JPS62229053A - Defect inspection of pellet end face for nuclear fuel - Google Patents
Defect inspection of pellet end face for nuclear fuelInfo
- Publication number
- JPS62229053A JPS62229053A JP61073167A JP7316786A JPS62229053A JP S62229053 A JPS62229053 A JP S62229053A JP 61073167 A JP61073167 A JP 61073167A JP 7316786 A JP7316786 A JP 7316786A JP S62229053 A JPS62229053 A JP S62229053A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- data
- area
- face
- pellet
- image data
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
Links
Classifications
-
- Y—GENERAL TAGGING OF NEW TECHNOLOGICAL DEVELOPMENTS; GENERAL TAGGING OF CROSS-SECTIONAL TECHNOLOGIES SPANNING OVER SEVERAL SECTIONS OF THE IPC; TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC CROSS-REFERENCE ART COLLECTIONS [XRACs] AND DIGESTS
- Y02—TECHNOLOGIES OR APPLICATIONS FOR MITIGATION OR ADAPTATION AGAINST CLIMATE CHANGE
- Y02E—REDUCTION OF GREENHOUSE GAS [GHG] EMISSIONS, RELATED TO ENERGY GENERATION, TRANSMISSION OR DISTRIBUTION
- Y02E30/00—Energy generation of nuclear origin
- Y02E30/30—Nuclear fission reactors
Landscapes
- Investigating Materials By The Use Of Optical Means Adapted For Particular Applications (AREA)
- Monitoring And Testing Of Nuclear Reactors (AREA)
Abstract
Description
【発明の詳細な説明】
「産業上の利用分野」
−/7’l D Il[] I−) u:I
tlk t!:L Fn R+7.、、k /
7’l 6史Fi7iM /F K?A M在方
法に関するものである。[Detailed description of the invention] "Industrial application field"-/7'l D Il[] I-) u:I
tlkt! :L Fn R+7. ,,k/
7'l 6 history Fi7iM /F K? A: It concerns the method of existence.
U従来の技術」
核燃料用ペレットは、第3図に符号!で示すように円柱
状に成形されていて、その端面2の中央部には凹状のデ
ィツシュ部3が形成されている。``Conventional technology'' Nuclear fuel pellets are shown in Figure 3! As shown in , it is formed into a cylindrical shape, and a concave dish portion 3 is formed in the center of the end surface 2 .
このにうな核燃料用ペレット1は、その製造過程におい
て端面2周縁部から周面4にかけて、第3図に示すよう
な欠け5が生じやすいので、この欠け5の有無やその大
きさを検査することが重要である。During the manufacturing process of this nuclear fuel pellet 1, chips 5 as shown in FIG. 3 are likely to occur from the periphery of the end face 2 to the circumferential surface 4, so it is necessary to inspect the presence or absence of these chips 5 and their size. is important.
従来、そのための検査は目視によって行うことが一般的
であるが、fj像処理によって行われることらある。そ
の場合には第4図に示すように、ペレット端面2に垂直
方向から撮影光をあてて2次元カメラ(図示0゛ず)に
より撮像し、端面2の各点からの反射光の明るさをたと
えば256段階に区分するとと乙に、マスキング処理を
行って端面2各点の多値化画像データを作成する。つい
で、これらの多値化画像データを、予め設定した所定の
しきい(16によって2値化して第5図に示すような2
値化画像6を作成する。そして、この2値化画像6に現
された欠陥部7あるいは正常部8の大きさ、すなわちそ
れぞれの領域に含まれろ画素数を計測して、その計測結
果を予め設定した判定基準値に照らし合イつ口゛ること
により、合否の判定をするようにしている。Conventionally, inspection for this purpose has generally been carried out visually, but may also be carried out by fj image processing. In that case, as shown in Fig. 4, a photographic light is applied to the pellet end face 2 from the vertical direction and an image is taken with a two-dimensional camera (not shown), and the brightness of the reflected light from each point on the end face 2 is measured. For example, when dividing into 256 stages, masking processing is performed to create multivalued image data for each point on the end face 2. Next, these multivalued image data are binarized by a predetermined threshold (16) and converted into two values as shown in FIG.
