JPS6133442B2 - - Google Patents
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- JPS6133442B2 JPS6133442B2 JP15106380A JP15106380A JPS6133442B2 JP S6133442 B2 JPS6133442 B2 JP S6133442B2 JP 15106380 A JP15106380 A JP 15106380A JP 15106380 A JP15106380 A JP 15106380A JP S6133442 B2 JPS6133442 B2 JP S6133442B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- loop
- measured
- image sensor
- photoelectric conversion
- feeding
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired
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-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01B—MEASURING LENGTH, THICKNESS OR SIMILAR LINEAR DIMENSIONS; MEASURING ANGLES; MEASURING AREAS; MEASURING IRREGULARITIES OF SURFACES OR CONTOURS
- G01B11/00—Measuring arrangements characterised by the use of optical techniques
- G01B11/24—Measuring arrangements characterised by the use of optical techniques for measuring contours or curvatures
Landscapes
- Physics & Mathematics (AREA)
- General Physics & Mathematics (AREA)
- Length Measuring Devices By Optical Means (AREA)
- Length Measuring Devices With Unspecified Measuring Means (AREA)
Description
【発明の詳細な説明】
本発明は二次元自動輪郭測定方法及び装置、特
に投影機で拡大された被測定物の外形形状を自動
的にデータ化することの可能な二次元自動輪郭測
定方法及び装置に関するものである。
に投影機で拡大された被測定物の外形形状を自動
的にデータ化することの可能な二次元自動輪郭測
定方法及び装置に関するものである。
小型精密部品あるいはICパターンなどの観察
測定しあるいは写真撮影するためにこれらの被測
定物を拡大する投影機が用いられており、精密測
定に極めて有効である。そして投影面に拡大され
た被測定物の外形を座標値などとしてデータ化す
るために、従来方式では、載物台の送り情報を手
動操作にて読み取り、これらの情報をコンピユー
タメモリなどに記憶させることが行なわれてお
り、極めて煩雑な作業が必要とされ、特に複雑な
外形形状を有する被測定物に対しては外形のデー
タ化が極めて困難であるという問題があつた。
測定しあるいは写真撮影するためにこれらの被測
定物を拡大する投影機が用いられており、精密測
定に極めて有効である。そして投影面に拡大され
た被測定物の外形を座標値などとしてデータ化す
るために、従来方式では、載物台の送り情報を手
動操作にて読み取り、これらの情報をコンピユー
タメモリなどに記憶させることが行なわれてお
り、極めて煩雑な作業が必要とされ、特に複雑な
外形形状を有する被測定物に対しては外形のデー
タ化が極めて困難であるという問題があつた。
本発明は上記従来の課題に鑑みなされたもので
あり、その目的は、手動操作を必要とすることな
く、自動的に被測定物の外形形状に追従しながら
載物台を相対的に送り駆動し、各送りステツプご
とに被測定物の輪郭形状を正確にデータ化するこ
