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JPS62225903A - ライナ被覆管の厚み測定装置 - Google Patents

ライナ被覆管の厚み測定装置

Info

Publication number
JPS62225903A
JPS62225903A JP61069846A JP6984686A JPS62225903A JP S62225903 A JPS62225903 A JP S62225903A JP 61069846 A JP61069846 A JP 61069846A JP 6984686 A JP6984686 A JP 6984686A JP S62225903 A JPS62225903 A JP S62225903A
Authority
JP
Japan
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tube
probe
inspected
pipe
liner
Prior art date
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Granted
Application number
JP61069846A
Other languages
English (en)
Other versions
JPH0560521B2 (ja
Inventor
Akio Suzuki
紀生 鈴木
Manabu Kotani
学 小谷
Masayoshi Iwasaki
岩崎 全良
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Kobe Steel Ltd
Original Assignee
Kobe Steel Ltd
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Kobe Steel Ltd filed Critical Kobe Steel Ltd
Priority to JP61069846A priority Critical patent/JPS62225903A/ja
Publication of JPS62225903A publication Critical patent/JPS62225903A/ja
Publication of JPH0560521B2 publication Critical patent/JPH0560521B2/ja
Granted legal-status Critical Current

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  • Measurement Of Length, Angles, Or The Like Using Electric Or Magnetic Means (AREA)
  • Investigating Or Analyzing Materials By The Use Of Magnetic Means (AREA)

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 (産業上の利用分野) この発明は、核燃料被覆用などに用いられるライナ被覆
管のライナ層厚やその他の管厚の測定に使用されるライ
ナ被覆管の厚み測定装置に関する。
(従来の技術とその問題点) 例えば原子力発電所において原子炉を負荷追従運転して
高効率化をはかるためには、急激な出力1胃や下降を行
なうことが可能でなければならない。ところが核燃料を
封入づ−る被覆管として、従来のようなシルカ〔1イ管
を用いたのでは、上記のような急激な出力変動に耐えら
れず、被覆管に応力腐蝕割れが発生するおそれがある。
そこで近年、このような応力腐蝕割れを防ぐものとして
、第13図に示すようにジルカロイ管1の内周面に極薄
の純ジルコニウムライナ層2を形成した被覆管が開発さ
れており、このライナ被覆管は数年後には従来の被覆管
に取って替わり全面使用されることが予想されている。
上記ライナ被覆管のライナ層厚は、原子炉の出力急上昇
時の被覆管内面に発生する局部応力歪みを緩和し、応力
腐蝕割れに対する抵抗を高める目的上ある程度厚く形成
する必要がある一方、母材部であるジルカロイ層の層厚
を確保して一定以上の強度を維持する必要上からの制限
も受りるので、このライナ層厚を一定に管理することが
重要な問題となる。
このような2種類の金属類からなる管の厚さを測定する
方法として、破壊的検査と非破壊的検査の2つの方法が
考えられるが、破壊的検査では実際に測定の行なわれる
管の両端部についてしか保証されず、管内部の測定が不
可欠である上記ライナ被覆管にはこの破壊的検査法は有
効でない。一方、非破壊的検査では、超音波法と渦流法
とが考えられるが、超音波法の場合、これをライナ被覆
管の厚み測定に採用しても、ライナ層表面でのエコーと
、母材層とライナ層の境界面でのエコーの識別が不可能
で適用できない。これに対し、交流電流を流したコイル
を金属被検体表面に近接配置して、被検体表面に渦電流
を流し、その描電流により誘起される誘導磁場により被
検体の状況に応じて変化するコイルのインピーダンス変
化量から被検体表面の情報を得る渦流法の場合、上記渦
電流が被検体の厚さ、固有抵抗ρ、透磁率μmなどに影
響され、一方、上記ライナ被覆管のライナ層ではμ、−
1.ρ−40μΩ・cm S母材層ではμr−1.ρ−
70μΩ・cmであることから両者の導電率σ(σ=1
/ρ)に差があり、この差を利用すれば上記ライナ層厚
の測定が可能である。また同時に全肉厚の測定も可能で
あり、この全肉厚からライナ層厚を引けばジルカロイ厚
が求まる。
一般にライナ被覆管のように2種の金属層から成る管の
場合、その上部層厚変動によってインピーダンス変化量
が変わるのは周知のことであり、またこのような金属管
の全肉厚変動によってもインピーダンス変化量が変わる
のも周知のことである。
そこでこの渦流法を用いて、上記ライナ被覆管の厚み測
定を行う方法として、第13図に示すようにプローブ3
を管内に挿入し、基準ライナ層厚と渦電流浸透深さとに
関連づ【ノた周波数により上記プローブ3のコイル4を
動磁し、リフトオフ変動(コイルと管内面との空隙変動
)に起因するコイルインピーダンス変化方向のインピー
ダンス成分■8とそれに直交するインピーダンス成分V
を求め、■ からあるいは■8を■、で補正して× ライナ層厚を求めるものく特開昭59−67405号公
報)が提案されている。
ところが上記方法では、リフトオフ変動に起因するコイ
