JPS61209833A - Ｘｙステ−ジ - Google Patents
Ｘｙステ−ジInfo
- Publication number
- JPS61209833A JPS61209833A JP5120785A JP5120785A JPS61209833A JP S61209833 A JPS61209833 A JP S61209833A JP 5120785 A JP5120785 A JP 5120785A JP 5120785 A JP5120785 A JP 5120785A JP S61209833 A JPS61209833 A JP S61209833A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- bearing
- stage
- pad
- guide
- guides
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
Classifications
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B23—MACHINE TOOLS; METAL-WORKING NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- B23Q—DETAILS, COMPONENTS, OR ACCESSORIES FOR MACHINE TOOLS, e.g. ARRANGEMENTS FOR COPYING OR CONTROLLING; MACHINE TOOLS IN GENERAL CHARACTERISED BY THE CONSTRUCTION OF PARTICULAR DETAILS OR COMPONENTS; COMBINATIONS OR ASSOCIATIONS OF METAL-WORKING MACHINES, NOT DIRECTED TO A PARTICULAR RESULT
- B23Q1/00—Members which are comprised in the general build-up of a form of machine, particularly relatively large fixed members
- B23Q1/25—Movable or adjustable work or tool supports
- B23Q1/26—Movable or adjustable work or tool supports characterised by constructional features relating to the co-operation of relatively movable members; Means for preventing relative movement of such members
- B23Q1/38—Movable or adjustable work or tool supports characterised by constructional features relating to the co-operation of relatively movable members; Means for preventing relative movement of such members using fluid bearings or fluid cushion supports
Landscapes
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Mechanical Engineering (AREA)
- A Measuring Device Byusing Mechanical Method (AREA)
- Machine Tool Units (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
〈産業上の利用分野〉
本発明は精密工作機、ロボット、精密測定機、半導体製
造装置等に適用し、超精密な位置決めを行なう移動テー
ブル装置、所謂、ＸＹステージに関する。
造装置等に適用し、超精密な位置決めを行なう移動テー
ブル装置、所謂、ＸＹステージに関する。
〈発明の概要〉
本発明は縦横直交した可動ガイドの交叉部に空気軸受を
介してステージを移行自社に支持し、前記空気軸受にお
ける軸受パッドに自動調心手段を設けること番こより、
