JPS62177516A - 磁気ヘツドなどの微小物の形状を観測する装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 「産業上の利用分野Ｊ 本発明は、微小物、たとえばＶＴＲに用いられる磁気ヘ
ッドの形状を観測する装置に関する。

「従来の技術」 磁気ヘッドの材料ピースは、耐１ｆ耗性や周波数特性な
どの観点から脆くて傷つき易いしフエライト材が用いら
れている。特に家庭用ＶＴＲの場合には総合的な性能の
点からフェライト月を利用しているが、この性能を左右
づるのは材料ピースの材質のほか、いわゆるギレップ深
さくＧｄ）、はりつけ高さくト（ｏ）、トラック幅（Ｔ
ｗ）、コアの厚さくＣｗ）である。

したがって、磁気ヘッドの製造において、ベース本体か
ら材料ピースが突出した磁気ヘッドにあっては、材料ピ
ースの先端面に傷をつけないようにして前記ギャップ深
さくＧｄ）、はりつけ高さくＨＯ）、トラック幅（丁Ｗ
）、コアの厚さくＣＷ）を測定することは非常に重要で
ある。

ところが、現在の当業界の磁気ヘッドの観察装置は、磁
気ヘッドの材料ピースが脆くて傷つき易しいことから、
磁気ヘッドのベース本体の後端面を装置の固定板に形成
あるいは設けたストッパ一部に合わせて磁気ヘッドを該
固定板に載置し、しかる後に顕微鏡の位置をズラして焦
点を合わせるという具合であった。

したがって、従来の観測装置は、被測定物の形状や寸法
、たとえば祠＃１ピースの突出方向の貼付位置が相違す
ると、磁気ヘッドを交換する毎に顕微鏡の焦点を合わせ
なければならないので、少しでら作業能率の向上を図る
ため水平または垂直の顕微鏡を１個だけ設け、前述した
Ｇｄ、Ｈｏ、ＴＷ、ＣＷを個別的にあるいはＴｗとＣＷ
を一緒にしか測定することができないのが実情であった
。

そのため、複数の観測者を必要とし、また磁気ヘッドを
交換する毎にその材料ピースの突出方向の貼付位置が個
別的に相違するが故に顕微鏡の焦点をその都度合わせな
ければならず、非常に手数を要した。

［本発明が解決しようとする問題点」 本発明は以上のような従来の欠点に鑑み、被測定物、た
とえば磁気ヘッドのギャップ深さくＧｄ）、はりつけ高
さくＨＯ）、トラック幅（Ｔｗ）、コアの厚さくＣｗ）
を１人の観測者が視覚により一度に観測することができ
、また被測定物の形状、たとえば磁気ヘッドの材料ピー
スの突出方向の貼付位置が異なる場合でもその都度顕微
鏡のピントを合わせる必要がなく、さらに、観測者が無
造作に被測定物を移動体に載置しただ【プで該被測定物
の先端面に傷をつけることなく機械的な基準面から観測
位置あるいは部位まで移動させることかできる磁気ヘッ
ドなどの微小物の形状を観測する装置を得るにある。

［問題点を解決するための手段」 本発明の磁気ヘッドなどの微小物の形状を観測する装置
は、観測位置あるいは部位を形成するために支持台に固
定的に設けられた水平および垂直方向の顕微鏡と、これ
らの顕微鏡にそれぞれ接続し該顕微鏡の拡大実像を目で
直ちに観測することができるモニターテレビと、被測定
物を位置決めすることができ基準・ブロック位置決め機
構と、前記被測定物を機械的な基準面から前記観測位置
あるいは部位まで移動させる移動体を有する移動機構と
から成ることを特徴としている。