ルインピーダンス変化方向を決める際にリフトオフを機
械的に一定量変化させる必要がある点に問題がある。
すなわち、第14図はリフトオフの変動量を100μと
200μmとしたときのリフトオフ変動によるインピー
ダンス変化方向を正規化インピーダンス平面で示したも
のであるが、リフトオフ変動量が100μmのときには
AB力方向200μmのときにはAC方向がリフトオフ
変動によるインピーダンス変化方向となり、リフトオフ
変動量によってコイルインピーダンス変化方向が変化し
ている。このことは前記V、、Vxの方向決定を困難に
する。なお第9図中、Aは基準リフトオフ、Bは基準リ
フトオフ+100μm、Cは基準リフトオフ+200μ
m、Roは被検体から無限遠でのコイル比抵抗、Loは
被検体から無限遠でのコイルインダクタンス、Rは被検
体上でのコイルの純抵抗、Lは被検体上でのコイルのイ
ンダクタンス、ωは角周波数を表わしている。また第1
5図はリフトオフ変動量によりインピーダンス変化量が
非線形に変化することを示しており、これからもインピ
ーダンス変化方向がリフトオフ変動量に応じて変化する
ことが察知される。つまり前記方法では、リフトオフ変
動ににるインピーダンス変化方向を決める際にリフ]・
オフ変動を厳格に一定にしなければライナ層厚を正確に
求めることができないものである。ところが実施上の問
題として、リフトオフ変動量を機械的に厳格に一定量変
化させることは極めて困難である。
また上記方法では、ライナ層厚に相当するインピーダン
ス成分V8を、リフトオフ変動量に相当するものとして
求められるインピーダンス成分V、で補正して、ライナ
層厚の測定精度を上げるようにしているが、ライナ層厚
に限らず母材層厚、全肉厚を測定しようとする場合には
、リフトオフ変動が測定に与える影響と同時に、ライナ
被覆管において当然発生するライナ層や母材層の導電率
の変動が測定に与える影響を十分に除去しなければ、正
確な測定結果は期待できない。しかしながら上記方向で
は導電率の変動につい(考慮されておらず、この点から
も正確な測定結果を得ることは困難である。
そこで、本願出願人はこのような従来の方法による問題
を解決するものとして、この発明の実施例において後述
するような多重周波数を用いた渦流法により上記ライナ
被覆管の厚み測定を行なう方法を開発した。
ところが、この新たな測定方法を従来の測定装置にその
まま適用してライナ管の厚み測定の精度を上げようとし
ても、測定装置全体から見た場合、上記の新たな測定方
法がもたらす測定精度に見合うだけの精度が各機構部に
おいて確立されておらず、このままでは必ずしも測定精
度の向上は期待できない。また十分な精度を長時間にわ
たって確保しようとすれば、10−ブおJ:びその支持
法や校正法等の各種の改良が必要である。
例えば、このような管厚測定に使用する装置として、本
願出願人が本願とは別に提案した、第16図および第1
7図にそれぞれ正面図および平面図で示す構成の装置は
、搬入準備位置Aから搬入される被検査管であるライナ
管5をターニングロ一う6,6・・・上に載せ、その上
からピンチローラ7.7・・・で押圧して拘束した状態
のもとにターニングローラ6.6・・・を回転駆動して
ライナ管5に軸回転を与える一方、ライナ管5の一方の
管端側にこのライナ管5と同軸に配置した調整管8をガ
イドとして、調整管8内を経てプローブ9を上記ライナ
管5内に挿入することによりライナ層厚の測定を行なう
ように構成されている。上記プローブ9の挿脱は、プロ
ーブ支持棒10によりプローブ9を連結した測定器11
を車輪12.12・・・を介してレール13上に載架し
、この測定器11を制御器14で上記ライナ管5の軸方
向に進退制御することにより行い、測定を終えてライナ
管5からプローブ9が抜去された後、ターニングローラ
6.6・・・上からライナ管5を搬出位置Bへ搬出する
ように構成されている。ところが、前記した核燃料被覆
用ライナ管のような被検査管は薄肉細径管である一方、
上記した本願出願人の提案にかかる第16.17図の管
体厚測定装置では、被検査管5の管端部が片持支持の状
態になるため、その管端部に曲りが生じやすく、被検査
管5と調整管8の間の管端対面部では管軸が容易に一致
せず、プローブ9の挿入、抽出時にプローブ9のガイド
部に異常に大きな力が加わり、管端部によりプローブ9
のガイド部が摩耗し、場合によってはガイド部が削られ
るという問題を有する。
また、内挿型プローブとして、渦流測定において要請さ
れるリフトオフ量(検知コイルと被検査管内周面との距
11t)を一定に保つために、第18図113よび第1
9図に示ずようにコイル15の配設部の前後に、管体1
6の内周面に摺接する拡径摺動部17a、17a・・・
から成るガイドを形成したプローブ17が、従来より開
発されている。このガイドはナイロン等のプラスチック
で製作され、拡径摺動部17a、17a・・・の間には
軸径方向への弾性変形を許容するための複数(一般に4
〜8本)のスリット17b、17b・・・が形成されて
いる。そしてこのガイド部の弾性変形により、コイル1
5を管体16の内周面から一定の距離に保ち、リフトオ
フの変動を抑える構造となっている。
ところで、内周面にライナ層を形成したライナ被覆管の
ライナ層厚の測定に上記渦流法を適用しようとする場合
には、ライナ層厚の数μm程度の微小な変化をコイルの
インピーダンス変化としてとらえる必要があるので、リ
フトオフの変動を更に厳しく抑えることが要請される。
また上記ライナ層厚の測定の場合、被検体内に誘起され
た渦電流の広がりに相当する領域の平均的な厚さが計測
されることになるので、厚さ分布を管体の全周に亘って
微細に測定しようとすれば、渦電流の広がりをできるだ
け小さくしなければならず、そのためコイルとして一般
的に直径1#III+φ程度の小さなものが選定される
。ところがコイル径が小さくなると、上述したり71〜
オ”フ変化によるコイルのインピーダンス変化が相対的
に大きくなり、測定中のリフトオフの変動を十分に低減
させなければ測定精度が上らないという問題が生じる。
このような精密測定の用途に第18図、第19図に示す
プローブ17を用いたのでは、その拡径摺動部17aの
摩耗に伴う支持圧低下によるリフトオフ変動や、軟質プ
ラスチックを材料とする場合の塑性変形に伴うリフトオ
フ変動が無視できず、十分な測定精度が得られない。
さらに従来のプローブでは第20図に示すように被検体
18に近接してこれに直接電磁作用を及ぼすアクティブ
コイルL1と外乱要因による出力変動分を拾うためのリ
ファレンスコイルL2とを内蔵し、第21図に示すよう
