JPS62188336A - サスセプタ上のウエハの自動ロ−デイング及びアンロ−デイング方法及び装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 狡街分界 本発明は、化学的気相成長即ちＣＶＤ用反応器に使用さ
れるサスセプタ上の半導体ウェハを自動的にローディン
グ及びアンローディングする方法及び装置に関する。

光里■青景 集積電子回路の製造工程中には、半導体ウェハ（例えば
シリコン）上に原子（例えばシリコン）の層をエピタキ
シャル成長し、Ｐ型及びｎ型導体領域を作るステップが
存在する。このエピタキシャル層の成長はＳｉＨ４を熱
分解してウェハ上にシリコン原子を化学的気相成長させ
ることによって行われる。この工程は、一般にかなり高
温（例えば、１１００〜１２００℃）の胴体状反応器内
で行われる。

典型的な、エピタキシャル層成長用胴体反応器は、サス
セプタを収容するペルジャーを有し、このサスセプタは
側面を複数個有し、各側面には、半導体ウェハを載置す
る一個以上の浅いポケットが形成されている。このペル
ジャーの外周には熱源が設置され、ペルジャー内に導入
されたＳｉＨ４を熱分解する。このＳｉＨ４が分解する
につれて、サスセプタが回転され、これによって各ポケ
ットのウェハにシリコン原子が均一に成長する。

従来は、サスセプタへのウェハのローディングやアンロ
ーディングはオペレータがピンセットでウェハを把持し
て手動操作によって行われていた。

このため、この手動操作中にウェハに傷を付けたり、更
には落下事故などが起っていた。この為、製造歩留が悪
化しコストが上昇してしまう。

従って、サスセプタのウェハを自動的にローディング及
びアンローディングする方法が望まれていた。

光浬Ｆυ糺絢 上述の問題は、サスセプタ上のウェハを自動的にローデ
ィング及びアンローディングする本発明によって実質的
に解決される。本発明に係る方法は、まず、ウェハ・ロ
ード・ステーションにあろウェハとピックアップ装置の
少なくとも一個の吸引手段とを係合させる。それから、
ピックアップ装置をウェハ・ロード・ステーションから
移動し、またサスセプタをピックアップ装置に隣接する
ように位置決めする。その後、ピックアップ装置をサス
セプタの方へ移動し、そのサスセプタにウェハを置く。

ウェハがサスセプタに置かれると、つ゛　　　エバとピ
ックアップ装置との係合が解除される。

また、本発明に基づく別の方法では、ウェハをサスセプ
タから自動的にアンローディングする。

このアンローディング方法は、まず吸引手段を有するピ
ックアップ装置に隣接するようにサスセプタを位置決め
する。次いで、ウェハと吸引手段とを係合させた後に、
ピックアップ装置をサスセプタからウェハ・アンロード
・ステーションに移動し、ここでウェハとピックアップ
装置との係合を解いてウェハ・アンロード・ステーショ
ンにウェハを収容する。

サスセプタのローディング及びアンローディングステッ
プは、本目的を達成する単一構造によって一緒に達成す
ることができる。

罷鞭ｆ反班 途ＭｊＬ吸 第１図はＣＶＤ　（化学的気相成長）反応器１０の側面
図であり、この反応器１０は、好適実施例では、アメリ
カ合衆国カリフォルニア州すンタクララ（Ｓａｎｔａ　
Ｃ１ａｒａ　）のアプライド　マテリアルズ（Ａｐｐｌ
ｉｅｄ　Ｍａｔｅｒｉａｌｓ　）社製の７８１０型反応
器から構成される。反応器１０は容器１１を具備し、こ
の容器１１はその頂部に開口１１ａを有する。容器１１
内においてＣＶＤ処理が行われて複数のウェハ１２〜１
２の各々に原子の層をエピタキシャル成長させる。これ
らのウェハ１２〜１２は、ウェハ支持部材、即ちサスセ
プタ１６上の互いに離間した複数のポケット１４〜１４
の各々に保持されている。このサスセプタ１６は多側面
胴体であり、この胴体は典型的には６個の側面を有し、
各側面は鉛直方向に離間した２個のポケット１４〜１４
を有する。サスセプタ１６は、通常ＲＦ（高周波）場に
感応し易すいグラファイト（黒鉛）の如き材料から作ら
れているので、容器ｌｌ内で誘導加熱される。尚、別の
方法によってサスセプり１６を容器１１内で加熱する場
合には、このサスセプタ１６はＲＦ場に感応しない材料
で作るようにしてもよい。

サスセプタ１６はロッド２０の下端に固着されており、
このロッド２０の上端は、鉤（不図示）によって円盤２
２に着脱可能に取付けられている。

この円盤２２はアーム２４に取付けられ、このアーム２
４は、反応器１０に摺動可能に取付けられ、鉛直方向に
移動できる。反応器１０内にはアーム２４を昇降させる
手段（不図示）が設けられ、これによりサスセプタ１６
は容器１１の開口１１ａ内に挿入され、かつそこから引
き出される。ロッド２０の上端の円盤２２は、アーム２
４が下降してサスセプタ１６を容器１１内に挿入した後
に容器１１の開口１１ａをシールする。円盤部材２２に
は、モータ（不図示）が設けられ、このモータはロッド
２０とサスセプタ１６とを回転させる。

従来は、ウェハ１２〜１２はピンセットを使用して手動
的にサスセプタ１６の側面１８〜１８のポケット１４〜
１４に運ばれ、そこから取り出されていた。このように
ウェハ１２〜１２を人手により取扱うと、ウェハの大事
な表面を傷付けて、使いものにならないものにしてしま
うと共に、更にはウェハを落として損傷してしまうこと
もある。

このウェハ取扱中のウェハ損傷によって製造歩留が低下
し生産コストは上昇してしまう。

ウェハ１２〜１２をサスセプタ１６に手動搬送すること
による損傷を避ける為に、ロード及びアンロード装置２
６が開発され、これによりウェハ取扱が自動化された。

このロード及びアンロード装置２６は運搬車２８を有し
、この運搬車２８は、形状が平行六面体であり、底部に
足車３０〜３０を有しているので、ＣＶＤ反応器１０へ
転動移動し、同様にそこから離れることができる。この
運搬車２８の四隅からは、複数の柱３２〜３２が上方に
延びており、棚３４を支持している。

この棚３４は、高さが反応器１０の反応器１１よりもわ
ずかに高く、第１図及び第２図に示したように、棚３４
からは水平方向外方に張出部３５が一体に延びている。

この張出部３５は、第２図に示したように先細り内側面
３５ａと外側部３５ｂとを具備し、この内側部３５ａは
棚３４に極く近接しており、外側面３５ｂの長手方向縁
は互に平行である。また、張出部３５の外側部３５ｂは
反応容器１１への開口１１ａ　（第１図）よりも大きく
定められている。サスセプタ１６が反応容器１１から引
き出されその後、第１図の如く張出部３５が反応器１０
の上に張出部するように運搬車２８の位置が定められる
と、張出部の外側部３５ｂ（第２図参照）は反応容器へ
の開口１１ａの上に位置することになる。第２図に示す
ように、張出部３５を支持する為に、３本の梁３６〜３
６が棚３４の下面から延在し張出部３５の下面に当接し
ている。

第２図において互に離間した一対の位置合せ部材３７．
３７の各々は、外方に拡がるように反応器１０の側面の
うち反対側のものに固設されている。これらの位置合せ
部材３７．３７は、張出部３５の先細り内側部３５ａの
側部を捕捉して反応容器１１への開口１１ａ（第１図参
照）の上方に張出部の外側部３５ｂを案内する働きをし
ている。

一対の留め金３８．３８の各々は、張出部３５の先細り
内側面部の別々の縁に取付けられ、各位置合せ部材３７
．３７から上方へ突出した一対のローラー３９．３９に
係合している。こうして運搬車２８は、反応器１０に確
実に係合した状態に保持される。

