JPS62247073A - 巻取式真空装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 （産業上の利用分野） 本発明は、蒸発源又はスフ４ツタリング源に対向して設
けられたクーリングローラ面上にフィルムを連続して走
行させ、フィルム面に蒸着又はスパッタリング装置をコ
ーティングさせたフィルムを巻取って行くようにした巻
取式真空蒸着又はスパッタリング装置に関し、％に該装
置に用いられろフィルム走行用ローラ装置に関する。

（従来の技術） 従来の巻取式真空蒸着又はスパッタリング装置において
は、第２図に示すように、蒸発源又はスパッタリング源
ＩＫ対向して、フィルムを冷却しながら送るようにした
クーリングローラ（冷却ドラム）２が設けられており、
巻出しく巻戻し）ローラ３から送られて来たフィルム４
を、上記クーリングローラ２の周面上を該ローラ２と同
一速度で進行させ、該フィルム４をローラ２と密着状態
で冷却しながら蒸着又はス・ダツタリング物質をコーテ
ィングし、巻取りローラ５によって巻取るように構成さ
れている。

上記のようにフィルム面を冷却するのは、コーティング
されろフィルムは蒸発源からの熱輻射及び蒸発物質の凝
縮潜熱を受けて温度上昇し、これに伴ってフィルムから
内蔵ガスが放出され、蒸着面の付着力が減少し、又はフ
ィルムを変質、変形させることを防ぐためである。

従来、クーリングローラとフィルムとの密着力は、適当
な制動力を与えられた巻出しローラ３のフィルムを、巻
取りローラ５によって巻取り張力を与えながら巻取るこ
とＫよって生じさせており、また、該フィルム４とクー
リングローラ２との密着力を向上させるために、巻出し
ローラ３及び巻取りローラ５とクーリングローラ２との
間にそれぞれ図示しないダンサ−ローラ（テンションロ
ーラ）を設けて、フィルム忙適当な張力を与えるように
したものもあった。

（発明が解決しようとする問題点） 上記した従来の巻取式真空蒸着又はス・臂リング装置に
あっては、フィルムの種類等によってクーリングローラ
とフィルム面との密着状態が完全に行われず、そのため
、フィルム面の冷却作用が充分に行われず、フィルムが
受ける熱影醤等によって、皺やコーティング　ムラ等の
種々の問題が発生した。

また、巻取りロールの巻取り力を強めるなどして巻取り
張力を高め、フィルムとクーリンクローラとの密着力を
向上させるよ’ｌ：ｌ、たものは、巻取った原反硬度が
かなり高くなり、ｆロッキングという現象が起こるとい
う問題点もあった・本発明は、上記の各問題点を解決す
ることを技術的課題としている。

（問題点を解決するための手段） 本発明は、上記した従来技術の問題点を解決するだめに
・巻取式真空蒸着又はス・９ツタリング装置におけるク
ーリングローラのフィルム送入側と同送出側の少くとも
何れか一方の側に、サブローラを設け、該サブローラの
周速度を可変としたことを特徴としている。

（作用） 本発明は上記のように構成されているので、クーリング
ローラの両側にサブローラを設けた場合、フィルム送出
側のサグローラの周速度を同送入側のサブローラの周速
度より大きくし且つそれらの速度差を制御することによ
り、また、クーリングローラの片側にのみサブローラを
設けた場合、クーリングローラ近傍のフィルムに張力を
与えるように該サグローラの周速度を制御することによ
シ、クーリングローラとフィルムとの密着力が大きくな
り、コーティング時のフィルムの張力が変化すれ、フィ
ルムとクーリングローラとの密着力が制御される。

また上記サグローラを温度可変に冷却するようにした場
合は、上記の作用の外、フィルムの温度も制御されろ。

このようにして、フィルムの皺やコーティグム２ｈ４が
減少する。

（実施例） 次に１本発明の実施例を図面と共に説明する・第１図は
１本発明の一実施例、を示す説明図であって、図中、第
２図に記載した符号と同一の符号は同一ないし同類部分
を示すものとする。

図において、未コーティングのフィルムを巻いた巻出し
ロー２３とクーリングローラ２との間、つまりフィルム
の送入側に可変温度に冷却されたサブクーリングローラ
１１が、また巻取りローラ５とクーリングローラ２との
間、つまりフィルムの送出ｓ１１！ｌｃ同じく可変温度
に冷却されたサブクーリングローラ１２がそれぞれ配設
されており、これらの両サブクーリングローラ１１．１
２は、それぞれ周速度が可変に構成されている。

