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JPS6130346A - 静圧空気浮上ステ−ジ - Google Patents

静圧空気浮上ステ−ジ

Info

Publication number
JPS6130346A
JPS6130346A JP15367684A JP15367684A JPS6130346A JP S6130346 A JPS6130346 A JP S6130346A JP 15367684 A JP15367684 A JP 15367684A JP 15367684 A JP15367684 A JP 15367684A JP S6130346 A JPS6130346 A JP S6130346A
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
bearing pads
movable guide
integrally formed
axis direction
bearing
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Pending
Application number
JP15367684A
Other languages
English (en)
Inventor
Sadao Sugiyama
定夫 杉山
Hiroshi Goto
博史 後藤
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Omron Corp
Original Assignee
Omron Tateisi Electronics Co
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Omron Tateisi Electronics Co filed Critical Omron Tateisi Electronics Co
Priority to JP15367684A priority Critical patent/JPS6130346A/ja
Priority to US06/756,118 priority patent/US4648723A/en
Publication of JPS6130346A publication Critical patent/JPS6130346A/ja
Pending legal-status Critical Current

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Classifications

    • F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
    • F16—ENGINEERING ELEMENTS AND UNITS; GENERAL MEASURES FOR PRODUCING AND MAINTAINING EFFECTIVE FUNCTIONING OF MACHINES OR INSTALLATIONS; THERMAL INSULATION IN GENERAL
    • F16C—SHAFTS; FLEXIBLE SHAFTS; ELEMENTS OR CRANKSHAFT MECHANISMS; ROTARY BODIES OTHER THAN GEARING ELEMENTS; BEARINGS
    • F16C32/00—Bearings not otherwise provided for
    • F16C32/06—Bearings not otherwise provided for with moving member supported by a fluid cushion formed, at least to a large extent, otherwise than by movement of the shaft, e.g. hydrostatic air-cushion bearings
    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B23—MACHINE TOOLS; METAL-WORKING NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • B23Q—DETAILS, COMPONENTS, OR ACCESSORIES FOR MACHINE TOOLS, e.g. ARRANGEMENTS FOR COPYING OR CONTROLLING; MACHINE TOOLS IN GENERAL CHARACTERISED BY THE CONSTRUCTION OF PARTICULAR DETAILS OR COMPONENTS; COMBINATIONS OR ASSOCIATIONS OF METAL-WORKING MACHINES, NOT DIRECTED TO A PARTICULAR RESULT
    • B23Q1/00—Members which are comprised in the general build-up of a form of machine, particularly relatively large fixed members
    • B23Q1/25—Movable or adjustable work or tool supports
    • B23Q1/44—Movable or adjustable work or tool supports using particular mechanisms
    • B23Q1/56—Movable or adjustable work or tool supports using particular mechanisms with sliding pairs only, the sliding pairs being the first two elements of the mechanism
    • B23Q1/60—Movable or adjustable work or tool supports using particular mechanisms with sliding pairs only, the sliding pairs being the first two elements of the mechanism two sliding pairs only, the sliding pairs being the first two elements of the mechanism
    • B23Q1/62—Movable or adjustable work or tool supports using particular mechanisms with sliding pairs only, the sliding pairs being the first two elements of the mechanism two sliding pairs only, the sliding pairs being the first two elements of the mechanism with perpendicular axes, e.g. cross-slides
    • B23Q1/621—Movable or adjustable work or tool supports using particular mechanisms with sliding pairs only, the sliding pairs being the first two elements of the mechanism two sliding pairs only, the sliding pairs being the first two elements of the mechanism with perpendicular axes, e.g. cross-slides a single sliding pair followed perpendicularly by a single sliding pair
    • F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
    • F16—ENGINEERING ELEMENTS AND UNITS; GENERAL MEASURES FOR PRODUCING AND MAINTAINING EFFECTIVE FUNCTIONING OF MACHINES OR INSTALLATIONS; THERMAL INSULATION IN GENERAL
    • F16C—SHAFTS; FLEXIBLE SHAFTS; ELEMENTS OR CRANKSHAFT MECHANISMS; ROTARY BODIES OTHER THAN GEARING ELEMENTS; BEARINGS
    • F16C29/00—Bearings for parts moving only linearly
    • F16C29/02—Sliding-contact bearings
    • F16C29/025—Hydrostatic or aerostatic
    • F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
    • F16—ENGINEERING ELEMENTS AND UNITS; GENERAL MEASURES FOR PRODUCING AND MAINTAINING EFFECTIVE FUNCTIONING OF MACHINES OR INSTALLATIONS; THERMAL INSULATION IN GENERAL
    • F16C—SHAFTS; FLEXIBLE SHAFTS; ELEMENTS OR CRANKSHAFT MECHANISMS; ROTARY BODIES OTHER THAN GEARING ELEMENTS; BEARINGS
    • F16C2322/00—Apparatus used in shaping articles
    • F16C2322/39—General buildup of machine tools, e.g. spindles, slides, actuators