に上記アクティブコイルL1とリファレンスコイルL2
と伯の直流抵抗R,R2とでブリッジ回路を組み、ヌル
メソラド測定によりS/Nの改善をはかるように構成さ
れたものがある。ところが、このようなプローブ19を
用いて本願出願人の提案する多重周波数測定法によりラ
イナ被覆管のライナ層厚を測定すると、アクティブコイ
ルL1とリファレンスコイルL2のインピーダンスが、
各種の外乱要因により変化するだけでなく、周波数をパ
ラメータとして大きく変化してしまい、特に後者の変化
により両コイルのインピーダンス比が大きく変化してブ
リッジバランスをくずしてしまうので、このままではブ
リッジ回路によるヌルメソッド測定方法を用いても精度
の高い測定は期待できない。
(発明の目的) この発明は、上記問題を解決するためになされたもので
、本願出願人の開発した多重周波数を用いて渦流法によ
りライナ被覆管の厚み測定を行なう方法を適用する場合
にも、各構成部において上記の新たな測定方法による測
定精度に見合う精度を上げることができるとともに、長
時間にわたって十分な測定精度を確保することができる
ライナ被覆管の厚み測定装置を提供することを目的とす
る。
(目的を達成するための手段) この発明のライナ被覆管の厚み測定装置は、被検査管を
支持してこれに軸回転を与える管回転手段と、上記被検
査管内に挿入されて渦流法により被検査管の厚みに相当
する検知信号を得るプローブと、このプローブを被検査
管の軸方向に進退駆動するプローブ駆動手段と、上記プ
ローブによる検知信号と上記管回転手段およびプローブ
駆動手−12一 段より得られる位置信号とを受【プこれらの信号を基に
して被検査管の各位置における厚みデータを出力する信
号処理手段とを備えたものであって、上記目的を達成す
るために、上記管回転手段には被検査管の管端部とこれ
に対向するプローブガイド用調整管の管端部とを共に載
せる位置規制ローラと、この位置規制ローラ上の管端対
面部を押えて拘束するピンチローラとを備え、また上記
プローブの本体にはその外周部に設けられプローブ本体
の軸径方向に拡縮変形可能な管圧接体とプローブ本体の
軸方向に進退可能に設【ノられ進出して上記管圧接体を
拡径変形させるアクチュエータと、このアクチュエータ
に対しその進出動作側に付勢力を調整可能に及ぼす付勢
手段とを備え、更に上記プローブには被検査管に対し電
磁作用を及ぼすアクティブコイルと、このアクティブコ
イルと共にブリッジ回路を組み外乱要因による検知信号
を得るリファレンスコイルとを内蔵し、しかも上記アク
ティブコイルのリフトオフ量だけりフ乙しンスコイルか
ら離れた位置に被検査管と等価な材料を配置したことを
特徴とするものである。
(実施例) 第1図はこの発明の一実施例であるライナ管の厚み測定
装置のブロック図を示す。同図において、管回転装置2
0は管搬入装置1W21により搬入されてくるライナ管
を戦けて管厚測定時にこのライナ管に軸回転を与えるた
めのもので、測定を終えたライナ管は管搬出装@22に
にり管回転装置20から搬出されるように構成されてい
る。ライナ管の管厚情報を直接検知するプローブ23は
プローブ駆動装置24に連結され、このプローブ駆動装
置24により上記管回転装置20上のライナ管内にプロ
ーブ23が挿入され、また管厚測定時には管回転装置2
0によるライナ管の軸回転と並行してプローブ駆動装置
24がプローブ23を進出または後退させ、これにより
ライナ管の内周面全域をプローブ23が螺旋状に走査す
るように構成されている。機構部制御装置25は、管回
転装置20からライナ管の回転位置Jなわち周方向位置
に関する信号aおにびライナ管の概形寸法その他の材料
情報すを受け、またプローブ駆動装置24からライナ管
に対するプローブ23の軸方向位置に関する信号Cを受
ける一方、管回転装置20およびプローブ駆動装@24
に対して始動、停止1回転速痕、進退速度などについて
の各種の指令d。
eをそれぞれ与えるように構成されている。測定器26
には、第2図に示すようにプローブ23に内蔵されたア
クティブコイルし1およびリファレンスコイルL2を構
成要素として含むブリッジ回路が設けられており、これ
によりアクティブコイルL、のインピーダンス変化をラ
イナ管の測定信号fとして取り出すように構成されてい
る。信号処理装置27は、上記測定器26から与えられ
る測定信号fと上記機構部制御装置25から与えられる
位置信号qとにより、後述する信号処理を行ってライナ
管の各位置におりる厚み情報りを得、これを記録装置2
8に送信する一方、上記機構部制御装置25に対しては
その動作に関する指令iを与えるように構成されている
第3図および第4図はそれぞれ前記した管回転装置20
の要部の正面図および側面図を、また第5図はその一部
を拡大して示したものである。この管回転装置20は、
調整管29の管端部とこれに対面する被検査管30の管
端部とを共に載せる左右一対のターニングローラ31,
31 (第3図では装置の左端側より見て右側に配置さ
れるターニングローラ31のみを示す)と、これら一対
のターニングローラ31.31の上方から上記両管端部
にまたがってこれらを押え拘束する1つのピンチローラ
32とが設【ノられている。第3図において基台33の
左方に立設される架台34上には、被検査管30の上記
管端部よりやや後部を載せる別の左右一対のターニング
ローラ35.35が設けられ、これらのターニングロー
ラ35.35は、上記管端部を載せるターニングローラ
31,31とそれぞれ同じ軸36.36で連結されてい
る。
また、この一対のターニングローラ35.35の上方に
は、被検査管30を押えてこれをターニングローラ35
.351に拘束する別のピンチローラ37が設けられ、
このピンチローラ37と先の管端部側のピンチローラ3
2とは同じ軸38で連結されている。そして、上記ター
ニングローラ35.35の右側の1つは、歯車39.4
0.41からなる伝達機構を介して駆動源42の回転軸
43に連係されている。
ターニングローラ31のボス部にはセットスクリュー5
8が設けてあり、このセットスクリュー58をゆるめて
ターニングローラ31を軸36に沿ってスライドさせる
ことににす、所望位置にターニングローラ31を位置決
め可能なように構成されている。またピンチローラ32
は軸38の軸心回りに回転自在な軸受内蔵のフリーロー
ラであり、ターニングローラ31の移動にしたがって移
動自在である。
一方、基台33の中間部および左方に立設される各架台
44.45には調節管29を載せる左右一対のターニン
グローラ46,46,47.47(第3図では装置の左
端側より見て右側に配置されるターニングローラ46.
