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JPS6236961A - 密着型イメ−ジセンサ - Google Patents

密着型イメ−ジセンサ

Info

Publication number
JPS6236961A
JPS6236961A JP60176615A JP17661585A JPS6236961A JP S6236961 A JPS6236961 A JP S6236961A JP 60176615 A JP60176615 A JP 60176615A JP 17661585 A JP17661585 A JP 17661585A JP S6236961 A JPS6236961 A JP S6236961A
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
layer
transparent
conductive layer
light
photoelectric transducer
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Pending
Application number
JP60176615A
Other languages
English (en)
Inventor
Takahiro Nishikura
西倉 孝弘
Noboru Yoshigami
由上 登
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Panasonic Holdings Corp
Original Assignee
Matsushita Electric Industrial Co Ltd
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Matsushita Electric Industrial Co Ltd filed Critical Matsushita Electric Industrial Co Ltd
Priority to JP60176615A priority Critical patent/JPS6236961A/ja
Publication of JPS6236961A publication Critical patent/JPS6236961A/ja
Pending legal-status Critical Current

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Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 産業上の利用分野 本発明は、ファクシミリやノ・ンドスキャナー等の読み
取りに用いられる原稿幅と1=1に対応する大きさを有
し、原稿に密着して読み取る密着型イメージセンサに関
するものである。
従来の技術 従来の密着型イメージセンサでは、例えば特開2 ・・
−=。
昭58−40856号公報に示されているように、第2
図のよう外構造になっていた。
つまり第2図の副走査方向の断面図に示されている様に
、透光性絶縁基板1上に照明窓3を有する遮光層2を形
成し、光電変換素子6と遮光層2との絶縁性を保つため
に透光性絶縁層4を形成する。その上部に主走査方向に
並んだ島状の光電変換素子5を例えばCdS 、 Cd
Seあるいはその固溶体等で形成し、前記光電変換素子
6を一定単位数ごとに1とめた共通電極6と各光電変換
素子5に対応した個別電極7から々る対向電極を形成す
る。
その上に例えばマイクロシートガラス等の薄膜ガラスを
透明保護層8として接着したり、また特開昭58−12
7463号公報に示されている様々透明保護層上部例え
ばAl、、03. SiC、5t3N4等の高硬度の薄
膜を形成してからなる密着型イメージセンサで、照明窓
3から入射した光がローラー12で送られてくる原稿1
0面で反射し、その反射光11の強弱を光電変換素子6
で電気信号に変換するようになっている。
3、、−7 発明が解決しようとする問題点 しかしこの様な構造の密着型イメージセンサでは、薄膜
ガラス等の透明保護層や、さらにその」一部に高硬度の
透明絶縁薄膜を形成する事により、高い絶縁性のために
原稿と保護層との摩擦による静電気の発生によって、原
稿等から生じるゴミ等を吸着してし丑い、保護層を傷つ
けるために、信号のS/Nが低下したり、また高硬度の
保護層等では反対に原稿面自体を傷つけてし捷い、信頼
性等に問題があり、さらに数1000ボルト以上の高電
圧になる静電気の放電による信号処理回路の誤動作や光
電変換素子等の破壊が問題となっていた。
本発明は、−1−配点を考えて、簡単な構造でしかも容
易に静電気等を防止できる密着型イメージセンサを提供
する事を目的としている。
問題点を解決するだめの手段 本発明は上記問題点を解決するだめに、透明保護層の上
に透光性導電層を形成する0 作用 本発明は上記構造により、原稿との接触により発生する
静電気の蓄積を、透明保護層」−の透光性導電層を接地
することで防ぐことにより、ゴミ等の吸着による悪影響
をのぞくことができるものである。
実施例 第1図は、本発明の密着型イメージセンサの副走査方向
の断面図である。
第1図において、コーニング7059等の透光性絶縁基
板1上に、St 、 Ta 、 Cr 、Ti等で照明
窓3を有する遮光層2を形成し1、さらに光電変換素子
5と遮光層2との絶縁性を保つために、51021Si
5N4等の透光性絶縁層4を5000人程度形成する。
その土にOdS  、 0dSeおよびその固溶体等で
主走査方向に照明窓3近傍に島状に光電変換素子5を形
成する。そして光電変換素子5を一定単位数ごとにまと
めた共通電極6と各光電変換素子5に対応した個別電極
7からなる対向電極を例えばNiCr−Au等で形成し
、その上部にマイクロシートガラス等の薄膜ガラスの透
明保護層85べ一一ン゛ を接着等で形成した後、透明保護層8上に、例えば、I
n2O3,5n02 、1.T、O等のある程度の硬度
を有する透光性導電層9を100〜6000人程度形成
する形成して、照明窓3から入射する光でローラー12
により送りこ捷れる原稿10を照射し、その情報に対応
する反射光11の強弱信号を光電変換素子5上で電気信
号に変換するものである。
そして、透明保護層8上に形成した透光性導電層9を設
ける事により、原稿10と透光性導電層9との接触によ
って発生する静電気を透光性導電層9を接地することで
防止できるので、静電気によるゴミの吸着が無く、S/
N 比が向上するとともに、さらに高圧の静電気による
信号処理回路の誤動作や素子の破壊等が未然に防止でき
密着型イメージセンサの信頼性が非常に向上する。そし
て透光性導電層を適当々硬度の材料で構成することによ
り原稿自体を傷つけることが々くなるものである。
発明の効果 6ヘー。
以」二連べてきたように、本発明によれば、透明保護層
上部に透光性導電層を形成するという非常に簡単な構造
で、きわめて信頼性が高く、安定した特性を得ることが
でき、実用上において、多くの利点を持ち、有用である
【図面の簡単な説明】
第1図は、本発明の実施例における密着型イメージセン
サの副走査方向の断面図、第2図は、従来の密着型イメ
ージセンサの副走査方向の断面図である。 2・・・・・・遮光層、3・・・・・・照明窓、5・・
・・・・光電変換素子、8・・・・・・透明保護層、9
・・・・・・透光性導電層、1o・・・・・・原稿、1
1・・・・・・反射光0代理人の氏名 弁理士 中 尾
 敏 男 ほか1名?−−−遮光層 3−−一照馴充〜 If−−一反射光 第2図