「本発明の実施例」 以下、図面に示す実施例により本発明の詳細な説明する
。

第１図ないし第１３図に示す一実施例において、１は磁
気ヘッドなどの微小物、本実浦例では第１３図で示すよ
うな家庭用ＶＴＲの磁気ヘッド２のいわゆるギャップ深
さくＧｄ）、はりつけ高さくＨＯ）、トラック幅（Ｔｗ
）　、コアの厚さくＣｗ）の形状を一度で観測すること
ができる観測装置で、前記磁気ヘッド２は、中央部に係
合孔２ａを有する矩形状のベース本体２ｂと、このベー
ス本体２ｂの先端面から突出する取付部２Ｃにさらに突
出するように固定的に取付けられた先端面弧状の材料ピ
ース〈ヘッドチップ）２ｄとから構成されている。３は
第１支持台４に固定的に設けられた水平方向の顕微鏡で
、この顕微鏡３には第１図で示すように被測定物である
磁気ヘッド２のはりつけ高さくＨＯ）およびコアの厚さ
くＣＷ）の拡大実像を画面に映し出すことができる第１
モニターテレビ５が接続されている。６は第２支持台７
に固定的に設けられた垂直方向の顕微鏡で、この顕微鏡
６には磁気ヘッド２のギャップ深さくＧｄ）の拡大実像
を画面に映し出ずことができる第２七二ターテレビ８が
接続されている。しかして、本発明にあっては水平方向
の顕微鏡３の軸をＸ軸、一方、垂直方向の顕微鏡６の軸
をＺ軸としたならば、Ｘ軸とＺ軸とが交差する部位を被
測定物の観測位置あるいは部位Ｏと決め、それぞれの顕
微鏡３．６の焦点をあらかじめ合わせておく。９は被測
定物２を第６図で示すように観測位置あるいは部位Ｏと
は異なる場所から該観測位置あるいは部位Ｏまで移動さ
せる移動機構で、この移動機構９は第２図で示すように
駆動源１０によって回動し外周部にオネジ１１を有する
回動軸１２と、この回動軸１２の前記オネジ１１と螺合
するメネジ１３を有し該回動輪の回動によって軸芯方向
に往復移動可能な筒状の螺合体１４と、この螺合体１４
に固定的に嵌合する矩形状の連結板１５と、この連結板
１５に下端部が複数個の固着具１６により連結されかつ
上端部が水平方向に移動する移動体１７に取付けられた
垂直連結杆１８とから構成され、前記移動体１１は観測
装置の上方に横架されたテーブル板１９上に設けられた
ガイド板２０に案内される。２１は移動体１７の下方で
かつガイド板２０よりも前方のテーブル板１９上に固定
的に設けられた固定カム部材で、この固定カム部材２１
は第１１図で示すように１つの部材で複数のガイド機能
を発揮することができるようにその上面２１ａ並びに前
側面２１ｂには他の面と連設するテーパー面がそれぞれ
形成されいてる。２２は前記移動体１１の先端部でかつ
前進方向側の隅角部に固設されたし型形状のサイドガイ
ド片で、このサイドガイド片２２の内側の移動体には、
磁気ヘッド２を機械的な基準面Ｙへと押し出すことがで
きる押し付け部材２３が装着している。しかして、この
押し付け部材２３は第１２図で示すように外筒体２３ａ
と、この外筒体２３ａ内に枢支ピンを介して揺動自在に
枢支された可動ピン２３ｂと、この可動ピン２３ｂを一
方向へ常時付勢するバネ部材２３ｃとから構成され、前
記可動ピン２３ｂの上部は外筒体２３ａの上面から多少
突出していると共に、該可動ピン２３ｂの下部には前述
した固定カム部材２１の前側面２１ｂの上部側に外周部
が圧接して回動する回動体２３ｂが図示しないベアリン
グを介装して設けられている。２４は移動体１７の上方
において後端部が該移動体に間接的に枢支されかつ先端
部で移動体１７に載置された磁気ヘッド２を固定するこ
とができる可動アームで、この可動アーム２４は該可動
アーム２４の中央部を貫通して移動体１７に立設された
支柱２５に装着されたコイルバネ２６により常時下方に
付勢されいてる。２７は移動体１７に形成した垂直孔に
貫通状態に緩く嵌合し可動アーム２４を上げ下げするブ
ツシュロッドで、このブツシュロッド２７の頭部は前記
可動アムー２４の先端部寄りの下面に当接する一方、下
部は前述した固定カム部材２１の上面２１ａの後側面側
（第１１図では多数の点を入れた箇所）に支持されなか
に摺動する。２８は移動体１７の先端部でかつ後退方向
側の下面の隅角部に突出するように固設されたストッパ
ー片で、このストッパー片２８は第５図または第６図で
示すように機械的な基準面Ｙよりも外側に多少突出して
いる。２９は機械的な基準面Ｙよりも外側の位置におい
て前述したテーブル板１９の下段部１９ａ上に配設され
た基準ブロック位置決め機構で、この基準ブロック位置
決め機構２９は、垂直軸３０に嵌合しかつ押しく＝Ｉけ
部材のバネ部材２３ｃよりもバネ力が強い図示しないバ
ネ部材で第５図示の矢印方向へ常時付勢された度合部材
３１と、この嵌合部材３１に基端部がそれぞれ取付りら
れ自由端にフランジ部を有する複数の水平ガイドバー３
２と、これらの水平ガイドバー３２に嵌挿され移％ＪＪ
体１７と技に水平移動することができかつ内側に垂直の
観測基準面３３を有する基準ブロック３４と、この基準
ブロック３４を常時嵌合部材側へ付勢づることができる
ように前記フランジ部と該基準ブロック３４との間の水
平ガイドバー３２にそれぞれ巻装された複数のバネ部材
３５と、基準ブロック３４の観測基準面３３より一体に
突出し固定カム部材２１の前側面２１ｂの下部側を摺動
りる突出ピン３６とから成り、基準ブロック３４の後側
面はスタート時から前述したストッパー片２８に当接し
ている。