A digitized image 6 is created. Then, the size of the defective area 7 or normal area 8 appearing in this binarized image 6, that is, the number of pixels included in each area, is measured, and the measurement result is compared against a preset judgment reference value. I try to judge pass/fail by saying something.
「発明か解決しようとする問題点」
ところで、上記従来の方法においては、特に多数のペレ
ットlを連続的かつ長時間にわたって検査ずろ場合には
、撮影光の照度やカメラの感度が時間とと乙に変動して
しまうことがあり、したがって撮像された多値化画像の
明るさの平均的なレベルが、欠け5の存無や大小とは関
係なく、それぞれのペレットlで変動してしまうことが
あった。"Problems to be Solved by the Invention" By the way, in the above conventional method, especially when a large number of pellets are to be inspected continuously over a long period of time, the illuminance of the photographing light and the sensitivity of the camera may vary over time. Therefore, the average level of brightness of the captured multilevel image may vary for each pellet, regardless of the existence or size of the chip 5. there were.
ところが、従来においては、そのような検査条件が変動
した場合においても、固定されたしきい値によって一律
に2値化を行っており、このため正確な2値化を行うこ
とができないものであった。However, in the past, even when such inspection conditions changed, binarization was performed uniformly using a fixed threshold value, which made it impossible to perform accurate binarization. Ta.
したがって検査の精度、信頼性が充分でなく、ペレット
Iの合否の判定を正確に行えないという問題があった。Therefore, there was a problem in that the accuracy and reliability of the test were not sufficient, and it was not possible to accurately determine whether the pellets I were acceptable or not.
この発明は、上記の事情に鑑みてなされたらので、検査
条件が変動した場合にも正確な検査を行うことのできる
検査方法を提供することを目的とする。The present invention was made in view of the above circumstances, and an object of the present invention is to provide an inspection method that allows accurate inspection even when inspection conditions vary.
「問題点を解決するための手段」
この発明は、中央部に凹状のディツシュ部が形成されて
いる核燃料用ペレット端面を撮像して、その端面各点の
多値化画像データを作成し、それらの多値化画像データ
を適当なしきい値によって2値化して2値化画像を作成
し、その2値化画像に基づいて面記核燃料用ペレット端
面の周縁部に生じる欠け等の欠陥部の育無や大きさを検
査する方法において、面記多値化画像データを2値化す
るに際し、前記端面のディツシュ部の多値化画像データ
をサンプリングして、そのサンプリングしたデータに基
づいて前記しきい値を設定することを特徴としている。"Means for Solving the Problems" This invention images the end face of a nuclear fuel pellet in which a concave dish portion is formed in the center, creates multivalued image data of each point on the end face, and The multivalued image data is binarized using an appropriate threshold value to create a binarized image, and based on the binarized image, the growth of defects such as chips that occur on the periphery of the end face of the nuclear fuel pellet is determined. In the method of inspecting the absence or size, when the multi-valued image data of the surface is binarized, the multi-valued image data of the dish portion of the end face is sampled, and the threshold value is set based on the sampled data. It is characterized by setting a value.
「作用 」
この発明は、核燃料用ペレットの端面中央部に形成され
てい4凹状のディツシュ部中央まで欠けが生じることが
なく、この部分における画像データは検査対象面の正常
部の平均的な明るさのレベルを必ず含むことに着目して
、このディツシュ部から画像データをサンプリングして
そのデータに基づいてしきい値を設定し、そのしきい値
によって2値化を行う。"Operation" This invention prevents chipping from occurring up to the center of the four-concave dish part formed at the center of the end face of the nuclear fuel pellet, and the image data in this part has the average brightness of the normal part of the surface to be inspected. Focusing on the fact that the image data always includes the level , image data is sampled from this dish portion, a threshold value is set based on the data, and binarization is performed using the threshold value.