縦横可動ガイドの直交度の調整、設定に際し、軸受すき
まの変化を防止するにある。
介してステージを移行自社に支持し、前記空気軸受にお
ける軸受パッドに自動調心手段を設けること番こより、
縦横可動ガイドの直交度の調整、設定に際し、軸受すき
まの変化を防止するにある。
〈従来の技術〉
従来この種ＸＹステージは、第３図に示す如く、定盤６
上へ直交配備した縦横可動ガイド７．８交叉部に空気軸
受９１を介してステージ９が支持され、両ガイド７．８
をリニアモータ７１゜８１により移行させ、交叉部のス
テージ９を目的位置に移行するようになっている。かか
るＸＹステージにおいて、縦横可動ガイド７．８は段違
いに交叉して配置され、直焚精度は１前後の高精度が要
求される。上記直交度の調整は、通常、空気軸受９１と
ガイド７．８との間の軸受すきま（５〜１０μｍ）の設
定後に行なわれ、斯る調整時、縦横可動ガイド７．８の
又叉角が変化し、第４図に示す如く、軸受すきまＧが変
動する。軸受すきまＧの変動は軸受特性の変化につなが
り且つ軸受特性に不均衡を生じ、ステージ９の動的特性
を著しく悪化する。このため縦横可動ガイド７．８の直
交度調整を行なうも軸受すきまＧに変動を生じない構造
が要望されている。
上へ直交配備した縦横可動ガイド７．８交叉部に空気軸
受９１を介してステージ９が支持され、両ガイド７．８
をリニアモータ７１゜８１により移行させ、交叉部のス
テージ９を目的位置に移行するようになっている。かか
るＸＹステージにおいて、縦横可動ガイド７．８は段違
いに交叉して配置され、直焚精度は１前後の高精度が要
求される。上記直交度の調整は、通常、空気軸受９１と
ガイド７．８との間の軸受すきま（５〜１０μｍ）の設
定後に行なわれ、斯る調整時、縦横可動ガイド７．８の
又叉角が変化し、第４図に示す如く、軸受すきまＧが変
動する。軸受すきまＧの変動は軸受特性の変化につなが
り且つ軸受特性に不均衡を生じ、ステージ９の動的特性
を著しく悪化する。このため縦横可動ガイド７．８の直
交度調整を行なうも軸受すきまＧに変動を生じない構造
が要望されている。
〈発明の目的〉
本発明は、縦横可動ガイドの直交調整に藤し、両ガイド
の交叉角が変化するも、ガイド、ステージ間に常に一定
の軸受すきまを保持し得る新規なＸＹステージを提供す
ることを目的とする。
の交叉角が変化するも、ガイド、ステージ間に常に一定
の軸受すきまを保持し得る新規なＸＹステージを提供す
ることを目的とする。
〈発明の構成および効果〉
上記の目的を達成するため、本発明では、縦横可動ガイ
ドの交叉部に可動ステージが設けられ、該可動ステージ
を非接触に支持案内する空気軸受パッドに対し自動調心
手段を施こして成る。上記の構成によると、縦横可動ガ
イドの直交調整に際し、交叉角が変化した場合、その変
化に応じて対応する空気軸受パッドは自動調心手段によ
って変位し、軸受すきまを一定値に保持する効果を奏す
る。
ドの交叉部に可動ステージが設けられ、該可動ステージ
を非接触に支持案内する空気軸受パッドに対し自動調心
手段を施こして成る。上記の構成によると、縦横可動ガ
イドの直交調整に際し、交叉角が変化した場合、その変
化に応じて対応する空気軸受パッドは自動調心手段によ
って変位し、軸受すきまを一定値に保持する効果を奏す
る。
〈実施例の説明〉
第１図および第２図はＸＹステージの要部を示し、定盤
１上には両端をリニアモータ等の駆動装置（図示せず）
に連繋した縦横可動ガイド２．３が配備され、その交叉
部に本発明に係る空気軸受機構５を介してステージ４を
取付けている。
１上には両端をリニアモータ等の駆動装置（図示せず）
に連繋した縦横可動ガイド２．３が配備され、その交叉
部に本発明に係る空気軸受機構５を介してステージ４を
取付けている。
ステージ４は、縦横可動ガイド２．３間に配備され、上
面、および下面にそれぞれ可動ガイド２．３を挾み一対
の軸受ブロック５ ａ、 ５ ａ、５ ｂ。
面、および下面にそれぞれ可動ガイド２．３を挾み一対
の軸受ブロック５ ａ、 ５ ａ、５ ｂ。
５ｂを取付は固定して軸受機構５を構成している。
軸受ブロック５ａ、 ５ａ は、第１図に示す如く、可
動ガイド２の両側に対向配備され、それぞれ軸受本体５
１の外側中央部に弾性ひんじ部５２を介して取付部５３
を連設し、取付部５３をステージ４に対しビス固定して
いる。軸受本体５１の対向面には、それぞれ直交ガイド
３の仮想中心線に対し対称位置に、弾性ひんじ部５４．
５４を介して軸受パッド５５．５５が連設され、各軸受
パッド５５．５５のパッド面５６を可動ガイド２の両側
面に形成される軸受案内面２１．２１に対向させ、一定