第１図において、プラットホーム４０は流体シリコン４
４．４４の夫々の軸４２によって張出部３５の上方に支
持され、これらのシリンダ４４．４４はプラットホーム
４０に鉛直方向に取付けられている。プラントホーム４
０は、シリンダ４４．４４の軸４２．４２が第１図に示
すように伸ばされると張出部３５かられずかな距離（例
えば１インチ）だけ持ち上げられる。第２図に示された
ように、張出部３５の先細り内側部３５ａにはリミット
スイッチ４５が取付けられ、このリミットスイッチ４５
はプラットホーム４０が上昇位置及び下降位置にあるこ
とを検出する。

第１図及び第２図に示したように、プラントホ−ム４０
はテーブル４６を有し、このテーブル４６はプラットホ
ーム４０の上面に回転可能に軸支されている。サスセプ
タ１６が容器１１から引き出され、かつ運搬車２８が反
応器１１に隣接して張出部３５が反応器１１の上に位置
した状態では、テーブル４６は、サスセプタ１６の下に
存在する。第２図に示すようにテーブル４６は歯車４８
を有し、この歯車４８は、プラットホーム４０に取付け
られたモータ５２に駆動チェーン５０によって連結され
ている。テーブル４６がモータ５２によって回転される
と、プラットホーム４０に取付けられたセンサ５４はこ
のテーブル４６の位置を検出する。

テーブル４６には、高さが夫々１〜２インチの一対の直
立ガイド５６．５６が配設され、サスセプタ１６の一対
の側面の横方向の動きを制限している。サスセプタ１６
は、円盤２２に鉤で吊されているので容器１１から引出
されたとき振子のように揺動してテーブル４６を越える
恐れがあるが、上記ガイド５Ｇ、５６はこのようなサス
セプタ１６の揺動を防止している。テーブル４６には、
高さが多少低い別の一対のガイド５８．５Ｂが配設され
、これらのガイド５８．５８は、プラットホーム４０が
持ち上げられてサスセプタ１６の基部に接触すると、サ
スセプタ１６の別の一対の側面に係合する。

ロボット６０ プラットホーム４０上には、ロボット６０が設けられ、
このロボット６０はアーム６２を有する。

このアーム６２は、プラットホームに固設された直立円
筒状基部６４に回転可能に軸支されている。

この基部６４の、プラットホーム４０への取付位置は次
のように定められている。即ち、アーム６２が、テーブ
ル４６の半径に対し同軸である半径を有する円弧（不図
示）に沿って回転するように定められている。アーム６
２は、第２図に示したようにテーブル４６の半径と同軸
となる、即ち一直線となるとき、「基準位置」にあると
称する。

第３図は、ロボット６０を詳細に示したもので、了−ム
６２は第１及び第２のアーム部６６と６８とを有し、両
アーム部は、質量を減する為に貫通孔が複数穿設された
棒から作られている。アーム部６８の一端６８ａは成る
角度で切断されており、このアーム部６８の一端６８ａ
からは、アーム部の上部と底部との中程においてタブ６
９が外方へ延在しており、アーム部６６の矢じり形状の
一端７０ａの最外方先端のスロット７０に入り込んでい
る。

旋回ピン７１は、タブ６９をスロット７０に回転可能に
取付け、これによりアーム部６８はアーム部６６のまわ
りを回転し水平位置（実線で示した）と鉛直位置（想像
線で示した）との間を移動する。旋回ピン７２は、アー
ム部６８の一端６８ａの最上部に位置するタブ７３を複
動式流体シリンダ７５の軸部７４に旋回可能に連結して
おり、このシリンダ７５は水平方向に延在するようにア
ーム部６６内に取付けられている。アーム部６６にはリ
ミットスイッチ７６ａが取付けられ、このスイッチ７６
ａは軸部７４がシリンダ７５内に引込んだときにその軸
部７４によって作動される。ア一ム部６６の端７０ａに
は、タブ７１の下方に別のリミットスイッチ７６ｂが取
付られ、このリミットスイッチ７６ｂはアーム部６Ｂが
鉛直位置に旋回した時に作動される。

了−上部６６の底部には、その一端７７ａに極く接近し
て円形板７７が取付けられ、この円形板７７は基部６４
の上端と一体のフランジ付部材７８上で回転可能である
。アーム部６６には鉛直軸８０が固着され、この鉛直軸
８０はアーム部６６から下方に延び、円形板７６はフラ
ンジ付部材７８とを貫通して基部６４内に入り込んでい
る。

軸受８２と８４は、軸８０を夫々フランジ７８と基部６
４とに対して回転可能に支持している。軸８０は、減速
機８６を介してモータ８８によって駆動され、このモー
タ８８は基部６４の底部に取付けられている。このモー
タ８８には回転レゾルバ−（分解器）（不図示）が連結
され、このレゾルバ−はモータ軸の角度位置、従つてロ
ボットアーム６２の角度位置を表わす信号を発生する。

フランジ７８には流体シリンダ９０が取付けられ、この
シリンダ９０の軸９２は軸８０に平行に上方に延びてい
る。シリンダ９０が休止（非加圧）状態であるとき、軸
９２は引込み板７７に非係合であり、これによりアーム
６２は回転可能となっている。軸９２は、シリンダ９０
から突出されると、板７７の開口９３に係合しアーム６
２の回転を係止する。

皿九生ｌ土 第３図のロボット６０は、アーム部６８の端６８ａの反
対側端９５に端部作動体、即ち掴み体９４を保持する。

この掴み体９４は鉛直棒９６を有し、この鉛直棒９６は
互に平行かつ離間した一対のピン９Ｂ、９Ｂを有する。

これらのピン９Ｂ、９８は、棒９６から突出しアーム部
６８の端９５内に固定された一対のリニア軸受（不図示
）に夫々挿入されている。複動式流体シリンダ１００は
、水平方向に延在するようにアーム部６８内に取付けら
れ、このシリンダの軸（不図示）は、棒９６に取付けら
れこの棒をアーム部６８の方及びそこから離れる方向に
変位させる。アーム部６８には、リミットスイッチ１０
１が取付けられ、このリミットスイッチ１０１は、ピン
９８．９８がシリンダ１００の軸の伸長により掴み体９
４と共に変位したときにピン９８．９８の上方のピンに
よって作動される。

互に平行かつ離間した第１の対のロッド１０２．１０２
と同様の第２の対のロッド１０３．１０３とは夫々第１
、第２の対のリニア軸受（不図示）内に摺動可能に収容
され、棒９６の上部と底部とを水平方向に貫通している
。各ロッド１０２．１０２と１０３．１０３の端１０２
ａ、１０３ａの近傍には、止め部（不図示）が設けられ
、棒９６の軸受内のロッドの移動を制限している。各対
のロッド１０２．１０２と１０３．１０３の端１０２ｂ
と１０３ｂには、一対のスパイダ１０４．１０４が夫々
取付けられている。これらスパイダ１０４．１０４は夫
々第１の対のバネ１０６．１０６と第２の対のバネ１０
７．１０７によって棒９６から付勢されている。各バネ
１０６．１０６．１０７．１０７　　　。

はロッド１０２．１０２と１０３．１０３の夫々と同軸
状態になっている。

第４図は、面４−４に沿った第３図のロボット６０の正
面図であり、各スパイダ１０４は、多数の開口が穿設さ
れた多開口リング部１０８を有する。このリング部１０
８には一体に多開口アーム１１０〜１１０が設けられ、
これらの多開口アーム１１０〜１１０は、互に等間隔と
なるように放射状に延在している。スパイダ１０４の各
アーム１１０は真空吸引器（吸引カップ）１１２を有し
、この吸引器１１０はスパイダ１０４から（第４図の平
面から外へ）突出している。スパイダ１０４のリング部
１０８の中心Ｃと各真空吸引器１１２との半径方向の間
隔は、第１図及び第２図の各ウェハ１２の半径よりわず
かに小さく定められている。吸引器１１２〜１１２の半
径方向距離は、上述のように定められているので、各吸
引器１１２は第３図のサスセプタ１６に保持された各ウ
ェハ１２〜１２の前面の周辺部に係合することができる
。