「実施例」
以下、この発明の実施例を第1図および第2図を参照し
て説明する。"Example" Hereinafter, an example of the present invention will be described with reference to FIGS. 1 and 2.
まず従来と同様に、二次元カメラ(図示せず)によって
検査対象のペレットIの端面2を撮像し、端面2各点の
多値化画像データを作成する。First, as in the conventional method, an image of the end surface 2 of the pellet I to be inspected is captured using a two-dimensional camera (not shown), and multivalued image data of each point on the end surface 2 is created.
それから、上記で作成した多値化画像データのうちのデ
ィツシュ部3でのデータを複数個サンプリングして、そ
れらのサンプリングしたデータに基づいて、しきい値を
設定ずろ。Then, a plurality of pieces of data from the dish unit 3 are sampled from among the multivalued image data created above, and a threshold value is set based on these sampled data.
このしきい値の設定は、次のようにして行う。Setting of this threshold value is performed as follows.
まず、第1図に示すように、多値化画像9に現されたデ
Iヅシ、gJ3の両イク10中の(モ蛮の位置に、−辺
の長さがディツシュ部の画像10の径の115〜I/1
0程度のエリアA I、 A t・・・を、5〜IO箇
所程度(第1図ではAI−A、の5箇所)設定する。First, as shown in FIG. 115 to I/1 of diameter
Areas AI, At, etc. of approximately 0 are set at approximately 5 to IO locations (5 locations, AI-A in FIG. 1).
そして、それらの各エリアA 、、A 、・・・内の各
データの平均値を算定して、それを各エリアの代表値D
、、D 、・・・とずろ。これらの代表値D 、、D
、・・・は、通常欠けの生じることのないディツシュ
部3でのデータの平均値であるので、それぞれこの端面
2の正常部の明るさの平均的なレベルを現すものである
。そして、それらの代表(riD、、D2・・・のうち
から最大1直D maxと最小値D minを求めてそ
れらの差(D max −D m1n)を算定し、その
差の値に所定の係数K (たとえばに=O,1〜0.3
)を乗じ、さらにその値を最小値D minより減じて
得た値をしきい値Dtとする。すなわち、
D L= D min −K ・(D max −D
m1n)K=0.1〜0.3
とする。Then, calculate the average value of each data in each area A,,A,... and use it as the representative value D of each area.
,,D,... Tozuro. These representative values D,,D
, . . . are the average values of data in the dish portion 3 where no chipping usually occurs, and therefore each represents the average level of brightness of the normal portion of this end surface 2. Then, the maximum one-direction D max and the minimum value D min are determined from among those representatives (riD, D2...), the difference between them (D max - D m1n) is calculated, and the value of the difference is set to a predetermined value. Coefficient K (for example = O, 1~0.3
) and further subtract that value from the minimum value D min, and the value obtained is set as the threshold value Dt. That is, D L = D min -K ・(D max - D
m1n) K=0.1 to 0.3.
次に、」二足で設定したしきい値Dtによって、上記の
端面2各点の多値化画像データを2値化して、第2図に
示すような2値化画像6を作成する。Next, the multivalued image data at each point of the end face 2 is binarized using the threshold value Dt set in two steps to create a binarized image 6 as shown in FIG.
そして、この2値化画像6において、ディツシュ部3の
中心点すなわちペレットlの中心点の位置0を確認し、
その中心点Oが含まれている領域II中に存するデータ
の数のみを計測する。この計測に際しては、まずこの領
域の輪郭線をX−Y座標にて確認し、ついで第2図に示
すように、その輪郭線をたどりながら領域内のデータ数
を順次カウントしていく。Then, in this binarized image 6, confirm the center point of the dish portion 3, that is, the position 0 of the center point of the pellet l,
Only the number of data existing in the region II that includes the center point O is counted. In this measurement, the outline of this area is first confirmed in the X-Y coordinates, and then, as shown in FIG. 2, the number of data in the area is sequentially counted while tracing the outline.
