JPS6190400A - Mos type memory module - Google Patents
Mos type memory moduleInfo
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- JPS6190400A JPS6190400A JP59210917A JP21091784A JPS6190400A JP S6190400 A JPS6190400 A JP S6190400A JP 59210917 A JP59210917 A JP 59210917A JP 21091784 A JP21091784 A JP 21091784A JP S6190400 A JPS6190400 A JP S6190400A
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- 238000012360 testing method Methods 0.000 description 15
- 230000002950 deficient Effects 0.000 description 6
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 description 5
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 4
- 238000000034 method Methods 0.000 description 3
- 230000007547 defect Effects 0.000 description 2
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 2
- 230000007257 malfunction Effects 0.000 description 2
- 238000004458 analytical method Methods 0.000 description 1
- 238000005516 engineering process Methods 0.000 description 1
- 230000005669 field effect Effects 0.000 description 1
- 238000011990 functional testing Methods 0.000 description 1
- 238000003780 insertion Methods 0.000 description 1
- 230000037431 insertion Effects 0.000 description 1
- 238000004806 packaging method and process Methods 0.000 description 1
- 230000001681 protective effect Effects 0.000 description 1
- 239000002356 single layer Substances 0.000 description 1
- 230000000007 visual effect Effects 0.000 description 1
Landscapes
- Techniques For Improving Reliability Of Storages (AREA)
- Test And Diagnosis Of Digital Computers (AREA)
- For Increasing The Reliability Of Semiconductor Memories (AREA)
- Static Random-Access Memory (AREA)
Abstract
Description
【発明の詳細な説明】
〔発明の技術分野〕
本発明は、MOS ljl (絶縁デート型)のメモリ
集積回路チップの複数個を1個のノやツケージ内に収容
し、各チップのアドレス入力端子等を並列接続して各チ
ップを同時に動作させるMOS型メモリモジ、−ルに係
り、特に各チップの入力回路部に関する。[Detailed Description of the Invention] [Technical Field of the Invention] The present invention is directed to accommodating a plurality of MOS ljl (insulated date type) memory integrated circuit chips in a single cage, and connecting each chip to an address input terminal. The present invention relates to a MOS type memory module in which chips are connected in parallel to operate each chip simultaneously, and particularly relates to an input circuit section of each chip.
最近、メモリICの応用システムにおけるメモリICの
実装密度を向上させるなどの目的で、複数個のメ゛モリ
チッグ(それぞれたとえば64KXll?ツト構成)を
1個のノやツケージ内に収容したメモリモジュール(た
とえば64KX4ピツト構成)が開発されている。この
メモリモジュール(ハイブリッドメモリ)は、第3図に
示すように同じ構成の複数個のメモリチップ11〜1n
t−1個のパッケージ内に収容すると共に、各メモリチ
ッグハ〜1nの入力端子(ポンディングパッド)群のう
ち一部(アドレス端子、チップ制御端子)はチップ同志
で共通接続されて74ツケーノの対応する外部入力端子
(アドレス端子、リード・ライト端子)に接続されてい
る。また、各メモリチップ11〜1n毎に独立に使用さ
れる信号端子(ランダムアクセスメモリの場合にはデー
タ入力端子、データ出力端子)はそれぞれ個別にパッケ
ーゾの対応する外部端子(データ入力端子DIo−DI
、、データ出力端子Doo−DOj)に接続されてい
る。Recently, for the purpose of improving the packaging density of memory ICs in memory IC application systems, memory modules (for example, 64KX4 pit configuration) has been developed. This memory module (hybrid memory) includes a plurality of memory chips 11 to 1n having the same configuration as shown in FIG.
It is housed in t-1 packages, and some of the input terminals (ponding pads) of each memory chip (address terminals, chip control terminals) are commonly connected between chips to correspond to 74 chips. Connected to external input terminals (address terminals, read/write terminals). In addition, the signal terminals (data input terminals and data output terminals in the case of random access memory) used independently for each memory chip 11 to 1n are individually connected to the corresponding external terminals (data input terminals DIo-DI) of the package sensor.
, , data output terminals Doo-DOj).