の軸受すきまｇを設定してなり、前記軸受本体５１を取
付部５３との間、および軸受本体５１と各軸受パッド５
５との間の各弾性ひんじ部５２，５４にて軸受パッド５
５の自動調心手段５７を構成する。尚、各軸受パッド５
５には、軸受パッド面５６の中央部に空気導孔の先端を
絞ったオリフィス（図示せず）が形成され、空気導孔は
給気管を介して圧力空気源に接続される。
動ガイド２の両側に対向配備され、それぞれ軸受本体５
１の外側中央部に弾性ひんじ部５２を介して取付部５３
を連設し、取付部５３をステージ４に対しビス固定して
いる。軸受本体５１の対向面には、それぞれ直交ガイド
３の仮想中心線に対し対称位置に、弾性ひんじ部５４．
５４を介して軸受パッド５５．５５が連設され、各軸受
パッド５５．５５のパッド面５６を可動ガイド２の両側
面に形成される軸受案内面２１．２１に対向させ、一定
の軸受すきまｇを設定してなり、前記軸受本体５１を取
付部５３との間、および軸受本体５１と各軸受パッド５
５との間の各弾性ひんじ部５２，５４にて軸受パッド５
５の自動調心手段５７を構成する。尚、各軸受パッド５
５には、軸受パッド面５６の中央部に空気導孔の先端を
絞ったオリフィス（図示せず）が形成され、空気導孔は
給気管を介して圧力空気源に接続される。
然して、ＸＹステージを組立てる場合、先ず可動ガイド
２．３は、治具等を用いて５“〜１ｏ“程度の直交度に
仮組し、この状態で軸受すきまｇを所定値（例えば１０
μｍ）に調整して取付ける。次いで、各空気軸受に圧力
空気を供給し、各軸受パッド面５６と縦横可動ガイド２
．３とを非接触状態となす。このとき、縦横ガイド２゜
３の直交度は、通常オリフィス径のバラツキ等により初
期の仮組み時より悪化しており、ステージの位置決め精
度を向上するには直交度を１“前後に精密調整する必要
がある。精密調整には可動ガイド２．３を冶具等により
微動させ、ガイドの交叉角を所定角度内に設定する。こ
の状態では、可動ガイド２．３の交叉角は仮組時から変
化しているか、軸受すきまｇは、可動ガイドの交叉角の
変化に応じ、各軸受パッド５５が弾性ひんじ部５２，５
４にて首振り状態に変位することにより、一定の軸受す
きまｇが保持され、以て軸受特性は変化せず艮好なステ
ージ特性が得られる等、構成簡易にして実用上の顕著な
効果を有す。
２．３は、治具等を用いて５“〜１ｏ“程度の直交度に
仮組し、この状態で軸受すきまｇを所定値（例えば１０
μｍ）に調整して取付ける。次いで、各空気軸受に圧力
空気を供給し、各軸受パッド面５６と縦横可動ガイド２
．３とを非接触状態となす。このとき、縦横ガイド２゜
３の直交度は、通常オリフィス径のバラツキ等により初
期の仮組み時より悪化しており、ステージの位置決め精
度を向上するには直交度を１“前後に精密調整する必要
がある。精密調整には可動ガイド２．３を冶具等により
微動させ、ガイドの交叉角を所定角度内に設定する。こ
の状態では、可動ガイド２．３の交叉角は仮組時から変
化しているか、軸受すきまｇは、可動ガイドの交叉角の
変化に応じ、各軸受パッド５５が弾性ひんじ部５２，５
４にて首振り状態に変位することにより、一定の軸受す
きまｇが保持され、以て軸受特性は変化せず艮好なステ
ージ特性が得られる等、構成簡易にして実用上の顕著な
効果を有す。
第１図は本発明ＸＹステージの要部の平面図、第２図は
第１図中■−■線ｍ１面図、第３図は従来のＸＹステー
ジの斜視図、第４図は従来装置の説明図である。 １・・・定盤 ２．３・・・縦横可動ガイド４・
・・ステージ ５ ・・・空気軸受機構５１・・・軸
受本体 ５２・・・弾性ひんじ部５３・・・取付部
５４・・・ひんじ部５５・・・軸受パッド ５６・
・・パッド面５７・・・自動調心手段 特許出願人 立石電機株式会社 う士７ 図 ホ発β月ｘｙスクーンｊ４Ｌ令予ω千市図／ 定盤
２２３ 可１カカ゛イド 〃 ヌテーン ／、、Ｍ受機構 、ｆ／、、、ｉ２由・ジと４ イン’ｋ 、
ｉ２．、．３乙軍ｆ４ノ１ミ。ｔｙｔ；’キ？８ 駅
付専ｐ Ｊｈ、、、Ｊｊｌ−４ＴｔｔンＬ”’Ｊ
Ｊｊ ＠ヴバ・ノド Ｊ５ 八°ツドｔｆ
ｎ枡３二訂 ４ｔｅ−ｊｌ、 ４ ｘ ｙｘ ｙ −ｖ゛ｎ４ｎ ４
晃コ−７＋４図 魂Ａ−オ２．Ａ史１のイｔ→芝す、、ｌ言見明剤、・５ １、−＋＋、ノ
第１図中■−■線ｍ１面図、第３図は従来のＸＹステー
ジの斜視図、第４図は従来装置の説明図である。 １・・・定盤 ２．３・・・縦横可動ガイド４・
・・ステージ ５ ・・・空気軸受機構５１・・・軸
受本体 ５２・・・弾性ひんじ部５３・・・取付部