上記構成にありでは、まず基準ブロック３４と移動体１
７は第５図で示すように観測装置１の観測位置あるいは
部位Ｏから離れたスタート場所にそれぞれ位置し、基準
ブロック３４は移動体のストツバ−片２８でストッパー
されていると共に嵌合部材３１のバネ部材および水平ガ
イドバー３２のバネ部材３５にそれぞれ付勢され、かつ
突出ピン３６が固定カム部材２１の前側面２１ｂの第１
垂直面４０下部に当接し、その結果、基準ブロック３４
の観測基準面３３は機械的な基準面Ｙよりも外側に位置
している。この時押し付け部材２３の回動体２３ｄの外
周部はバネ部材２３０のバネ力に抗しながら固定カム部
４４２１の前側面２１ｂの第１垂直面４０上部に当接し
、可動ピン２３ｂは第３図および第８図で示すように移
動体１７の後端部斜め右方向へ多少傾倒している。一方
、ブツシュロッド２７の下端は固定カム部材２１の上面
２１ａの後側面側の第１水平面４１に支持され、その結
果、可動アーム２４はブツシュロッド２１の頭部により
第３図で示すようにコイルバネ２６のバネ力に抗しなが
ら押し上げられている。

しかして、被測定物の一例として第１３図でポリような
磁気ヘッド２を観測する場合は、第９図で示すように磁
気ヘッド２の係合孔２ａに押し付け部材２３の可動ピン
２３ｂの上部が係合するよう任意あるいは無造作に磁気
ヘッド２を移動体１１に載置する。この場合磁気ヘッド
２は、係合孔２ａと可動ピン２３ｂとがｉ　Ｉｔｆ＜状
態に係合し、かつサイドガイド片２２内に適当に置かれ
ていれば良い。次に、駆動源１０により回動軸１２が回
転すると螺合体１４は第２図で示すように矢印方向へ移
動し始める。したがって、移動体１７も該螺合体１４と
連結板１５および垂直連結杆１８を介して一体的に連結
されている関係上、第５図で示すように機械的な基準面
Ｙに沿ってガイド板２０上を矢印方向へ水平移動し始め
る。しかるに、移動体１１が移動して行くと、基準ブロ
ック３４はストッパー片２８に押されて該移動体１１と
同速でバネ部材３５のバネ力に抗しながら同方向へ進行
すると共に、突出ピン３６は固定カム部材２１の前側面
２１１）の第１垂直面４０下部からそれに続くテーパー
面４２の下部を摺動し、次いで、該テーパー面４２と連
設する第２垂直面４３の下部へと達する。この時基準ブ
ロック３４は前記テーパー面４２により内側へと移動し
、その観測基準面３３は第６図でポリように機械的な基
準面Ｙと全く一致する。