上記の周速度制御手段としては、直流又は交流モータ１
Ｃよる電気的制御手段と、微少Ｍ！Ｉ可能の変速機によ
る機械的制御手段とがあり、これらは何れも従来公知の
ものでよい。

この実施例によれば、フィルム４が巻出しロー２３から
巻取りローラ５へ、クーリングロー２２を経て矢印方向
へ送られているとき、送出側のサブクーリングローラ１
２０周速度を送入側のサック−リングローラ１１の周速
度より大きくすると、クーリングローラ２を通過するフ
ィルム部分に張力が加えられるので、クーリングローラ
２とフィルム４との密着力が大きくなる。従って１両サ
ック−リングローラ１１．１２０周速度の違いを変化さ
せることによって、コーティング時のフィルム４の張力
及びクーリングローラ２とフィルム４との密着力が制御
（コントロール）される・また上記サック−リングロー
ラ１１％　１２の冷却温度を調整することにより、クー
リングクーラ２前後のフィルム４の温度を制御すること
ができる。

このようにして、フィルム４の皺やコーティングムラ等
を減少させろことができる。

なお、上記実施例において、クーリングローラ２の送入
側及び送出側の両側に設けられたサブローラを、冷却作
用を有するサック−リングローラによって構成した構造
について説明したが、これらのサック−リングローラを
、普通の金属ローラ或いはプムローラ等からなるサブロ
ーラによって構成することも可能である。この場合、フ
ィルムを冷却する効果を有しない外は、紬記サブクーリ
ングローラと同様の効果を奏する− また、上記サブロー２は、クーリングローラの送入側又
は送出側の何れか一方の側にのみ設けることも可能であ
る・この場合、送入側にのみ設けるときは該サブローラ
の周速度を巻取りローラ５の周速度より遅い速度範囲で
調整することによりフィルムの張力及びクーリングロー
ラとの密着力を制御することができ、また、送出側にの
み設けるときは、巻取りローラ５の手前でクーリングロ
ーラの近傍のフィルム４の張力や該クーリングローラと
の密着力の制御が確実に行われろ効果がある。

（発明の効果） 以上説明したように、本発明によれば、巻取式真空装置
Ｋおけるクーリングローラのフィルム送入側と送出側の
少くとも何れか一方の側に、サブローラを設け、該サブ
ローラの周速度を可変としたことＫより、コーテング時
のフィルムの張力及びフィルムとクーリングローラとの
密着力を制御することができ、フィルムとクーリングロ
ーラ間の熱伝達の割合を種々変化させろことができる・
これにより、フィルムの皺やコーティングムラ等を減少
させることができ、従来不可能であったあらゆる稲類の
フィルムに対してコーティングを可能とすることができ
る。

また、従来の巻取りローラによる巻取り張力とは関係な
く、クーリングローラとフィルムとの密着力を周速度の
変化により制御することができるため、従来のようなブ
ロッキングという現象が起こらない。

【図面の簡単な説明】

第１図は本発明の一実施例を示す巻取式真空蒸着又はス
フ４ツタリング装置の説明図、第２図は従来の同様装置
の説明図である。 ｉ−ｍ−蒸発源又はスフ９ツタリング源、　　　２−−
−クーリングローラ、　　３−一一巻出しローラ、４−
一一フィルム、　　５−一一巻取りローラ、１１．１２
−−−サブクーリングローラ。

Claims (1)

1. 【特許請求の範囲】 １、蒸発源又はスパッタリング源に対向して設けられた
   クーリングローラ面上にフィルムを連続して走行させ、
   コーティングされた該フィルムを巻取りローラにより巻
   取るようにした巻取式真空装置において、上記クーリン
   グローラのフィルム送入側と同送出側の少くとも何れか
   一方の側にサブローラを設け、該サブローラの周速度を
   可変としたことを特徴とする巻取式真空装置のローラ装
   置。 ２、上記サブローラが、クーリングローラのフィルム送
   入側に設けられている特許請求の範囲第１項記載の巻取
   式真空装置のローラ装置。 ３、上記サブローラが、クーリングローラのフィルム送
   出側に設けられている特許請求の範囲第１項記載の巻取
   式真空装置のローラ装置。 ４、上記サブローラが、クーリングローラのフィルム送
   入側及び送出側の何れの側にも設けられている特許請求
   の範囲第１項記載の巻取式真空装置のローラ装置。 ５、上記サブローラが、可変温度に冷却されている特許
   請求の範囲第１項から第４項の何れか１項記載の巻取式
   真空装置のローラ装置。