JPS62130331U - - Google Patents
Info
- Publication number
- JPS62130331U JPS62130331U JP1716986U JP1716986U JPS62130331U JP S62130331 U JPS62130331 U JP S62130331U JP 1716986 U JP1716986 U JP 1716986U JP 1716986 U JP1716986 U JP 1716986U JP S62130331 U JPS62130331 U JP S62130331U
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- air
- room
- air conditioner
- clean room
- hepa filter
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
Links
Landscapes
- Ventilation (AREA)
Description
第1図は本考案のクリーンルームの一部の斜視
的にみた概念図、第2図は本考案のクリーンルー
ムの縦断面図、第3図は第2図クリーンルームの
平面図、第4図は本考案のクリーンルームに使用
する空調機の縦断面図、第5図は第4図のV―V
線矢視断面図、第6図は従来のクリーンルームの
代表例を示す略断面図、第7図は従来のクリーン
ルームの他の代表例を示す略断面図である。 1……クリーンルーム空間、5……HEPAフ
イルター、12……空調機ユニツト、14……床
下空間、15……多孔床、17……天井裏空間、
18……還気取入口、19……給気吐出口、20
……熱交換コイル、21……送風機、31,41
……邪魔板、32……消音セル、33……換気取
入口、37……マフラー。
的にみた概念図、第2図は本考案のクリーンルー
ムの縦断面図、第3図は第2図クリーンルームの
平面図、第4図は本考案のクリーンルームに使用
する空調機の縦断面図、第5図は第4図のV―V
線矢視断面図、第6図は従来のクリーンルームの
代表例を示す略断面図、第7図は従来のクリーン
ルームの他の代表例を示す略断面図である。 1……クリーンルーム空間、5……HEPAフ
イルター、12……空調機ユニツト、14……床
下空間、15……多孔床、17……天井裏空間、
18……還気取入口、19……給気吐出口、20
……熱交換コイル、21……送風機、31,41
……邪魔板、32……消音セル、33……換気取
入口、37……マフラー。
Claims (1)
- 天井部に水平に張り渡したHEPAフイルター
を経て室内に清浄空気を垂直流式に吹き出すよう
にしたクリーンルームにおいて、該ルームの一方
の側壁の裏側とこの側壁に対向する他方の側壁の
裏側に、各々独立運転可能な空調機を各側壁に沿
つて多数個隣接し、各々の空調機の空気吐出口を
前記HEPAフイルターの吸込側天井裏空間に解
放し、各々の空調機の還気取入口を該ルームの下
部空間に解放したことを特徴とする垂直流式クリ
ーンルーム。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP1986017169U JPH0410504Y2 (ja) | 1986-02-08 | 1986-02-08 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP1986017169U JPH0410504Y2 (ja) | 1986-02-08 | 1986-02-08 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPS62130331U true JPS62130331U (ja) | 1987-08-18 |
JPH0410504Y2 JPH0410504Y2 (ja) | 1992-03-16 |
Family
ID=30809681
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP1986017169U Expired JPH0410504Y2 (ja) | 1986-02-08 | 1986-02-08 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JPH0410504Y2 (ja) |
Cited By (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS62100439U (ja) * | 1985-08-20 | 1987-06-26 | ||
JPH0225651A (ja) * | 1988-07-14 | 1990-01-29 | Hitachi Plant Eng & Constr Co Ltd | クリーンルーム |
Citations (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS58148525U (ja) * | 1982-03-30 | 1983-10-05 | 株式会社大林組 | 超清浄空気室構造 |
JPS59185923A (ja) * | 1983-04-07 | 1984-10-22 | Sanki Eng Co Ltd | クリーンルームの形成方法 |
-
1986
- 1986-02-08 JP JP1986017169U patent/JPH0410504Y2/ja not_active Expired
Patent Citations (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS58148525U (ja) * | 1982-03-30 | 1983-10-05 | 株式会社大林組 | 超清浄空気室構造 |
JPS59185923A (ja) * | 1983-04-07 | 1984-10-22 | Sanki Eng Co Ltd | クリーンルームの形成方法 |
Cited By (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS62100439U (ja) * | 1985-08-20 | 1987-06-26 | ||
JPH0225651A (ja) * | 1988-07-14 | 1990-01-29 | Hitachi Plant Eng & Constr Co Ltd | クリーンルーム |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JPH0410504Y2 (ja) | 1992-03-16 |