第５図において、各吸引器１１２は、円錐台形状の中空
上部１１６とこれと一体の円筒状中空下部１１８とを有
する。各吸引器１１２の円筒部１１８の直径は、端ぐり
（穴ぐり）１１９の直径よりもわずかに小さい。尚、こ
の孔１１９は、各アーム１１０の底に穿設されておりア
ーム１１０の開口１１９ａと同軸関係にある。各吸引器
１１２の円筒部１１８は、切欠１１９ｂを有し、これに
より吸引器１１２が開口１１９ａに係合することができ
る。端ぐり１１９は、メネジが刻設されており、突起付
の継手１２０の端部１２０ａのオネジに螺合されている
。この継手１２０はホース１２１の端１２１ａに係合し
ている。ホース１２１の反対側端１２１ｂは弁１２３を
介して真空ポンプ１２２に接続されている。

（ｓｉｌａｓｔｉｃ）　Ｅシリコーンのような熱硬化性
シリコーン、エラストマーから作られている。この商標
のエラストマー・シリコーンは、化学的に非常に純粋で
あり、ウェハ１２を汚染する恐れのあるＮａ”　、Ｋ”
　、（Ｊ−などのイオン汚染物質をほとんど含有してお
らず、更に非摩耗性であり、熱的に非常に安定であるの
で、吸引器１１２〜１１２の材料としては非常に有効で
ある。

第３図において、吸引器１１２〜１１２は、ウェハ１２
が存在しないサスセプタ１６に接触すると、汚染される
恐れがある。そこでこの汚染を回避する為に、一対の検
出器１２３ａ、１２３ｂがアーム部６８の端９５の上部
と底部に取付けられ２７３０１型スキヤナーが好ましく
、パルス光源（不図示）と光センサ（不図示）とを有し
ている。

ロボット６０のアーム部６８がサスセプタ１６の割出さ
れた側面１８に対向する位置にあると、各検出器１２３
ａと１２３ｂは、サスセプタ・ポケット１４〜１４（第
１図参照）の夫々に対向する。

このとき、検出器１２３ａ又は１２３ｂの一方に対向す
るポケット１４にウェハ１２が存在する場合には、その
検出器から放射された光はウェハで反射され戻って来る
。ところが、サスセプタ・ポケット１４にウェハ１２が
存在しない場合には、ポケットの表面がマット面であり
入射光を散乱させるので、ポケットからの反射光は無い
。

ウェハ・ロード・ステーション１２４ 第２図の棚３４は、新しいウェハ１２〜１２を収容する
ウェハ・ロード・ステーション１２４を支持している。

第６図において、ウェハ・ロード・ステーション１２４
は、カセット昇降４１１２６を有し、この昇降ｌ１１２
６は、矩形開口１２８を貫通して棚３４内に取付けられ
ている。昇降機から成り、この働きは、設置されたウェ
ハ・カセット・キャリヤ１３０を昇降することである。

こキャリアを使用でき、このキャリヤは、多数のスロッ
ト１３１〜１３１を有し、この各スロット１３１は一枚
の新しいウェハ１２〜１２の縁を支持する。

棚３４上には、開口１２８に隣接して往復動（シャトル
）ロボット１３４が取付けられ、この往復動ロボット１
３４は一対のウェハ１２．１２の各々をキャリヤ１３０
から次ぎ次ぎと取り出し、往復動板１３４に搬送する。

往復動ロボット１３４は棚３４に取付けられた基体１３
６を有し、この基体１３６には、互に平行かつ離間した
一対の軸１３８．１３８　（一方の軸のみ図示されてい
る。）が固設され上方に突出している。これらの軸１３
８．１３８の各々は、一対のブロック１４０と１４１の
各々に内蔵された一対のリニア軸受（不図示）の夫々を
貫通している。これらのブロック１４０．１４１は、積
み重ねられている。また、流体シリンダ１４２はブロッ
ク１４０に接続された本体部と、基体１３６に接続され
たシリンダ軸とを有し、そのブロック１４０を蒸射１３
６の上方にわずかな距離（３７４インチ）だけ変位させ
る。流体シリンダ１４３は、本体がブロック１４０に取
付けられ、そのシリンダ軸がブロック１４１に取付けら
れ、このブロック１４１をブロック１４０の上方にわず
かに（例えば、０．０２０インチ）持ち上げる。

ブロック１４１は一対のリニア軸受（不図示）を有し、
これらのリニア軸受は互に離間し、ブロック１４１を水
平方向に貫通し、一対の柱体１４４．１４４を夫々摺動
可能に収容している。各柱体１４４．１４４の端のうち
ブロック１４１から離れた方の端は、水平アーム１４５
に取付けられている。このアーム１４５は、流体シリン
ダ１４６によって横方向に、即ちブロック１４１に近ず
いたり遠ざかるように変位される。このシリンダ１４６
は、本体がブロック１４１に接続され、シリンダ軸がア
ーム１４５に接続されている。

アーム１４５は、カセットキャリヤ１３０の方へ水平に
延びた薄へら体１４８を有する。第８図に示したように
、このへら体１４８の表面には開口１４９．１４９が複
数個穿孔されており、これらの開口１４９は、へら体１
４８内を長手方向に延在する通路１５０に連通している
。この通路１５０は弁（不図示）を介して第５図の真空
ポンプ１２２に接続されている。

第７図において往復動板１３４は金属（例えばアルミニ
ウム）厚板から作られており、これは充分に研磨された
一体の軸１５１＝１５１上を摺動する。これらの軸１５
１．１５１は棚３４のスロット１５２内に配設され、こ
れらは第２図に示したようにロボット６０の基体６４の
半径方向に一致している。第８図において、第１の流体
シリンダ１５４は、その本体が、往復動板１３４に連結
され、そのシリンダ軸が第２のシリンダ１５６の本体に
連結され、この第２シリンダ１５６の軸は棚３４に固着
されている。上記シリンダ１５４の働きは、往復動板１
３４を第２図の基体６４から遠く離隔した原位置からス
ロソｌ−１５２（第７図）内の、基体６４との中間位置
へ移動させることであり、シリンダ１５６の働きは、往
復動板１３４をスロッ）１５２　（第７図）の上記中間
位置から第２図の基体６４に最も近いスロット端部へ移
動させることである。

一対の先細り円形凹部１５８．１５８（第７図参照）は
往復動板１３４の上面に位置し、その凹部の大きさは、
夫々ウェハ１２．１２を収容するとそのウェハ中心が凹
部１５８の中心に一致するように定められている。各凹
部１５８は水平スロワ）１５９　（第８図）の上方に位
置し、この水平スロット１５９は、アーム１４５に最も
近い前縁１５９ａから往復動板１３４の中に延在してい
る。

第７図において、両凹部１５８．１５８の夫々の中心Ｃ
，Ｃ間の距離は第４図のスパイダ１０４．１０４の夫々
の中心Ｃ，Ｃ間の距離にほぼ等しいので、スパイダ１０
４．１０４の吸引器１１２．１１２は往復動板１３４に
収容されたウェハ１２．１２に係合することができる。

各回部１５８内には、窪み１６０ａが設けられ、この窪
み１６０ａと凹部１５８の中心との距離りは、ウェハ１
２の半径より小さく定められている。各窪み１６０ａは
、第３図の検出器１２３ａ、１２３ｂと同一の検出器１
６０ｂを内蔵し、この検出器１６０ｂはウェハ１２が凹
部１５８内に存在するか否かを検出する。

