JPS6225417A

JPS6225417A - 半導体製造装置

Info

Publication number: JPS6225417A
Application number: JP60164798A
Authority: JP
Inventors: Ryuichi Sato; 隆一佐藤; Masanori Numata; 沼田　正徳; Fumiyoshi Hamazaki; 浜崎　文栄; Naoki Ayada; 綾田　直樹
Original assignee: Canon Inc
Current assignee: Canon Inc
Priority date: 1985-07-25
Filing date: 1985-07-25
Publication date: 1987-02-03
Also published as: JPH0535565B2

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】［発明の分野］本発明は、ＬＳｌ、ＶＬＳＩ等の半導体デバイスを製造
する装置に関し、特に、装置に標準設定されている動作
を任意に組合せてユーザ独自のシーケンスを作成するこ
とを可能にした半導体製造装置に関する。

［発明の背景］従来のステップアンドリピート式の投影露光装置におい
ては、装置本来の動作である所定のシーケンスに従った
露光動作の伯、この露光動作を構成する個々の単位動作
すなわちウェハ挿脱やスアップ送りや位置合ぜやＺステ
ージ駆動等の動作をそれぞれ単独で実行させることがで
きる。

しかし、前記露光動作以外の動作例えばＺステージの駆
動伍を較正するための一連の動作等はシーケンスとして
は実装されておらず、このような動作を実行させようと
する場合はオペレータが装置に付きっきりで、装置の動
作に合せて、Ｚステージ駆動、エアマイクロセンサ値計
測表示等の動作指令を必要回数繰返しキー人力しなけれ
ばならず、その手間と時間は大変なものであった。

［発明の目的］本発明の目的は、上述の従来形における問題点に鑑み、
半導体ｌｉＩ造装置において、ユーザが、メーカ設定の
動作シーケンスや単位動作を適宜組合せた所望のシーケ
ンスを作成できるようにすることである。

［実施例の説明］以下、図面に従って本発明の詳細な説明する。

第１図は、本発明の一実施例に係る投影露光装量の外観
を示す。同図において、１は集積回路パターンを具えた
マスクで、他にマスクアライメントマークやマスク・ウ
ェハ・アライメントマークを員えるものとする。２はマ
スクステージで、マスク１を保持してマスク１を平面内
（ＸＹｈ向）及び回転方向（θ方向）に移動させる。３
は縮小投影レンズ、４は感光層を具えるウェハで、マス
ク・ウェハ・アライメントマークとテレビ・ウェハアラ
イメントマークを貝えるものとする。５はウェハステー
ジζ゛ある。ウェハステージ５はウェハ４を保持してそ
れを平面内および回転方向に移動させるものであり、ま
たウェハ焼付位置（投影野内）とテレビ・ウェハアライ
メント位置間を移動する。６はテレビ・ウェハアライメ
ント用検知装置の対物レンズ、７は搬像管（または固体
搬像素子）である。９は双眼ユニットで、投影レンズ３
を介してウェハ４の表面を観察するために役立つ。１０
は照明光学系ならびにマスク・ウェハ・アライメント用
の検知装置を収容する上部ユニットである。１１はモニ
タ受像機（コンソールＣＲＴ）、１２は装置における各
種の動作指令やパラメータを入力するためのキーボード
である。

第２図は、第１図の装置の電気回路構成を示す。

同図において、２１は装置全体の制御を司る本体ＣＰＵ
で、マイクロコンピュータまたはミニコンピユータ等の
中央演算処理装置からなる。２２はウェハステージ駆動
装置、２３はアライメント検出系、２４はレチクルステ
ージ駆動装置、２５は照明系、２６はシャッタ駆動装置
、２１はフォーカス検出系、２８はＺ駆動装置で、これ
らは、本体ＣＰ　Ｕ　２１により制御される。２９は搬
送系である。

３０はコンソールユニットで、本体ＣＰ　Ｕ　２１にこ
の露光装置の動作に関する各種の指令やパラメータを与
えるためのものである。３１はコンソールＣＰＵ、３２
はパラメータ等を記憶する外部メモリである。なＪ３、
ＣＲＴ　１１およびキーボード１２は第１図のものと同
一である。