とのできる二次元自動輪郭測定方法及び装置を提
供することにある。
あり、その目的は、手動操作を必要とすることな
く、自動的に被測定物の外形形状に追従しながら
載物台を相対的に送り駆動し、各送りステツプご
とに被測定物の輪郭形状を正確にデータ化するこ
とのできる二次元自動輪郭測定方法及び装置を提
供することにある。
上記目的を達成するために、本発明に係る方法
は、 閉ループに配置された複数の光電変換素子を有
するループ状イメージセンサのループ内に明暗比
が所定の比率になるように被測定物の一部を投影
し、 ループを横切る被測定物の両端交差位置を検出
し、 前記両端交差位置に基づいてループ内の明暗比
を所定比率に保つような移動方向を演算し、該移
動方向に沿つて被測定物を所定量移動する送りを
繰返し、 前記送り中に、ループを横切る少くとも一方の
検出位置情報と前記送り情報とに基づき前記ルー
プと被測定物との交差位置を表す各素点を演算し
被測定物の輪郭をデータ化することを特徴とす
る。
は、 閉ループに配置された複数の光電変換素子を有
するループ状イメージセンサのループ内に明暗比
が所定の比率になるように被測定物の一部を投影
し、 ループを横切る被測定物の両端交差位置を検出
し、 前記両端交差位置に基づいてループ内の明暗比
を所定比率に保つような移動方向を演算し、該移
動方向に沿つて被測定物を所定量移動する送りを
繰返し、 前記送り中に、ループを横切る少くとも一方の
検出位置情報と前記送り情報とに基づき前記ルー
プと被測定物との交差位置を表す各素点を演算し
被測定物の輪郭をデータ化することを特徴とす
る。
また、本発明に係る装置は、
被測定物を載置し任意の方向に移動自在な載物
台を有する投影機と、 投影機の投影面に設けられ閉ループに配置され
た複数の光電変換素子を有するループ状イメージ
センサと、 被測定物がループを横切る両端交差位置を各光
電変換素子の電気的出力により検出する位置検出
回路と、 位置検出回路の出力を処理して被測定物の投影
面のループ内での明暗比が所定比率になるように
載物台を送る駆動手段と、該送り量を検出出力す
る送り検出器と、を有する送り制御装置と、 前記位置検出回路の内の一方の検出位置情報
と、前記送り検出器の出力とに基づいてループ状
イメージセンサと被測定物との交差位置を表す各
素点を測定し被測定物の輪郭をデータ化する測定
回路と、を含む。
台を有する投影機と、 投影機の投影面に設けられ閉ループに配置され
た複数の光電変換素子を有するループ状イメージ
センサと、 被測定物がループを横切る両端交差位置を各光
電変換素子の電気的出力により検出する位置検出
回路と、 位置検出回路の出力を処理して被測定物の投影
面のループ内での明暗比が所定比率になるように
載物台を送る駆動手段と、該送り量を検出出力す
る送り検出器と、を有する送り制御装置と、 前記位置検出回路の内の一方の検出位置情報
と、前記送り検出器の出力とに基づいてループ状
イメージセンサと被測定物との交差位置を表す各
素点を測定し被測定物の輪郭をデータ化する測定
回路と、を含む。
以下図面に基づいて本発明の好適な実施例を説
明する。
明する。
第１図は本発明が適用された測定装置の実施例
が示され、投影機１０は被測定物１２を載置する
載物台１４を有し、該載物台１４にはＸサーボモ
ータ１６及びＹサーボモータ１８が設けられ、両
モータ１６，１８によつて載物台１４がＸ及びＹ
方向に任意量移動送りされる。そして両サーボモ
ータ１６，１８による載物台１４の送り情報は各
サーボモータ１６，１８に設けられたＸパルスジ
エネレータ２０及びＹパルスジエネレータ２２か
らなる送り検出器によつて検出される。
が示され、投影機１０は被測定物１２を載置する
載物台１４を有し、該載物台１４にはＸサーボモ
ータ１６及びＹサーボモータ１８が設けられ、両
モータ１６，１８によつて載物台１４がＸ及びＹ
方向に任意量移動送りされる。そして両サーボモ
ータ１６，１８による載物台１４の送り情報は各
サーボモータ１６，１８に設けられたＸパルスジ
エネレータ２０及びＹパルスジエネレータ２２か
らなる送り検出器によつて検出される。
投影機１０には周知の光学装置が設けられ、被
測定物１２の輪郭外形が光学的に拡大されて投影
面に表示される。本実施例における投影面は通常
の目視による観察用の第１投影面２４と自動輪郭
測定のための第２投影面２６とを有し、被測定物