Claims (1)

    【特許請求の範囲】
  1. 絶縁性基板上に、照明窓を有する遮光層と、透光性絶縁
    層と、主走査方向に並んだ島状の光電変換素子と、前記
    光電変換素子を一定単位数ごとにまとめた共通電極と前
    記各光電変換素子に対応した個別電極からなる対向電極
    と、透明保護層と、この透明保護層上部の原稿と接する
    面に透光性導電層とを備えた事を特徴とする密着型イメ
    ージセンサ。
JP60176615A 1985-08-09 1985-08-09 密着型イメ−ジセンサ Pending JPS6236961A (ja)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP60176615A JPS6236961A (ja) 1985-08-09 1985-08-09 密着型イメ−ジセンサ

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP60176615A JPS6236961A (ja) 1985-08-09 1985-08-09 密着型イメ−ジセンサ

Publications (1)

Publication Number Publication Date
JPS6236961A true JPS6236961A (ja) 1987-02-17

Family

ID=16016663

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP60176615A Pending JPS6236961A (ja) 1985-08-09 1985-08-09 密着型イメ−ジセンサ

Country Status (1)

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JP (1) JPS6236961A (ja)

Cited By (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS6418754U (ja) * 1987-07-22 1989-01-30
JPS6471173A (en) * 1987-06-12 1989-03-16 Canon Kk Image reader
JPH01232871A (ja) * 1988-03-14 1989-09-18 Hitachi Ltd 完全密着型読取センサ及び読取センサアセンブリ
JPH0879444A (ja) * 1994-08-31 1996-03-22 Nec Corp 密着型イメージセンサ

Cited By (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS6471173A (en) * 1987-06-12 1989-03-16 Canon Kk Image reader
JPS6418754U (ja) * 1987-07-22 1989-01-30
JPH01232871A (ja) * 1988-03-14 1989-09-18 Hitachi Ltd 完全密着型読取センサ及び読取センサアセンブリ
JPH0879444A (ja) * 1994-08-31 1996-03-22 Nec Corp 密着型イメージセンサ

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