JPS62108716A - 立方晶窒化ほう素の製造方法 - Google Patents
立方晶窒化ほう素の製造方法Info
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- JPS62108716A JPS62108716A JP60247931A JP24793185A JPS62108716A JP S62108716 A JPS62108716 A JP S62108716A JP 60247931 A JP60247931 A JP 60247931A JP 24793185 A JP24793185 A JP 24793185A JP S62108716 A JPS62108716 A JP S62108716A
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Landscapes
- Ceramic Products (AREA)
- Catalysts (AREA)
- Polishing Bodies And Polishing Tools (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
(産業上の利用分野)
本発明は立方晶窒化ほう素の製造方法に関するものであ
る。立方晶窒化ほう素は切削工具インサート、研削砥粒
等の工具材として好適な特性を有することにより注目さ
れている物質である。
る。立方晶窒化ほう素は切削工具インサート、研削砥粒
等の工具材として好適な特性を有することにより注目さ
れている物質である。
(従来の技術)
立方晶窒化ほう素はダイヤモンドに近い硬度を有し、し
かも化学的安定性の点てはダイヤモンドより優れ、例え
ば酸化雰囲気中で高温に耐えるほか、特に鉄族元素との
反応性が著しく小さい等の特性を有し、高速度鋼、ニッ
ケル、コバルトを基質とする耐熱高強度材料を切削ふよ
び研削する際にダイヤモンドよりはるかに優れた機械的
特性を示す有用な物質として需要が増大しつつある。
かも化学的安定性の点てはダイヤモンドより優れ、例え
ば酸化雰囲気中で高温に耐えるほか、特に鉄族元素との
反応性が著しく小さい等の特性を有し、高速度鋼、ニッ
ケル、コバルトを基質とする耐熱高強度材料を切削ふよ
び研削する際にダイヤモンドよりはるかに優れた機械的
特性を示す有用な物質として需要が増大しつつある。
従来の立方晶窒化ほう素の製造方法としては、(イ)
適当な触媒を加えて六方晶窒化ほう素を高温高圧下に処
理する方法(温度:約1400℃以上、圧カニ約45k
bar以上;化学工業(1982) 9月号、55〜5
8頁)。
適当な触媒を加えて六方晶窒化ほう素を高温高圧下に処
理する方法(温度:約1400℃以上、圧カニ約45k
bar以上;化学工業(1982) 9月号、55〜5
8頁)。
(ロ) 触媒を添加せずに六方晶窒化ほう素を直接高
温高圧下に処理する方法(温度: 1600℃以上、好
ましくは2000〜3000℃、圧カニ 55〜85k
bar、好ましくは65〜75kbar ;特開昭55
−167110号公報)。
温高圧下に処理する方法(温度: 1600℃以上、好
ましくは2000〜3000℃、圧カニ 55〜85k
bar、好ましくは65〜75kbar ;特開昭55
−167110号公報)。
等が知られている。
(発明が解決しようとする問題点)
しかし、これらの方法には、以下に述べるような問題点
がある。
がある。
(イ)の方法では(ロ)の方法と比較して、+、1やか
な高温高圧条件に立方晶窒化ほう素が製造できるが、得
られる立方晶窒化ほう素は通常単結晶の粒子である。か
かる単結晶粒子の立方晶窒化ほう素を難削材用研削砥粒
として用いる場合には単 。
な高温高圧条件に立方晶窒化ほう素が製造できるが、得
られる立方晶窒化ほう素は通常単結晶の粒子である。か
かる単結晶粒子の立方晶窒化ほう素を難削材用研削砥粒
として用いる場合には単 。
結晶粒子特有のへき間外のために粒の破壊が生じやすく
、砥石の耐摩耗性の向上が認められない。
、砥石の耐摩耗性の向上が認められない。
添加触媒量を調節することにより、多結晶質立方晶窒化
ほう素が生成する場合があるが、この場合には触媒成分