往復動板１３４の前縁１５９ａからは切欠部１６１が各
凹部１５８の内に延びており、この切欠部１６１の大き
さは、へら体１４８が切欠部１６１内に入り込めるよう
にへら体１４Ｂよりもわずかに大きく定められている。

第８図に示したように各切欠部１６１は往復動板１３４
のスロット１５９に連通している。第２の対の切欠部１
６２．１６２の各々は、往復動板１３４の背後縁１６３
から凹部１５８．１５８の夫々の中に入り込んでいる。

第７図において、双網車（プーリー）部材１６４と単網
車部材１６６は各切欠１６２内において互にわずかな距
離だけ離れ、往復動板１３４に回転可能に支持されてい
る。双網車部材１６４と単網車部材１６６のまわりには
ゴムベルｌ−１６８（例えばネオプレン）がループ状に
巻かれている。

各切欠１６２内の綱車部材１６４と１６６の高さは、次
のように定められている。即ちベルト１６８の一部が第
８図に示したように凹部１５８内のウェハ１２（想像線
で示した。）の下面に摩擦接触するように上記高さが定
められている。

第８図において、第２のゴムベルト１７（ｌ双綱軍部材
１６４と駆動網車１７２とのまわりにループ状に巻付け
られ、この駆動網車１７２は往復動板１３４に取付けら
れたモータ１７４によって駆動される。これによりモー
タ１７４は、他方の切欠１６２内の綱車１６４と１６６
とに巻かれたベルト１６８を第２ベル）１７０を介して
回転駆動する。

第７図において、往復動板１３４の各凹部１５８内には
円形窪み１７５が形成されている。この窪み１７５は、
凹部１５８の外周付近に位置しているので、ウェハの平
縁１７６が上に位置する時以外は、ウェハ１２に被覆さ
れる。各凹部１５８内には、第３図の検出器１２３ａ、
１２３ｂと同一の検出器１７７が設けられ、この検出器
１７７は、平縁１７６が自身の上を通過した時点を検出
する。

胴ＪＬＩｌｌｕ上ユ」− 第９図は制御回路１７８の概略図を示したもので、この
制御回路１７８は、一対の凹部１５８、１５８の一方に
収容されたウェハ１２を回転させるモータ１７４を制御
する。これと同一の制御回路（不図示）が、他方の凹部
１５８内のウェハ１２を回転させるモータを制御する為
に設けられている。制御回路１７８は、検出器１７７の
出力信号を増幅し、それを、一対のワン、ショット、マ
ルチバイブレーク（以下、ワン・ショット・マルチと称
する）１８４と１８６の入力に送るアンプ１８２を有す
る。このワン・ショット・マルチ１８４と１８６は夫々
アンプ１８２からの正入力パルスと負入力パルスに応じ
て出力パルスを発生する。

ワン・ショット・マルチ１８４の出力は、ＲＳフリップ
フロップ１８８のリセット（Ｒ）入力に送られ、ワン・
ショット・マルチ１８６の出力はＯＲゲート１９０の第
１人力に送られる。このＯＲゲート１９０の第２人力に
はＲＳフリップフロップ１８８のＱ出力が接続されてい
る。またＯＲゲート１９０の出力はＲＳフリップフロッ
プ１９２のリセット（Ｒ）入力に接続されている。ＲＳ
フリップフロップ１９２のＱ出力は第２のＯＲゲート１
９４の第１人力に接続され、このＯＲゲート１９４の第
２人力はＲＳフリップフロップ１８８のＱ出力に接続さ
れている。

ＯＲゲート１９４の出力は、一対のＲＳフリップフロッ
プ１９６と１９８の各々のリセット（Ｒ）入力に夫々接
続されている。このフリップフロップ１９８のＱ出力は
オプト（光）アイソレータ２００の入力端子に接続され
、このアイソレータ２００の接地端子は回路接地に接続
されている。

またアイソレータ２００は、給電端子ＳがＤＣ電圧供給
源（不図示）の正端子＋Ｖに接続され、この電圧供給源
の負端子は回路接地に接続されている。電圧供給源の正
端子はまた、電圧降下用抵抗２０２を介してモータ１７
４の一端子に接続され、このモータ１７４の他端子はオ
プトアイソレータ２００の出力端子０に接続されている
。

ウェハ・アンロード・ステーション２０３第２図におい
て、棚３４には、処理済のウェハを収容するウェハ・ア
ンロード・ステーション’ＩＱ ２０３が取付けられている。第１０図に示したように、
ウェハ・アンロード・ステーション２０３は一対のウェ
ハ・カセット昇降１８１２０４と２０６２６６０ＣＰ型
昇降機を使用することができる。

各カセット・昇降機２０４と２０６は棚３４の一対の開
口を夫々貫通しており、これにより昇降機２０４．２０
６は、第３図のアーム部６８がアーム部６６に対して垂
直に旋回された状態でアーム部６６と共に回転された時
にアーム部６８のスパイダ１０４．１０４が夫々描く円
弧内に位置している。

カセット昇降機２０４と２０６の各々は、コンベアを具
備し、このコンベアは所定高さのプラットホーム２０８
から構成され、このプラットホーム２０８は各長手方向
側部に回転可能に支持された一対のエンドレス・ゴムベ
ルト２１０．２１０を有する。各ベルト２１０．２１０
は、その一部がウェハ（不図示）を支持する為にプラッ
トホーム２０８より上方に位置している。モータ（不図
示）がベル）２１０，２１０を一体に駆動し、これによ
りベルト上のウェハ１２をカセット・キャリヤ２１２内
に搬送する。尚、このキャリア２１２は昇降可能に昇降
機上に鉛直に載置されている。

第１１図において、ウェハ・ロード及びアンロード・装
置２６の全制御は、制御器２１６によって行われる。こ
の制御器２１６は、メモリ２１８を有し、このメモリ２
１８はプロセッサ２２０が実行する制御プログラムを記
憶している。入出力インターフェース２２２はプロセッ
サ２２０をオペレータ操作表示パネル２２４に接続し、
これにより、ロード・アンロード装置２６の状態の表示
に加えて、オペレータ・コマンド（指令）を手動が好ま
しい。入出力インターフェース２２２は、またプロセッ
サ２２０をリミットスイッチ４５．７６ａ　、７６ｂ、
１０１と検出器１２３　ａ　、１２３ｂ、４　υ １６０ａ、１６０ｂと回転センサ５４とに接続している
ので、プロセッサ２２０は、これらの各回路からの入力
信号を受ける。

プロセッサ２２０は、入出力　インターフェース２２２
からの入力信号を受けると、メモリ２１８内のプログラ
ムに従って制御信号を発生する。これらの制御信号は、
プロセッサ２２０から入出カイ　ン・ターフエース２２
２を介してカセット昇降機１３０．２０４．２０６とモ
ータ５２と８８とに送られそれらの作動を制御する。プ
ロセッサ２２０は更に別の制御信号を発生し、これらの
信号は入出力　インターフェース２２２を介して弁１２
３と、各弁２２６．２２７．２２８．２３０．２３１．
２３２．２３４．２３６．２３８に送られる。これに応
じて、これらの弁は、加圧流体供給源（不図示）からシ
リンダ１４２．１４３．１４６．１５４．１５６．９０
．７５．１００及び４２．４２への加圧流体の流れを制
御する。

第１２図は、メモリ２１８（第１１図参照）に記憶され
たプログラムのフローチャートを示したもので、プロセ
ッサ２２０はこのプログラムを実行して第１図のサスセ
プタ１６上のウェハ１２〜１２のローディング及びアン
ローディングを制御する。

