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JPS61247660A - Manufacture of porous silica sintered body - Google Patents

Manufacture of porous silica sintered body

Info

Publication number
JPS61247660A
JPS61247660A JP5929085A JP5929085A JPS61247660A JP S61247660 A JPS61247660 A JP S61247660A JP 5929085 A JP5929085 A JP 5929085A JP 5929085 A JP5929085 A JP 5929085A JP S61247660 A JPS61247660 A JP S61247660A
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
firing
sintered body
steam
silica
porous
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Pending
Application number
JP5929085A
Other languages
Japanese (ja)
Inventor
利幸 鈴木
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Harima Refractories Co Ltd
Original Assignee
Harima Refractories Co Ltd
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Harima Refractories Co Ltd filed Critical Harima Refractories Co Ltd
Priority to JP5929085A priority Critical patent/JPS61247660A/en
Publication of JPS61247660A publication Critical patent/JPS61247660A/en
Pending legal-status Critical Current

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  • Compositions Of Oxide Ceramics (AREA)

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
(57) [Summary] This bulletin contains application data before electronic filing, so abstract data is not recorded.

Description

【発明の詳細な説明】 (産業上の利用分野) 本発明は、多孔質シリカ焼結体の製造方法に関する。詳
しくは単分散の非晶質シリカ球状粒子からなる粉末を成
形後、特定の条件下で焼成して多孔質のシリカ焼結体を
製造する方法である。
DETAILED DESCRIPTION OF THE INVENTION (Industrial Application Field) The present invention relates to a method for producing a porous sintered silica body. Specifically, it is a method in which a porous sintered silica body is produced by molding a powder made of monodispersed amorphous silica spherical particles and then firing it under specific conditions.

(従来の技術) シリカ焼結体は化学安定性および耐熱性にすぐれ、しか
も熱膨張率が非常に小さいことから、高温材料として使
用されている。従来、その製造方法は、例えば特公昭4
9−27083号公報に見られるように、緻密質焼結体
が得られるように粒度調整したものを成形し、これを1
250〜1450℃の温度範囲で、しかも比較的短時間
で焼成するものである。
(Prior Art) Silica sintered bodies are used as high-temperature materials because they have excellent chemical stability and heat resistance, and also have a very small coefficient of thermal expansion. Conventionally, the manufacturing method was
As seen in Publication No. 9-27083, the particle size is adjusted so as to obtain a dense sintered body, and this is molded.
It is fired in a temperature range of 250 to 1450°C and in a relatively short time.

(発明が解決しようとする問題点) 多孔質のシリカ焼結体は、高温下で使用される各種フィ
ルター、触媒担体などの需要が見込まれるが、従来法で
は、多孔質でしかも強度に優れた焼結体を得ることがで
きなかった。すなわち、多孔質部材を得る方法として単
分散の球状粒子を点接触で一体化させることが知られて
いるが焼結させようとすると溶融して気孔が閉じられて
しまい、多孔質が得られない。また1250℃以」二の
焼成温度では、クリストバライトの生成で粒子自体の強
度が低下する。
(Problem to be solved by the invention) Porous sintered silica is expected to be in demand for various filters, catalyst supports, etc. used at high temperatures, but conventional methods have It was not possible to obtain a sintered body. In other words, it is known that a method for obtaining a porous member is to integrate monodisperse spherical particles through point contact, but when sintering is attempted, the particles melt and close the pores, making it impossible to obtain a porous material. . Furthermore, at a firing temperature of 1250°C or higher, the strength of the particles themselves decreases due to the formation of cristobalite.

本発明は単分散の非晶質シリカ球状粒子を用いた多孔質
焼結体の製造において、上記の問題を解決することを目
的としている。
The present invention aims to solve the above-mentioned problems in manufacturing a porous sintered body using monodispersed amorphous silica spherical particles.

(問題点を解決するための手段) 本発明者は長年、非晶質シリカの焼成について研究を重
ねてきた。また、高温下で使用できる多孔質部材につい
ても研究を続けてきた。その結果、水蒸気焼結法の適用
が好ましいことを見い出した。
(Means for Solving the Problems) The present inventor has been conducting research on firing amorphous silica for many years. We have also continued research into porous materials that can be used at high temperatures. As a result, it was found that application of the steam sintering method is preferable.