が不純物どして立方晶窒化ほう素中に残留して強度の低
下を招く。
ほう素が生成する場合があるが、この場合には触媒成分
が不純物どして立方晶窒化ほう素中に残留して強度の低
下を招く。
(ロ)の方法では、触媒を使用しない直接変換であるた
め、得られる立方晶窒化ほう素は多結晶質であり、へき
間外がなく、破壊靭性が単結晶に比べて著しく向上し、
砥粒として用いた場合に(イ)の方法で得られる立方晶
窒化ほう素より高い耐摩耗性を示す。しかしながら、例
えば2000〜2300℃、65〜75Kbar等の非
常に厳しい高温高圧処理条件が必要になり、高価な高温
高圧装置の損傷が生じ易く、従って(ロ)の方法は工業
的生産に不適当である。
め、得られる立方晶窒化ほう素は多結晶質であり、へき
間外がなく、破壊靭性が単結晶に比べて著しく向上し、
砥粒として用いた場合に(イ)の方法で得られる立方晶
窒化ほう素より高い耐摩耗性を示す。しかしながら、例
えば2000〜2300℃、65〜75Kbar等の非
常に厳しい高温高圧処理条件が必要になり、高価な高温
高圧装置の損傷が生じ易く、従って(ロ)の方法は工業
的生産に不適当である。
また、(イ)または(ロ)のいずれの方法においても原
料として六方晶窒化ほう素を用いている。
料として六方晶窒化ほう素を用いている。
通常市販されている六方晶窒化ほう素は酸化硼素(B2
03)を窒化することにより製造されている。このため
5.000〜10.000ppmの酸素を不純物として
、含有するのが普通である。このような出発原料中に含
まれる酸素は、六方晶窒化ほう素から立方晶窒化ほう素
への変換を著しく阻害するため、未反応六方晶窒化ほう
素が残留し、これが不均一な立方晶窒化ほう素の生成お
よび立方晶窒化ほう素の収率の低下の原因となる。こう
した現象を防止するために、原料である六方晶窒化ほう
素を、例えば窒素気流中において2000℃で2時間以
上加熱する等の脱酸素前処理工程が必要になる欠点があ
る。
03)を窒化することにより製造されている。このため
5.000〜10.000ppmの酸素を不純物として
、含有するのが普通である。このような出発原料中に含
まれる酸素は、六方晶窒化ほう素から立方晶窒化ほう素
への変換を著しく阻害するため、未反応六方晶窒化ほう
素が残留し、これが不均一な立方晶窒化ほう素の生成お
よび立方晶窒化ほう素の収率の低下の原因となる。こう
した現象を防止するために、原料である六方晶窒化ほう
素を、例えば窒素気流中において2000℃で2時間以
上加熱する等の脱酸素前処理工程が必要になる欠点があ
る。
(問題点を解決するだめの手段)
本発明者等は、従来の立方晶窒化ほう素の製造方法が有
する上述の欠点を解決することを目的に研究を重ね、特
別の前処理を必要とせずに穏やかな高温高圧条件下にお
いて、破壊靭性が高く、耐摩耗性が浸れ、かつ残留触媒
を含まない多結晶質立方晶窒化ほう素を高収率で製造す
る方法を見い出した。
する上述の欠点を解決することを目的に研究を重ね、特
別の前処理を必要とせずに穏やかな高温高圧条件下にお
いて、破壊靭性が高く、耐摩耗性が浸れ、かつ残留触媒
を含まない多結晶質立方晶窒化ほう素を高収率で製造す
る方法を見い出した。
本発明は、無機ふつ化物を触媒として熱分解窒化ほう素
に加え、これを立方晶窒化ほう素の熱力学的安定域内の
高温高圧条件下に保持することにより熱分解窒化ほう素
を多結晶質立方晶窒化ほう素に変換することを特徴とす
る立方晶窒化ほう素の製造方法である。
に加え、これを立方晶窒化ほう素の熱力学的安定域内の
高温高圧条件下に保持することにより熱分解窒化ほう素
を多結晶質立方晶窒化ほう素に変換することを特徴とす
る立方晶窒化ほう素の製造方法である。
本発明で用いる熱分解窒化ほう素は、化学気を目蒸着方
(CVD法)と呼ばれる特別な製造方法で合成される高
配向性の窒化ほう素である。CVD法による熱分解窒化
ほう素の合成は、例えば米国特許第3.152.006
号に開示されているように、三塩化ほう素のようなハロ
ゲン化ほう素とアンモニアとを気体状原料とし、温度1
450℃〜2300℃、圧力5QTorr以下の条件下
において、適当な基材表面上に窒ほう素を気相から析出
させることにより達成され、熱分解窒化ほう素は厚さ数
mm程度の板等として市販されている。