算　ヒステ・プ（ステップ２４０） オペレータがオペレータ操作表示端末器２２４によって
コマンドを入力すると、メモリ２１８内のプログラムの
実行が開始され、まずステップ２４０が実行されてロー
ド・アンロード装置２６が初期化されている。装置２６
の作動開始時には、プラットホーム４０が下降されてお
り、かつアーム部６８が鉛直位置（即ちアーム部６６に
垂直な位置）で掴み体９４が引込んでいなければならな
い。また往復動ロボット１３２のアーム１４５は基体１
３６から上昇され、かつカセット昇降機１２６から離間
されていなければならず、往復動板１３４の位置が基体
６４から離れていなければならない。

このステップ２４０の間に、各リミットスイッチ４５．
７６ａ、７６ｂ、１０１の状態がチェノりされて、第２
図のプラットホーム４０とロボットアーム６０の位置が
調べられる。往復動ロボット１３２と往復動板１３４の
位置を検出する別のリミットスイッチ（不図示）もチェ
ックされる。

もし、初期条件が所望の状態になっていない場合には、
装ｆｆ１２６が作動され所望の初期条件を達成する。ま
たこのステップ２４０の間に、プロセッサ２２０内のレ
ジスタはすべて記憶していた過去の不要データをクリア
する。

テーブル４６上でのサスセプ　１６の　　（ステップ２
４２） ステップ２４０の後に、サスセプタ１６は弁２３８　（
第１１図）を作動してシリンダ４２．４２を加圧するこ
とによって、テーブル４６に係合される（ステップ２４
２）。これを詳述すると、シリンダ４２．４２の加圧に
よりプラントホーム４０が上昇し、これによりテーブル
４６（第２図）がサスセプタ１６の基体に接触する。ガ
イド５６．５６と５８．５８がテーブル４６上のサスセ
プタ１６の側面１８〜１８の底を捕捉するので、サスセ
プタ１６はロボット６０に対して正確に位置決めされる
。このようにサスセプタ１６をロボット６０に対して正
確に位置決めすることは、ロボットを用いてサスセプタ
上のウェハ１２〜１２をローディングしたりアンローデ
ィングする場合に必須のステップである。

サスセブ　１６の即　　しくステップ２４４）サスセプ
タ１６がテーブル４６上に捕捉されると、このテーブル
４６の割り出しが行われる（ステップ２４４）。こうし
てサスセプタ側面１８〜１８のうちの一側面が選択され
ると、この選択された側面は、基準位置にもたらされた
ロボットアーム６２の掴み体９４と位置的に一致するこ
とになる。プロセッサ２２０は、回転センサ５４からの
信号に従ってモータ５２に通電することによってテーブ
ル４６の割出を行う。

几　゛　ウェハのアンローディング（ステップ２４６）
次に、ロボット６０がプロセッサ２２０によって作動さ
れ、サスセプタ１６の割出側面１８上の処理済ウェハ１
２．１２をアンロードしてアン口−ド・ステーション２
０３（第１０図）に搬送する（ステップ２４６）。これ
を詳述すると、まず、プロセッサ２２０は、一対のウェ
ハ１２．１２がサスセプタ１６の割出側面１８上に存在
するか否かを、検出器１２３ａと１２３ｂの出力信号を
検知することによってチェックする。もしウェハ１２．
１２が全く存在しない。若しくはウェハが一枚だけしか
存在しない場合には、エラー・メツセージがオペレータ
操作表示パネル２２４に表示される。その後の作動はす
べて、オペレータが適宜正しい作動をとるまで中断され
る。他方、２枚のウェハー１２．１２が選択されたサス
セプタ側面１８に存在する場合には、弁２３６がプロセ
ッサ２２０によって作動され、シリンダ１００を加圧し
棒９６（第３図参照）をアーム部６８から外方へ変位さ
せる。

この棒９６が左方へ変位されると、掴み体９４の各スパ
イダ１０４．１０４の吸引器１１２．１１２が選択サス
セプタ側面１８上の各ウェハ１２．１２の前面外周にゆ
っくりと接触する。これと同時に弁１２３が作動され、
真空ポンプ１２２が各吸引器１１２．１１２を介して真
空吸引するとウェハ１２．１２が吸引器１１２．１１２
に係合される。ウェハ１２．１２が係合されると、シリ
ンダ１００が加圧され掴み体９４を引込めてウェハ１２
．１２を選択サスセプタ側面１８がら取り出す。

この時点になると、これまで作動状態であり、シリンダ
９２を加圧しロボットアーム６２を係止していた弁２３
２が、非作動状態になるため、アーム６２が回動可能と
なる。その後、モータ８８が通電されると、アーム６２
　（第２図参照）は、ウェハ・アンロード・ステーショ
ン２０３の方へ短い円弧距離だけ反時計方向に回転され
る。アーム６２が停止すると、アーム部６８は、弁２３
４を作動しシリンダ７５を加圧することによって、鉛直
位置に旋回される。

このようにアーム部６８が旋回されてアーム部６６に対
して垂直になった後に、アーム６２が再び時計方向に回
転して、掴み体９４に保持された各ウェハ１２．１２を
、カセット昇降機２０４と２０６の一対のゴムベルト２
１０．２１０の上方位置に夫々移動させる。ウェハ１２
．１２が上述の位置に達すると、シリンダ９０が加圧さ
れアーム６２を係止する。その後直ちに弁１２３が不作
動になり、各吸引器１１２．１１２の真空吸引が断たれ
る。こうして、掴み体９４は一対のウェハ１２．１２を
夫々カセット・昇降機２０４．２０６上に載置する。

ウェハ・アンロード・ステーション２０３の（ステップ
２４８） 上述のようにウェハ１２が載置されると、これに応じて
、各カセット・昇降機２０４．２０６のモータ（不図示
）が昇降機コンベアのベルト２１０　。

２１０（第１０図参照）を駆動し、ベルト上のウェハ（
不図示）をキャリア２１２内に送り、キャリヤの一番上
のスロットに収容する。その後、各昇降機２０４．２０
６は夫々のカセット・キャリヤ２１２を上昇させて、次
のウェハ１２をキャリヤの空スロットのうちの一番上の
スロットに収容する操作に備える。上述のように、処理
済の一対のウェハを、各昇降機２０４．２０６のカセッ
ト・キャリヤ２１２に夫々収容するように構成すること
は、複数のウェハを単一のキャリヤに収容する場合より
も一般に望ましいことである。以上のようにして、上部
及び下部のサスセプタ・ポケット１４．１４内のウェハ
１２．１２は互に離隔状態即ち別々の状態に保つことが
できる。

ロード・ステーション１２４におけるウェハ１２、ユ」
（す１寡（ステップ２５０） ステップ２４８の間に、ウェハ・・ロード・ステーショ
ン１２４が作動され、新しい一対のウェハの取出用意を
する（ステップ２５０）。この一対のウェハの取出準備
は、一対のウェハの各々をカセット・キャリヤ１３０か
ら往復動板１３４に次ぎ次ぎに搬送することによって行
われる。また、ウェハ１２．１２は往復動板１３４の夫
々の凹部１５８．１５８に連続的に位置合せしなければ
ならない。初めは基体６４（第２図参照）に近い方の往
復動板の凹部１５８がカセット昇降機１２６に丁度対向
する位置にあるので、ウェハはこの凹部に載置される。

カセット・キャリヤ１３０からのウェハ１２を昇降機１
２６に対向した凹部１５８に載せる為には、まず弁２２
８が作動される。この結果、流体シリンダ１４６が加圧
されアーム１４５を横方向内側、即ちブロック１４１の
方へ変位させて、へら体１４８をカセット・キャリヤ１
３０内の一番下のウェハ１２の下に入れる。次いで、シ
リンダ１４３が加圧されブロック１４１をブロック１４
０かられずかの量だけ上昇させ、これによりへら体１４
８がウェハ１２をキャリヤ１３０のスロット１３１〜１
３１から持上げる。