47のみを示す)がそれぞれ設【ノられ、これらの前後
の位置対応をなすターニングローラ46−47.46−
47間もそれぞれ同じ軸48.48で連結されている。
また、上記調整管29用のターニングローラ46゜47
.46.47の左右の各軸48.48はそれぞれ、前記
被検査管30川のターニングローラ31.31の左右の
各軸36,36に連結されて、それぞれ1本の軸をなし
ている。そして、上記ターニングローラ46.46の右
側の1つは、歯車49.50.51からなる伝達機構を
介して先の駆動源42の回転軸43に連係されている。
すなわち、1つの駆動源42により、被検査管30用と
調整管29用の左右の各ターニングローラ31゜35.
46.47が同期して回転するように構成されている。
上記調整管290前後部にはそれぞれプーリ52.53
が設けられる一方、架台44.45にもこれらに対応さ
せたプーリ54.55が設けられ、プーリ52.54問
およびプーリ53.55間にゴムベルト56.57を掛
は渡すことにより、調整管29の回転を許容しながらこ
れをターニングローラ46.47上に押えて拘束するよ
うに構成されている。
なお、被検査管30はその管軸と直交する方向に搬入準
備位置からターニングローラ31.31゜35.35上
へ搬入されるため、このとき被検査管30の管端が調整
管29にかからないように、第5図に示す両管端間の隙
間dは、31IIIII(最小O麿、最大6 mM)程
度に設定される。そのため、両管端部を共に載せるター
ニングlコーラ310幅寸法は上記隙間dより十分大き
く設定しである。
上記のような構成において、ターニングローラ軸36は
両端支持となり歪が抑制それ、その軸上にターニングロ
ーラ31が所要位置にセットスクリュー58により固定
されて、そこに調整管29および被検査管30の対面管
端部が段差なく支持される。ピンチローラ32も対応位
置に位置調節され対面管端部を拘束する。測定時、ター
ニングローラ31は他のターニングローラ35,46゜
47と等速で回転し、これにより調節管29および被検
査管30の対面管端部での管半径方向の振れが十分に抑
制され、内挿型渦流プローグを滑らかに挿入、抽出する
ことができる。被検査管30の長さが変わったときには
、調節管29の長さを変更して取り付1ノ、ターニング
ローラ31およびピンチローラ32を所要位置に位置決
めするだけでよく、対応が容易である。
なお、ターニングローラ31および両管端部を押えるピ
ンチローラ32としては、各管端部ごとに別々のものを
設【プ、それぞれの管端を分担して拘束しかつ回転させ
るようにしてもよい。またターニングローラ31の代り
に、ターニングローラ軸36の軸心回りに回転自在な軸
受内蔵のフリーローラ(すなわちピンチローラ32と同
一構造)を設け、このフリーローラ上で調整管29およ
び被検査管30の対面管端部を受けるようにしてもよい
。この場合に−b対面管端部は段差をなく支持され、回
転時には管半径方向の振れが十分に抑制される。要は管
端対面部が段差なく支持される位置規制ローラであれば
、上記ターニングローラ31に代えて使用することがで
きる。
第6図は前記したプローブ23の半部を破断した正面図
を示す。
このプローブ23は、ロッド形状をなすプローブ本体5
9の前後の軸部にそれぞれ管圧接体60゜60が螺着さ
れ、また各管圧接体60の先端側相当位置のプローブ本
体59軸部には、それぞれ対向する管圧接体60.60
に作用するリング状のアクチュエータ61.61が、プ
ローブ本体59の軸方向に進退可能に嵌挿されている。
さらに、上記各アクチュエータ61.61の後端側相当
位置のプローブ本体59軸部には、それぞれバネ受は用
ナツト62.62が螺着され、アクチュエータ61とバ
ネ受は用ナツト62との間にはアクチュエータ61を管
圧接体60側に付勢する圧縮コイルバネ63.63がそ
れぞれ介装されている。
また、プローブ本体59の中間部には、コイル装着用の
凹陥部64が形成され、コイル65の取り付けられた台
座66が上記凹陥部64に着脱可能にネジ止めされてい
る。
前記管圧接体60は、摩擦係数が小さく硬度の低い高密
度ポリエチレン樹脂からなり、コイル65の装着される
部分を含むプローブ本体59の他部より少し外径の大き
い拡径摺動部60aを有するリング状をなし、前記アク
チュエータ61に対向する先端部内周には、先端側に向
は拡径変化するテーパ面60bが形成される一方、−ヒ
記拡径摺動部60aを含む先端部には軸方向に向けて複
数のスリット60c・・・が形成され、これにより弾性
的な拡縮変形が可能となるように構成されている。
また上記管圧接体60に対向する前記アクチュエータ6
1の先端部外周には、管圧接体60の上記テーパ面60
bに当接づ゛るデーパ面61aが形成され、これらテー
パ面601)、61a相互のすべり作用により、アクチ
ュエータ61の管圧接体60への押動に伴い管圧接体6
0が拡径変形するように構成されている。
一方、前記バネ受り用ナラ1へ62と圧縮コイルバネ6
3とは上記アクチュエータ61を管圧接体60側に付勢
する伺勢手段を構成しており、その付勢力はバネ受り用
ナツト62を廻してその螺着位置を前後に変位さけるこ
とににり調整できるように構成されている。
プローブ本体59の後軸部は管状に形成され、その中空
部59aには前記したコイル65と第2図のブリッジ回
路とを結ぶリード線67が配線されている。そして、管
体測定時には、プローブ本体59の上記後軸部が測定器
側より延設されるプローブ支持棒に連結される。
つぎに、このプローブの動作を説明する。第6図に示す
ように圧縮コイルバネ63の付勢力によりアクチュエー
タ61が管圧接体60を押動した状態で、管圧接体60
は拡径変形するので、このプローブ23が管回転装置2