(CVD法)と呼ばれる特別な製造方法で合成される高
配向性の窒化ほう素である。CVD法による熱分解窒化
ほう素の合成は、例えば米国特許第3.152.006
号に開示されているように、三塩化ほう素のようなハロ
ゲン化ほう素とアンモニアとを気体状原料とし、温度1
450℃〜2300℃、圧力5QTorr以下の条件下
において、適当な基材表面上に窒ほう素を気相から析出
させることにより達成され、熱分解窒化ほう素は厚さ数
mm程度の板等として市販されている。
このような熱分解窒化ほう素は、その製造工程において
酸素または酸化物を全く必要とせず、極めて高純度のも
のが製造可能であり、しかも熱分解窒化ほう素自体も空
気中で極めて安定で、市販の六方晶窒化ほう素粉末に見
られる表面酸化現象が無視できるので、特別な処理およ
び取扱いを行わなくても常に酸素含有量の極めて少ない
窒化ほう素であると見なすことができる。
酸素または酸化物を全く必要とせず、極めて高純度のも
のが製造可能であり、しかも熱分解窒化ほう素自体も空
気中で極めて安定で、市販の六方晶窒化ほう素粉末に見
られる表面酸化現象が無視できるので、特別な処理およ
び取扱いを行わなくても常に酸素含有量の極めて少ない
窒化ほう素であると見なすことができる。
市販の熱分解窒化ほう素は板状成型体であるが、柔軟性
に富み容易に粉砕できる。次いで、熱分解窒化ほう素粉
末を触媒である無機ふつ化物の粉末と混合する。1m機
ふつ化物とは、Ia族、■a族、IIIa族、I’Va
族、V a 族、■a族、■a族、■族、Ib族、■b
族、mb族、およびrVb族元素のふつ化物およびこれ
らのふつ化物の複合体、もしくは(NH4)2SIF6
等である。
に富み容易に粉砕できる。次いで、熱分解窒化ほう素粉
末を触媒である無機ふつ化物の粉末と混合する。1m機
ふつ化物とは、Ia族、■a族、IIIa族、I’Va
族、V a 族、■a族、■a族、■族、Ib族、■b
族、mb族、およびrVb族元素のふつ化物およびこれ
らのふつ化物の複合体、もしくは(NH4)2SIF6
等である。
触媒の混合割合は、原料である熱分解窒化ほう素に対し
て0.1モル%以上であることが必要である。0.1モ
ル%未満では、立方晶窒化ほう素への変換が完全には行
なわれない。触媒はあまり多く添加しても効果の増大は
認められず、最大でも10モル%程度で十分である。
て0.1モル%以上であることが必要である。0.1モ
ル%未満では、立方晶窒化ほう素への変換が完全には行
なわれない。触媒はあまり多く添加しても効果の増大は
認められず、最大でも10モル%程度で十分である。
このようにして得た触媒含有熱分解窒化ほう素粉束を出
発原料として熱分解窒化ほう素から立方晶窒化ほう素へ
の変換を行うと、従来の立方晶窒化ほう素合成法には見
られない種々の利点が得られる。まず、通常の六方晶窒
化ほう素を原料とした場合と異なり、触媒の存在下にお
いても多結晶質立方晶窒化ほう素が生成する。この場合
、触媒添加量を厳密に調節しなくても、生成する立方晶
窒化ほう素は多結晶質であり、粒子破壊の原因となる触
媒の残留も殆ど認められない。この理由は明らかではな
いが、通常の六方晶窒化ほう素と熱分解窒化ほう素とで
は生成機構が異なり、これに起因する微構造の差異が、
変換後の立方晶窒化ほう素の微構造に反映されたものと
考えられる。また、出発原料が立方晶窒化ほう素変換触
媒を含んでいるので立方晶窒化ほう素への変換に必要な
高温高圧条件も立方晶窒化ほう素の熱力学的安定域にお
ける穏やかな条件、例えば1450〜1500℃、45
〜50Kbarでよい。従って、本発明方法では、従来
から知られている六方晶窒化ほう素を触媒無添加で直接
高温高圧条件下に処理する場合に必要な条件、例えば2
000〜2300℃、 65〜75Kbarよりハル力
に穏やかな条件下に多結晶質立方晶窒化ほう素が生成す
る。従って高温高圧装置の損傷が生じにくく、装置の長
寿命化が可能となり、工業的生産性を著しく改善するこ
とができる。さらに、本発明における出発原料である熱
分解窒化ほう素は、その製造工程において酸素または酸
化物が全く介在せず、熱分解窒化ほう素自体も空気中に
おける安定性および耐酸化性に優れているので、酸素含
有量が極めて低く、出発原料として通常の六方晶窒化ほ
