JPS62153091U - - Google Patents
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- Publication number
- JPS62153091U JPS62153091U JP4009986U JP4009986U JPS62153091U JP S62153091 U JPS62153091 U JP S62153091U JP 4009986 U JP4009986 U JP 4009986U JP 4009986 U JP4009986 U JP 4009986U JP S62153091 U JPS62153091 U JP S62153091U
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- sponge
- suction device
- attached
- suction
- workpiece
- Prior art date
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- Pending
Links
- 238000009423 ventilation Methods 0.000 claims description 2
- 238000001179 sorption measurement Methods 0.000 claims 2
- 239000011148 porous material Substances 0.000 claims 1
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 2
Description
第１図は本考案の一実施例を示す図、第２図は
同じく動作の説明に供する図である。 １……箱体、２……枠体、３……通気板、４…
…スポンジ、９……搬送ロボツト、１０……ワー
ク、１１……薄板状のパレツト。
同じく動作の説明に供する図である。 １……箱体、２……枠体、３……通気板、４…
…スポンジ、９……搬送ロボツト、１０……ワー
ク、１１……薄板状のパレツト。
Claims (1)
- 箱体の上部に吸引装置を設け、下側にスポンジ
の側部を包囲して取り付け、中間層に上記スポン
ジと吸引装置とを分離するための通気板を取り付
け、上記吸引装置の吸引力により上記スポンジの
気孔部に吸着作用を生じさせ、上記スポンジの下
面全体でワークを吸着するようにしたことを特徴
とする空気吸着装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP4009986U JPS62153091U (ja) | 1986-03-19 | 1986-03-19 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP4009986U JPS62153091U (ja) | 1986-03-19 | 1986-03-19 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS62153091U true JPS62153091U (ja) | 1987-09-28 |
Family
ID=30853878
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP4009986U Pending JPS62153091U (ja) | 1986-03-19 | 1986-03-19 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS62153091U (ja) |
Cited By (6)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH0360984A (ja) * | 1989-07-26 | 1991-03-15 | Matsushita Electric Works Ltd | 吸着移動装置 |
| JPH07314370A (ja) * | 1994-05-25 | 1995-12-05 | Ckd Corp | 真空チャック及び真空チャックにおける被吸着物の吸着方法 |
| JP2008251653A (ja) * | 2007-03-29 | 2008-10-16 | Sharp Corp | 低負荷搬送装置 |
| JP2009113159A (ja) * | 2007-11-07 | 2009-05-28 | Seiko Instruments Inc | チャック及び時計の製造方法 |
| JP2011181936A (ja) * | 2011-03-28 | 2011-09-15 | Renesas Electronics Corp | 半導体装置の製造方法 |
| US8877613B2 (en) | 2002-07-22 | 2014-11-04 | Renesas Electronics Corporation | Method of manufacturing a semiconductor device |
Citations (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS4316175Y1 (ja) * | 1965-07-21 | 1968-07-05 |
-
1986
- 1986-03-19 JP JP4009986U patent/JPS62153091U/ja active Pending
Patent Citations (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS4316175Y1 (ja) * | 1965-07-21 | 1968-07-05 |
Cited By (7)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
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