１２からの拡大投影像はハーフミラー２８を通つ
て両投影面２４，２６に輪郭形状を写し出す。
測定物１２の輪郭外形が光学的に拡大されて投影
面に表示される。本実施例における投影面は通常
の目視による観察用の第１投影面２４と自動輪郭
測定のための第２投影面２６とを有し、被測定物
１２からの拡大投影像はハーフミラー２８を通つ
て両投影面２４，２６に輪郭形状を写し出す。
第２投影面２６にはループ状イメージセンサ３
０が設けられており、このループ状イメージセン
サ３０は第２図に示されるように、閉ループ、実
施例においては円形状のループ１００に沿つて配
置された複数の光電変換素子３２を有し、各光電
変換素子３２がループ１００上に近接して配置さ
れ、各光電変換素子３２に光入射があつた時に電
気的信号を出力することができる。
０が設けられており、このループ状イメージセン
サ３０は第２図に示されるように、閉ループ、実
施例においては円形状のループ１００に沿つて配
置された複数の光電変換素子３２を有し、各光電
変換素子３２がループ１００上に近接して配置さ
れ、各光電変換素子３２に光入射があつた時に電
気的信号を出力することができる。
前記イメージセンサ３０の出力は位置検出回路
３４に供給され、被測定物１２の投影画像が前記
ループを横切つた時にその横切られた光電変換素
子３２の位置を電気的に検出することができる。
そして、位置検出回路３４の両端検出位置情報は
送り制御装置３６に供給され、該送り制御装置３
６は演算された移動方向に沿つて載物台１４を送
り制御するために前記サーボモータ１６，１８に
送り制御信号を供給する。
３４に供給され、被測定物１２の投影画像が前記
ループを横切つた時にその横切られた光電変換素
子３２の位置を電気的に検出することができる。
そして、位置検出回路３４の両端検出位置情報は
送り制御装置３６に供給され、該送り制御装置３
６は演算された移動方向に沿つて載物台１４を送
り制御するために前記サーボモータ１６，１８に
送り制御信号を供給する。
前記位置検出回路３４の一方の位置検出情報は
測定回路３８に供給され、また前述した両パルス
ジエネレータ２０，２２からの送り情報も同様に
測定回路３８へ供給され、これらの情報から測定
回路３８は被測定物１２の各素点を測定して被測
定物１２の輪郭をデータ化することができる。
測定回路３８に供給され、また前述した両パルス
ジエネレータ２０，２２からの送り情報も同様に
測定回路３８へ供給され、これらの情報から測定
回路３８は被測定物１２の各素点を測定して被測
定物１２の輪郭をデータ化することができる。
本発明の好適な実施例は以上の構成からなり、
以下に本発明の作用を説明する。
以下に本発明の作用を説明する。
本発明はかかる輪郭測定は通常の投影作業と同
様に被測定物１２を載物台１４上に固定し、両投
影面２４，２６にその投影像を作ることから開始
されるが、本発明において特徴的なことは、測定
開始時において必ずイメージセンサ３０のループ
１００内に被測定物１２の一部を投影することで
あり、すなわち投影面がループ１００を横切るよ
うにその初期位置を設定することである。このよ
うな初期位置を設定することによつて、輪郭測定
中イメージセンサ３０はそのループ１００内に常
に被測定物１２の投影面を把え、これを追従する
ことが可能となる。
様に被測定物１２を載物台１４上に固定し、両投
影面２４，２６にその投影像を作ることから開始
されるが、本発明において特徴的なことは、測定
開始時において必ずイメージセンサ３０のループ
１００内に被測定物１２の一部を投影することで
あり、すなわち投影面がループ１００を横切るよ
うにその初期位置を設定することである。このよ
うな初期位置を設定することによつて、輪郭測定
中イメージセンサ３０はそのループ１００内に常
に被測定物１２の投影面を把え、これを追従する
ことが可能となる。
本発明において、前記初期位置におけるループ
１００内での投影像の明暗比は任意の比率に設定
できるが、実施例においては、この明暗比をほぼ
１対１に設定することが好適であり、以降の追従
時に投影像がイメージセンサ３０から外れること
を確実に防止することが可能となる。
１００内での投影像の明暗比は任意の比率に設定
できるが、実施例においては、この明暗比をほぼ
１対１に設定することが好適であり、以降の追従
時に投影像がイメージセンサ３０から外れること