次に、第３および５図のフローチャートならびに第４図
の表示画面例を参照しながら、第１図の装置の動作を説
明する。

第３図のフローチャートは、本発明の特徴とするユーザ
・プログラマブル・シーケンス作成処理（以下、自動シ
ーケンス作成処理という）を示す。

第１図の装置においては、電源投入侵の初期化が終了し
たとき等にコマンド入力待■状態となる。

つまり、コンソールＣＰ　ｔＪ　３１はキーボード１２
におけるギー操作を待機し、本体ＣＰ　Ｕ　２１はコン
ソールＣＰ　Ｕ　３１からの通信持ち状態となる。そし
て、この状態でキーボード１２から自動シーケンス作成
のだめのコマンド（例えばＡＳ＞が入力されると、コン
ソールＣＰ　Ｕ　３１の制御のもとに以下の自動シーケ
ンス作成処理を開始する。

第３図において、ステップ５１では、ＣＲＴＩＩの画面
表示を第４図（ａ＞のものく但し、点線部４３内のデー
タは表示されていない）に切換え、キーボード１２から
順次入力される数字または英字をＣＲＴｌｌの画面の最
下段（第４図（ａ＞の点線部４３）に表示し、さらに、
キーボード１２で改行キーが押下された後口の改行キー
が押下される前までに入力されたデータ（またはデータ
列）に基づいてＣＲＴｌｌの画面に表示された項目（１
，ファイル名、２、コメント、３．エディタ）で示され
るモードまたは終了モードのうちいずれが選択されたか
を判定する。ここでは、各モードは上記項目に付された
１〜３の数字または終了を示す英字ｒＥＪにより選択さ
れる。なお、自動シーケンス作成処理に入ったばかりの
時点では第４図（ａ）の点線部４１および４２内には未
だ何も表示されない。また、点線部４３の改行マーク（
））は便宜的に表示したもので実際上は表示されない。

ステップ５１において１のファイル名登録丘−ドが選択
されたときは、ステップ５２に進む。そして、以復、改
行キーが押下されるまでのキー人力データを順次、ＣＲ
Ｔ　１１の画面中、第４図（ａ）の点線部４１に表示す
るとともに、改行キーが押下されると、それまでに入力
されたデータ（ここではＺＭ　Ｅ　Ａ　Ｓ　１．Ｊ　Ｒ
Ｅ　）を現在作成しようとしている（または作成中の）
８作シーケンスのファイル名として外部メモリ３２のフ
ァイル名エリアに登録し、その後、ステップ５１に戻る
。なあ、このコメン１−名は、装置を動作さぜる際、メ
ーカ設定のコメントと同列に扱われる。つまり、後述す
るように、前述のコマンド持ち状態において、このファ
イル名をキー人力すると、装置はこのファイル名で作成
された動作シーケンスを実行する。

また、ステップ５１において２のコメント登録モードが
選択されたときは、ステップ５３に進む。ステップ５３
では、以侵、改行キーが押下されるまでのキー人力デー
タを順次、ＣＲＴＴＩの画面中、第４図（ａ）の点線部
４２に表示するとともに、改行キーが押下されると、そ
れまでに入力されたデータを現在作成しようとしている
かまたは作成中の動作シーケンスのコメントつまり注意
書きどして外部メモリ３２のコメントエリアに登録し、
その後、ステップ５１に戻る。なＪｊ、このコメントは
上記ファイル名をコマンドとして使用する際、何ら影響
しイ１い。

また、ステップ５１において３のエディタモードが選択
されたときは、ステップ５４に進む。このエディタモー
ドは、新たな動作シーケンスを作成したり、現在作成中
の動作シーケンスを訂正するためのモードである。ステ
ップ５４では、ＣＲＴｌｌの画面表示を第４図（ｂ）の
ものく但し、点線部４４内のデータは表示されていない
）に切換え、キーボード１２から、順次入力される数字
または英字を点線部４４に表示し、さらに、キーボード
１２で改行キーが押下された後、上記点線部４４の表示
データがコマンドのステップナンバを示ずＳｌ、Ｓ２、
・・・および終了を示す英字ｒＥＪのいずれであるがを
判定する。もし、ステップナンバが入力されていれば、
ステップ５５に進む。ステップ５５ではキーボード１２
から入力されるコマンドを上記キー人力により指定され
たステップナンバのコマンドとして第４図（Ｃ＞のよう
にＣＲ−ｒｌｌに表示するとともに外部メモリ３２に記
憶させた後、ステップ５４に戻る。このステップ５４と
５５を繰返寸ことにより、第４図（Ｃ）に示すような一
連の動作シーケンスが作成される。また、既にコマンド
が書込まれているステップナンバを指定して新たなコマ
ンドをキー人力すれば、動作シーケンスを訂正すること
ができる。このエディタモードは、ステップ５４にＪ３
いて、キーボード１２からｒＥＪが入力されると終了し
、処理はステップ５１に戻る。このステップ５１におけ
るＣ　ＲＴ　１１の表示は前述の第４図（ａ）に示すも
のである。

