JPS62193656U - - Google Patents
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- Publication number
- JPS62193656U JPS62193656U JP8097086U JP8097086U JPS62193656U JP S62193656 U JPS62193656 U JP S62193656U JP 8097086 U JP8097086 U JP 8097086U JP 8097086 U JP8097086 U JP 8097086U JP S62193656 U JPS62193656 U JP S62193656U
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- filament
- ion source
- cathode
- vacuum container
- anode
- Prior art date
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- Pending
Links
- 238000010891 electric arc Methods 0.000 claims description 2
- 230000001629 suppression Effects 0.000 description 2
- 230000001133 acceleration Effects 0.000 description 1
Landscapes
- Electron Sources, Ion Sources (AREA)
Description
第１図ａは本考案の一実施例のイオン源の構成
を示す断面図、同図ｂはａ図のＡ―Ａ′断面図、
第２図はアーク放電の電圧，電流特性図である。 １……プラズマ生成室、２……フイラメント、
３……熱陰極、４……加速電極、５……電子抑制
電極、６……フイラメント電源、７……アーク電
源、８……加速電源、９……電子抑制電源、１０
……ガス導入口。
を示す断面図、同図ｂはａ図のＡ―Ａ′断面図、
第２図はアーク放電の電圧，電流特性図である。 １……プラズマ生成室、２……フイラメント、
３……熱陰極、４……加速電極、５……電子抑制
電極、６……フイラメント電源、７……アーク電
源、８……加速電源、９……電子抑制電源、１０
……ガス導入口。
Claims (1)
- 真空容器の内部に配したフイラメントを陰極、
もしくは更に別に陰極を備え、真空容器を陽極と
するか、もしくは別に陽極を挿入し、両者間のア
ーク放電によつてプラズマを生成するイオン源に
おいて、アーク電流をフイラメントの動作温度に
よつて決まる飽和電流で動作させることを特徴と
するイオン源。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP8097086U JPS62193656U (ja) | 1986-05-30 | 1986-05-30 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP8097086U JPS62193656U (ja) | 1986-05-30 | 1986-05-30 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS62193656U true JPS62193656U (ja) | 1987-12-09 |
Family
ID=30932271
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP8097086U Pending JPS62193656U (ja) | 1986-05-30 | 1986-05-30 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS62193656U (ja) |
-
1986
- 1986-05-30 JP JP8097086U patent/JPS62193656U/ja active Pending
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