UO□を水蒸気焼結させることは、既に知られている。Steam sintering of UO□ is already known.

この方法は、UO2のプレス成形品を水素ガスと水蒸気
の併用の雰囲気下で行われるものである。また、透明石
英ガラスの場合は、水の存在下ではグリス1−パライト
化を促進し、失透するといわれており、セラミックの製
造において水蒸気焼結法は一般に行われていないのが実
状である。
In this method, a press-molded UO2 product is subjected to an atmosphere of a combination of hydrogen gas and water vapor. Furthermore, in the case of transparent quartz glass, it is said that the presence of water promotes the formation of grease into 1-palite and causes devitrification, and the reality is that steam sintering is not generally used in the production of ceramics.

ところが本発明者の実験によると、非晶質シリカは、水
蒸気焼成においてクリストバライトの生成は認められな
かった。しかも多孔質部材の場合、気孔を通して水蒸気
が間部まで行きわたり、焼結が促進される。
However, according to experiments conducted by the present inventors, the formation of cristobalite was not observed in amorphous silica during steam calcination. Moreover, in the case of a porous member, water vapor reaches the interstitial space through the pores, promoting sintering.

本発明は、以」二の知見にもとづいて完成させるのに至
ったものである。本発明は、粒度0.05〜10μでし
かも単分散の非晶質シリカ球状粒子からなる粉末を成形
後、水蒸気雰囲気下で焼成することを特徴とした多孔質
シリカ焼結体の製造方法である。
The present invention has been completed based on the following two findings. The present invention is a method for producing a porous sintered silica body, which comprises molding a powder made of monodisperse amorphous silica spherical particles with a particle size of 0.05 to 10 μm, and then firing the powder in a steam atmosphere. .

本発明で使用する非晶質シリカは、単分散の球状粒子で
ある。ここでいう単分散とは、厳密に粒子径がそろって
いるということではなく、大きさがほぼ同じであるもの
も含んでいる。多分散のものでは焼結体の気孔が埋まり
、水蒸気焼成が促進されないと共に、多孔質の特性が失
われる。
The amorphous silica used in the present invention is monodisperse spherical particles. Monodisperse here does not mean that the particle diameters are strictly uniform, but also includes particles that are approximately the same size. A polydisperse material fills the pores of the sintered body, does not promote steam sintering, and loses its porous properties.

また、球状粒子とは、例えば長短径比が1〜1,3まで
の範囲であってもよく、必ずしも真球に限られるもので
はない。粒径は0.05〜]、0μ、好ましくは0.2
〜2μである。0505μ未満では焼結体の気孔率が/
Jjさく、焼成中に水蒸気の侵入が不十分となって、水
蒸気焼成の効率が失われる。10μを超えると、粒子間
の接触面積が減り、焼結体の強度が小さい。
Further, the spherical particles may have a length ratio of 1 to 1.3, and are not necessarily limited to true spheres. Particle size is 0.05~], 0μ, preferably 0.2
~2μ. If it is less than 0505μ, the porosity of the sintered body is /
During firing, water vapor does not enter sufficiently, and the efficiency of steam firing is lost. When it exceeds 10μ, the contact area between particles decreases, and the strength of the sintered body decreases.

単分散の非晶質シリカ球状粒子の製造方法は種々提案さ
れており、本発明は特に限定するものではない。ここで
はその例として、後述する実施例で使用したゾル−ゲル
法と、溶射法について示す。この方法はエチルシリヶー
1〜より加水分解、脱水縮合を経て合成するものであり
、例えばW。
Various methods for producing monodispersed amorphous silica spherical particles have been proposed, and the present invention is not particularly limited thereto. Here, as examples, the sol-gel method and the thermal spray method used in the examples described later will be described. In this method, ethyl silica 1 is synthesized through hydrolysis and dehydration condensation, such as W.