0により回転されている被検査管30内に挿入される測
定時には、前後の管圧接体60.60の各拡径摺動部6
0a。
60aが被検査管30内周面に圧接する。したがって、
被検査管30の内周面とコイル65との距離を一定に維
持したまま、プローブ23を進退させて内周部の渦流測
定を行なうことができ、これによりリフトオフの変動が
大幅に小さく抑えられるものである。
摩耗により管圧接体60の被検査管30に対する支持圧
が低下した場合には、前記したバネ受は用ナツト62を
廻してアクチュエータ61に対する圧縮コイルバネ63
の付勢力を強めることにとより、適正な支持圧に調整す
ることができる。
なお、プローブ本体59の軸部の、アクチュエータ61
の進出動作側には、その進出を制限するストッパ59b
、59bが形成されており、これより管圧接体60が過
度に拡径変形を強いられて、例えば被検査管30への挿
入の障害になることがないように配慮されている。
上記圧縮コイルバネ63を適正な付勢力に調整するには
、バネ圧設定用の標準管体を用意しておいて、この標準
管体内に上記プローブ挿入した状態で例えば同管体を前
後に移動させ、この時の摩擦抵抗力を測定することによ
り調整することができる。
上記プローブ23をプローブ支持棒に連結して行なう管
体の厚み測定において、プローブ支持棒を進退させた時
のリフトオフの変化量を測定した結果では、数μm程痕
の非常に良好な値を得ている。一方、前記管圧接体60
を取り除いた状態で同じようにプローブ支持棒を変化さ
ゼた時のリフトオフ変化量は500μm程度という結果
が得られ、このプローブ23によるリフトオフ変動の抑
制効果が大きいことが確認された。
また、管圧接体60は摩擦係数が小さく硬度の低い高密
度ポリエチレン樹脂が使用されているので、ライチ被覆
管のように内周面のライナ層への疵発生が懸念される測
定の場合にも、疵発生を確実に防止できるものである。
第7図は前記したプローブ23内のコイル配置構成を模
式図で示したものである。同図においてアクティブコイ
ルL1は、被検査管30に内挿された測定時のセット状
態において、ライナ層30bの表面との距離すなわちリ
フトオフfR1が一定になるJ:うに設定されている。
一方、リファレンスコイルL2に対しては、上記リフト
オフ量1と等しい厚みのスペーサ68を介して被検査管
30の母材層30aと同−材質の板69(ジルカロイ板
)が配置され、上記スペーサ68としてはその電気的特
性がアクティブコイルL1と被検査管30との間に介在
する空気に近い材質のものが選定されている。すなわち
、リファレンスコイルL2から上記したリフI−オフm
Aだ()離して被検査管30と等価な材料が配置されて
いる。なお、正確な測定を期するためには、ジルカロイ
の母材層に純ジルコニウムのライナ層の形成された、被
検査管30(ライナ被覆管)と同じ層構成の板69を用
いるのが望ましい。
以上の構成のプローブ33を用いて、次の条件下で2重
周波数を用いた渦流法によりライナ被覆管のライナ層厚
を測定したときの、上記アクティブコイルL1とリファ
レンスコイルL2のインピーダンスを、各周波数ごとに
従来のプローブの場合と比較して表1に示している。
(1)  ライナ被覆管 母材層(ジルカロイ)の内径: 10.55 mφ母材
層厚:  0.87間 ライナ層(純ジルコニウム)厚:約90μ而(2)  
プローブ アクティブコイル: 径0.85 sφ、長さ3#IIIIのフェライトコア
に0.07 #φの細銅 線を85回巻いたもの。
リファレンスコイル: アクティブコイルと同等。
ジルカロイ板: 面積3.5m平方、厚み0.87a*。
リフトオフ量j!:約250μm (3)  周波数 低周波数(f1=1/ω1):2MH2高周波数(f2
−1/ω2 ):4MHz(以下余白) この測定結果から明らかなように、実施例のプローブで
はアクティブコイルとリファレンスコイルのインピーダ
ンスの絶対値は周波数にかかわらずほとんど等しくなり
、その差は周波数2MHzの場合で10.4 M l−
l zの場合で30とわずかである。したがって両コイ
ルのインピーダンス比は周波数によりほとんど変化する
ことがなく、はぼ1に近い値を維持し続【ノる。これに
対し従来例のプローブでは、2 M Hzで150.4
MHzで180のインピーダンス差があり、またそのイ
ンピーダンス比も周波数により大きく変化していること
が認められる。このことは、従来例では広い周波数範囲
にわたってブリッジバランスをとることは不可能である
が、本実施例ではこれが十分に可能となることを意味し
ている。具体的にはこのプロー123を使用することに
より、ブリッジ回路の平衡のズレを3%以内に抑えるこ
とが可能となり、これによりS/Nの大幅改善を達成で
きた。
従来例のプローブでは、ブリッジバランスのズレを5以
内に抑えることは困難である。
また(L のインピ−ダンス)/(L2のインピーダン
ス)−R/R2=1のとき最大感度となることが知られ
ており、本発明によれば上記のようにインピーダンス比
が周波数にかかわらずばぼ1となるので、最大感度が得
られる。このような理由から、本発明によれば高い測定
精度が達成できる。ちなみに上記の場合のライナ層厚の
測定精度は、実施例のプローブでは±2.8μmで、従
来例のプローブの場合の±10.5μmと比べて格段に
向上していることも確認された。
一方、前記した測定器26と信号処理装置27における
信号処理は以下のようにして行われる。
上記測定器26に設けられた第2図に示すブリッジ回路
は、プローブ23側に内蔵されるアクティブコイルL 
およびこのコイルL1と平衡を保つためのリファレンス
コイルL2と、これらコイルと互いに対をなす1組の純
抵抗R1,R2との4つのインピーダンス素子を備えて
構成されており、アクティブコイル1のインピーダンス