を確実に防止することが可能となる。
以上のようにして測定初期位置が定められる
と、次にループ１００を横切る被測定物１２の両
端位置が検出される。すなわち、第３図に示され
るように、初期位置ではループ１００を投影像が
ほぼ半分割した状態となつており、この時にその
両端位置A1，A2が位置検出回路３４によつて検
出される。すなわち、ループ１００上の光電変換
素子３２は両端A1，A2を境として暗部からは電
気的な出力がなく、また明部からは所定の電気的
出力が得られ、これらの電気的出力を処理するこ
とによつて明暗境界部にある光電変換素子３２か
ら前記両端の位置情報を検出することが可能とな
る。
と、次にループ１００を横切る被測定物１２の両
端位置が検出される。すなわち、第３図に示され
るように、初期位置ではループ１００を投影像が
ほぼ半分割した状態となつており、この時にその
両端位置A1，A2が位置検出回路３４によつて検
出される。すなわち、ループ１００上の光電変換
素子３２は両端A1，A2を境として暗部からは電
気的な出力がなく、また明部からは所定の電気的
出力が得られ、これらの電気的出力を処理するこ
とによつて明暗境界部にある光電変換素子３２か
ら前記両端の位置情報を検出することが可能とな
る。
次に、前記両端位置A1，A2に基づいてループ
１００内の明暗比を所定比率に保つような移動方
向が送り制御装置３６によつて演算され、該移動
方向に沿つて被測定物１２すなわち載物台１４を
所定量移量するための送り制御が行なわれる。送
り制御装置３６には前記位置検出回路３４からの
両端位置情報A1，A2が供給されており、両信号
から移動方向が演算されるが、第３図の初期状態
においては、予めループ１００内の投影像が１対
１の明暗比で位置決めされているため、初期移動
方向としては両端位置A1，A2の延長線上にａな
る移動量が設定される。この時の移動量はループ
１００の半径より小さい所定量が設定され、送り
制御装置３６は両サーボモータ１６，１８にこの
ような送り制御信号を供給して載物台１４を相対
的に送り移動することができる。前記移動方向は
ループ１００内の明暗比を所定比率例えば実施例
における１対１に保つような移動方向として設定
され、第３図の初期位置では明暗比が１対１であ
るためにその移動方向も両端位置の延長に設定さ
れるのである。また移動量がループ１００の半径
より小さく設定されることによつて投影像がルー
プ１００から外れることが防止されている。
１００内の明暗比を所定比率に保つような移動方
向が送り制御装置３６によつて演算され、該移動
方向に沿つて被測定物１２すなわち載物台１４を
所定量移量するための送り制御が行なわれる。送
り制御装置３６には前記位置検出回路３４からの
両端位置情報A1，A2が供給されており、両信号
から移動方向が演算されるが、第３図の初期状態
においては、予めループ１００内の投影像が１対
１の明暗比で位置決めされているため、初期移動
方向としては両端位置A1，A2の延長線上にａな
る移動量が設定される。この時の移動量はループ
１００の半径より小さい所定量が設定され、送り
制御装置３６は両サーボモータ１６，１８にこの
ような送り制御信号を供給して載物台１４を相対
的に送り移動することができる。前記移動方向は
ループ１００内の明暗比を所定比率例えば実施例
における１対１に保つような移動方向として設定
され、第３図の初期位置では明暗比が１対１であ
るためにその移動方向も両端位置の延長に設定さ
れるのである。また移動量がループ１００の半径
より小さく設定されることによつて投影像がルー
プ１００から外れることが防止されている。
第４図には２回目以降の送り状態を示し、前述
した送り制御装置３６による送りが行なわれた後
被測定物１２の投影像外形が直線でない場合にル
ープ１００内の明暗比が１対１から外れた状態を
示し、第４図では斜線を施した暗部が増加してい
ることが理解される。従つて、第４図の状態から
は明暗比を一定にするために、両端位置A1，A2
の延長線であるａに加えて明暗比を１対１にする
ための補正移動量ｂを加味しなければならず、こ
の結果、第４図からの送りは両移動量ａ，ｂの合
成ベクトルである移動量ｃに設定しなければなら
ず、送り制御３６は前述した演算により移動方向
を求めた後、この移動方向に沿つた信号を両サー
ボモータ１６，１８に供給して載物台１４すなわ