う素を使用する場合に必要な脱酸素前処理工程を必要と
せずに立方晶窒化ほう素が高収率で得られる利点がある
。
発原料として熱分解窒化ほう素から立方晶窒化ほう素へ
の変換を行うと、従来の立方晶窒化ほう素合成法には見
られない種々の利点が得られる。まず、通常の六方晶窒
化ほう素を原料とした場合と異なり、触媒の存在下にお
いても多結晶質立方晶窒化ほう素が生成する。この場合
、触媒添加量を厳密に調節しなくても、生成する立方晶
窒化ほう素は多結晶質であり、粒子破壊の原因となる触
媒の残留も殆ど認められない。この理由は明らかではな
いが、通常の六方晶窒化ほう素と熱分解窒化ほう素とで
は生成機構が異なり、これに起因する微構造の差異が、
変換後の立方晶窒化ほう素の微構造に反映されたものと
考えられる。また、出発原料が立方晶窒化ほう素変換触
媒を含んでいるので立方晶窒化ほう素への変換に必要な
高温高圧条件も立方晶窒化ほう素の熱力学的安定域にお
ける穏やかな条件、例えば1450〜1500℃、45
〜50Kbarでよい。従って、本発明方法では、従来
から知られている六方晶窒化ほう素を触媒無添加で直接
高温高圧条件下に処理する場合に必要な条件、例えば2
000〜2300℃、 65〜75Kbarよりハル力
に穏やかな条件下に多結晶質立方晶窒化ほう素が生成す
る。従って高温高圧装置の損傷が生じにくく、装置の長
寿命化が可能となり、工業的生産性を著しく改善するこ
とができる。さらに、本発明における出発原料である熱
分解窒化ほう素は、その製造工程において酸素または酸
化物が全く介在せず、熱分解窒化ほう素自体も空気中に
おける安定性および耐酸化性に優れているので、酸素含
有量が極めて低く、出発原料として通常の六方晶窒化ほ
う素を使用する場合に必要な脱酸素前処理工程を必要と
せずに立方晶窒化ほう素が高収率で得られる利点がある
。
本発明においては、出発原料の脱酸素前処理を行う必要
がなく、立方晶窒化ほう素の熱力学的安定域内の工業生
産上有利な穏やかな高温高圧条件下において、破壊靭性
が高く、耐摩耗性が優れ、かつ残留触媒を含まない多結
晶質立方晶窒化ほう素を高収率で(尋ることができ、し
かも得られる多結晶質立方晶窒化ほう素は難研材研削用
砥粒として適切な特性を有するものである。
がなく、立方晶窒化ほう素の熱力学的安定域内の工業生
産上有利な穏やかな高温高圧条件下において、破壊靭性
が高く、耐摩耗性が優れ、かつ残留触媒を含まない多結
晶質立方晶窒化ほう素を高収率で(尋ることができ、し
かも得られる多結晶質立方晶窒化ほう素は難研材研削用
砥粒として適切な特性を有するものである。
(実施例)
以下に本発明を実施例および比較例について説明する。
実施例1
市販されている1mm厚の熱分解窒化ほう素を振動ミル
で粉砕して平均粒径的1μmの熱分解窒化ほう素粉束を
辱た。この熱分解窒化ほう素粉束の純度は99.9重量
%以上で極めて高純度であった。
で粉砕して平均粒径的1μmの熱分解窒化ほう素粉束を
辱た。この熱分解窒化ほう素粉束の純度は99.9重量
%以上で極めて高純度であった。
この粉末をふつ化す) +Jウム(NaF) 粉末と混
合し、ペレット状に成型したものを、ベルト型高温高圧
装置内において温度1450℃、圧力45Kbarの条
件下に90分間保持し、立方晶窒化ほう素を得た。得ら
れた立方晶窒化ほう素について、X線回析による生成相
の同定、化学分析による残留触媒成分の定量、電子顕微
鏡による粒径の測定および微構造の観察を行った。これ
らの結果を表1に示す。
合し、ペレット状に成型したものを、ベルト型高温高圧
装置内において温度1450℃、圧力45Kbarの条
件下に90分間保持し、立方晶窒化ほう素を得た。得ら
れた立方晶窒化ほう素について、X線回析による生成相
の同定、化学分析による残留触媒成分の定量、電子顕微
鏡による粒径の測定および微構造の観察を行った。これ
らの結果を表1に示す。
さらに、この立方晶窒化ほう素粒子に約50重1%のニ
ッケルメッキを施し、さらに80/100メツシユにふ
るい分けたものを用いてレジンボンド砥石を製造し、湿
式平面研削を行い、研削比を求めた。
ッケルメッキを施し、さらに80/100メツシユにふ
るい分けたものを用いてレジンボンド砥石を製造し、湿