変化はブリッジバランスのくずれによる接点a、b間の
不平衡電圧として検出される。また、スイッチ70によ
り上記アクティブコイルL1と切替えられるインピーダ
ンス素子Z1と、スイッチ71により上記リファレンス
コイルL2と切り替えられるインピーダンス素子Z2と
の組合せからなる第1ダミー回路72が構成され、さら
にスイッチ73によって上記インピーダンス素子Z2に
並列に接続可能なインピーダンス素子Z3を上記第1ダ
ミー回路72に付加して第2ダミー回路74が構成され
ている。上記各インピーダンス素子71〜Z3は、抵抗
、コンデンサなどの各素子の組合せにより構成され、イ
ンピーダンス素子Z1およびZ2はそれぞれアクティブ
コイルL1およびリファレンスコイルL2と等価になる
ように選定されている。またインピーダンス素子Z3に
ついては、インピーダンス素子Z1の約100倍程度の
値に選定されている。すなわち第2ダミー回路74は、
第1ダミー回路72のインピーダンス値IZ2+を1%
変化させたものとなっている。
一方、上記アクティブコイル[1に流す交流電流の周波
数として3種類のものが与えられる。この周波数の選定
は次のようにして決められる。
■ 主にライナ被覆管8の全肉厚の測定に用いられる周
波数f1として、渦電流の浸透深さδただし  ω:角
周波数(−2πf1)μ:μ ×μO μ、:比透磁率 μ0=真空中の透磁率 (= 4 yc X 10−7)−1/m)σ:導電率
(−1/ρ) ρ:固有抵抗(Ω・TrL) が全肉厚に近い値となるように決める。
■ 主にライナ層厚の測定に用いられる周波数f  、
f  として、渦電流の浸透深さδがライナ部属近傍の
値となるように決める。
このような構成において、ライナ被覆管の厚み測定は次
のようにして行われる。まず実際の測定に先立ち、次の
ようにして基準方向を決定する。
すなわち、第2図のブリッジ回路のアクティブコイルL
1およびリファレンスコイルL2をスイッチ70.71
で第1ダミー回路72のインピーダンス素子Z1.Z2
と切り替えて接続し、ブリッジ回路の出力を測定する。
次に、スイッチ73によって上記第1ダミー回路72に
インピーダンス素子Z3を接続し、つまり第2ダミー回
路74を接続して、ブリッジ回路の出力を測定する。そ
して、上記2つの操作に伴うブリッジ回路出力の変化方
向を、前記した3種類の周波数f1〜f3ごとにそれぞ
れ求め、これらを各周波数f1〜f3に対応する基準方
向として定める。
次に、上記各周波数f −f3に対応する基準−32一 方向が前記した測定器26の表示部のインピーダンス平
面の水平方向に一致するように、各周波数ごとに位相角
を調整する。そしてこのような条件で測定されたインピ
ーダンスの水平成分、垂直成分をそれぞれ1−11.V
l、R2,V2 、R3,V3としたとき、ライナ層厚
、全肉厚、ジルカロイ厚は以下に述べるようにして算出
される。なお上記水平、垂直成分の各添字は、3重周派
における周波数の違いを表わすものである。
算出にあたっては、まず予め以下の作業が必要である。
(1)ライナ層厚算出式の仮定 ライナ層厚は周波数f2.f3を用いて算出すと仮定す
る。ただしく:、 1jklは係数である。
(2)全肉厚算出式の仮定 全肉厚は周波数f 、f2.f3を用いて算出する。算
出式は例えば。全肉厚を王t。talとしてと仮定する
。ただしC1は係数である。
+jkln+n (3)ジルカロイ厚算出式の仮定 ジルカロイ厚は全肉厚と同様にして算出することができ
るが、簡単にはジルカロイ厚をT  とry して ”   ””total  ”zr        ・
・・(3)ry としても算出することができる。
(4)係数の決定 標準的なライナ被覆管の破壊検査によりライナ層厚、全
肉厚、ジルカロイ厚を実測しておき、上記(1)〜(3
)の算出仮定式を用いて重回帰分析により最適な項を選
択し、各項の係数を最小2乗法により求める。これにに
リライナ層厚、全肉厚、ジルカロイ厚の算出のTCめの
実際式を得る。
このようにして得られた実際式の演算プログラムを第1
図に示す信号処理装置27に入力しておき、前記ブリッ
ジ回路のアクティブコイルL1およびリファレンス」イ
ルL2を元の接続状態に戻して、3重周波数による渦流
測定を行う。これにより、測定器26において各周波数
に対応して求められる水平および垂直成分1−11.V
l、R2。
V2.R3,V3は信号処理装置27に順次入力され、
この入力データに基づき上記3つの実際式の演算が行わ
れ、ライナ層厚、全肉厚およびジルカロイ厚が算出され
る。これらの算出結果は第1図に示す記録装置28に入
力され、各算出値が記録表示される。
以上の方法をプローブ23内のアクティブコイルL1の
コイル径が約1 mm中、試験周波数500kHz 、
2MHz 、4M1−(zの場合に適用シタ測定(算出
)結果を第8図、第9図および第10図に示している。
第8図はライナ層厚について、この方法により得られた
算出値(縦軸)と破壊的検査により得られた実測値(横
軸)の関係を示しており、この方法による測定結果が実
際の値によく一致していることが確認される。第9図お
よび第10図はそれぞれ全肉厚および母材B(ジルカロ
イ)厚について同様の関係を示したもので、いずれも高
精度の測定結果が得られていることが確認される。
以上の実施例では、測定された全肉厚とライナ層厚の差
分から母材層厚を求めるにうにしているが、母材層厚に
ついても全肉厚算出の場合と同様にして求めることがで
きる。上記方法によりライナ層厚のみを測定する場合に
は、全肉厚の未知数を減らすことができるため3種類の
周波数は不要で、2種類の周波数で足りる。
また、前述したブリッジ回路における第2ダミー回路7
4では、第1ダミー回路72のインピーダンス素子R2
