JPS6138615A - 全面層流型クリ−ンル−ムの天井吊設フイルタ−システムに於けるフイルタ−フレ−ムから清浄空気を流す装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 （産業上の利用分野〉 本発明は全面層流型クリーンルームの天井吊設フィルタ
ーシステムに於いて、フィルターフレームを構成するフ
レーム枠材と、照明器具を取付ける照明器具取付枠材の
障害物を通してクリーンルームに清浄空気を流す＠置に
関するものである。

（従来の技術） 半導体の技術の進歩に伴いその製造に必要であるクリー
ンルームの清浄度も要求がかなり厳しくなってきており
、フィルター自体の効率アップもさることながら、フィ
ルター取付後のリーク防止等かなり精密になってきてお
り、部屋全体のクリーン度アップの条件として一定面積
の中でフィルターの占める割合（フィルター有効率）が
如何に多く取れるかが問題となり、現在ではそのフィル
ター有効率は８０〜８６％を占めるようになった。

すなわち、従来の全面層流型クリーンルームの天井吊設
フィルターシステムは第５図、第６図に示すように、中
空方形型材により形成されたフレーム枠材３１と照明器
具取付枠材３２とを夫々フィルター３３より稍小さい方
形空隙部３４を設けて接合固定して形成したフィルター
フレーム３５を、クリーンルームの周壁３６にほぼ接す
るようにして天井に吊設し、照明器具取付枠材３２の下
面に照明器具３７を固設すると共に、フィルターフレー
ム３５の各方形空隙部３４上にフィルター３３が載置固
定されている。

（発明が解決しようとする問題点） しかしながら、上記従来の天井吊設フィルターシステム
には、フィルターフレーム３５を構成するフレーム枠材
３１及び照明器具取付枠材ａ２が機能上必要であり、そ
のため１００％のフィルター有効率はあり得ず、また照
度の関係、照明器具の形状等で制限があり、前記有効率
以上にアップすることができないという問題点があり、
また第６図のようにフィルターフレーム３５を構成する
フレーム枠材３１及び照明器具取付枠材３２の直下では
空気が循環しないデッドスペース３８が生ずるという問
題点があった。

（問題点を解決するための手段） 本発明は上記問題点に着目してなされたものでフィルタ
ーフレームからも清浄空気が流れるようにしてフィルタ
ー有効率を高め、デッドスペース部分を少なくして上記
問題点を解決しようとすることを目的とする。

上記目的を達成するため、本発明は中空部１ａを有する
フレーム枠材１と下面に開口部２を有する照明器具取付
枠材３とを全面層流型フィルター４を装−ｉする方形空
隙部５を設けて接合固定してフィルターフレーム６を形
成する一方、フレーム枠材１の底板７に多数の小孔８を
穿設し、更に照明器具取付枠材３の開口部２に多数の小
孔１０を穿設した取付板１１を固定して中空部３ａ＠設
け、且該中空部３ａとフレーム枠材１の中空部１ａとを
夫々連通して、該各中空部１ａ、３ａを清浄空気の流路
とすると共に、取付板１１の上下面に夫々安定器１２と
照明器具１３を固着する一方、清浄空気を送風する送風
手段２３とフィルターフレーム６とを接続したことを特
徴としている。

（作用） 上記のように構成された本発明の作用は次の通りである
。

方形空隙部５上に装置されたフィルター４より清浄空気
がクリーンルーム内に流れ、それと同時に送風手段２３
からの清浄空気がフィルターフレーム６の中空部１ａ、
３ａを経て小孔８．１０を通してクリーンルーム内に流
れ、これによってデッドスペース部分が少なくなり、フ
ィルター有効率が高められる。

（実施例） 本発明の実施の一例を図に就いて詳細に説明するに、中
空部１ａを有する方形型材により形成されたフレーム枠
材１と、下面側に開口部２を有する方形型材により形成
された照明器具取付枠材３゛とを夫々フィルター４より
稍小さい方形空隙部５を設けて接合固定してフィルター
フレーム６を形成する。そして、フィルターフレーム６
を構成するフレーム枠材１の底板７の全面に亘って多数
の小孔８を穿設し、且照明器具取付枠材３の開口部２に
対向して突設された鍔突条９に多数の小孔１０を全面に
亘り穿設した取付板１１を固定して中空部３ａを設け、
且照明器具取付枠材３の中空部３ａとフレーム枠材１の
中空部１ａとを夫々連通させて、該各中空部１ａ、３ａ
とを清浄空気の流路とすると共に、該取付板１１の上下
面に夫々安定器１２と照明器具１３とを固定する。

そして、−側面に開口部１４を有するケーシング１５内
に送風機１６を設置し、且該送風機１６と仕切板１７に
設けられた通気口１８とを連結すべくキャンパス１９を
接続固定し、更に通気口１８前方に適宜間隔を置いてフ
ィルター取付板２０を固設して、該フィルター取付板２
０にフィルター２１を取付け、且該フィルター２１の前
方のケーシング１４の他側面に送風口２２を穿設して送
風手段２３を形成し、且該送風手段２３の送風口２２と
フィルターフレーム６の一端面とをダクト２４を介して
接続して形成されていて、送風機１６よりフィルター２
１を通してフィルターフレーム６に送風された清浄空気
は、フィルターフレーム６の小孔８．１０を経てクリー
ンルーム内に送気される。

（発明の効果） 本発明は上述のようであるから、フィルターの他に従来
清浄空気送風機能を有しないフィルターフレーム部分か
ら送風手段により清浄空気をクリーンルーム内に送気す
ることができ、これにより従来フィルターフレームの下
方部分は空気が循環しないデッドスペースと考えられて
いたちのが、本発明により空気の循環可能となり、フィ
ルター有効率が高くなるのである。

【図面の簡単な説明】

図は本発明の実施の一例を示すものにして、第１図は天
井吊設フィルターシステムの平面図、第２図は第１図Ａ
−Ａ線拡大断面図、第３図は第１図Ｂ−Ｂ線拡大断面図
、第４図は送風手段の一部切欠拡大斜視図、第５図は従
来の天井吊設フィルターシステムの底面図、第６図は同
縦断面図である。 図中、１はフレーム枠材、１ａは中空部、２は開口部、
３は照明器具取付枠、３ａは中空部、４はフィルター、
５は方形空隙部、６はフィルターフレーム、７は底板、
８は、１０は小孔、１１は取付板、１２は安定器、１３
は照明器具、２３は送風手段である。 昭和５９年７月３１日 出　　願　　人　　近藤工業　　株式会社外１名 第１図 囚 第３図 第４図 第５図 第６図

Claims (1)

【特許請求の範囲】
1. 中空部を有するフレーム枠材と下面に開口部を有する照
   明器具取付枠材とを全面層流型フィルター装置用の方形
   空隙部を設けて接合固定してフィルターフレームを形成
   する一方、フレーム枠材の底板に多数の小孔を穿設し、
   更に照明器具取付枠材の開口部に多数の小孔を穿設した
   取付板を固定して中空部を設け、且該中空部とフレーム
   枠材の中空部とを夫々連通して、該各中空部を清浄空気
   の流路とすると共に、取付板の上下面に夫々安定器と照
   明器具を固着する一方、清浄空気を送風する送風手段と
   フィルターフレームとを接続したことを特徴とする全面
   層流型クリーンルームの天井吊設フィルターシステムに
   於けるフィルターフレームから清浄空気を流す装置