次に、シリンダ１４２と１４３が加圧され、ブロック１
４０と１４１とを降下させ、これによってアーム１４５
を降下させる。こうして、アーム１４５が降下すると、
へら体１４８がカセット・キャリヤ１３０に対向した凹
部１５８の切欠１６１を通って変位してスロット１５９
内に入る。このへら体１４８がスロット１５９内に入る
と、通路１５０による真空吸着が断たれる。こうしてへ
ら体１４８がスロット１５９に入ると、へら体に吸着さ
れていたウェハ１２はカセット昇降機１２６に対向した
凹部１５８に載置される。

ウェハ１２を凹部１５８に載置した後に、シリンダ１５
４（第８図参照）が加圧され、往復動板１３４を変位さ
せて残りの空の凹部１５８をカセット昇降機１２５に位
置的に一致させる。へら体１４８に残りの空回部１５８
内の切欠１６１に位置合せされているので、このへら体
１４８と往復動板１３４との間には何ら干渉もない。従
ってへら体１４８を往復動板１３４から持上げることが
できる。

往復動板１３４が上述のようにシリンダ１５４によって
変位されている間に、凹部１５Ｂ　、１５８の一方に既
に載置されているウェハ１２は、モータ１７４によって
回転され、ウェハのアライメントが行われる。モータ１
７４の制御は、プロセッサ２２０からの信号（「スター
ト」）に応じて対応の制御回路１７８（第９図参照）に
よって行われ５す る。尚、上記信号は入出力インターフェース２２２を介
して各フリップフロップ１８８．１９２．１９８のセッ
ト入力に送られ、これらのフリップフロップをセットし
て、上記モータ１７４の制御を行う。フリップフロップ
１９８は、セットされると、論理「Ｈ」信号をオプトア
イソレータ２００の入力■に送り、このアイソレーク２
００はこれに応じてモータ１７４に通電して凹部１５８
内のウェハ１２を回転させる。

ウェハ１２が凹部１５８内で回転すると、検出器１７７
は、ウェハの平部１７６がこの検出器の上を通過する時
に、露呈される。この検出器１７７は、その露呈により
ウェハ１２から検出器１７７へ戻る反射光が無くなるの
で、出力信号が論理ｒＬ（低）」から論理ｒＨ（高）」
に変化する。

検出器１７７の出力がＬからＨに変化すると、ワン・シ
ョット・マルチ１８４がフリップフロップ１８８をリセ
ットする。

フリップフロップ１８８がこのようにリセットされても
、フリップフロップ１９２が依然としてセント状態であ
るので、フリップフロップ１９６と１９８はセット状態
のままである。フリップフロップ１９８がセット状態の
ままである限り、オプトアイソレータ２００はトリガー
状態のままであり、モータ１７４への通電が保たれウェ
ハ１２の回転が続行される。ウェハ１２が回転を続ける
と、ウェハの平部１７６による検出器１７７の露呈が終
了する。検出器１７７がウェハ１２によって被覆される
と、この検出器の出力信号がＨからＬに変化し、ワン・
ショシト・マルチ１８６の出力信号を論理ｒＨＪから論
理ｒＬＪに変化させる。

フリップフロップ１８８は、既にワン・ショット・マル
チ１８４によってリセットされているので、ワン・ショ
ット・マルチ１８６の出力信号の大きさが変化するとフ
リップフロップ１９８と１９６の両方ともリセットされ
る。フリップフロップ１９８がリセット状態になると、
オプトアイソレータ２００はモータ１７４への通電を中
止する。こうして、ウェハ１２の回転は、ウェハ平部１
７６が検出器１７７を丁度通過した時点で停止する。フ
リップフロップ１９６は、リセット状態になると、凹部
１５８内のウェハ１２が正しくアライメントされたこと
を示す論理ｒＨＪの信号をそのＱ出力（ＤＯＮＥ　（終
了）信号として示されている。）に発生し、この信号は
プロセッサ２２０に供給される。凹部１５８の外周上で
の検出器１７７の角度位置を選定することによって、凹
部内のウェハ１２についてアライメント位置を調整する
ことができる。

板１３４に載置されたウェハ１２のアライメントが終了
すると、昇降機１２６上のカセット・キャリヤ１３０は
降下される。すると往復動ロボット１３２が上述と全く
同じように作動され、キャリヤ１３０内の次のウェハ１
２を往復動板の空の凹部１５８に搬送する。その後、今
、載置されたウェハ１２について上述と同一の方法でア
ライメントが行われる。こうして一対のウェハ１２．１
２について連続的に凹部１５Ｂ、１５Ｂへのローディン
グが行われ、かつアライメントが終了すると、第８図の
シリンダ１５６が加圧され、往復動板１３４を第２図の
ロボッ１−６０の基体６４に近い方のスロット５２の端
部まで移動する。

ロボット６０によるサスセプタ１４へのローディング（
ステップ２５２） 往復動板１３４が基体６４の方へ移動されると、ロボッ
ト６０は、往復動板のウェハ１２．１２をサスセプタ１
６に搭載、即ちローディングすることになる（ステップ
２５２）。往復動板１３４に載置されたウェハ１２．１
２をサスセプタ１６１に搭載する為には、まずロボット
アーム６２の係止を解く。この後、モータ８８が通電さ
れ、アーム６２を時計方向に回転してアンロード・ステ
ーション２０３からロード・ステーション１２４に移動
して、掴み体９４を、往復動板１３４の凹部１５８．１
５８内のウェハ１２．１２にアライメントする。

アーム６２の回転に引き続いて、シリンダ９゜が加圧さ
れてアーム６２を係止する。次にプロセッサ２２０が往
復動板１３４上の凹部１５８．１５８内の検出器１５Ｑ
ａ、１６０ａの状態をチヱックして、両凹部のいずれか
が空であるか否かを調べる。もし、凹部１５８．１５８
のいずれかにウェハ１２が存在しない場合には、掴み体
９４をこれ以上作動させずにオペレータ操作表示パネル
２２４にエラー・メツセージを表示する。こうして、掴
み体９４の吸引器１１２．１１２が往復動板１３４に直
接接解することによる汚染が回避される。

他方、各凹部１５８．１５８にウェハ１２．１２が入っ
ていた場合には、シリンダ１００が加圧され掴み体９４
を往復動板の方へ近ずける。これにより、スパイダ１０
４．１０４の吸引器１１２．１１２が凹部１５８．１５
８内のウェハ１２．１２に接触する。これと同時に弁１
２３が作動され、各吸引器１１２．１１２を介して真空
吸着が行われ、ウェハ１２．１２の前面外周部を吸引器
に係合させる。

ウェハ１２．１２が吸引器１１２．１１２によって係合
された後、シリンダ１００を加圧して、掴み体９４を引
込め、それからアーム６７の係止を解く。次いでモータ
８８が通電されると、これによりアーム６２は、時計方
向に回転して、サスセプタ１６に対向した基準位置から
少し離れた位置にもたらされる。

アーム６２の回転が停止した後に、アーム部６８がアー
ム部６６と一直線になるように旋回される。それから、
アーム６２の回転が再開され、掴み体９４に保持された
ウェハ１２．１２をサスセプタ１６の割出側面１８のポ
ケット１４．１４に対向させる。ウェハ１２．１２が選
択されたサスセプタ側面１６に対向すると、アーム６２
が係止される。