ステップ５７において′、キーボード１２からｒＥＪが
入力されたとき（第４図（ｄ））は、終了モードが選択
されたときである。この場合は、ステップ５６に進み、
自動シーケンス作成処理を終了する。

この装置において、自動シーケンスを作成する際の操作
を示すと以下の通りである。

■装置のコマンド持ち状態においてキーボード１２より
自動シーケンス作成コマンド（Ａｓ）を入力する。

■Ｃｆｌ　Ｔ　ｆｉへの表示（第４図（ａ））に従って
、キーボード１２ｒ：ｒ３」を入力し、エディタモード
を選択する。

■ＣＲＴ　１１への表示（第４図（ｂ））を児ながら、
キーボード１２を操作してステップナンバおよび該ステ
ップナンバにおけるコマンドを必要数だけ繰返し入力覆
る。

■上記キー人力の結果、所望の動作シーケンスが完成し
たことをＣＲＴＩＩへの表示（第４図（Ｃ））により確
認したら、キーボード１２よりｒＥＪを入力し、エディ
タモードを終了する。

■ＣＲＴ表示が５ＸＸ７１図（ａ＞に示す状態において
、キーボード１２より［１］を入力し、さらにファイル
名を入力して完成した動作シーケンスのファイル名を登
録する。

■ＣＲＴ表示が第４図（ａ＞に示す状態において、キー
ボード１２より「２」を入力し、ざらにコメン１へを入
力してこのファイルのコメントをσ録する。

■最後に、ＣＲ丁表示が第４図（ａ）に示す状態のとき
キーボード１２よりｒＥＪを入力し、この自動シーケン
ス作成モードを終了する。

なお、上記■〜■の操作、■の操作、および■の操作の
順序は相前後してもよい。また、■の操作は省略するこ
ともできる。

第５図は、上述のようにして作成した動作シーケンスを
実行する際の処理を示す。

上記コマンド入力持ら状態において、ファイル名（例え
ば上記ｒＺ　　ＭＥＡＳＵＲＥＪを入力すると、先ず、
コンソールＣＰＵ３１が外部メモリ３２に格納されてい
るファイル名を検索し、該当するファイルに書込まれて
いるデータを読出す。これにより、露光装置にＪ′３け
る自動動作シーケンス実行処理を開始する。

この処理においては、コンソールＣＰ　Ｕ　３１が外部
メモリ３２から１ライン分ずつのデータを読出して解析
しくステップら１．６２＞　、この解析結果に応じて以
下の処理を行なう。

７１′なわら、上記データがコマンドであれば、そのコ
マンドを本体ＣＰ　Ｕ　２１に送信した後（ステップ６
３）、本体ＣＰ　Ｕ　２１から該コマンド処理実行終了
コードが送信されるまで待機する（ステップ６４）。こ
れに対し、本体ＣＰ　Ｕ　２１では、コンソールＣＰＵ
３１から受信したコマンドに従って露光装量各部を制御
するとともに、コマンドの実行状況に応じて該当ザるコ
マンド処理の実行終了コードをコンソールＣＰ　Ｕ　３
１に送信する。これは、本体ｃ　ｐ　Ｕ　２１とコンソ
ールＣＰ　Ｕ　３１とを同期させるためである。ステッ
プ６４で待機中のコンソールＣＰＵ３１は、本体ＣＰ　
Ｕ　２１からのコマンド処理実行終了コードを受信する
とステップ６１に戻って、次ラインのデータ続出を行な
う。