6.62 (1968)Jにも示されているように、当
業界において公知技術である。まず、水とエチルアルコ
ールとエチルシリケー1−を混合して均一な溶液を作成
する。水はエチルシリケートを加水分解するものであり
、エチルアルコールはその溶媒である。その後、室温で
放置すると加水分解が進行し、アンモニア等のアルカリ
性側でしかも低濃度系で非晶質球状粒子が得られる。こ
のプロセスにおいて、エチルシリケートは次の反応で加
水分解、脱水縮合が進行する。
6.62 (1968) J, is a well-known technique in the art. First, water, ethyl alcohol, and ethyl silica 1- are mixed to create a uniform solution. Water is what hydrolyzes ethyl silicate, and ethyl alcohol is its solvent. Thereafter, when left at room temperature, hydrolysis proceeds, and amorphous spherical particles are obtained in an alkaline system such as ammonia and at a low concentration. In this process, ethyl silicate undergoes hydrolysis and dehydration condensation in the next reaction.

Sj (C2H50)4+48.O−+Si (OR)
4+4C2It、OH(↑)Si(011)4→SjO
□+21120(↑)一方、溶射法は、例えば特開昭5
7−95877号公報。
Sj (C2H50)4+48. O-+Si (OR)
4+4C2It, OH(↑)Si(011)4→SjO
□+21120 (↑) On the other hand, the thermal spraying method, for example,
Publication No. 7-95877.

特開昭58−1.4.561.3号公報などに示されて
いるように、高温火炎中にシリカ粒子を通過させて溶融
し、表面張力によって球状粒子を得る方法である。
As disclosed in JP-A-58-1.4.561.3, this is a method in which silica particles are passed through a high-temperature flame and melted to obtain spherical particles due to surface tension.

本発明において、成形は鋳込み法、プレス法、押出し法
などの方法で行うことができる。鋳込み法は、溶媒を添
加して泥しよう状態にした後、型枠に鋳込む。溶媒の種
類は、高純度の焼結体が要求される場合はアルコール類
などでもよいが、一般には入手が容易で、かつ経済的な
水が好ましい。プレス法、押出し法などでは、例えばパ
ラフィンワックス、CMC(カルポジキメチルセルロー
ス)などの任意に好ましいことがわかった。この方法は
、例えば特公昭48−33248号公報に示されるよう
に、泥しよう物祭容器に入れ、通電して電気泳動現象を
利用して成形体を得るものである。本発明で使用する材
料粉末は単分散であり、鋳込み成形により得られた成形
体は強度が小さいために。
In the present invention, shaping can be performed by methods such as a casting method, a press method, and an extrusion method. In the casting method, a solvent is added to create a slurry state, and then the material is cast into a mold. The type of solvent may be alcohols if a highly purified sintered body is required, but water is generally preferred as it is easily available and economical. In the press method, extrusion method, etc., it has been found that paraffin wax, CMC (carpodium methyl cellulose), etc. are optionally preferable. In this method, for example, as shown in Japanese Patent Publication No. 48-33248, a molded body is obtained by placing the clay in a clay container and applying electricity to utilize electrophoresis. This is because the material powder used in the present invention is monodisperse, and the molded body obtained by cast molding has low strength.

薄板形状のものは取扱いが容易でない。また、プレス法
、押出し法などは結合剤を添加するために、粒子間の焼
結を阻害する傾向にある。これに対し電気泳動法は、N
板形状であっても結合剤を使用することなく強度の大き
な成形体を得ること゛ができる。しかも、鋳込み法、プ
レス法、押出し法などに比へて成形は短時間である。こ
れは、本発明で使用する粉末の粒子が単分散で、かつ粒
径がきわめて小さいからと思われる。
Thin plate shapes are not easy to handle. In addition, press methods, extrusion methods, and the like tend to inhibit sintering between particles due to the addition of a binder. On the other hand, in electrophoresis, N
Even in the form of a plate, a molded product with high strength can be obtained without using a binder. Moreover, the molding time is short compared to methods such as casting, pressing, and extrusion. This is probably because the particles of the powder used in the present invention are monodisperse and have an extremely small particle size.

焼成温度は、通常は500〜1250℃、好ましくは7
00〜1」50℃とする。500℃未満では焼結結果が
不十分であり、1250℃を超えるとガラス化とクリス
トバライ1−の生成が著しくなって焼結体の強度を低下
させる。
The firing temperature is usually 500 to 1250°C, preferably 7
00~1'' and 50°C. If the temperature is less than 500°C, the sintering result will be insufficient, and if it exceeds 1250°C, vitrification and formation of cristobalite 1- will become significant, reducing the strength of the sintered body.

焼成時間は例えば0.5〜10時間程度とする。The firing time is, for example, about 0.5 to 10 hours.

