JPS62105607A - 内周刃ブレ−ドの取付装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 く利用分野〉　半導体の製造工程においてシリコン等の
インゴットを薄いウェーハに切断するためにスライシン
グ機が使用される。この発明はこのスライシング機の内
円周に刃を有するブレードを取り付けるための取付装置
に係るものである。

く従来技術〉　従来スライシング機においては、機械の
上でブレードの交換、張り替え作業を行なっていた。と
ころが大口径のブレードでは、その外周に多数の締付ね
じが設けられ、これを内刃の位置を検知しながら逐次締
めて行く。このとき何回にもわたって多数のねじを順に
締めるので非常に時間と熟練と手数とを要し、かつ、そ
の間機械は休止していて能率を低下していた。しかし不
正確な作業を行なうと、切り出されたウエーノ）の平面
度、上下面の平行度が低下するだけでなく、ブレードの
寿命、機械の振動にも影響する。

この発明はこのブレードの取り外し、取り付け、さらに
はブレードの張り上げの主な作業に入手を要さずにしか
も安定して行なわせようとするものである。

第３図は従来のブレードの保持回転機構を示すもので、
椀形の回転体１の上ｇ４にブレード２を置き、その上に
取付輪３を載せて、多数個のねじ５をもってブレード２
の外周を固定する（以下このねじ５を固定用ねじとする
）。ここで回転体１の上部４には円周状の浅い溝６が切
っである。また上の取付輪３には、この溝６と同径に深
い溝７を切り、この溝７の中に、その断面の下面が半円
状である押さえリング８を入れる。そしてこの押さえリ
ング８を等間隔に配置された多数個のねじ９によって押
さえ付ける（以下このねじ９を張り上げ用ねじとする）
。なお、図においてはブレードの厚さを拡大して説明的
に示しているが実際には薄いステンレス板であって、上
から押さえリング８をもって押さえ付けると、ブレード
は湾曲して刀先１１の位置は外周に向かって移動する。

そこでねじ９を順次、少しずつ締めることによって、刃
先１１を回転中心に対して真円になるように調整する。

本発明においては第４図に示すように、回松体１の上部
４を中間輪１０として回松体１から分離し、取付可能と
するが、もちろん第３図の時でも本発明装置は若干の改
良により実施可能である。

く本発明の実施例〉　本発明においては、上記の中間輪
１０．取付輪３をスライシング機から取り外して、本発
明に係る内周刃ブレードの取付装置にセットして、ブレ
ードの取り付けを行なう。

第１図、第２図において、本装置には指令により所定の
角度の回転を自動的に行なう回転テーブル１５を設け、
その上に同心に中間輪１０をセットし、その上にブレー
ド２、取付輪３を置く。８！械上には取り付けられた取
付輪３の固定用ねじ５及び張り上げ用ねじ９を指令され
ただけ締め付けるねじ締め機１６．１７を取り付ける。

そして張り上げ用ねじ締め機１７の位置と回転テーブル
１５の回転中心とを結ぶほぼこの線上のブレード２の内
刃の位置に、内刃位置検出器１８を取り付ける。この検
出器は内刃の内側から測子先端を押し付け、測子の位置
から内刃位置を検知するものでも、もしくは投光受光器
をもってブレード刃の部分を挾み、通過光量によって判
断する方法等が採用できる。

なお本発明においては、中間輪１０の中心が回転テーブ
ル１５の中心と正確に一致させる必要がある。

そこでこのために、中間輪１０の芯出治具１９を設ける
ことが望ましい。そして上記二つの締めｆｉｌｅ、１７
及び内刃位置検出器１８はブレードの径が変わればその
取付位置を変える必要があり、取付位置を可変に固定部
に取り付けられる。

以上の装置は次の順序をもって使用される。まず中間輪
１０をテーブルに芯合わせしてセットし、その上にブレ
ード２、取付輪３を置いて、ブレード２の内円刃の位置
をほぼ修正して固定用ねじ５に対して締め８１１６によ
りテーブルを順次回転して王者を一体に固定する。この
ときねじは等間隔に配置されているので、回転テーブル
１５に定角間欠運動を行なわせて、ねじ５を希望する度
合をもって締めて行く。次いでテーブルを回転して張り
上げ用ねじを検出器１８の指令により希望する度合をも
って順次締めて、最終的に検出器１８の内刃位置に係る
信号を全周において等しくなるように逐次締めて行く。

ここで全部のねじが所定の回転数だけ回転した所をもっ
て終了としても、またブレードの張力検査装置（図示せ
ず）を設けてこの張力がほぼ一定した所で終了としても
良い。

なお刃位置の検出とねじの指定、締め付けは人の判断に
よって指令しても良いし、またマイコンに予めプログラ
ムを入れて置いて、これによって行なっても良いが、締
め付けの動作、回転位置決め、検出値の測定表示はこれ
を全部自動的に行なう。

く効果〉　本発明の装置によれば、手数と時間を要する
作業を全部機械によって自動的に行なわせることができ
るので、多数個のねじ、例えば２７．５”径（内刃の径
）のプレマドにおいては外周のねじ６０本、内周のねじ
３０本であるが、これを順序に従ってわずかずつ締めて
行くことも可能で、最終的に検出値が等しくなるように
張り上げるので、正確に理想的張り上げが可能でありな
がら短時間に合理的に張り上げることができる。

【図面の簡単な説明】

第１図は本発明の正面図、第２図はその平面図、第３図
は従来のブレードの取付機構の要部を示す断面図、第４
図は本発明におけるブレード取付機構の要部断面図。 に回転体　　２：内円刃ブレード　　３：取付輪５：固
定用ねじ　　８：押さえリング ９：張り上げ用ねじ　　１０：中間輪 １５：回転テーブル　　１６二固定用ねじのねじ締め機
１７：張り上げ用ねじの締め機

Claims (1)

【特許請求の範囲】
1. 内周刃のブレードを上部の取付輪と挟持する中間輪をセ
   ットする回転テーブルと、取付輪と、ブレードの外周、
   中間輪を一体に固定するための外周側の固定用ねじのね
   じ締め機と、ブレードの張力を調整して固定する内周側
   の張り上げ用ねじの締め機と、内周側張り上げ用ねじの
   ねじ締め機と中心点とを結ぶ線上にほぼ存在してブレー
   ドの内周刃の位置を検出する検出器とを固定部に位置可
   変に取り付けてなる内円周刃ブレードの取付装置。