第4図は、従来のMOS型メモリチップ401〜40
を用いたメモリモノニールに対する後述するテスト状態
を示しており、各チップは複数の入力端子41.・・・
を有し、入力端子41.・・・からの信号入力を受ける
インバータ等の入力ダート回路42を保護するために入
力保護回路43が設けられている。この入力保護回路4
3は、通常は図示の如く保護抵抗R,,R,と、Nチャ
ネルエンハンスメント型のMOS FIIET (電界
効果トランジスタ)Ql と、デート・ソース相互が接
続されたダイオード接続のNチャネルエンハンスメント
型MOSFET Q 2とからなる。FIG. 4 shows conventional MOS type memory chips 401 to 40.
This figure shows a test state described later for memory monoyl using a memory monolayer, in which each chip has a plurality of input terminals 41. ...
and an input terminal 41. An input protection circuit 43 is provided to protect an input dirt circuit 42 such as an inverter that receives signal input from . This input protection circuit 4
3 usually includes protective resistors R, , R, an N-channel enhancement type MOS FIIET (field effect transistor) Ql, and a diode-connected N-channel enhancement type MOSFET Q 2 with the date and source connected to each other as shown in the figure. It consists of
ところで、上述したようなメモリモノニールの製造工程
において、不良チップを検知して交換する必要があり、
テスト工程の1つとしてメモリチッf1.〜1nの各端
子群がそれぞれパッケージ外部端子との間でワイヤデン
ディング接続が良好に行なわれているか否(デンディン
グ開放状態)かをチェックする必要がある。この場合、
各チップで独立に使用される信号端子についてはそれぞ
れ対応する/4’ツケージ外部端子に直流電圧計、直流
電流計を接続することによって、上記端子に電流が流れ
るか否かによってボンディング接続の良否を判別可能で
ある。これに対して、第4図に示すようにチップ同志で
共通接続される入力端子41については、対応するパッ
ケージ外部端子に直流電圧計44、直流電流計45を接
続しても、仮に1個(または複数個)のチップの入力端
子4ノがデンディング不良で残りのチップの入力端子4
1のゾンデ、イング状態が良好な場合に、この良好な入
力端子41を通じて入力保護回路43に電流が流れるの
で、上記ビンディング不良のチップの存否および不良に
該当するチップの検出が困難であった。そこで、チップ
入力端子のボンディング不良モードの解析を行なうため
に顕微鏡などを用い念視覚チェックなどを含むかなシの
手数を必要とし、解析の自動化が不可能であった。また
、チップに対する機能試験を行なえば不良チップを検知
可能であるが、チップ自体の機能不良なのか上述したよ
うな端子の?ンディング接続不良なのかの判別が困難で
あった。By the way, in the manufacturing process of memory monoyl as described above, it is necessary to detect and replace defective chips.
As one of the test processes, the memory chip f1. It is necessary to check whether the wire ending connection between each of the terminal groups .about.1n and the package external terminals is well established (ending open state). in this case,
For the signal terminals used independently on each chip, by connecting a DC voltmeter and a DC ammeter to the corresponding /4' cage external terminals, the quality of the bonding connection can be determined based on whether or not current flows through the terminals. It is possible. On the other hand, regarding the input terminals 41 that are commonly connected between chips as shown in FIG. Input terminal 4 of one chip (multiple chips) is defective due to a Dending defect, and input terminal 4 of the remaining chips
When the sounding condition of No. 1 is good, current flows to the input protection circuit 43 through the good input terminal 41, so it is difficult to detect the presence or absence of the defective binding chip and to detect the defective chip. Therefore, in order to analyze the bonding failure mode of the chip input terminal, a lot of effort was required, including a visual check using a microscope, etc., and it was impossible to automate the analysis. Also, it is possible to detect a defective chip by performing a functional test on the chip, but is it a malfunction of the chip itself or the terminals mentioned above? It was difficult to determine whether the terminal connection was defective or not.
本発明、は上記の事情に鑑みてなされたもので、複数個
のMOS型メモリチップが所定の入力端子同志が共通接
続されて収容さnるノクツケーソの外部入力端子と上記
共通接続された入力端子との電気的接続が開放状態にな
っているか否かをチップ毎に簡単に検知し得るMO3型
メモリモソユールを提供するものである。The present invention has been made in view of the above-mentioned circumstances, and includes an external input terminal of a device in which a plurality of MOS memory chips are housed with predetermined input terminals commonly connected to each other and the commonly connected input terminal. The object of the present invention is to provide an MO3 type memory module that can easily detect for each chip whether or not the electrical connection with the chip is in an open state.