一方押し付け部材２３の回動体２３ｄは前記突出ピン３
６と同様に固定カム部材２１の前側面２１ｂの上部側の
各面を順次回動しながら走行する。そうすると、可動ピ
ン２３ｂが第１０図で示すように角度方向、本実施例で
は約４５度斜め方向へと次第に傾倒し、その結果、磁気
ヘッド２のベース本体２ｂの一側壁がサイドガイド片２
２のサイドガイド部２２ａに押し付けられて摺接し、磁
気ヘッド２は前方へ押し出される。そして、機械的な基
準面Ｙに位置する基準ブロック３４の観測基準面３３に
磁気ヘッド２の材料ピース２ｄの先端部が軽く突き当た
り、位置決めがなされる。このように磁気ヘッド２の先
端面を基準にして位置決めがなされた後に可動アーム２
４が第４図で示づようにコイルバネ２Ｇで完全に押し下
げられ、磁気ヘッドの固定がなされる。ここで可動アー
ム２４の作動態様について述べると、固定カム部′＠２
１の第１水平面４１にブツシュ０ツドが位置する時は前
述した通り可動アーム２４は押し上げられており、移動
体１７が移動してブツシュロッド２７が第１水平而４１
と連設するテーパー面４４に位置すると該テーパー面４
４を下降するにしたがってコイルバネ２６により序々に
押し下げられる。そして、テーパー面４４と連設する下
段の第２水平面４５では完全に下がりきってしまう。

しかして、移動体１１がさらに移動し続けると、基準ブ
ロック２９は、第７図で示すように突出ピン３６が固定
カム部材２１の前側面２１ｂの下部に突出形成したにが
し用テーパー面４６を有する突出部４７の該テーパー面
４６を摺動し、その結果、磁気ヘッド２から先端面を擦
ることなく離れると共にストッパー片２８から外れ、観
測位置あるいは部位Ｏに達する手前でバネ部材３６のバ
ネ力により元の位置へと押し戻される。そして、最終的
に移動体１７は所望する位置まで移動し、磁気ヘッド２
の材料ピース２ｂの先端面が観測装置１の観測位置ある
いは部位０に位置刊けされる。

このようにして観測位置あるいは部位Ｏに位置付けされ
た磁気ヘッド２の材料ピース２ｄ先端面は、顕微鏡３．
６を介してモニターテレビ５．８に映し出される。

すなわち、第１図で示すようにモニターテレビ５には水
平方向の顕微！１１３で拡大された磁気ヘッド２のはり
つけ高ざ（ト（０）、トラック幅（Ｔｗ）、およびコア
の厚さくＣｗ）の実像が、一方、モニターテレビ８には
垂直方向の顕微ｖｔ６で拡大された磁気ヘッド２のギレ
ップ深さくＧｗ）の実像がそれぞれ明確に映し出される
。

なお、前記実施例において基準ブロック３４の観測基準
面には、磁気ヘッド２の材料ピース２ｄの先端面を傷つ
けないＪ：うに磁気テープなどの保護帯を適宜の長さに
切断して貼着しておくと良い。

また、たとえば移動機構９の移動体１７とガイド板２０
との関係は各種設計変更可能である。

「本発明の効果Ｊ 以上の説明から明らかなように本発明にあっては、次に
列挙するような効果がある。

（１）先端面が脆くて傷つき易いし磁気ヘッドなどの被
測定物であっても、先端面を基準にして観測したい箇所
、たとえば磁気ヘッドのギャップ深さくＧｄ）、はりつ
け高さくＨＯ）、トラック幅（Ｔ’　Ｗ　）およびコア
の厚さをモニターテレビを利用して一度に観測すること
かできる。

したがって、１人の観測者であっても十分に観測するこ
とができるので、省力化が図れる。

（２）観測する際観測者は任意あるいは無造作に被測定
物を移動体に載置するだＣノで良い。

すなわち、移動体に載置された被測定物は、基準ブロッ
ク位置決め機構と押し付け部材で自動的に位置決めされ
、かつ橢械的な基準面Ｙから観測位置あるいは部位Ｏま
で移動体で運搬される。

したがって、観測が簡単であると共に、たとえば各種Ｖ
ＴＲに用いられる磁気ヘッドであっても、そのまま移動
体に載置して観測することができる。

それ故に、被測定物が磁気ヘッドである場合は、材料ピ
ースの突出方向の貼付位置などが相違していても顕微鏡
の焦点を磁気ヘッドを交換する毎に合わせる必要が全く
ない。

