JPS62128164A - Lead frame of semiconductor device - Google Patents
Lead frame of semiconductor deviceInfo
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- JPS62128164A JPS62128164A JP26730485A JP26730485A JPS62128164A JP S62128164 A JPS62128164 A JP S62128164A JP 26730485 A JP26730485 A JP 26730485A JP 26730485 A JP26730485 A JP 26730485A JP S62128164 A JPS62128164 A JP S62128164A
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- H01L23/48—Arrangements for conducting electric current to or from the solid state body in operation, e.g. leads, terminal arrangements ; Selection of materials therefor
- H01L23/488—Arrangements for conducting electric current to or from the solid state body in operation, e.g. leads, terminal arrangements ; Selection of materials therefor consisting of soldered or bonded constructions
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- H01L23/49541—Geometry of the lead-frame
- H01L23/49548—Cross section geometry
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- H—ELECTRICITY
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Abstract
Description
【発明の詳細な説明】
〔産業上の利用分野〕
本発明は樹脂モールド型半導体装置のリードフレームに
関し、特に半導体装置の気密性や耐湿性を高めてその信
頼性を向上することのできるリードフレームに関する。[Detailed Description of the Invention] [Field of Industrial Application] The present invention relates to a lead frame for a resin-molded semiconductor device, and particularly to a lead frame that can improve the reliability of a semiconductor device by increasing its airtightness and moisture resistance. Regarding.
従来、樹脂モールド型半導体装置に用いられるリードフ
レームは、第3図のように1枚の金属板を打ち抜き形成
した多連リードフレーム11として構成しており、各単
位は略中夫に位置する素子搭載部12と、この素子搭載
部12を周囲位置のフレーム部16に支持させるつりリ
ード13と、この素子搭載部12を包囲するように配置
した複数本の外部導出用リード14及びこれら外部導出
用リード14を連結して樹脂モールド時に樹脂が外方へ
流出するのを防止するタイバー15とで構成している。Conventionally, a lead frame used in a resin molded semiconductor device is constructed as a multi-lead frame 11 formed by punching a single metal plate, as shown in FIG. A mounting part 12, a hanging lead 13 for supporting the element mounting part 12 on a frame part 16 at a peripheral position, a plurality of external lead-out leads 14 arranged so as to surround the element mounting part 12, and these external lead-out leads. It is composed of a tie bar 15 that connects the leads 14 and prevents the resin from flowing outward during resin molding.
そして、前記素子搭載部12に図外の半導体素子を取着
し、かつこの素子のポンディングパッドと外部導出リー
ド14とを金属細線で接続した上で、これらを封止する
ように樹脂モールドを行っている。更に、このモールド
後にはタイバー15を切除し、露出しているリードフレ
ームに錫や半田のメッキを行った上でつりリード13や
外部導出リード14等をフレーム部16から切り離しか
つこれを所定形状に成形して半導体装置を完成している
。Then, a semiconductor element (not shown) is attached to the element mounting part 12, and the bonding pad of this element and the external lead-out lead 14 are connected with thin metal wires, and then a resin mold is applied to seal them. Is going. Furthermore, after this molding, the tie bars 15 are cut out, the exposed lead frame is plated with tin or solder, and the suspension leads 13, external leads 14, etc. are separated from the frame part 16 and shaped into a predetermined shape. The semiconductor device is completed by molding.
上述した従来の半導体装置は、素子搭載部12を支持し
ているつりリード13は第4図のように切断後もその端
面がモールド成形された樹脂パッケージ17の表面に露
呈されているため、半導体装置を実装する際の加熱工程
や動作中において半導体装置自体から発生される熱、更
につりリード13の切断時におけるストレス等が原因し
てつりリード13と樹脂パッケージ17との界面に微小
な隙間が発生され、この隙間を通して水分やイオン性不
純物、あるいは実装時におけるフラックスが半導体素子
にまで侵入し、電気的リークや半導体素子を構成するア
ルミニウムが電気化学的に腐食して断線を引き起こす等
の原因となっている。特に、従来のつりリード13は、
所要の支持強度が得られるようにその幅を比較的大きく
しているので、樹脂パッケージ17から突出される部分
のつりリード13と樹脂パッケージ17との界面面積が
大きくなっており、前記した問題が起こり易い状態にあ
る。In the conventional semiconductor device described above, the end surface of the suspension lead 13 supporting the element mounting portion 12 is exposed on the surface of the molded resin package 17 even after cutting as shown in FIG. Due to heat generated from the semiconductor device itself during the heating process during device mounting and during operation, as well as stress during cutting of the suspension lead 13, a minute gap is formed at the interface between the suspension lead 13 and the resin package 17. Moisture, ionic impurities, or flux during mounting can penetrate into the semiconductor element through these gaps, causing electrical leaks and electrochemical corrosion of the aluminum that makes up the semiconductor element, causing wire breakage. It has become. In particular, the conventional hanging lead 13 is
Since the width is made relatively large to obtain the required support strength, the interface area between the suspension lead 13 and the resin package 17 in the portion protruding from the resin package 17 is increased, and the above-mentioned problem is solved. This is likely to happen.