ち被測定物１２を所定量送り移動することができ
る。第５図には逆に明部に対して暗部が少なくな
つた状態を示し、この時にも同様に明暗比を１対
１にする方向の移動量ｃが演算される。
した送り制御装置３６による送りが行なわれた後
被測定物１２の投影像外形が直線でない場合にル
ープ１００内の明暗比が１対１から外れた状態を
示し、第４図では斜線を施した暗部が増加してい
ることが理解される。従つて、第４図の状態から
は明暗比を一定にするために、両端位置A1，A2
の延長線であるａに加えて明暗比を１対１にする
ための補正移動量ｂを加味しなければならず、こ
の結果、第４図からの送りは両移動量ａ，ｂの合
成ベクトルである移動量ｃに設定しなければなら
ず、送り制御３６は前述した演算により移動方向
を求めた後、この移動方向に沿つた信号を両サー
ボモータ１６，１８に供給して載物台１４すなわ
ち被測定物１２を所定量送り移動することができ
る。第５図には逆に明部に対して暗部が少なくな
つた状態を示し、この時にも同様に明暗比を１対
１にする方向の移動量ｃが演算される。
以上のようにして、本発明によれば、載物台の
相対的送りをイメージセンサ３０で把えた投影像
を自動的に追従することで行なうことができ、こ
の結果、なんらの手動操作を必要とすることなく
予め定めた任意の初期位置から被測定物１２の輪
郭形状に沿つてイメージセンサ３０をなぞらせる
ことが可能となる。第６図にはこの状態が示さ
れ、イメージセンサ３０のループ１００が確実に
投影像の輪郭に追従して相対移動している状態が
明らかとなつている。
相対的送りをイメージセンサ３０で把えた投影像
を自動的に追従することで行なうことができ、こ
の結果、なんらの手動操作を必要とすることなく
予め定めた任意の初期位置から被測定物１２の輪
郭形状に沿つてイメージセンサ３０をなぞらせる
ことが可能となる。第６図にはこの状態が示さ
れ、イメージセンサ３０のループ１００が確実に
投影像の輪郭に追従して相対移動している状態が
明らかとなつている。
以上のようにして本発明の自動送りが明らかと
なるが、このような自動送りでは、イメージセン
サ３０の中心Ｏは被測定物１２の輪郭形状に対し
てループ１００の半径Ｒだけ誤差をもつて移動す
ることとなり、この結果、単にパルスジエネレー
タ２０，２２からなる送り検出器の送り情報から
は輪郭形状を正確に求めることができず、最大Ｒ
なる誤差を有するために到底精密な測定を行なう
ことは不可能である。本発明は、送り中に被測定
物１２と交差するループ１００の交点位置に基づ
き、被測定物１２の各素点を測定することを特徴
とするものである。
なるが、このような自動送りでは、イメージセン
サ３０の中心Ｏは被測定物１２の輪郭形状に対し
てループ１００の半径Ｒだけ誤差をもつて移動す
ることとなり、この結果、単にパルスジエネレー
タ２０，２２からなる送り検出器の送り情報から
は輪郭形状を正確に求めることができず、最大Ｒ
なる誤差を有するために到底精密な測定を行なう
ことは不可能である。本発明は、送り中に被測定
物１２と交差するループ１００の交点位置に基づ
き、被測定物１２の各素点を測定することを特徴
とするものである。
すなわち、本発明は、ループ１００の中心位置
Ｏを表す送り情報に加えて、ループ１００を横切
る少なくとも一方の検出位置情報、実施例におい
てはＡ２を用い、被測定物１２の各素点を測定す
ることを特徴とし、実施例においては、各パルス
ジエネレータ２０，２２からの送り情報Ｘ，Ｙは
測定回路３８において位置検出回路３４からの一
方の位置情報Ａ２と演算される。
Ｏを表す送り情報に加えて、ループ１００を横切
る少なくとも一方の検出位置情報、実施例におい
てはＡ２を用い、被測定物１２の各素点を測定す
ることを特徴とし、実施例においては、各パルス
ジエネレータ２０，２２からの送り情報Ｘ，Ｙは
測定回路３８において位置検出回路３４からの一
方の位置情報Ａ２と演算される。
例えば第３図に示されるように、位置情報Ａ２
は半径Ｒと角度θとからなり、前記送り情報Ｘ，
Ｙに対する補正量△Ｘ，△Ｙを与えることができ
る。そして、測定回路３８は両情報を演算するこ
とにより被測定物１２の輪郭（Ｘ＋△Ｘ，Ｙ＋△
Ｙ）を正確にデータ化することが可能となる。
は半径Ｒと角度θとからなり、前記送り情報Ｘ，
Ｙに対する補正量△Ｘ，△Ｙを与えることができ