即ち、本発明のMO3型メモリモノー−ルは、各メモリ
チップそれぞれにおいてチップ同志で共通接続される全
ての端子とチップ毎に独立に使用される少なくとも1個
の端子との間にダイオード接続されたMOS型FET
全それぞれ挿入接続してなることを特徴とするものであ
る。That is, the MO3 type memory monole of the present invention has a MOS transistor in each memory chip, which is diode-connected between all terminals that are commonly connected between the chips and at least one terminal that is used independently for each chip. type FET
It is characterized in that all the parts are inserted and connected.
これによって、チップ端子ぜンディング良否テストに際
して1個のチップ6全チェック対象としてその独立使用
の端子を所定電位端に接続し、残りのチップそれぞれの
独立使用の端子を開放状態のままとし、チェック対象と
なる共通接続された端子に所定の直流電圧を印加するこ
とによって、前記チェック対象としたチップにおけるチ
ェック対象となる共通接続端子のボンディング良否に応
じて電流経路の有無が定まるようになるので、電気的に
簡単にビンディング良否テストが可能になる。As a result, when performing a chip terminal bonding quality test, all terminals of one chip 6 are subject to check, and their independently used terminals are connected to a predetermined potential terminal, while the independently used terminals of each of the remaining chips are left open, and By applying a predetermined DC voltage to the commonly connected terminals, the presence or absence of a current path can be determined depending on the bonding quality of the common connection terminals to be checked in the chip to be checked. This makes it easy to test the binding quality.
以下、図面を参照して本発明の一実施例を詳細に説明す
る。Hereinafter, one embodiment of the present invention will be described in detail with reference to the drawings.
第1図におりて、111〜1ノはMOS型モソー一部に
使用される複数個のMOS型メモリチップが1とえばR
AMチップ)であり、各チップの信号端子()9ツド)
12t r 12z *・・・128.°“・12m
のうち一部(アドレス入力端子、チッグ制御端子)は各
チップの対応する端子122同志、・・・端子12.同
志が共通接続されている。この共通接続された端子群は
対応する・ぐフケ−2用外部端子にワイヤボンディング
接続が行なわれており、チップ毎に独立に使用される端
子(データ入力端子121および図示していないデータ
出力端子)は個別に対応する・9ツケ一ノ用外部端子に
ワイヤボンディング接続が行なわれている。In Figure 1, 111 to 1 are MOS type memory chips used in some parts, for example R.
AM chip), and each chip's signal terminal (9)
12t r 12z *...128. °“・12m
Some of them (address input terminals, tick control terminals) are connected to the corresponding terminals 122 of each chip, . . . terminals 12 . Comrades are commonly connected. This commonly connected terminal group is connected by wire bonding to the corresponding external terminal for Gufuke-2, and the terminals used independently for each chip (data input terminal 121 and data output terminal (not shown) ) are wire bonded to the corresponding external terminals for each of the 9 pieces.
上記各チップ111〜11nそれぞれにおいては、第4
図を参照して前述したと同様に信号入力端子に対応して
入力f−)回路42が接続されると共に入力保護回路4
3が設けられている。In each of the above chips 111 to 11n, the fourth
As described above with reference to the figure, the input f-) circuit 42 is connected corresponding to the signal input terminal, and the input protection circuit 4
3 is provided.
さらに、本発明においては、上記各チップ111〜11
nそれぞれにおいて、チップ同志で共通接続される各入
力端子122.・・・12.と独立に使用されるデータ
入力端子121との間にドレイン・y−ト相互が接続さ
れたダイオード接続のNチャネルエンハンスメント型M
OSFETQa 2>E 挿入接続されている。この場
合、上記FETQsの閾値電圧vTH3は、前記入力保
護回路43におけるFETQtノ閾値電圧vTH1(タ
トえば約25V)!りも十分低い値(たとえば約15v
)に設定されており、この理由は以下のボンディング良
否テストでの動作説明で述べる。Furthermore, in the present invention, each of the above chips 111 to 11
n each, each input terminal 122 .n is connected in common between the chips. ...12. A diode-connected N-channel enhancement type M in which the drain and y-t are mutually connected between the input terminal 121 and the independently used data input terminal 121.