式平面研削を行い、研削比を求めた。
この結果を表1に示す。また、砥石の製造条件および研
削条件を表2に示す。
削条件を表2に示す。
実施例2
実施例1と同一の熱分解窒化ほう素粉束に、ふつ化アル
ミニウム(AlF2)粉末を混合し、ペレット状に成型
したものを実施例1と同一の条件で高温高圧処理して、
立方晶窒化ほう素を得た。得られた立方晶窒化ほう素に
ついて、実施例1と同様にして、生成相の同定、粒径の
測定および微構造の観察を行った。さらに、実施例1と
同様にしてレジンポンド砥石を製造し、実施例1と同一
の条件下に研削試験を行った。これらの結果を表1に示
す。
ミニウム(AlF2)粉末を混合し、ペレット状に成型
したものを実施例1と同一の条件で高温高圧処理して、
立方晶窒化ほう素を得た。得られた立方晶窒化ほう素に
ついて、実施例1と同様にして、生成相の同定、粒径の
測定および微構造の観察を行った。さらに、実施例1と
同様にしてレジンポンド砥石を製造し、実施例1と同一
の条件下に研削試験を行った。これらの結果を表1に示
す。
比較例
市販の高純度六方晶窒化ほう素粉束で平均粒径的1μm
のものを1気圧の窒素ガス雰囲気内で1950℃の温度
に5時間曝して酸素含有量が2重量%以下の六方晶窒化
ほう素粉末を得た。この粉末にNaF粉末を混合し、ペ
レット状に成型したものを実施例と同一の装置において
同一の温度、圧力条件下に保持し、立方晶窒化ほう素を
得た。得られた立方晶窒化ほう素に関して、実施例と同
様にして生成相の同定、残留触媒成分の定l、粒径の測
定および微構造の観察を行った。さらに実施例と同一の
条件で研削試験を行った。これらの結果を表1に示す。
のものを1気圧の窒素ガス雰囲気内で1950℃の温度
に5時間曝して酸素含有量が2重量%以下の六方晶窒化
ほう素粉末を得た。この粉末にNaF粉末を混合し、ペ
レット状に成型したものを実施例と同一の装置において
同一の温度、圧力条件下に保持し、立方晶窒化ほう素を
得た。得られた立方晶窒化ほう素に関して、実施例と同
様にして生成相の同定、残留触媒成分の定l、粒径の測
定および微構造の観察を行った。さらに実施例と同一の
条件で研削試験を行った。これらの結果を表1に示す。
なお、表1において、微構造に晶癖のないことは破壊靭
性が高いことを意味し、研削比が大きいことは耐摩耗性
に優れ、研石砥粒用砥粒等の工具材への応用に適してい
ることを意味する。
性が高いことを意味し、研削比が大きいことは耐摩耗性
に優れ、研石砥粒用砥粒等の工具材への応用に適してい
ることを意味する。
(発明の効果)
本発明によれば、破壊靭性が高(、耐摩耗性の量れた多
結晶質立方晶窒化ほう素が得られ、従って生成する立方
晶窒化ほう素は研削砥石用砥粒等り工具材への応用に適
している。特に本発明では疋来の製造方法とは異なり、
出発原料として熱分解窒化ほう素を用いているので出発
原料の脱酸素前処理工程が不要であり、しかも立方晶窒
化ほう素変換触媒の添加により、従来の多結晶質立方晶
窒化ほう素の製造条件よりはるかに穏やかな高温高圧条
件下に多結晶質立方晶窒化ほう素を製造できるため、高
温高圧装置の損傷が生じにくく、装置の長寿命化が可能
となり、工業的生産性が著しく改善される利点がある。
結晶質立方晶窒化ほう素が得られ、従って生成する立方
晶窒化ほう素は研削砥石用砥粒等り工具材への応用に適
している。特に本発明では疋来の製造方法とは異なり、
出発原料として熱分解窒化ほう素を用いているので出発
原料の脱酸素前処理工程が不要であり、しかも立方晶窒
化ほう素変換触媒の添加により、従来の多結晶質立方晶
窒化ほう素の製造条件よりはるかに穏やかな高温高圧条
件下に多結晶質立方晶窒化ほう素を製造できるため、高
温高圧装置の損傷が生じにくく、装置の長寿命化が可能
となり、工業的生産性が著しく改善される利点がある。
Claims (1)
- 【特許請求の範囲】 1、無機ふっ化物を触媒として熱分解窒化ほう素に加え
、これを立方晶窒化ほう素の熱力学的安定域内の高温高
圧条件下に保持することにより熱分解窒化ほう素を多結
晶質立方晶窒化ほう素に変換することを特徴とする立方
晶窒化ほう素の製造方法。 2、上記熱分解窒化ほう素の純度が99.9重量%以上