（３）複数のガイド用テーパー面を有する固定カム部材
を使用している実施例の場合は、押し付け部材の可動ピ
ンを傾倒させたり、また基準ブロックを礪械的な基準面
まで案内したり、あるいはブツシュロッドを介して可動
アームを上下動させることができるので、観測装置を構
成する部品点数を少なくさせることができる。

（４）移動体にサイドガイド片を設け、押し付け部材に
よって磁気ヘッドを角度方向へ押し、かつ該磁気ヘッド
を前記サイドガイド片のサイドガイド部に摺接させなが
ら前方へ押し出す実施例の場合は、磁気ヘッドを正確な
姿勢で基準ブロックの観測基準面まで押し出すことがで
きる。

（５）その他基準ブロックが観測位置あるいは部位０に
達する下前で移ｆａＪ体から離れ、元の位置へバネ部材
で戻される実施例の場合は、該基準ブロックが顕微ｇｉ
　３．６の邪１復にならない。

【図面の簡単な説明】

第１図ないし第１２図は本発明の一実施例で、第１図は
顕微鏡の配設状態などを示す概略説明図、第２図は移動
機構を示す概略説明図、第３図はおよび第４図は可動ア
ームの作動態様を示ず説明図、第５図ないし第７図は基
準ブロック位置決め義構の基準ブロックの作！１；ＪＪ
態様を示ず各説明図、第８図ないし第１０図は移動Ｉａ
椛の移動体に被測定物を載置して押し付け部材で前方へ
押し出す各概略説明図、第１１図は固定カム部材の斜視
図、第１２図は押し付け部材の斜視図、第１３図は本発
明で観測することがでさる被測定物の一実施例を示す斜
視図である。 １・・・観測￥Ａ置、　　　　２・・・磁気ヘッド、３
．６・・・顕微鏡、　　５．８・・・モニターテレビ、
９・・・移動ｉ構、　　　　１２・・・回動軸、１７・
・・移動体、　　　　　１９・・・テーブル板、２０・
・・ガイド板、　　　　２１・・・固定カム部材、２２
・・・サイドガイド片、　２３・・・押し付け部材、２
３ｂ・・・可動ピン、　　　２４・・・可動アーム、２
７・・・ブツシュロッド、　２８・・・ストッパー片、
２９・・・基準ブロック位置決め機構、３４・・・基準
ブロック、　　３６・・・突出ピン。 特許出願人　　エフティ技研株式会礼 代　　理　　人　　弁理士　　三　　浦　　光　　康第
　　３　　図 第４図 第　　５　図 ｗＥ６図 入 第　　７　図 第８図 第１Ｏ図

Claims (1)

1. 【特許請求の範囲】 １）観測位置あるいは部位を形成するために支持台に固
   定的に設けられた水平および垂直方向の顕微鏡と、これ
   らの顕微鏡にそれぞれ接続し該顕微鏡の拡大実像を目で
   直ちに観測することができるモニターテレビと、被測定
   物を位置決めすることができる基準ブロック位置決め機
   構と、前記被測定物を機械的な基準面から前記観測位置
   あるいは部位まで移動させる移動体を有する移動機構と
   から成る磁気ヘッドなどの微小物の形状を観測する装置
   。 ２）移動機構の移動体には、被測定物を機械的な基準面
   まで押し出すことができる押し付け部材が設けられてい
   ることを特徴とする特許請求の範囲第１項記載の磁気ヘ
   ッドなどの微小物の形状を観測する装置。 ３）基準ブロック位置決め機構には固定カム部材の前側
   面を摺動する突出ピンを有する基準ブロックが設けられ
   ていることを特徴とする特許請求の範囲第１項記載の磁
   気ヘッドなどの微小物の形状を観測する装置。 ４）移動機構の移動体には、被測定物を固定することが
   できる可動アームが枢支されていることを特徴とする特
   許請求の範囲第１項記載の磁気ヘッドなどの微小物の形
   状を観測する装置。 ５）移動機構の移動体の下方には、少なくとも押し付け
   部材の可動ピンを傾倒状態に案内することができる固定
   カム部材が設けられていることを特徴とする特許請求の
   範囲第２項記載の磁気ヘッドなどの微小物の形状を観測
   する装置。