OSFETQa 2>E Insertion connected. In this case, the threshold voltage vTH3 of the FETQs is equal to the threshold voltage vTH1 of the FETQt in the input protection circuit 43 (approximately 25V if total)! voltage is also a sufficiently low value (for example, about 15v).
), and the reason for this will be explained in the explanation of the operation in the bonding pass/fail test below.
上記メモリモノー−ルの製造に際してノJ?ツケーノン
グ前のテスト工程で?/ディ/グ良否テストを行なう。When manufacturing the above memory monole? In the testing process before testing? /D/G pass/fail test.
このテストの一部として、各チッf111〜11nの共
通接続された入力端子(たとえば122)についてチッ
プ毎に順にチェックを行なう。即ち、チェックの対象と
なる1個のチッf111における独立使用の入力端子1
21にワイヤボンディング接続されたI?ツケーノ用外
部端子を接地し、残りのチップにおける独立使用の入力
端子121を開放状態のitにし、この状態でチェック
すべき共通接続された入力端子122にワイヤボンディ
ング接続されたノ々ッケーソ用外部端子に直流電圧計4
4および直流電流計45を接続し、この外部端子に前記
FETQ3(7)閾値電圧vTH1以上か’:) F’
ET Q t (7)閾値電圧V□1より低い所定の直
流電圧を印加する。これによって、前記チェック対象の
チップ11□におけるチェック対象の入力端子122の
?ンディング接続が良好な場合には、前記直流電流計4
5→上記入力端子122→FETQs→独立使用の入力
端子121→接地端の経路で電流が流れる(なお、この
とき入力保護回路43のFETQlは前記印加電圧が低
いので非導通状態である)が、上記?ンディング接続が
開放不良の場合には上記経路の電流は流れない。このよ
うな電気的テストにより、共通接続された入力端子それ
ぞれについてのチップ毎の?ンディング接続の良否を簡
単に検知でき、チップ不良の解析を容易に迅速に行なう
ことができ、チップ自体の機能不良か?ンディング不良
かを容易に判別できるので、製造工程の短縮化が可能に
なる。As part of this test, the commonly connected input terminals (for example, 122) of each of the chips f111 to f11n are sequentially checked for each chip. In other words, input terminal 1 for independent use in one chip f111 to be checked.
I? wire bonded to 21? The external terminal for tsukeno is grounded, the input terminal 121 for independent use in the remaining chips is set to the open state, and in this state, the external terminal for tsukeno is connected by wire bonding to the commonly connected input terminal 122 that should be checked. DC voltmeter 4
4 and a DC ammeter 45 are connected to this external terminal, and whether the threshold voltage of the FET Q3 (7) is higher than vTH1':) F'
ET Q t (7) Apply a predetermined DC voltage lower than the threshold voltage V□1. As a result, the input terminal 122 to be checked in the chip 11□ to be checked is checked. If the grounding connection is good, the DC ammeter 4
5 -> the input terminal 122 -> FETQs -> independently used input terminal 121 -> A current flows through the path of the ground terminal (note that at this time, the FET Ql of the input protection circuit 43 is in a non-conducting state because the applied voltage is low). the above? If the terminal connection is open, no current will flow through the above path. Such electrical testing allows chip-by-chip testing of each commonly connected input terminal. It is possible to easily detect whether the terminal connection is good or bad, and it is possible to easily and quickly analyze chip failures.Is it a malfunction of the chip itself? Since it is possible to easily determine whether there is a defect in the manufacturing process, it is possible to shorten the manufacturing process.
なお、上記実施例ではチップにおける共通接続用の入力
端子12 、 12 と独立使用のデー2 °°“
I
り入力端子121 との間にダイオード接続されたFE
TQ3をそれぞれ挿入したが、これに代えて第2図に示
すように各チップ111〜ノー における共通接続用の
入力端子122.・・・12iと独立使用のデータ出力
端子12mとの間にダイオード接続されたFETQaを
それぞれ挿入しても上記実施例と同様な効果が得られる
。In the above embodiment, the input terminals 12 and 12 for common connection on the chip and the input terminals 2 for independent use
FE connected with a diode between input terminal 121
TQ3 was inserted respectively, but instead of this, as shown in FIG. 2, input terminals 122 . Even if a diode-connected FETQa is inserted between the data output terminal 12i and the independently used data output terminal 12m, the same effect as in the above embodiment can be obtained.