このため、つりリード13の幅を小さくして界面面積を
低減する試みがなされているが、これでは樹脂パッケー
ジ17の形成後におけるつりリード13による樹脂パッ
ケージの支持強度が低くなり、タイバー15の切断時や
メッキ時につりリード13が切断されてしまい、樹脂パ
ッケージを支持することができなくなることがある。し
たがって、リードフレーム11に対する樹脂パッケージ
17の相対位置にずれが生じ、その後における外部導出
リード14等の切断工程において切断用金型とパッケー
ジとが干渉し、樹脂パッケージ17にクラックが生じた
り金型の破損を引き起こす等の問題が発生することにな
る。For this reason, attempts have been made to reduce the interface area by reducing the width of the suspension lead 13, but this reduces the support strength of the resin package by the suspension lead 13 after the resin package 17 is formed, and the tie bar 15 is cut. The suspension leads 13 may be cut off during processing or plating, making it impossible to support the resin package. Therefore, a shift occurs in the relative position of the resin package 17 with respect to the lead frame 11, and the cutting die and the package interfere with each other in the subsequent cutting process of the external leads 14, etc., resulting in cracks in the resin package 17 and damage to the die. Problems such as damage may occur.
本発明の半導体装置のリードフレームは、つりリードと
樹脂パッケージとの界面を通しての水分等の侵入を防止
するとともに、樹脂パッケージの支持強度を向上させて
リード切断時における種々の不具合を解消し、樹脂モー
ルド型半導体装置の信頬性の向上を図るものである。The lead frame for a semiconductor device of the present invention prevents moisture from entering through the interface between the suspension lead and the resin package, improves the support strength of the resin package, eliminates various problems when cutting the leads, The objective is to improve the reliability of a molded semiconductor device.
本発明の半導体装置のリードフレームは、素子搭載部を
直接支持するつりリードの少なくともフレーム部と樹脂
パッケージ外側面との間に相当する部位の断面を小さく
形成するとともに、このつりリードに隣接する位置には
樹脂バ、ッケージに達する長さの補助つりリードをフレ
ーム部に突設した構成としている。The lead frame of the semiconductor device of the present invention has a small cross section at least in a portion corresponding to the outer surface of the resin package and at least the frame portion of the suspension lead that directly supports the element mounting portion, and a position adjacent to the suspension lead. The structure is such that an auxiliary suspension lead long enough to reach the resin bag and the package protrudes from the frame part.
次に、本発明を図面を参照して説明する。 Next, the present invention will be explained with reference to the drawings.
第1図は本発明の1実施例の平面図、第2図はそのリー
ドフレームを用いて形成した半導体装置の正面図である
。FIG. 1 is a plan view of one embodiment of the present invention, and FIG. 2 is a front view of a semiconductor device formed using the lead frame.
図示のようにリードフレーム1は1枚の金属板を打ち抜
き形成した多連リードフレームとして構成しており、各
単位は略中夫に位置する素子搭載部2と、この素子搭載
部2を周囲に配置したフレーム部6に支持させるつりリ
ード3と、この素子搭載部2を包囲するように配置した
複数本の外部導出用リード4及びこれら外部導出用リー
ド4を連結して樹脂モールド時に樹脂が外方へ流出する
のを防止するタイバー5を備えている。As shown in the figure, the lead frame 1 is configured as a multi-lead frame formed by punching out a single metal plate, and each unit includes an element mounting part 2 located approximately in the middle, and a surrounding area surrounding this element mounting part 2. A suspension lead 3 supported by the arranged frame part 6, a plurality of external lead-out leads 4 arranged so as to surround this element mounting part 2, and these external lead-out leads 4 are connected to prevent the resin from coming out during resin molding. It is equipped with a tie bar 5 to prevent it from flowing in the opposite direction.