る。そして、測定回路３８は両情報を演算するこ
とにより被測定物１２の輪郭（Ｘ＋△Ｘ，Ｙ＋△
Ｙ）を正確にデータ化することが可能となる。
以上のように、本発明によれば、自動的に投影
像を追従し、その輪郭を正確にデータ化すること
が可能となる。
像を追従し、その輪郭を正確にデータ化すること
が可能となる。
第７図には本発明に用いられる他の実施例が示
され、第２図の実施例がループ１００上に複数の
光電変換素子３２を直接円形に配列したのに対
し、第７図では、光電変換素子３２は通常の直線
型リニアアレーを用い、このリニアアレーとルー
プ１００との間に複数の光フアイバ４０を設けた
ことを特徴とし、光フアイバー４０はその一端が
投影面上のループ１００に対向して配列され、ま
た他端が光電変換素子３２を含むリニアアレーに
対向して配列されている。従つて、この実施例に
よれば、光フアイバー４０の可撓性を利用して、
ループ形状を任意に選択しまたその大きさも自由
に変更することが可能であり、単一のリニアアレ
ーを用いて種々の測定に好適なループ状イメージ
センサを構成することが可能となる。
され、第２図の実施例がループ１００上に複数の
光電変換素子３２を直接円形に配列したのに対
し、第７図では、光電変換素子３２は通常の直線
型リニアアレーを用い、このリニアアレーとルー
プ１００との間に複数の光フアイバ４０を設けた
ことを特徴とし、光フアイバー４０はその一端が
投影面上のループ１００に対向して配列され、ま
た他端が光電変換素子３２を含むリニアアレーに
対向して配列されている。従つて、この実施例に
よれば、光フアイバー４０の可撓性を利用して、
ループ形状を任意に選択しまたその大きさも自由
に変更することが可能であり、単一のリニアアレ
ーを用いて種々の測定に好適なループ状イメージ
センサを構成することが可能となる。
以上説明したように、本発明によれば、複雑な
形状の被測定物であつても、その輪郭形状を自動
的に且つ高精度でデータ化し、その外形寸法測定
その他に極めて有効な測定方式を提供することが
できる利点を有する。
形状の被測定物であつても、その輪郭形状を自動
的に且つ高精度でデータ化し、その外形寸法測定
その他に極めて有効な測定方式を提供することが
できる利点を有する。
第１図は本発明にかかる測定方式が適用された
二次元自動輪郭装置の好適な実施例を示す概略構
成図、第２図は第１図におけるループ状イメージ
センサの好適な実施例を示す説明図、第３，４，
５，６図はそれぞれ本発明の作用を示す説明図、
第７図は本発明に好適なループ状イメージセンサ
の他の実施例を示す概略構成図である。 １０…投影機、１２…被測定物、１４…載物
台、１６…Ｘサーボモータ、１８…Ｙサーボモー
タ、２０…Ｘパルスジエネレータ、２２…Ｙパル
スジエネレータ、２６…第２投影面、３０…ルー
プ状イメージセンサ、３２…光電変換素子、３４
…位置検出回路、３６…送り制御装置、３８…測
定回路、４０…光フアイバ。
二次元自動輪郭装置の好適な実施例を示す概略構
成図、第２図は第１図におけるループ状イメージ
センサの好適な実施例を示す説明図、第３，４，
５，６図はそれぞれ本発明の作用を示す説明図、
第７図は本発明に好適なループ状イメージセンサ
の他の実施例を示す概略構成図である。 １０…投影機、１２…被測定物、１４…載物
台、１６…Ｘサーボモータ、１８…Ｙサーボモー
タ、２０…Ｘパルスジエネレータ、２２…Ｙパル
スジエネレータ、２６…第２投影面、３０…ルー
プ状イメージセンサ、３２…光電変換素子、３４
…位置検出回路、３６…送り制御装置、３８…測
定回路、４０…光フアイバ。
Claims (1)
- 【特許請求の範囲】 １ 閉ループに配置された複数の光電変換素子を
有するループ状イメージセンサのループ内に明暗
比が所定の比率になるように被測定物の一部を投
影し、 ループを横切る被測定物の両端交差位置を検出
し、 前記両端交差位置に基づいてループ内の明暗比
を所定比率に保つような移動方向を演算し、該移
動方向に沿つて被測定物を所定量移動する送りを
繰返し、 前記送り中に、ループを横切る少くとも一方の
検出位置情報と前記送り情報とに基づき前記ルー
プと被測定物との交差位置を表す各素点を演算し
被測定物の輪郭をデータ化することを特徴とする
二次元自動輪郭測定方法。 ２ 被測定物を載置し任意の方向に移動自在な載
物台を有する投影機と、 投影機の投影面に設けられ閉ループに配置され