このディツシュ部3の中心点Oを含む領域11は、上述
したようにディツシュ部3においては欠け等の欠陥部が
生じることがないことから自ずと正常部となっでいるの
で、この領域11におけるデータ数をしって正常部のデ
ータ数とする。そして、その領域11以外の領域12は
欠陥部とする。The region 11 including the center point O of the dish portion 3 is naturally a normal region since no defect such as chipping occurs in the dish portion 3 as described above. Therefore, the number of data in this region 11 is Find out the number of data in the normal part. The region 12 other than the region 11 is defined as a defective portion.
それから、」1記で得た領域11内のデータ数(正常部
のデータ数)を、予め設定していた判定基亭1直に照ら
し合わせることにより、このペレットlの合否の判定を
行う。市なイつち、この領域11内のデータ数が判定基
賭値より大きければ良品とし、小さければ不良品とずろ
。Then, by comparing the number of data in the area 11 (the number of data in the normal part) obtained in ``1'' with the preset judgment criterion 1, it is judged whether or not the pellet 1 is acceptable. In general, if the number of data in this area 11 is greater than the criterion bet value, it is determined to be a good product, and if it is smaller, it is determined to be defective.
以」二で一つのペレットの検査を終了し、続いて次のペ
レットに対してら同様の手順で検査を行う。This completes the inspection of one pellet, and then the next pellet is inspected in the same manner.
以上の手順によれば、しきい値DLの値を、欠け等の欠
陥が生じないディツシュ部3でのデータに居づいてその
都度設定するので、検査対象の端面2の正常部の平均的
な明るさに対応した正確な2値化を行うことができる。According to the above procedure, the value of the threshold DL is set each time based on the data of the dish portion 3 where defects such as chips do not occur, so the average value of the normal portion of the end surface 2 to be inspected is Accurate binarization corresponding to brightness can be performed.
したがって、検査条件が変化した場合にら、各ペレッl
−1をほぼ同一の条件で検査ずろことができ、検査の精
度、信頼性が向上して正確な判定を行うことができる。Therefore, if the test conditions change, each pellet
-1 can be tested under almost the same conditions, the accuracy and reliability of the test can be improved, and accurate judgments can be made.
また、上記では、ペレット1の中心点Oを含む領域を正
常部として計測ずろようにしたので、2値化画像6が多
数の領域に分割されているような場合であって乙、どの
領域が正常部であるかの判断を行う必要はなく、検査を
極めて迅速に行うことか可能となる。また、欠陥部中に
疑似正常部(欠陥部であるにも拘わらず、画像中では正
常部と同じ明るさで現れている部分)があったとしても
、その疑似正常部を本来の正常部と誤認して計測してし
まう恐れが゛なく検査精度がさらに向上する。In addition, in the above, the area including the center point O of the pellet 1 is considered to be a normal area and the measurement is omitted, so if the binarized image 6 is divided into many areas, There is no need to judge whether it is a normal part, and the test can be performed extremely quickly. Furthermore, even if there is a pseudo-normal part (a part that appears in the image with the same brightness as the normal part despite being a defective part) in the defective part, the pseudo-normal part can be considered as the original normal part. There is no risk of misidentification and measurement, further improving inspection accuracy.
以上、この発明の詳細な説明したが、ディツシュ部のデ
ータからのしきい値の設定については上記に限らず、予
想される検査条件の変動の幅を勘案して適宜変更して良
い。たとえば、サンプリングを行うエリアの数や、上記
で示した係数の値を変更して良いし、さらには、上記で
示した計算式によることなく、池の計算式を用いても良
い。Although the present invention has been described in detail above, the setting of the threshold value from the data of the dish portion is not limited to the above, and may be changed as appropriate in consideration of the range of expected fluctuations in inspection conditions. For example, the number of areas to be sampled and the values of the coefficients shown above may be changed, and furthermore, the calculation formula for ponds may be used instead of the calculation formula shown above.