焼成中における水蒸気の供給は、ボイラーなどから導い
た、封入してもよい。水蒸気圧としては、特に限定する
ものではないが0.001−1Oat (好ましくは0
.05〜latm)の条件下が最良であった。1Oat
mを超えると焼成炉をかなりの耐圧構造にせねばならず
、設備」二、好ましくない。また水蒸気流量としては0
.1〜50Q/min (好ましくは0 、5−100
 / m i n )の条件下が最良であった。水蒸気
の導入は焼成はじめからでもよいし、1000℃を超え
る時点でもよい。また、空気中で通常の焼成を行った後
、さらに水蒸気雰囲気下で焼成してもよい。
Water vapor may be supplied during firing by being introduced from a boiler or the like and sealed. Although the water vapor pressure is not particularly limited, it is 0.001-1 Oat (preferably 0
.. 05~latm) conditions were the best. 1 oat
If it exceeds m, the kiln must have a considerable pressure-resistant structure, which is undesirable. Also, the water vapor flow rate is 0
.. 1-50Q/min (preferably 0, 5-100
/ min ) conditions were the best. Steam may be introduced from the beginning of firing or at a point at which the temperature exceeds 1000°C. Further, after performing normal firing in air, further firing may be performed in a steam atmosphere.

第1図は本発明を実施する装置の説明図であり、1は焼
成炉、2はサヤ、3は被焼成品、4はスチーム供給管、
5はスチーム排気管、6は受皿である。受皿6は、水蒸
気を拡散させるために多数の細孔が設けである。図には
示していないがサヤ内にビーズ状耐火物を充填し、この
耐火物粉の間隙な通して水蒸気を導入させてもよい。こ
のようにすると、被焼成品に対する加熱温度の均一や、
被焼成品の変形防止の効果がある。熱源は、重油、プロ
パンなどのガスバーナー、炭化けい素質発熱体などのヒ
ーターである。図の装置は一例であって、これに限定さ
れるものではない。
FIG. 1 is an explanatory diagram of an apparatus for carrying out the present invention, in which 1 is a firing furnace, 2 is a sheath, 3 is a product to be fired, 4 is a steam supply pipe,
5 is a steam exhaust pipe, and 6 is a saucer. The saucer 6 is provided with a large number of pores to diffuse water vapor. Although not shown in the figure, the pod may be filled with bead-shaped refractories and water vapor may be introduced through the gaps between the refractory powder. In this way, the heating temperature for the product to be fired is uniform,
This has the effect of preventing deformation of the product to be fired. The heat source is a heater such as a gas burner such as heavy oil or propane, or a silicon carbide heating element. The device shown in the figure is an example and is not limited thereto.

本発明により得られる多孔質シリカ焼結体は、耐熱性と
微細な気孔を利用して、気体又は液体用のフィルター、
触媒担体、断熱タイルなど、広く使用することができる
The porous silica sintered body obtained by the present invention takes advantage of its heat resistance and fine pores to be used as a filter for gas or liquid.
Can be widely used as catalyst carriers, insulation tiles, etc.

ることができるが、その理由は以」二にも述へたとおり
、ます、非晶質シリカ自体が水蒸気焼結されやすいこと
にある。
The reason for this is, as mentioned in Section 2 below, that amorphous silica itself is easily sintered by steam.

つぎに、本発明では単分散の球状粒子からなる多孔質体
を焼成の対象としているため、焼成中に水蒸気が成形体
内部まで浸透し、水蒸気焼結が促進される。
Next, in the present invention, since a porous body made of monodisperse spherical particles is fired, water vapor penetrates into the inside of the molded body during firing, promoting steam sintering.

これに対し、同じ非晶質シリカ球状粒子を使用して空気
中における通常の焼成を行うと殆ど焼結されないために
、一度成形されたものが焼成中にM辞する現象すら見ら
れた。
On the other hand, when the same amorphous silica spherical particles are used and subjected to normal firing in air, almost no sintering occurs, and a phenomenon was even observed in which the molded product once collapsed during firing.

また、単分散の球状粒子ではなく、密充填が得られるよ
うに粒度調整した多分散粒子では、焼成中に水蒸気の浸
透が少いために焼結効果が小さい。
Furthermore, polydisperse particles whose particle size is adjusted to obtain close packing, rather than monodisperse spherical particles, have a small sintering effect because water vapor permeates less during firing.

