JPS61233998A - プラズマ発生装置 - Google Patents
プラズマ発生装置Info
- Publication number
- JPS61233998A JPS61233998A JP6395385A JP6395385A JPS61233998A JP S61233998 A JPS61233998 A JP S61233998A JP 6395385 A JP6395385 A JP 6395385A JP 6395385 A JP6395385 A JP 6395385A JP S61233998 A JPS61233998 A JP S61233998A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- trigger
- electrode
- capacitor bank
- plasma
- electrodes
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
- 239000003990 capacitor Substances 0.000 claims description 15
- 238000007599 discharging Methods 0.000 claims description 2
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 3
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 2
- 238000012423 maintenance Methods 0.000 description 2
- 230000001960 triggered effect Effects 0.000 description 2
- 238000005516 engineering process Methods 0.000 description 1
- 230000001939 inductive effect Effects 0.000 description 1
- 230000002747 voluntary effect Effects 0.000 description 1
Landscapes
- Investigating, Analyzing Materials By Fluorescence Or Luminescence (AREA)
- Transition And Organic Metals Composition Catalysts For Addition Polymerization (AREA)
- Plasma Technology (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
〔産業上の利用分野〕
この発明は電夕間の放ｔＶｃよりプラズマを発生させる
装置に関するものである。
装置に関するものである。
従来から用いられている電極間放電によるプラズマ発生
装置の一例が第２図に示されており、これは昭和５９年
電気学会全国大会講演論文集（１）（昭和タデ年３月、
電気学会゛発行）の第５７頁忙掲載されたものの概略構
成を示している。図において、（１）は直流電源として
の充電器、−）は充電器（１）の電源を切断する開閉器
（３）は充電器（１）と充電器との直列体に並列接続さ
れたコンデンサバンク、（４ｔ１はギャップスイッチ、
（ヨ）はコンデンサバンク（３）の両端電圧を検出して
開閉器（コ）を駆動し且つギャップスイッチ（川をトリ
ガするトリガ装置、（６）はギャップスイッチ（す）と
直列接続されてコンデンサバンク（３）の放電を行う電
極で直空容器（７）の中に設けられている。尚、コンデ
ンサバンク（３）と並列にギャップ（＠）と電極（６）
との直列体が接続されている。
装置の一例が第２図に示されており、これは昭和５９年
電気学会全国大会講演論文集（１）（昭和タデ年３月、
電気学会゛発行）の第５７頁忙掲載されたものの概略構
成を示している。図において、（１）は直流電源として
の充電器、−）は充電器（１）の電源を切断する開閉器
（３）は充電器（１）と充電器との直列体に並列接続さ
れたコンデンサバンク、（４ｔ１はギャップスイッチ、
（ヨ）はコンデンサバンク（３）の両端電圧を検出して
開閉器（コ）を駆動し且つギャップスイッチ（川をトリ
ガするトリガ装置、（６）はギャップスイッチ（す）と
直列接続されてコンデンサバンク（３）の放電を行う電
極で直空容器（７）の中に設けられている。尚、コンデ
ンサバンク（３）と並列にギャップ（＠）と電極（６）
との直列体が接続されている。
次に、動作について説明する。まず開閉器−）を閉じて
コンデンサバンク（，７１に充電器（１）から充電を行
う。充電電圧が所定電圧に達して充電が完了したことを
トリガ装置（３）が検出したとき、トリガ装置（りは開
閉器（コ）を開いた後、ギャップスイッチ（弘）をトリ
ガする。ギャップスイッチ（４Ｉ）がトリガされるとコ
ンデンサバンク（３）から電極（６）に電流が流れ電極
間に放電が始まりプラズマが生成される。
コンデンサバンク（，７１に充電器（１）から充電を行
う。充電電圧が所定電圧に達して充電が完了したことを
トリガ装置（３）が検出したとき、トリガ装置（りは開
閉器（コ）を開いた後、ギャップスイッチ（弘）をトリ
ガする。ギャップスイッチ（４Ｉ）がトリガされるとコ
ンデンサバンク（３）から電極（６）に電流が流れ電極
間に放電が始まりプラズマが生成される。
従来のプラズマ発生装置は以上のように構成されている
のでギャップスイッチが必要なため構成が複雑になり従
って、トリガ動作のためのギャップの保守調整を頻繁忙
行わなければならず、連続多頻度繰り返してプラズマ発
生動作がでキナいという問題点があった。
のでギャップスイッチが必要なため構成が複雑になり従
って、トリガ動作のためのギャップの保守調整を頻繁忙
行わなければならず、連続多頻度繰り返してプラズマ発
生動作がでキナいという問題点があった。
この発明は上記のような問題点を解消するためになされ
たもので、構成を簡単にできるとともに保守も簡略化で
き連続的に繰り返して動作できるプラズマ発生装置を提
供することを目的としている。
たもので、構成を簡単にできるとともに保守も簡略化で
き連続的に繰り返して動作できるプラズマ発生装置を提
供することを目的としている。
この発明忙係るプラズマ発生装置は、放電電極間にトリ
ガ電極を設けてこのトリガ電極にトリガ装置を接続した
ことを特徴としている。
ガ電極を設けてこのトリガ電極にトリガ装置を接続した
ことを特徴としている。
〔作 用〕
上記構成のこの発明のプラズマ発生装置においてはコン
デンサバンクが所定の電圧まで充電されたときトリガ装