また、ステップ６１で読出したデータがコマンドの繰返
し実行を表わすステートメントｒＬＯＯＰＪであれば、
ステップ６５に進んでループ処理を実行する。このルー
プ処理は、繰返して実行すべきコマンド（またはコマン
ド群）が記載されているステップナンバ範囲と繰返し回
数とを記憶し、上記１ラインを読出す際のいわばライン
（またはステップナンバ）ポインタともいうべきカウン
タをセットするものである。

例えば、第４図（Ｃ）に示す動作シーケンスを実行する
場合について説明すると、ステップナンバＳ１のデータ
は、ステー１〜メントｒ　Ｌ　ＯＯＰ　Ｊであるから、
繰返して実行すべきコマンドが記載されているステップ
ナンバ範囲＄２〜Ｓ３および繰返し回数１０をコンソー
ルＣＰ　Ｕ　３１内のＲＡＭエリアに記憶しておく。そ
して、次のステップナンバＳ２から８３の間の続出処理
（ステップ６３．６４実行）の際、ステップナンバＳ３
の実行回数を計数してこれが１０回未満であれば、上記
カウンタをステップナンバ＄３から・ステップナンバＳ
２に戻し、１０回になって初めて、ステップナンバＳ３
から次のステップナンバＳ４に進める。

また、ステップ６１で読出したデータがステートメント
ｒＥＮＤＪであれば、このステートメントｒＥＮＤＪは
動作シーケンスが終了したことを示すから、ステップ６
６に進んで、この動作シーケンス実行処理を終了する。

従って、この露光装置においては、前述のコマンド入力
待ち状態で、キーボード１２よりコマンドとしてファイ
ル名ｒＺ　　ＭＥＡＳＵＲＥＪを入力すると、第４図（
Ｃ＞に示すＵ）作シーケンスを実行する。つまり、第６
図に示すように、Ｚステージを０．５μｍ上昇させて（
ステップナンバ８２）はフＡ−カス検出装置２７で計測
したウェハ４の位置（ｚ８標）をＣＲＴｌｌに表示する
（ステップナンバＳ３＞という動作を１０回繰返したく
ステップナンバ８１）Ｉ、動作を終了する（ステップナ
ンバ３４）。

従来の装置において、このように７ステージを０．５μ
ｍずつ上背させてエアフォーカス検出装置２７で７ステ
一ジ位置を計測しコンソール表示しようとすれば、オペ
レータが付きっきりで、コマンド入力持ち状態において
先ずコマンドｒＺＤＪを入力し、その露光装置が７駆動
を終了してコマンド入力持ら状態に戻ったことを確認し
た後、コマンドｒＦｃＪを入ノＪするというようなキー
人力操作を１０回繰返す必要があった。

［発明の効果コ以上のように、本発明によれば、ユーザサイドでユーザ
の希望する動作シーケンスを１つのコマンドとして登録
することができるので、半導体製造装置の７駆動装置の
精度検査や駆動り較正のように従来極めて面倒であった
操作を１つのコマンドを入力するという極めて簡単な操
作だけで装置に自動的に行なわせることができる。

【図面の簡単な説明】

第１図は、本発明の一実施例に係る投影露光装置の外観
斜視図、第２図は、第１図の装置の電気回路構成図、第３．５お
よび６図は第１図の装置の動作を説明するためのフロー
チャート、第４図は、第１図の装置におけるＣＲＴの表示両面例を
示す図である。１１：モニタ用ＣＲＴ、１２：キーボード、２１：本体
ＣＰＵ、３０：コンソールＣＰＵ、３４：外部メモリ。

Claims

【特許請求の範囲】１、動作指令入力手段を介して入力される動作指令に従
つた複数種類の動作が可能な半導体製造装置において、
複数個の動作指令およびその動作指令の実行タイミング
を予め入力する動作シーケンス入力手段と、該動作シー
ケンス入力手段により入力された動作指令／実行タイミ
ング列を１つのコマンドとして記憶する手段と、該記憶
したコマンドが上記動作指令入力手段を介して指定され
たときは上記実行タイミングごとに上記動作指令を読出
して装置本体に与える読出手段とを設け、ユーザが上記
動作指令群を組合せて新しいシーケンスを作成し実行さ
せることを可能にしたことを特徴とする半導体製造装置
。２、前記動作指令入力手段がキーボードであり、前記動
作シーケンス入力手段を兼ねている特許請求の範囲第１
項記載の半導体製造装置。