そして、前記つりリード3はフレーム部6から素子搭載
部2に向かう所要の長さに亘る部位3aの幅を小さくし
てその断面積を低減しており、またこのつりリード3に
隣接する位置にはフレーム部6から素子搭載部2に向か
って突出形成した補助つりリード8を形成している。前
記つりリード3の幅を小さくする長さ部位3aは後工程
で形成される樹脂パッケージ7の外側部とフレーム部6
との間よりも長い範囲に設定しており、また前記補助つ
りリード8は少なくともその先端が樹脂パッケージ7内
に達するまでの長さに設定している。The suspension lead 3 has a portion 3a extending over a required length from the frame portion 6 toward the element mounting portion 2, and its width is reduced to reduce its cross-sectional area. Forms an auxiliary suspension lead 8 projecting from the frame portion 6 toward the element mounting portion 2. The length portion 3a that reduces the width of the suspension lead 3 is located between the outer side of the resin package 7 and the frame portion 6, which will be formed in a later process.
The length of the auxiliary suspension lead 8 is set so that at least the tip thereof reaches inside the resin package 7.
更に、この補助つりリード8は、その幅をなるべく大き
くなるように設定しており、かつ本実施例では保持つり
リード8の先端部8aを鉤状に曲げ、樹脂パッケージ7
内での接触面積の増大を図っている。Further, the width of the auxiliary suspension lead 8 is set to be as large as possible, and in this embodiment, the tip portion 8a of the holding suspension lead 8 is bent into a hook shape, and the resin package 7 is
We are trying to increase the contact area within.
このリードフレーム1によれば、素子搭載部2に半導体
素子を搭載しかつ所要の配線を行った後に樹脂モーノル
ドを行って素子搭載部2を含む領域を封止する樹脂パッ
ケージ7を形成し、更にタイバー5や外部導出用リード
4等の切断を行えば、第2図に示す樹脂モールド型の半
導体装置を完成できる。このとき、補助つりリード8の
先端部8aが樹脂パッケージ7内にモールドされること
は言うまでもない。According to this lead frame 1, after mounting the semiconductor element on the element mounting part 2 and performing the necessary wiring, resin molding is performed to form the resin package 7 that seals the area including the element mounting part 2, and By cutting the tie bars 5, external leads 4, etc., the resin molded semiconductor device shown in FIG. 2 can be completed. At this time, it goes without saying that the tip end 8a of the auxiliary suspension lead 8 is molded inside the resin package 7.
このように構成された半導体装置では、素子搭載部2に
繋がるつりリード3はその断面積を小さく形成している
ので、樹脂パッケージ7との界面は従来に比較して低減
されることになり、つりリード切断時のストレスを低減
できる。また、つりリード3にストレスが加えられたよ
うな場合でも水分やイオン性不純物がつりリード3と樹
脂パッケージ7との間の界面を通して樹脂パッケージ7
内、特に素子搭載部2にまで侵入することを抑制でき、
内部の半導体素子における腐食等を防止できる。In the semiconductor device configured in this manner, the cross-sectional area of the suspension lead 3 connected to the element mounting portion 2 is formed to be small, so that the interface with the resin package 7 is reduced compared to the conventional one. Reduces stress when cutting the hanging lead. Furthermore, even when stress is applied to the suspension lead 3, moisture and ionic impurities may pass through the interface between the suspension lead 3 and the resin package 7 and cause the resin package 7 to leak.
In particular, it is possible to suppress intrusion into the element mounting part 2,
Corrosion etc. in internal semiconductor elements can be prevented.
また、つりリード3の一部3aを細く形成していても、
補助つりリード8を用いて樹脂パッケージ7を支持して
いるので、リードフレームの切断工程においてつりリー
ド3が欠損された場合にも補助つりリード8で樹脂パッ
ケージ7の支持を確保でき、樹脂パッケージ7の相対移
動を防止してこれと金型との干渉を防止し、パッケージ
の破損や金型の損傷等を防止できる。Moreover, even if the part 3a of the suspension lead 3 is formed thin,
Since the resin package 7 is supported using the auxiliary suspension lead 8, even if the suspension lead 3 is damaged during the lead frame cutting process, the resin package 7 can be supported by the auxiliary suspension lead 8, and the resin package 7 It is possible to prevent the relative movement of the mold and the interference between the mold and the package, thereby preventing damage to the package and the mold.