である特許請求の範囲第1項記載の方法。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP60247931A JPS62108716A (ja) | 1985-11-07 | 1985-11-07 | 立方晶窒化ほう素の製造方法 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP60247931A JPS62108716A (ja) | 1985-11-07 | 1985-11-07 | 立方晶窒化ほう素の製造方法 |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPS62108716A true JPS62108716A (ja) | 1987-05-20 |
Family
ID=17170680
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP60247931A Pending JPS62108716A (ja) | 1985-11-07 | 1985-11-07 | 立方晶窒化ほう素の製造方法 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JPS62108716A (ja) |
Cited By (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS62289230A (ja) * | 1986-04-15 | 1987-12-16 | サントル・ナシヨナル・ド・ラ・ルシエルシエ・シヤンテイフイツク・(セ・エ−ヌ・エル・エス) | 融剤使用の立方晶窒化硼素の製造方法及びこの方法で製造した立方晶窒化硼素 |
JPH01139133A (ja) * | 1987-04-24 | 1989-05-31 | De Beers Ind Diamond Div Ltd | 破砕性ダイヤモンド粒子の製造方法 |
US6598413B2 (en) | 1999-01-25 | 2003-07-29 | Mitsubishi Denki Kabushiki Kaisha | Ceiling embedded-type air conditioner |
JP2009214213A (ja) * | 2008-03-10 | 2009-09-24 | Institute Of Physical & Chemical Research | 切削工具とこれを用いた切削方法 |
Citations (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS5433510A (en) * | 1977-07-01 | 1979-03-12 | Gen Electric | Cubic boronnnitride compressed body and method of making same |
JPS54148199A (en) * | 1978-05-12 | 1979-11-20 | Hitachi Ltd | Production of cubic boron nitride fine powder |
US4289503A (en) * | 1979-06-11 | 1981-09-15 | General Electric Company | Polycrystalline cubic boron nitride abrasive and process for preparing same in the absence of catalyst |
JPS60204607A (ja) * | 1984-03-30 | 1985-10-16 | Toshiba Tungaloy Co Ltd | 立方晶窒化ホウ素の合成法 |
-
1985
- 1985-11-07 JP JP60247931A patent/JPS62108716A/ja active Pending
Patent Citations (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
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