また、上記ではペレット中心点を含む領域を正常部とし
て計測ずろようにしたが、この発明においては必ずしら
そうずろことはなく、従来と同様にして欠陥部あるいは
正常部の大きさを計測することで乙良い。In addition, in the above, the area including the center point of the pellet is considered to be a normal area and measured, but in this invention, this is not necessarily the case, and the size of the defective area or normal area can be measured in the same manner as before. So good.
「発明の効果」
以上で詳細に説明したように、この発明によれば、ディ
ツシュ部の画像データをサンプリングして、それらのデ
ータに基づいてしきい値を設定するようにしたので、検
査条件が変化した場合であっても、その検査条件に対応
した最適なしきい値をの検査の精度、信頼性が向上し、
合否の判定を正確に行うことができろという効果を奏す
る。"Effects of the Invention" As explained in detail above, according to the present invention, the image data of the dish portion is sampled and the threshold value is set based on that data, so that the inspection conditions can be adjusted. Even if the threshold value changes, the accuracy and reliability of the test will be improved by determining the optimal threshold value corresponding to the test condition.
This has the effect that pass/fail judgments can be made accurately.
第1図および第2図はこの発明の実施例の検査方法を説
明するための図であって、第1図はしきい値を設定する
手法を説明するための図、第2図は中心点を含む領域を
計測している状態を示す図である。
第3図は核燃料用ペレットの形状を示す斜視図、第4図
は核燃料用ペレットの端面を撮像している状態を示す断
面図、第5図は端面の2値化画像を示す図である。
1・・核燃料用ペレット、2・・端面、3・・ディツシ
ュ部、5・・欠け(欠陥部)、6・・2値化画像。
1願人 三菱金唄抹式−ご1 and 2 are diagrams for explaining an inspection method according to an embodiment of the present invention, in which FIG. 1 is a diagram for explaining a method of setting a threshold value, and FIG. 2 is a diagram for explaining a method for setting a threshold value, and FIG. FIG. 3 is a diagram illustrating a state in which an area including FIG. 3 is a perspective view showing the shape of a nuclear fuel pellet, FIG. 4 is a sectional view showing an image of the end face of the nuclear fuel pellet, and FIG. 5 is a diagram showing a binarized image of the end face. 1. Nuclear fuel pellet, 2. End face, 3. Dish portion, 5. Chip (defect portion), 6. Binarized image. 1 applicant Mitsubishi Kinuta Mashishiki-go
Claims (1)
ペレット端面を撮像して、その端面各点の多値化画像デ
ータを作成し、それらの多値化画像データを適当なしき
い値によって2値化して2値化画像を作成し、その2値
化画像に基づいて前記核燃料用ペレット端面の周縁部に
生じる欠け等の欠陥部の有無やその大きさを検査する方
法において、前記多値化画像データを2値化するに際し
、前記端面のディッシュ部の多値化画像データをサンプ
リングして、そのサンプリングしたデータに基づいて前
記しきい値を設定することを特徴とする核燃料用ペレッ
ト端面の欠陥検査方法。The end face of a nuclear fuel pellet with a concave dish formed in the center is imaged, multi-valued image data is created for each point on the end face, and the multi-valued image data is divided into two values using an appropriate threshold. In the method for inspecting the presence or absence of a defect such as a chip on the peripheral edge of the end face of the nuclear fuel pellet and its size based on the binarized image, the multi-valued image is Defect inspection of a nuclear fuel pellet end face, characterized in that when data is binarized, multivalued image data of the dish portion of the end face is sampled, and the threshold value is set based on the sampled data. Method.
