JPS61194951U - - Google Patents
Info
- Publication number
- JPS61194951U JPS61194951U JP7922885U JP7922885U JPS61194951U JP S61194951 U JPS61194951 U JP S61194951U JP 7922885 U JP7922885 U JP 7922885U JP 7922885 U JP7922885 U JP 7922885U JP S61194951 U JPS61194951 U JP S61194951U
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- electron beam
- electron
- sample
- lens system
- detector
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
Description
第１図は対物レンズと試料の縦断面図、第２図
は第１図のうちコリメータを下から見た図である
。 ２…試料、５…コリメータ、７…反射電子検出
器。
は第１図のうちコリメータを下から見た図である
。 ２…試料、５…コリメータ、７…反射電子検出
器。
Claims (1)
- 電子線を発生し、該電子線を加速し収束レンズ
系により収束し、試料を透過した電子線を形像レ
ンズ系により拡大し、螢光板上に可視像として観
察可能とする電子顕微鏡において、電子線が試料
を照射して発生する反射電子を検出するための検
出器を対物レンズの間隔より上部に取付けたこと
を特徴とする反射電子検出器。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP7922885U JPS61194951U (ja) | 1985-05-29 | 1985-05-29 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP7922885U JPS61194951U (ja) | 1985-05-29 | 1985-05-29 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS61194951U true JPS61194951U (ja) | 1986-12-04 |
Family
ID=30623944
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP7922885U Pending JPS61194951U (ja) | 1985-05-29 | 1985-05-29 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS61194951U (ja) |
-
1985
- 1985-05-29 JP JP7922885U patent/JPS61194951U/ja active Pending
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| JPS63165761U (ja) | ||
| JPS61194951U (ja) | ||
| JPH0348852U (ja) | ||
| JPS6157464U (ja) | ||
| JPH0424252U (ja) | ||
| JPS63108156U (ja) | ||
| JPS6065967U (ja) | 走査電子顕微鏡 | |
| JPH0369853U (ja) | ||
| JPS613661U (ja) | 走査電子顕微鏡 | |
| JPH02124537U (ja) | ||
| JPH0453549U (ja) | ||
| JPS59187069U (ja) | 荷電粒子線分析装置 | |
| JPS582856U (ja) | 透過走査像観察装置 | |
| JPS63131059U (ja) | ||
| JPS59150159U (ja) | 走査電子顕微鏡 | |
| JPS61186158U (ja) | ||
| JPH0166747U (ja) | ||
| JPS60184259U (ja) | 分析電子顕微鏡 | |
| JPS59177164U (ja) | 走査型反射電子回折顕微装置 | |
| JPS6419155U (ja) | ||
| JPS5945849U (ja) | イオン注入装置 | |
| JPH042448U (ja) | ||
| JPS615483U (ja) | 電子線検出器 | |
| JPH02133859U (ja) | ||
| JPS62169460U (ja) |