側にインピーダンス素子Z3が接続される構成であるが
、他方のインピーダンス素子R1側にインピーダンス素
子Z3が接続される構成でもよく、いずれにしても第1
ダミー回路72側のインピーダンス素子Z1.Z2のい
ずれかがインピーダンス素子Z3の付加により1%程度
変化し得るものであればよい。なお、上記インピーダン
ス素子Z 、Z をアクティブコイルL1およびリファ
レンスコイルL2と等価になるように調整をする手順は
、次のように行うのが望ましい。
先ず、ライナ層厚、全肉厚が標準的な試供管を用意し、
この試供管内にプローブ23を挿入し、アクティブコイ
ルL1、リファレンスコイルL2が接続された状態での
ブリッジ回路の出力を測定する。次いで、第1ダミー回
路72のインピーダンス素子Z 、R2として、先ず第
2図の純抵抗R1,R2と等価な純抵抗R3,R4をそ
れぞれ接続し、スイッチ70.71を第1ダミー回路7
2側に切替え接続してブリッジ回路の出力を測定する。
このあと、更に上記純抵抗R3,R4に付加的な抵抗、
コンデンサなどを順次接続し、ブリッジ回路の出力がコ
イル系接続時と等しくなるように調整することによって
、インピーダンス素子Z 、R2の値を決定する。イン
ピーダンス素子2.22の一方に付加されるインピーダ
ンス素子Z  (Z  またはR2の約100倍)は、
このインピーダンス素子Z3を接続した時のブリッジ回
路の出力変化が、試供管にプローブ23を挿入してリフ
トオフを変化させた時に生じるブリッジ回路の出力変化
とほぼ等価となるような値に調整し決定する。
コイルインピーダンスの変化の基準方向を決定する上記
第1.第2ダミー回路72.74の各インピーダンス素
子71〜Z3は、上記した抵抗、コンデンサなどの電気
素子を適当に選択することにより、温度、湿疫なとの外
乱要因の影響を受けることなく上記基準方向を正しく決
定できる。以上の手順により各インピーダンス素子71
〜Z3を決定することにより、実際にライナ被覆管を測
定する時と同一の測定器の感度条件下で基準方向の設定
ができ、測定器のダイナミックレンジを広く取ることが
できる。
また、上記基準方向を決定する第1ダミー回路72から
第2ダミー回路74への切替え時のブリッジ回路の出力
差(基準電圧と称す)の絶対値は、測定器系の感度の指
標となる。すなわち、経時的に測定器系の感度が変化す
ると、それに応じて上記基準電圧に変化が生じる。そこ
で、上記基準電圧を定期的にヂエックし、その・変化分
に見合う分だけ前述した方法によるライナ被覆管の測定
値を補正することにより、測定器系の感度変化に伴う測
定のずれを校正することができ、測定精度を上げること
ができる。
第11図は、第8図、第9図および第10図に示す測定
結果を得た先の実施例と同じ条件で4ケ月後にライナ被
覆管のライナ層厚について測定した測定結果を示してい
る。縦軸はこの渦流法による測定算出値、横軸は破壊的
検査により得られた実測値を示す。
一方、先の実施例と4ケ月後の実施例における上記基準
電圧の変化は表1に示す通りである。
表  1 第11図に示す測定結果から明らかなように、上記基準
電圧変化分を補正しない場合には、破壊的検査による実
測値(横軸)と渦流法による測定値との間に偏差と多少
のバラツキの増加が認められる。そこで、この基準電圧
の変化割合分だけ、渦流法により得られるコイルインピ
ーダンス変化の各成分H、Vl、H2,V2の測定値に
補正を加えて、ライナ層厚を算出した結果が第12図(
縦軸は渦流法による補正後の算出値、横軸は破壊的検査
による実測値)である。同図を先の第8図と比較して明
らかなように、上記補正が極めて有効であることがII
される。
(発明の効果) 以上のように、この発明のライナ管の厚み測定装置によ
れば、ライナ管を支持してこれに軸回転を与える管回転
装置おJ:びプローブについて、以下に挙げる効果が得
られるので、本願出願人の開発した多重周波数を用いて
渦流法によりライナ被覆管の厚み測定を行なう方法を実
施J−る場合にも、各構成部において上記の新たな測定
方法による測定精度に見合う精度の向上がはかられ、ラ
イチ被覆管のライナ層厚その伯の管厚を高精度に測定で
きるという効果が得られる。
(1)管回転装置は、被検査管の管端部とこれに対面す
る調整管の管端部とを位置規制ローラ上に載せて支持す
るものであるから、管端対面部における段差を管製作誤
差に起因する実用上無視しうる芯ぶれの範囲内に収める
ことができ、そのためプローブ挿脱時に上記段差による
プローブ摺動部の異常摩耗が生じるのを確実に防止でき
る。
(2)  プローブは、摩耗や塑性変形によるリフトオ
フ変動も簡単な調整により解消できるので、リフトオフ
変動の大幅な抑制の要請されるライナ被覆管のライナ層
厚測定にも十分対応できる。
(3)  プローブ内のコイルについては、そのアクテ
ィブコイルとリファレンスコイルの間のインピーダンス
比が周波数によって変動することがないので、ライナ被
覆管のライナ層厚の測定などに適用した場合、高い測定
精度が得られる。
【図面の簡単な説明】
第1図はこの発明の一実施例であるライナ管の厚み測定
装置の概略を示すブロック図、第2図はその測定器にお
けるブリッジ回路の結線図、第3図、第4図おにび第5
図はそれぞれ管回転装置の要部を示す正面図、側面図お
よび部分拡大図、第6図はブD−ブの半部を破断して示
す正面図、第7図はプローブのコイル配置構成を示す模
式図、第8図、第9図、第10図はイれぞれ実施例の装
置により測定されたライナ被覆管のライナ層厚、全肉厚
および母材層厚の値と破壊検査により実測された値との
関係を示す図、第11図は上記実施例より4ケ月経過後
の測定におけるライナ層厚の測定値と破壊検査による実
測値との関係を示す図、第12図はライナ層厚の測定値