Landscapes

  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • General Engineering & Computer Science (AREA)
  • Mechanical Engineering (AREA)
  • Magnetic Bearings And Hydrostatic Bearings (AREA)
  • Machine Tool Units (AREA)

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 馨）発明の分野 この発明は、精密加工機・精密測定器・半導体製造装置
などに内蔵される精密位置決め用の静圧空気浮上ステー
ジに関する。
（ロ）発明の背景 従来、この種のＸＹステージには、静圧空気軸受案内が
用いられることが多く、この−例を第２図に示す。段途
いに直交する２木の可動ガイド１１．１２の交差部Ｋ１
１ｌ：、ステージ部１３が置かれ、可動ガイド１１．１
２との間は、空気軸受パッド１４が８個対向して配置さ
れ、可動ガイド１１゜１２および定盤１５と非接触案さ
れている。
また、ステージ部１３駆動するリニアモータ１６￥′ｉ
、可動ガイド１１．１２の両端に取りつけられている。
この構造を存する浮上ステージにおいては、各空気軸受
パッド１４が２個ずつ組になって固定される。空気軸受
組立部の詳細構造を第３図に示す。
しかし、空気軸受のニブギャップＦｉ５〜１０ｒ−と小
さい上に、組立後のパッド面の平面度繻１〜２−が要求
されるため、これら軸受パッド１４の組立調整は大変む
つかしく、時間と手間がかかっていた。
（ハ）発明の目的 この発明は、上述の不都合を解消するために、２個ずつ
並べて用いる軸受パ′ツドを全て、一体化構造とし、組
立調整の容易化と、組立精度の安定化と向上を図る静圧
空気浮上ステージの提供を目的とする。
に）発明の要約 に形成すると共に、Ｙ軸可動ガイドの両側に配置する４
個の軸受パッドの内、可動ガイドの同一側面に位置する
２個のパッドをそれぞれ一体的に形成し、さらにＸ軸方
向の一体形成の軸受パッドと、Ｙ軸方向の一体形成の軸
受パッドとを上下方向に一体的に形成した静圧空気浮上
ステージであることを特徴とする。
（ホ）発明の効果 この発明によれば、可動ガイドの同一側面に位置する２
個の軸受パッドを一体的に形成することで、各可動ガイ
ドに対する組立が容易となシ、さ調整作業が容易となる
ばかりでなく、組立精度が向上し、安定化を図ることが
できる。
（ハ）発明の実施例 この発明の一実施例を、図面に基づいて詳述する。
図面は静圧空気浮上ステージを示し、第１図において、
Ｘ軸方向の可動ガイド１と、Ｙ軸方向の可動ガイド２と
を定盤３上に段遣いに配置させている。
上述のＸ軸方向の可動ガイドｌの両側に配置する４個の
軸受／＜７ド４ａ、４ａ＋４ｂ＋４ｂＯ内、可動ガイド
ｌの同二側面に位置する２個の軸受パッド４ａ　ｌ　４
　ａ　％、４　ｂ　ｌ　４　ｂをそれぞれ一体的に形成
する。
一方、Ｙ軸方向の可動ガイド２０両側に配置する４個の
軸受パッド５ａ＋５ａ＊５ｂ、５ｂの内、可動ガイド２
の同一側面に位置する２個の軸受パッド５ａ＋５ａ、５
ｂ＋５ｂをそれぞれ一体的に形成する。
さらに、上述のＸ軸方向の一体形成の軸受パッド４　ａ
　＋　４　ｂと、Ｙ軸方向の一体形成の軸受パッド５　
ａ　＋　５　ｂとを上下方向にスペーサ６を介して一体
的に形成したものである。
上述の軸受パッド４ａ、４ｂＫｕ町動ガイド１と定盤３
側に空気吹出しオリフィス（図示せず）が設けられ、軸
受パッド５ａ　ｒ　５ｂには可動ガイド２側に空気吹出
しオリフィスが設けられ、非接触支持案内される。
上述のように隣接２個の軸受パッドを一体とし、さらに
全ての軸受パッド４ａ、４ｂ＋５ａ＋５ｂを一体化構造
としたので、組立精度の要求される空気軸受面は、部品
精度のみで決まり、従来のように軸受パッドを個々に組
立して平面度調整を行なうというわずられしい作業が必
要でなくなり、組立精度が向上する。また、組立ねじの
ずれも起きず、精度が安定化する。
なｉ・、上述の実施例において、軸受パッド４ａ＋４ｂ
と５　ａ　＋　５　ｂとの間にスペーサ６を用いたが、
このスペーサ６は取除いてもよい。
また、軸受パッドに設けるオリアイスの配置と個数は所
望に選定でき、さらに各軸受パッドの外縁形状も任意に
形成してもよい。
【図面の簡単な説明】
図面は、この発明の一実施例を示し、 第１図は静圧空気浮上ステージの要部を示す簡略斜視図
、 第２図は従来側を示す側視図、 第３図はその一部の斜視図である。 １・・・可動ガイド　　　　　２・・・可動ガイド３・
・・定　＠　　　　　　　　４・・・軸受パッド５・・
・軸受パッド