置がトリガ電極にトリガ信号を与えることにより電極間
に放電が誘発されてコンデンサから電流が流れプラズマ
が生成される。
デンサバンクが所定の電圧まで充電されたときトリガ装
置がトリガ電極にトリガ信号を与えることにより電極間
に放電が誘発されてコンデンサから電流が流れプラズマ
が生成される。
以下、この発明に係るプラズマ発生装置の一実施例を第
１図について説明する。図において第２図のギャップス
イッチが除去されており、その代わりトリガ電極（ｌθ
）が設けられてトリガ装置（３）に接続されている。こ
のトリガ電極（１０）は電極（６）の間に配置されてお
り真空容器（り）の中にある。
１図について説明する。図において第２図のギャップス
イッチが除去されており、その代わりトリガ電極（ｌθ
）が設けられてトリガ装置（３）に接続されている。こ
のトリガ電極（１０）は電極（６）の間に配置されてお
り真空容器（り）の中にある。
尚、電極（６）の一方もトリガ装置（３）に接続されて
いる。
いる。
次に動作について説明する。コンデンサバンク（，７）
を充電するまでは第２図に示した従来装置と同じ動作で
あるが、所定の電圧まで充電されて充電が完了するとト
リガ装置（りは開閉器（コ）を開いた後、トリガ電極（
１０）にトリガ信号を印加する。これにより、トリガ装
置（５）ｋ接続されている方の電極とトリガ電極（１０
）との間に放電が開始され、これに誘発されて電極（６
）間で主放電が始まりコンデンサバンク（３）から電流
が流れてエネルギが電極（６）に供給されプラズマが生
成される。
を充電するまでは第２図に示した従来装置と同じ動作で
あるが、所定の電圧まで充電されて充電が完了するとト
リガ装置（りは開閉器（コ）を開いた後、トリガ電極（
１０）にトリガ信号を印加する。これにより、トリガ装
置（５）ｋ接続されている方の電極とトリガ電極（１０
）との間に放電が開始され、これに誘発されて電極（６
）間で主放電が始まりコンデンサバンク（３）から電流
が流れてエネルギが電極（６）に供給されプラズマが生
成される。
以上のように、この発明によればプラズマ生成放電用の
電極でギャップスイッチの動作を兼ねるように構成した
ので、装置の構成が簡単になり装置が安価で保守も簡略
化できるので連続的な繰り返しプラズマ生成動作が可能
となる効果がある。
電極でギャップスイッチの動作を兼ねるように構成した
ので、装置の構成が簡単になり装置が安価で保守も簡略
化できるので連続的な繰り返しプラズマ生成動作が可能
となる効果がある。
Ｉｇｔ図はこの発明の一実施例によるプラズマ発生装置
の概略構成図、そして、第２図は従来のプラズマ発生装
置の概略構成図、である。 図中、 （，７１−・コンデンサバンク、 （、ｔｌ−
・トリガ装置、（６）・・電極、（１０）・・トリガ電
極。 尚、図中、同一符号は同−又は相当部分を示す。 第１図 １ ：光電器 ３ ： コンデンサバンク ６：放電電極 １０： トリガ電和に 嶌２図 手続補正書（自発） 昭和 年 月 日 ６１．５．９
の概略構成図、そして、第２図は従来のプラズマ発生装
置の概略構成図、である。 図中、 （，７１−・コンデンサバンク、 （、ｔｌ−
・トリガ装置、（６）・・電極、（１０）・・トリガ電
極。 尚、図中、同一符号は同−又は相当部分を示す。 第１図 １ ：光電器 ３ ： コンデンサバンク ６：放電電極 １０： トリガ電和に 嶌２図 手続補正書（自発） 昭和 年 月 日 ６１．５．９
Claims (1)
- コンデンサバンクに一たん充電した後、この充電電圧を
用い電極間放電によりプラズマを発生する装置において
、上記電極間に設けられたトリガ電極と、上記コンデン
サバンクが所定電圧まで充電したことを検出して上記ト
リガ電極をトリガする手段と、を備えたことを特徴とす
るプラズマ発生装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP6395385A JPS61233998A (ja) | 1985-03-29 | 1985-03-29 | プラズマ発生装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP6395385A JPS61233998A (ja) | 1985-03-29 | 1985-03-29 | プラズマ発生装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS61233998A true JPS61233998A (ja) | 1986-10-18 |
Family
ID=13244197
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP6395385A Pending JPS61233998A (ja) | 1985-03-29 | 1985-03-29 | プラズマ発生装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS61233998A (ja) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US6240163B1 (en) | 1998-06-19 | 2001-05-29 | Advanced Laser & Fusion Technology | Radiation E.G. X-ray pulse generator mechanisms |
| WO2007066239A3 (en) * | 2005-10-18 | 2007-11-22 | Alft Inc | Soft x-ray generator |
-
1985
- 1985-03-29 JP JP6395385A patent/JPS61233998A/ja active Pending
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US6240163B1 (en) | 1998-06-19 | 2001-05-29 | Advanced Laser & Fusion Technology | Radiation E.G. X-ray pulse generator mechanisms |
| WO2007066239A3 (en) * | 2005-10-18 | 2007-11-22 | Alft Inc | Soft x-ray generator |
| US7502446B2 (en) | 2005-10-18 | 2009-03-10 | Alft Inc. | Soft x-ray generator |
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