(実 施 例) 表に本発明実施例を示すが、本発明はこれに限定される
ものではない。
(Example) Examples of the present invention are shown in the table, but the present invention is not limited thereto.

実施例1〜6および比較例1,2で使用した単分散の非
ルミルで粉砕した珪石を粒度調整した後、酸水素バーナ
ーより発生させた火炎中に供給して得た。比較例3,4
で使用した非晶質シリカ粉砕粒子はボールミルで湿式粉
砕した後乾燥させたもので、粉砕により得たために粒子
は角ぼっており、しかも多分散である。
After adjusting the particle size of the monodisperse non-luminated silica stone used in Examples 1 to 6 and Comparative Examples 1 and 2, the particles were supplied into a flame generated from an oxyhydrogen burner. Comparative examples 3 and 4
The amorphous silica pulverized particles used were wet-pulverized in a ball mill and then dried, and because they were obtained by pulverization, the particles were rounded and polydisperse.

鋳込み成形は、水を添加して泥しまう状にした後、溶融
シリカ質るつぼに鋳込んだ。プレス成形は、結合剤を添
加し、200kg/cJの圧力で成形した。
In casting, water was added to form a slurry, and then the material was cast into a fused silica crucible. In press molding, a binder was added and molding was performed at a pressure of 200 kg/cJ.

電気床t11法の成形では第2図に示すように水を添加
して泥しよう状にした材料7を容器8に入れ、その容器
8中に陰極9としての銅製パイプと、さらにそれを囲む
陽極10としての大口の@製パイプとを入れる。陰極9
、陽極10は、電極としての機能をもつものであればよ
く、材質は銅製に限るものではない。泥しよう状にする
ための溶媒は、ここでは水を使用したが、高純度の焼結
体が要求される場合は高級アルコールなどを併用しても
よい。陽極100表面には、成形体11を取り出しやす
くするために、布2紙などの離型材を被覆させておくこ
とが好ましい。また、図では、中空の成形体1]を得る
ためにセラ1へしたものであるが、板状成形体を得る場
合は、陽極10をそれに合せて板状にするなどの手段が
必要である。電圧は5〜15ovが好ましいが、実施例
では20〜30Vの範囲内で行った。
In the electric bed T11 method, as shown in Fig. 2, a material 7 made into a slurry by adding water is placed in a container 8, and a copper pipe as a cathode 9 and an anode surrounding it are placed in the container 8. Insert a large @ made pipe as 10. Cathode 9
The material of the anode 10 is not limited to copper as long as it has the function of an electrode. Although water was used here as the solvent for forming the slurry, a higher alcohol or the like may be used in combination if a highly purified sintered body is required. The surface of the anode 100 is preferably coated with a mold release material such as cloth 2 paper to make it easier to take out the molded body 11. In addition, in the figure, the hollow molded body 1] is transferred to the cellar 1, but in order to obtain a plate-shaped molded body, it is necessary to take measures such as making the anode 10 into a plate shape. . The voltage is preferably 5 to 15 ov, but in the examples, it was within the range of 20 to 30 volts.

この電気泳動法を用いた実施例では、焼成前の成形体の
強この中に、ボイラーから導いたスチームな供給した。
In an example using this electrophoresis method, steam led from a boiler was supplied into the molded body before firing.

電気炉に排気口を設けたので、炉内圧力は低く保たれ、
安全」二の問題もなかった。焼結体の試験方法は、っぎ
のとおり。
Since the electric furnace has an exhaust port, the pressure inside the furnace is kept low.
There were no safety issues. The test method for sintered bodies is as shown below.

成形体の圧縮強さ;成形後、乾燥させたものを、JIS
−42205にもとづいて測定した。
Compressive strength of the molded product; after molding and drying, JIS
-42205.

焼結体の圧縮強さ;焼成後1.Tl5−R2206にも
とづいて測定した。
Compressive strength of sintered body; after firing 1. Measured based on Tl5-R2206.

気 孔 率   ;焼結体の気孔率を、Tl5−R22
05にもとづいて測定した。
Porosity: The porosity of the sintered body is Tl5-R22
Measurements were made based on 05.

