水ノズル）、１６……回転ダイシングソー、１
７……ハブ、１８……ブレード、θ……ハブのブ
レードと隣接する部分の角度。
Claims (1)
- ブレード冷却手段を有する回転ダイシングソー
にて半導体ウエーハをダイシングする装置におい
て、ブレードと隣接するハブの外周部の角度を鋭
角にしたことを特徴とするダイシング装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP13236685U JPS6241513U (ja) | 1985-08-28 | 1985-08-28 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP13236685U JPS6241513U (ja) | 1985-08-28 | 1985-08-28 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS6241513U true JPS6241513U (ja) | 1987-03-12 |
Family
ID=31031685
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP13236685U Pending JPS6241513U (ja) | 1985-08-28 | 1985-08-28 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS6241513U (ja) |
Citations (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| GB1330692A (en) * | 1969-11-12 | 1973-09-19 | Sola Basic Ind | Semiconductor material cutting apparatus and method of making the same |
-
1985
- 1985-08-28 JP JP13236685U patent/JPS6241513U/ja active Pending
Patent Citations (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| GB1330692A (en) * | 1969-11-12 | 1973-09-19 | Sola Basic Ind | Semiconductor material cutting apparatus and method of making the same |