を基準電圧変化分補正したものと破壊検査による実測値
との関係を示す図、第13図はライナ被覆管の管厚測定
を内挿型プローブを用いて渦流法により行う場合の説明
図、第14図はリフトオフ変動によるインピーダンス変
化方向を示す図、第15図はリフトオフ変動量とインピ
ーダンス変化量の関係を示す図、第16図、第17図は
それぞれ従来の管回転装置の概略正面図および概略平面
図、第18図、第19図はそれぞれ従来のプローブの正
面図および側面図、第20図は従来の他のプローブの概
略図、第21図はヌルメソッド測定に用いられるブリッ
ジ回路結線図である。 20・・・管回転装置、23・・・プローブ、24・・
・プローブ駆動装置、26・・・測定器、27・・・信
号処理装置、29・・・調整管、31・・・ターニング
ローラ、27・・・ピンチローラ、59・・・プローブ
本体、60・・・管圧接体、60a・・・拡径摺動部、
60b・・・テーバ面、60C・・・スリット、61・
・・アクヂコエータ、61a・・・テーバ面、62・・
・バネ受は用ナツト、63・・・圧縮コイルバネ、Ll
・・・アクティブコイル、L2・・・リファレンスコイ

Claims (1)

    【特許請求の範囲】
  1. (1)被検査管を支持してこれに軸回転を与える管回転
    手段と、上記被検査管内に挿入されて渦流法により被検
    査管の厚みに相当する検知信号を得るプローブと、この
    プローブを被検査管の軸方向に進退駆動するプローブ駆
    動手段と、上記プローブによる検知信号と上記管回転手
    段およびプローブ駆動手段より得られる位置信号とを受
    けこれらの信号を基にして被検査管の各位置における厚
    みデータを出力する信号処理手段とを備えたライナ管の
    厚み測定装置において、上記管回転手段は、被検査管の
    管端部とこれに対向するプローブガイド用調整管の管端
    部とを共に載せる位置規制ローラと、この位置規制ロー
    ラ上の管端対面部を押えて拘束するピンチローラとを有
    し、上記プローブの本体はその外周部に設けられプロー
    ブ本体の軸径方向に拡縮変形可能な管圧接体と、プロー
    ブ本体の軸方向に進退可能に設けられ進出して上記管圧
    接体を拡径変形させるアクチュエータと、このアクチュ
    エータに対しその進出動作側に付勢力を調整可能に及ぼ
    す付勢手段とを有し、また上記プローブは被検査管に対
    し電磁作用を及ぼすアクティブコイルと、このアクティ
    ブコイルと共にブリッジ回路を組み外乱要因による検知
    信号を得るリファレンスコイルとを内蔵し、かつ上記ア
    クティブコイルのリフトオフ量だけリファレンスコイル
    から離れた位置に被検査管と等価な材料を配置したこと
    を特徴とするライナ管の厚み測定装置。
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Cited By (6)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2002174502A (ja) * 2000-12-07 2002-06-21 Ulvac Japan Ltd 軸出し装置、膜厚測定装置、成膜装置、軸出し方法及び膜厚測定方法
JP2002181507A (ja) * 2000-12-18 2002-06-26 Ulvac Japan Ltd インダクタンス測定装置
JP2007285804A (ja) * 2006-04-14 2007-11-01 Ulvac Japan Ltd 渦電流式膜厚計
US7772840B2 (en) 2006-09-29 2010-08-10 Hitachi, Ltd. Eddy current testing method
CN102121922A (zh) * 2010-12-21 2011-07-13 上海交通大学 轴类零件漏磁检测装置
JP2011164110A (ja) * 1999-12-23 2011-08-25 Kla-Tencor Corp 渦電流測定あるいは光学測定を利用して、メタライゼーション処理を実状態で監視する方法

Cited By (7)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2011164110A (ja) * 1999-12-23 2011-08-25 Kla-Tencor Corp 渦電流測定あるいは光学測定を利用して、メタライゼーション処理を実状態で監視する方法
JP2002174502A (ja) * 2000-12-07 2002-06-21 Ulvac Japan Ltd 軸出し装置、膜厚測定装置、成膜装置、軸出し方法及び膜厚測定方法
JP2002181507A (ja) * 2000-12-18 2002-06-26 Ulvac Japan Ltd インダクタンス測定装置
JP2007285804A (ja) * 2006-04-14 2007-11-01 Ulvac Japan Ltd 渦電流式膜厚計
US7772840B2 (en) 2006-09-29 2010-08-10 Hitachi, Ltd. Eddy current testing method
US7872472B2 (en) 2006-09-29 2011-01-18 Hitachi, Ltd. Eddy current testing apparatus and eddy current testing method
CN102121922A (zh) * 2010-12-21 2011-07-13 上海交通大学 轴类零件漏磁检测装置

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