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP61073167A JPH079401B2 (en) | 1986-03-31 | 1986-03-31 | Defect inspection method for pellet end face for nuclear fuel |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP61073167A JPH079401B2 (en) | 1986-03-31 | 1986-03-31 | Defect inspection method for pellet end face for nuclear fuel |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPS62229053A true JPS62229053A (en) | 1987-10-07 |
JPH079401B2 JPH079401B2 (en) | 1995-02-01 |
Family
ID=13510328
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP61073167A Expired - Lifetime JPH079401B2 (en) | 1986-03-31 | 1986-03-31 | Defect inspection method for pellet end face for nuclear fuel |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JPH079401B2 (en) |
Cited By (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
EP0612998A1 (en) * | 1993-02-25 | 1994-08-31 | Mitsubishi Nuclear Fuel Co. | Method and apparatus for inspecting end face of pellet |
JP2008082756A (en) * | 2006-09-26 | 2008-04-10 | Toshiba Corp | Nuclear fuel pellet inspection device |
Citations (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS55162178A (en) * | 1979-06-06 | 1980-12-17 | Hitachi Ltd | Pattern checker |
-
1986
- 1986-03-31 JP JP61073167A patent/JPH079401B2/en not_active Expired - Lifetime
Patent Citations (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS55162178A (en) * | 1979-06-06 | 1980-12-17 | Hitachi Ltd | Pattern checker |
Cited By (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
EP0612998A1 (en) * | 1993-02-25 | 1994-08-31 | Mitsubishi Nuclear Fuel Co. | Method and apparatus for inspecting end face of pellet |
US5379329A (en) * | 1993-02-25 | 1995-01-03 | Mitsubishi Nuclear Fuel Co. | Method and apparatus for inspecting end face of pellet |
JP2008082756A (en) * | 2006-09-26 | 2008-04-10 | Toshiba Corp | Nuclear fuel pellet inspection device |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JPH079401B2 (en) | 1995-02-01 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
US7200258B2 (en) | Method for selecting reference images, method and apparatus for inspecting patterns on wafers, and method for dividing a wafer into application regions | |
JP3051279B2 (en) | Bump appearance inspection method and bump appearance inspection device | |
US5091963A (en) | Method and apparatus for inspecting surfaces for contrast variations | |
US8775101B2 (en) | Detecting defects on a wafer | |
JP4351522B2 (en) | Pattern defect inspection apparatus and pattern defect inspection method | |
US6928185B2 (en) | Defect inspection method and defect inspection apparatus | |
JP3329805B2 (en) | Automatic visual inspection device and visual inspection method | |
JPS59141008A (en) | Threaded portion inspecting device | |
US7106432B1 (en) | Surface inspection system and method for using photo detector array to detect defects in inspection surface | |
JP4910800B2 (en) | Screw parts inspection device and inspection method | |
US7024031B1 (en) | System and method for inspection using off-angle lighting | |
JP2004079593A (en) | Foreign matter inspection method and foreign matter inspection device | |
US6836561B2 (en) | Method and system for detecting a defect in projected portions of an object having the projected portions formed in the same shape with a predetermined pitch along an arc | |
JPS62229053A (en) | Defect inspection of pellet end face for nuclear fuel | |
JPS59135353A (en) | Surface flaw detecting apparatus | |
JPH05203584A (en) | Device for detecting characteristic amount on work surface | |
JP2757800B2 (en) | Projection inspection device | |
JPH079402B2 (en) | Defect inspection method for pellet end face for nuclear fuel | |
JP3232249B2 (en) | Inspection method for missing pins of PGA substrate | |
JPS58744A (en) | Inspecting method of bottle or the like | |
JP3189604B2 (en) | Inspection method and device | |
JPH0820368B2 (en) | Defect inspection method of pellet end face for nuclear fuel | |
JP3216669B2 (en) | Optical disk defect inspection method | |
JPH01207878A (en) | Contour inspection device | |
JPS62235550A (en) | Defect inspection |