なお、本実施例ではつりリード3の一部3aの断面積を
低減するために幅寸法を小さくした場合を示したが、こ
の部分をハーフエツチングしてその厚さを低減すること
により断面積の低減を行うようにしてもよい。また、ス
ペース的に余裕があれば補助つりリードは夫々2本以上
設けることも可能である。In this embodiment, the width dimension of the part 3a of the suspension lead 3 is reduced in order to reduce the cross-sectional area. However, by half-etching this part and reducing its thickness, the cross-sectional area can be reduced. It may also be reduced. Further, if space is available, two or more auxiliary suspension leads can be provided.
以上説明したように本発明は、素子搭載部を直接支持す
るつりリードの一部の断面を小さく形成するとともに、
このつりリードに隣接する位置において補助つりリード
をフレームに突設しているので、つりリードと樹脂パッ
ケージとの界面を通しての水分等の侵入による半導体素
子の腐食やリーク等の事故を防止することができ、また
樹脂パッケージの支持を強固なものにして切断時におけ
る金型等との干渉を防止して樹脂パッケージの損傷等を
防止することができる。As explained above, the present invention makes the cross section of a part of the suspension lead that directly supports the element mounting part small, and
Since the auxiliary suspension lead is protruded from the frame at a position adjacent to the suspension lead, it is possible to prevent accidents such as corrosion and leakage of semiconductor elements due to the intrusion of moisture etc. through the interface between the suspension lead and the resin package. In addition, it is possible to strengthen the support of the resin package and prevent interference with a mold or the like during cutting, thereby preventing damage to the resin package.
第1図は本発明のリードフレームの平面図、第2図は樹
脂モールド後の半導体装置の正面図、第3図は従来のリ
ードフレームの平面図、第4図はその樹脂モールド後の
正面図である。
1.11・・・リードフレーム、2,12・・・素子搭
載部、3,13・・・つりリード、3a・・・部位(幅
を小さくした部分)、4.14・・・外部導出リード、
5゜15・・・タイバー、6.16・・・フレーム部、
7.17・・・樹脂パッケージ、8・・・補助つりリー
ド。
第1図Fig. 1 is a plan view of the lead frame of the present invention, Fig. 2 is a front view of the semiconductor device after resin molding, Fig. 3 is a plan view of a conventional lead frame, and Fig. 4 is a front view of the semiconductor device after resin molding. It is. 1.11... Lead frame, 2, 12... Element mounting part, 3, 13... Suspension lead, 3a... Part (portion with reduced width), 4.14... External lead-out lead ,
5゜15...Tie bar, 6.16...Frame part,
7.17... Resin package, 8... Auxiliary hanging lead. Figure 1
Claims (1)
させ、かつこの素子搭載部を含む領域を樹脂パッケージ
で封止してなる半導体装置のリードフレームにおいて、
前記つりリードは少なくともフレーム部と樹脂パッケー
ジ外側部との間に相当する部位の断面を小さく形成する
とともに、このつりリードに隣接する位置にはその先端
が樹脂パッケージに達する長さの補助つりリードを前記
フレーム部に突設したことを特徴とする半導体装置のリ
ードフレーム。 2、つりリードはフレーム部と樹脂パッケージの外側部
との間の部位の幅寸法を他よりも小さくしてなる特許請
求の範囲第1項記載の半導体装置のリードフレーム。[Claims] 1. A lead frame for a semiconductor device in which an element mounting part is supported by a frame part using a suspension lead, and a region including the element mounting part is sealed with a resin package,
The suspension lead has a small cross section at least at a portion corresponding to the area between the frame portion and the outer portion of the resin package, and an auxiliary suspension lead whose tip reaches the resin package is provided at a position adjacent to the suspension lead. A lead frame for a semiconductor device, characterized in that a lead frame is provided protruding from the frame portion. 2. A lead frame for a semiconductor device according to claim 1, wherein the hanging lead has a width smaller at a portion between the frame portion and the outer portion of the resin package than at other portions.
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP26730485A JPS62128164A (en) | 1985-11-29 | 1985-11-29 | Lead frame of semiconductor device |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
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JP26730485A JPS62128164A (en) | 1985-11-29 | 1985-11-29 | Lead frame of semiconductor device |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPS62128164A true JPS62128164A (en) | 1987-06-10 |
Family
ID=17442967
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP26730485A Pending JPS62128164A (en) | 1985-11-29 | 1985-11-29 | Lead frame of semiconductor device |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JPS62128164A (en) |
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-
1985
- 1985-11-29 JP JP26730485A patent/JPS62128164A/en active Pending
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