特開昭G1−2476GO(4) (効  果) 本発明によれば、高強度の多孔質シリカ焼結体を得るこ
とができる。比較例で示すように従来の焼成法では、単
分散の非晶質シリカ球状粒子を用いると殆んど焼結され
ない。
JP-A-1-2476GO (4) (Effects) According to the present invention, a porous silica sintered body with high strength can be obtained. As shown in the comparative example, in the conventional sintering method, when monodisperse amorphous silica spherical particles are used, almost no sintering occurs.

水蒸気焼成であっても多分散の粒子では多孔質の特性が
失われると共に、焼結効果が小さい。これに対し、本発
明実施例で得られる焼結体は多孔質であり、しかも強度
は比較例のものに比べて少なくとも3倍に増大する。
Even with steam firing, polydisperse particles lose their porous properties and have a small sintering effect. In contrast, the sintered bodies obtained in the examples of the present invention are porous, and their strength is at least three times greater than that of the comparative examples.

本発明は炉内を特に高圧にする必要もなく、既存の焼成
炉を使用することが5きるので、設備の」二からも、安
全操業の上からも問題な〈実施できる。
Since the present invention does not require particularly high pressure in the furnace and can use an existing firing furnace, it can be carried out without problems from the standpoint of equipment and safe operation.

【図面の簡単な説明】[Brief explanation of drawings]

図は、いずれも本発明を実施する装置例の説明図を示し
、第1図は焼成装置の断面図、第2図は電気泳動法によ
る成形装置の断面図である。 1 ; 焼成炉       7 ; 材 料2 ; 
 サ  ヤ           8 ;  容  器
3 ; 被焼成品      9 ; 陰 極4 ; 
スチーム供給管  10 ; 陽 極5 ; スチーム
排気管  11 ; 成形体6;受皿 特許出願人 播磨耐火煉瓦株式会社 ト     の    ■ !−\′ 手続補正(自発) 昭和60年4月19  日 1、事件の表示  昭和60年特許願第5?2フ0号2
 発明の名称 多孔質シリカ焼結体の製造方法 3補正をする者 4 補正の対象 図面全部
The figures show explanatory diagrams of examples of apparatus for carrying out the present invention, with FIG. 1 being a cross-sectional view of a firing apparatus, and FIG. 2 being a cross-sectional view of a molding apparatus using an electrophoresis method. 1; firing furnace 7; material 2;
Saya 8; Container 3; Product to be fired 9; Cathode 4;
Steam supply pipe 10; Anode 5; Steam exhaust pipe 11; Molded body 6; Saucer Patent applicant: Harima Refractory Brick Co., Ltd. ■! -\' Procedural amendment (voluntary) April 19, 1985 1, Indication of case 1985 Patent Application No. 5?2 F0 No. 2
Title of the invention Method for manufacturing porous silica sintered body 3 Person making the amendment 4 All drawings subject to amendment

Claims (3)

【特許請求の範囲】[Claims] (1)粒径0.05〜10μでしかも単分散の非晶質シ
リカ球状粒子からなる粉末を成形後、水蒸気雰囲気下で
焼成することを特徴とした多孔質シリカ焼結体の製造方
法。
(1) A method for producing a porous sintered silica body, which comprises molding a powder consisting of monodisperse amorphous silica spherical particles with a particle size of 0.05 to 10 μm, and then firing the powder in a steam atmosphere.
(2)焼成温度が500〜1250℃である特許請求の
範囲第1項記載の方法。
(2) The method according to claim 1, wherein the firing temperature is 500 to 1250°C.
(3)成形が電気泳動法である特許請求の範囲第1項記
載の方法。
(3) The method according to claim 1, wherein the molding is performed by electrophoresis.
JP5929085A 1985-03-23 1985-03-23 Manufacture of porous silica sintered body Pending JPS61247660A (en)

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JP5929085A JPS61247660A (en) 1985-03-23 1985-03-23 Manufacture of porous silica sintered body

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JP (1) JPS61247660A (en)

Cited By (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH0832238A (en) * 1994-05-13 1996-02-02 Nec Corp Multilayer wiring board, its production and production of sintered silica used for it
US5714112A (en) * 1994-05-13 1998-02-03 Nec Corporation Process for producing a silica sintered product for a multi-layer wiring substrate

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