Claims (1)

  1. 【特許請求の範囲】 １、Ｘ軸方向の可動ガイドと、Ｙ軸方向の可動ガイドと
    を有する静圧空気浮上ステージにおいて、 上記Ｘ軸方向の可動ガイドの両側に配置する４個の軸受
    パッドの内、可動ガイドの同一側面に位置する２個の軸
    受パッドをそれぞれ一体的に形成すると共に、 Ｙ軸方向の可動ガイドの両側に配置する４個の軸受パッ
    ドの内、可動ガイドの同一側面に位置する２個のパッド
    をそれぞれ一体的に形成し、 さらに上記Ｘ軸方向の一体形成の軸受パッドと、Ｙ軸方
    向の一体形成の軸受パッドとを上下方向に一体的に形成
    したことを特徴とする静圧空気浮上ステージ。
JP15367684A 1984-07-23 1984-07-23 静圧空気浮上ステ−ジ Pending JPS6130346A (ja)

Priority Applications (2)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP15367684A JPS6130346A (ja) 1984-07-23 1984-07-23 静圧空気浮上ステ−ジ
US06/756,118 US4648723A (en) 1984-07-23 1985-07-18 Static pressure air surface stage

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP15367684A JPS6130346A (ja) 1984-07-23 1984-07-23 静圧空気浮上ステ−ジ

Publications (1)

Publication Number Publication Date
JPS6130346A true JPS6130346A (ja) 1986-02-12

Family

ID=15567736

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP15367684A Pending JPS6130346A (ja) 1984-07-23 1984-07-23 静圧空気浮上ステ−ジ

Country Status (2)

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US (1) US4648723A (ja)
JP (1) JPS6130346A (ja)

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US4648723A (en) 1987-03-10

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