次に、シリンダ１００が加圧され、掴み体９４をアーム
部６８からサスセプタ１６の方へ変位させて、掴み体９
４に保持されたウェハ１２．１２を、割出サスセプタ側
面１８のポケット（第１図参照）内に着座させる。次い
で吸引器１１２．１１２の真空吸着が中止されウェハ１
２．１２から吸引器を離す。ウェハ１２．１２がサスセ
プタ１６上に搭載された後に、掴み体９４がアーム部６
８から引込められてロード動作が完了する。このロード
動作の完了時に、プロセッサ２２０は、「ロード・ステ
ップ」レジスタと呼ばれる内部レジスタを１だけ増加さ
せる。

ローディング　びアンローディングの６　チェツークー
（ステップ２５４） ロード動作の完了後、プロセッサ２２０は、サスセプタ
１６が完全にアンロードされ、新しいウェハ１２．１２
がサスセプタ１６に再搭載されているか否かを調べる。

この為に、プロセッサ２２０は、上記ロード・ステップ
・レジスタに記憶された値をサスセプタ１６の側面１８
．１８の数と比較する。もしロード・ステップ・レジス
タ内の記憶値が側面１８．１８の数に等しい場合には、
プロセッサ２２０は、プログラムの実行の終止（ステッ
プ２５８）前に、ローディング及びアンローディングの
終了（ステップ２５６）をオペレータ制御パネル２２４
に知らせる。この場合以外には、サスセプタ１６の各側
面１８．１８がアンロードされそこから新しいウェハ１
２．１２の再ロープィングが完了するまで、ステップ２
４４〜２５２が繰り返される。

【図面の簡単な説明】

第１図は、胴体型反応器の多側面型サスセプタ上のウェ
ハをローディング及びアンローディングする本発明によ
る装置の側面図、 第２図は第１図のローディング及びアンローティング装
置の平面図、 第３図は、第２図のローディング及びアンローディング
装置のロボットを一部断面で詳細に示した側面図、 第４図は、第３図のロボットのスパイダを示した正面図
、 第５図は、第４図のスパイダの真空吸引器を詳細に示し
た、第４図の面５−５に沿った断面図、第６図は、第１
図のローディング及びアンローディング装置のウェハ・
ロード・ステーションの一部を詳細に示した斜視図、 第７図は、第６図のウェハ・ロード・ステーションの往
復動板を詳細に示した平面図、第８図は、第７図の面８
−８に沿った断面図、第９図は、第７図及び第８図の往
復動板のウェハをアライメントするウェハ・アライメン
ト・システムの一部を構成する制御装置の電気ブロック
図、 第１Ｏ図は、第１図のローディング及びアンローディン
グ装置のウェハ・アンロード・ステーションの一部を詳
細に示した斜視図、 第１１図は、第１図のローディング及びアンローディン
グ装置を制御する主制御装置を示したブロック図、 第１２図は、第１図のローディング及びアンローディン
グ装置を制御する第１１図の制御装置によって実行され
るプログラムのフロー・チャート図である。 １−・−−−−−−−−・−・−ウェハ、　　　　　１
４　−−−−−−−−−ポケット、１６−・−サスセプ
タ、　　　１　Ｂ　　−−−−一・〜側面、４０−・−
・プラントホーム、４６−・−−−−−テーブル、５６
．５８・−・−・ガイド、　　　６０−−−−−−−−
−一ロボット、１１２−・−真空吸引器、 １２４−−−−−−・−・ウェハ・ロード・ステーショ
ン、１３０　−・・−・−ウェハ・カセット・キャリヤ
、２０３　・−・−−−−−−ウェハ・アンロード・ス
テーション。 出願人　：　アメリカン　テレフォン　アンドテレグラ
フ　カムバニー 一面の浄書（内容（こ変更なし）、 ５υ　　　　　５０

Claims (1)