た複数の光電変換素子を有するループ状イメージ
センサと、 被測定物がループを横切る両端交差位置を各光
電変換素子の電気的出力により検出する位置検出
回路と、 位置検出回路の出力を処理して被測定物の投影
面のループ内での明暗比が所定の比率になるよう
に載物台を送る駆動手段と、該送り量を検出出力
する送り検出器と、を有する送り制御装置と、 前記位置検出回路の内の一方の検出位置情報
と、前記送り検出器の出力とに基づいてループ状
イメージセンサと被測定物との交差位置を表す各
素点を測定し被測定物の輪郭をデータ化する測定
回路と、 を含む二次元自動輪郭測定装置。 ３ 特許請求の範囲２記載の装置において、ルー
プ状イメージセンサは一端が投影面に他端が光電
変換素子に対向して設けられた複数の光フアイバ
を含み、各光フアイバの一端は投影面でループ状
に配列されていることを特徴とする二次元自動輪
郭測定装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP15106380A JPS5774608A (en) | 1980-10-28 | 1980-10-28 | Automatic measuring method and apparatus for planar contour |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP15106380A JPS5774608A (en) | 1980-10-28 | 1980-10-28 | Automatic measuring method and apparatus for planar contour |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS5774608A JPS5774608A (en) | 1982-05-10 |
| JPS6133442B2 true JPS6133442B2 (ja) | 1986-08-02 |
Family
ID=15510485
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP15106380A Granted JPS5774608A (en) | 1980-10-28 | 1980-10-28 | Automatic measuring method and apparatus for planar contour |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS5774608A (ja) |
Families Citing this family (5)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS5913218A (ja) * | 1982-07-15 | 1984-01-24 | Nippon Kogaku Kk <Nikon> | 眼鏡フレ−ムの形取器 |
| JPS6015623A (ja) * | 1983-07-07 | 1985-01-26 | Tokyo Optical Co Ltd | 眼鏡調整装置 |
| JPS6285803A (ja) * | 1985-10-11 | 1987-04-20 | Asaka Riken Kogyo Kk | 打抜孔が設けられた被検査物の自動検査方法 |
| JPS6285802A (ja) * | 1985-10-11 | 1987-04-20 | Asaka Riken Kogyo Kk | 打抜孔が設けられた被検査物の自動検査装置 |
| JPS6285804A (ja) * | 1985-10-11 | 1987-04-20 | Asaka Riken Kogyo Kk | 打抜孔が設けられた被検査物の自動検査装置 |
-
1980
- 1980-10-28 JP JP15106380A patent/JPS5774608A/ja active Granted
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPS5774608A (en) | 1982-05-10 |
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