５４・・・ひんじ部５５・・・軸受パッド ５６・
・・パッド面５７・・・自動調心手段 特許出願人 立石電機株式会社 う士７ 図 ホ発β月ｘｙスクーンｊ４Ｌ令予ω千市図／ 定盤
２２３ 可１カカ゛イド 〃 ヌテーン ／、、Ｍ受機構 、ｆ／、、、ｉ２由・ジと４ イン’ｋ 、
ｉ２．、．３乙軍ｆ４ノ１ミ。ｔｙｔ；’キ？８ 駅
付専ｐ Ｊｈ、、、Ｊｊｌ−４ＴｔｔンＬ”’Ｊ
Ｊｊ ＠ヴバ・ノド Ｊ５ 八°ツドｔｆ
ｎ枡３二訂 ４ｔｅ−ｊｌ、 ４ ｘ ｙｘ ｙ −ｖ゛ｎ４ｎ ４
晃コ−７＋４図 魂Ａ−オ２．Ａ史１のイｔ→芝す、、ｌ言見明剤、・５ １、−＋＋、ノ
Claims (2)
- （１）段違いに直交する縦横可動ガイドと、両ガイドの
交叉部に空気軸受機構を介して支持せられ交叉部の変位
に応じて移行するステージとを具備したＸＹステージに
おいて、前記空気軸受機構における縦横可動ガイドに対
向した各軸受パッドに対し、それぞれ自動調心手段を設
けて成るＸＹステージ。 - （２）自動調心手段は、ステージに取付け固定する取付
部と軸受本体との間、および軸受本体と軸受パッドとの
間に弾性ひんじ部を形成して構成されている特許請求の
範囲第１項記載のＸＹステージ。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP5120785A JPS61209833A (ja) | 1985-03-13 | 1985-03-13 | Ｘｙステ−ジ |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP5120785A JPS61209833A (ja) | 1985-03-13 | 1985-03-13 | Ｘｙステ−ジ |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS61209833A true JPS61209833A (ja) | 1986-09-18 |
Family
ID=12880457
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP5120785A Pending JPS61209833A (ja) | 1985-03-13 | 1985-03-13 | Ｘｙステ−ジ |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS61209833A (ja) |
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH01197789A (ja) * | 1988-02-03 | 1989-08-09 | Yokogawa Electric Corp | トレンド表示装置 |
| US4899456A (en) * | 1987-08-24 | 1990-02-13 | Mitutoyo Corporation | Surface contour measuring tracer |
| US7065887B2 (en) * | 2001-10-18 | 2006-06-27 | Corghi S.P.A. | Device for supporting the wheels of motor vehicles in general during their attitude check |
-
1985
- 1985-03-13 JP JP5120785A patent/JPS61209833A/ja active Pending
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US4899456A (en) * | 1987-08-24 | 1990-02-13 | Mitutoyo Corporation | Surface contour measuring tracer |
| JPH01197789A (ja) * | 1988-02-03 | 1989-08-09 | Yokogawa Electric Corp | トレンド表示装置 |
| US7065887B2 (en) * | 2001-10-18 | 2006-06-27 | Corghi S.P.A. | Device for supporting the wheels of motor vehicles in general during their attitude check |
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