1. 【特許請求の範囲】 １、ウェハをサスセプタに自動的にローディングする方
   法において、 ロード・ステーションにおいてウェハをピックアップ装
   置の少なくとも一個の吸引手段に係合するステップと、 ウェハが上記ピックアップ装置に係合した状態で上記ピ
   ックアップ装置を上記ウェハ・ロード・ステーションか
   ら移動させるステップと、上記ピックアップ装置の近傍
   に上記サスセプタを位置決めするステップと、 上記ピックアップ装置を上記サスセプタの方へ移動して
   上記ウェハを上記サスセプタ上に置くステップと、 上記ウェハが上記サスセプタに置かれた後に上記ピック
   アップ装置と上記ウェハとの係合を解くステップと、 を具備することを特徴とする方法。 ２、上記サスセプタは複数の側面を具備し、これらの側
   面の各々は複数のポケットを有し、上記位置決めステッ
   プは、上記サスセプタを割り出してその選定した側面を
   基準位置の上記ピックアップ装置に隣接させるステップ
   を含むことを特徴とする特許請求の範囲第１項に記載の
   方法。 ３、ウェハをサスセプタから自動的にアンロードする方
   法において、 少なくとも一個の吸引手段を有するピックアップ装置に
   隣接するように上記サスセプタを位置決めするステップ
   と、 上記サスセプタ上のウェハと上記吸引手段とを係合させ
   るステップと、 上記ウェハが上記ピックアップ装置に係合した状態で、
   上記ピックアップ装置を上記サスセプタからウェハ・ア
   ンロード・ステーションに移動させるステップと、 上記アンロード・ステーションにおいて、上記ウェハと
   上記ピックアップ装置との係合を解除するステップと、 を具備することを特徴とするう方法。 ４、上記サスセプタは複数の側面を有し、この各側面は
   複数のウェハ保持用ポケットを有し、上記係合及び位置
   決めステップは、上記サスセプタを割り出して、その選
   定した側面を上記ピックアップ装置に隣接させるステッ
   プを含むことを特徴とする特許請求の範囲第３項に記載
   の方法。 ５、サスセプタ上のウェハの自動アンローディング及び
   ローディング方法において、 上記サスセプタ上のウェハが、少なくとも一個の吸引手
   段を有するピックアップ装置に隣接するように上記サス
   セプタを位置決めするステップと、 上記ウェハと上記吸引手段とを係合させるステップと、 上記ピックアップ装置を上記サスセプタからウェハ・ア
   ンロード・ステーションに移動させて、このウェハ・ア
   ンロード・ステーションにおいて上記ウェハを解放し収
   容するステップと、上記ピックアップ装置を上記ウェハ
   ・アンロード・ステーションから新しいウェハを収容し
   ているウェハ・ロード・ステーションに移動させるステ
   ップと、 上記ロード・ステーションの上記ウェハを上記吸引手段
   に係合させるステップと、 上記ピックアップ装置を上記ウェハ・ロードステーショ
   ンから上記サスセプタへ移動させて、この上記サスセプ
   タにおいて上記ウェハを、上記吸引手段からの解放時に
   上記サスセプタに搭載するステップと、 とを具備することを特徴とする方法。 ６、上記サスセプタは複数のウェハを有し、上記各ステ
   ップは、上記サスセプタ上のウェハが上記アンロード・
   ステーションに搬送され、かつ上記ウェハ・ロード・ス
   テーションからの新しいウェハと置換されるまで、繰り
   返されることを特徴とする特許請求の範囲第５項に記載
   の方法。 ７、上記サスセプタは複数の側面を有し、 上記サスセプタ位置決めステップは、上記サスセプタの
   側面が割出可能テーブルの複数の直立ガイドの間で保持
   されるように、上記テーブル上の上記サスセプタの底を
   捕捉するステップと、上記テーブルを割り出して上記サ
   スセプタの選定された側面を上記ピックアップ装置に隣
   接させるステップとを具備することを特徴とする特許請
   求の範囲第６項に記載の方法。 ８、上記ウェハ・サスセプタ係合ステップは、上記ウェ
   ハの前面外周を上記ピックアップ装置の吸引手段に接触
   させるステップと、上記吸引手段によって真空吸着する
   ステップとを含むことを特徴とする特許請求の範囲第６
   項に記載の方法。 ９、上記ウェハ・吸引手段係合ステップは、上記ウェハ
   の前面外周を上記ピックアップ装置の吸引手段に接触さ
   せるステップと、上記吸引手段によって真空吸着するス
   テップとを含むことを特徴とする特許請求の範囲第６項
   に記載の方法。 １０、上記ロード・ステーションで上記ピックアップ装
   置に係合されたウェハは、そのアライメントがピックア
   ップの前に行われることを特徴とする特許請求の範囲第
   ６項に記載の方法。 １１、多側面サスセプタ上のウェハのローディング及び
   アンローディング方法において、割出可能テーブル上の
   複数の直立ガイドの間に上記サスセプタの側面下部を捕
   捉するステップと、 上記テーブルを割り出して、そのサスセプタの選択され
   た側面を、ロボットアームの端に摺動可能に取付けられ
   た吸引器保持ピックアップ装置に隣接させるステップと
   、 上記ピックアップ装置を上記ロボットアームから外方に
   突出させて上記サスセプタの選択側面上の各ウェハを上
   記吸引器に接触させ上記吸引器で真空吸着しながら上記
   ウェハを上記吸引器に係合させるステップと、 上記ピックアップ装置を上記ロボットアームの方へ引込
   めるステップと、 上記ロボットアームを上記サスセプタから第１の方向に
   回転させて、上記ピックアップ装置をウェハ・アンロー
   ド・ステーションの方へ変位させ、このアンロード・ス
   テーションで上記吸引器の真空吸着を中止し上記ウェハ
   を離しそれを上記アンロード・ステーションに収容する
   ステップと、 上記ロボットアームを更に第１方向に回転させて、上記
   ピックアップ装置を上記ウェハ・アンロード・ステーシ
   ョンから新しいウェハを収容するウェハ・ロード・ステ
   ーションへ移動させるステップと、 上記ピックアップ装置を上記ロボットアームから外方へ
   突出させて上記ウェハ・ロード・ステーションの複数の
   ウェハの各々と上記ピックアップ装置の真空吸引状態の
   吸引器とをゆっくり接触させてウェハを係合させるステ
   ップと、上記ピックアップ装置を上記ロボットアームの
   方に引込めるステップと、 上記ロボットアームを更に上記第１方向に回転させて、
   上記ピックアップ装置を上記サスセプタの割出側面に隣
   接させるステップと、 上記ピックアップ装置を上記ロボットアームから上記サ
   スセプタの方へ突出させて、上記ピックアップ装置に保
   持されたウェハを上記サスセプタ上に搭載してから上記
   吸引器による真空吸引を中止するステップと、 上記ピックアップ装置を上記ロボットアームの方へ引込
   めるステップと、 を具備することを特徴とする方法。 １２、上記サスセプタの選択側面上の各ウェハの前面外
   周部は、上記ピックアップ装置の上記真空吸引器に穏や
   かに接触されることを特徴とする特許請求の範囲第１１
   項に記載の方法。 １３、上記ピックアップ装置に係合された、上記ロード
   ・ステーションの複数のウェハは、ピックアップ前に連
   続的に回転されてアライメントが行われることを特徴と
   する特許請求の範囲第１１項に記載の方法。 １４、サスセプタ上のウェハのローディング及びアンロ
   ーディング装置において、 基準位置を含む円弧内を回転可能に基体に軸支されたロ
   ボットアームと、 上記ロボットアームの端に摺動可能に取付けられ、ウェ
   ハ係合用吸引手段を有するピックアップ装置と、 上記ピックアップ装置を上記ロボットアームに対して突
   出させ、及び引込める手段と、 上記ロボットアームが横切る上記円弧内に位置し、新し
   いウェハを収容するウェハ・ロード・ステーションと、 上記ロボットアームが横切る上記円弧内に位置し処理済
   のウェハを収容するウェハ・アンロード・ステーション
   と、 上記ロボットアームが基準位置にあるとき、サスセプタ
   を上記ピックアップ装置に隣接するように位置決めする
   手段と、 上記ロボットアームを、（ａ）上記基準位置から上記ア
   ンロード・ステーションに移動して上記ピックアップ装
   置が上記サスセプタ上のウェハを上記アンロード・ステ
   ーションに搬送してそこに収容可能とし、（ｂ）上記ウ
   ェハ・アンロード・ステーションから上記ウェハ・ロー
   ド・ステーションに移動し、更に（ｃ）上記ウェハ・ロ
   ード・ステーションから上記サスセプタへ移動して上記
   ピックアップ装置が、ウェハを上記ロード・ステーショ
   ンから上記サスセプタに搬送可能にする手段と、 を具備することを特徴とする装置。 １５、上記サスセプタは多数の側面を有し、上記サスセ
   プタ位置決め手段は、 上記サスセプタの下方に配置され、ほぼ上記サスセプタ
   側面の間隔だけ離間した複数の直立ガイドを有する割出
   可能テーブルと、 上記割出可能テーブルを回転可能に軸支するプラットホ
   ームと、 上記プラットホームを上昇させて、上記割出可能テーブ
   ルを、上記サスセプタの底面に接触させ、上記テーブル
   の上記ガイドによって上記サスセプタの側面を捕捉する
   手段と、 を含むことを特徴とする特許請求の範囲第１４項に記載
   の装置。 １６、上記ロボットのアームは、 水平面内円弧を描くように上記基体に回転可能に軸支さ
   れた第１アーム部と、 上記第１アーム部と同軸状態になる第１位置と上記第１
   アーム部に対して垂直になる第２位置との間を旋回可能
   に上記第１アーム部の端に取付けられた第２アーム部と
   、 上記第２アームを上記第１及び第２位置の間で旋回させ
   る手段と、 を含むこと特徴とする特許請求の範囲第１４項に記載の
   装置。 １７、上記ウェハ・アンロード・ステーションは、少な
   くとも一個のカセット昇降機を含み、この昇降機は、上
   記ピックアップ装置の吸引器に接触されたウェハを受領
   し収容するカセット・キャリアを保持することを特徴と
   する特許請求の範囲第１４項に記載の装置。１８、上記
   ウェハ・ロード・ステーションは、複数の新しいウェハ
   を内蔵するカセット・キャリアを保持するカセット・昇
   降機と、 上記ピックアップ装置によってピックアップ可能なよう
   にウェハを載置する少なくとも一個の凹部を有する往復
   動板と、 ウェハを、上記カセット昇降機上の上記カセット・キャ
   リアから上記往復動板内の凹部へ搬送する手段と、 を含むことを特徴とする特許請求の範囲第１４項に記載
   の装置。 １９、上記往復動板の各凹部には、そこに載置されたウ
   ェハをアライメントする手段が設けられていることを特
   徴とする特許請求の範囲第１８項に記載の装置。 ２０、上記ウェハのアライメントを行う手段は、各凹部
   内のウェハを回転する手段と、 上記凹部内のウェハが所定のアライメント状態にある時
   点を検出する手段と、 上記検出手段に応じて上記回転手段を制御する制御手段
   と、 を含むことを特徴とする特許請求の範囲第１９項に記載
   の装置。 ２１、平部を持つ半導体ウェハを回転してその平部を所
   定のアライメント位置に位置決めする装置において、 上記ウェハを収容しかつその中心出しが可能な大きさの
   凹部を有する板と、 上記凹部内のウェハと一部が接触するように上記凹部内
   に回転可能に支持されたエラストマー・ベルトと、 上記ベルトを駆動して上記ウェハを回転駆動する手段と
   、 上記ウェハの外周部の下に位置するように上記凹部内に
   取付けられた検出器と、 上記検出器の出力信号に応じて上記駆動手段を制御する
   制御手段と、 を具備し、上記検出器の上記出力信号の振幅は上記ウェ
   ハの平部が上記検出器を横切った時に変化することを特
   徴とする装置。