なお、第2図中、13はデータ出力端子12mに接続さ
れた出力バッファ回路であり、44および45はそれぞ
れ前述したようなビンディング良否テスト用の直流電圧
計および直流電流計である。In FIG. 2, 13 is an output buffer circuit connected to the data output terminal 12m, and 44 and 45 are a DC voltmeter and a DC ammeter, respectively, for testing the quality of the binding as described above.
また、メモリチップがRAMチップである場合には、上
述した各実施例のいずれを採用してもよいが、ROM
(読出し専用メモリ)チップの場合には第2図の実施例
を採用すればよい。Furthermore, if the memory chip is a RAM chip, any of the above-mentioned embodiments may be adopted;
In the case of a (read-only memory) chip, the embodiment shown in FIG. 2 may be adopted.
上述したように本発明のMOS型メモリモノーールによ
れば、各メモリチップにおけるチップ同志で共通接続さ
れる端子のrfンディング接続の良否を簡単に検知でき
るので、ボンディング不良解析の能力を向上し得ると共
に製造工程の短縮化を図ることができる。As described above, according to the MOS type memory monole of the present invention, it is possible to easily detect the quality of the RF bonding connection of the terminals that are commonly connected between chips in each memory chip, so that the ability to analyze bonding failures can be improved and the manufacturing process can be improved. The process can be shortened.
第1図は本発明のMOS型メモリモノニールの一実施例
についてのビンディング良否テスト状態を示す回路図、
第2図は同じく他の実施例についてのテスト状態を示す
回路図、第3図はメモリモノー−ルの人出力信号と各メ
モリチップとの対応関係を説明するために示す図、第4
図は従来のMOSO8型メモリモジュールいてのボンデ
ィング良否テスト状態を示す回路図である。
111〜11n・・・MOS型メモリチップが12.〜
12、rl・・・端子、42・・・入力f−)回路、4
3・・・入力保護回路、Q3・・・MoS FET 。
出願人代理人 弁理士 鈴 江 武 音節1図
第2図
第3図
第4図FIG. 1 is a circuit diagram showing a binding quality test state for an embodiment of the MOS type memory monoyl of the present invention;
FIG. 2 is a circuit diagram showing the test state of another embodiment, FIG. 3 is a diagram for explaining the correspondence between the human output signal of the memory monologue and each memory chip, and FIG.
The figure is a circuit diagram showing a bonding quality test state of a conventional MOSO8 type memory module. 111 to 11n...MOS type memory chips are 12. ~
12, rl...terminal, 42...input f-) circuit, 4
3...Input protection circuit, Q3...MoS FET. Applicant's Representative Patent Attorney Takeshi Suzue Syllable 1 Figure 2 Figure 3 Figure 4
Claims (1)
に収容され、上記各チップの端子群には各チップの対応
する同志が共通接続される端子とチップ毎に独立に使用
される端子とが含まれるMOS型メモリモジュールにお
いて、各チップには前記共通接続される全ての端子と前
記独立に使用される少なくとも1個の端子との間にダイ
オード続続されたMOS型FETがそれぞれ挿入されて
なることを特徴とするMOS型メモリモジュール。A plurality of MOS type memory chips are housed in one package, and the terminal group of each chip includes terminals to which corresponding comrades of each chip are commonly connected and terminals used independently for each chip. In the MOS type memory module, each chip has a diode-connected MOS type FET inserted between all the commonly connected terminals and the at least one independently used terminal. Characteristic MOS type memory module.
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP59210917A JPS6190400A (en) | 1984-10-08 | 1984-10-08 | Mos type memory module |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP59210917A JPS6190400A (en) | 1984-10-08 | 1984-10-08 | Mos type memory module |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPS6190400A true JPS6190400A (en) | 1986-05-08 |
Family
ID=16597202
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP59210917A Pending JPS6190400A (en) | 1984-10-08 | 1984-10-08 | Mos type memory module |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JPS6190400A (en) |
-
1984
- 1984-10-08 JP JP59210917A patent/JPS6190400A/en active Pending
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