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JPS61193795A - レ−ザ加工装置用被加工物距離検出装置 - Google Patents

レ−ザ加工装置用被加工物距離検出装置

Info

Publication number
JPS61193795A
JPS61193795A JP60033432A JP3343285A JPS61193795A JP S61193795 A JPS61193795 A JP S61193795A JP 60033432 A JP60033432 A JP 60033432A JP 3343285 A JP3343285 A JP 3343285A JP S61193795 A JPS61193795 A JP S61193795A
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
nozzle
distance
detector
workpiece
detection device
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Pending
Application number
JP60033432A
Other languages
English (en)
Inventor
Yutaka Amano
裕 天野
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
SPC Electronics Corp
Original Assignee
SPC Electronics Corp
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by SPC Electronics Corp filed Critical SPC Electronics Corp
Priority to JP60033432A priority Critical patent/JPS61193795A/ja
Publication of JPS61193795A publication Critical patent/JPS61193795A/ja
Pending legal-status Critical Current

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  • Laser Beam Processing (AREA)

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 [産業上の利用分野1 本発明は、レーザ加工装置における被加工物までの距離
を検出してレーザビーム照射用ノズルと被加工物との闇
の距離を制御するレーザ加工装置用被加工物距離検出装
置に関するものである。
[発明の概要] 本発明は、レーザビーム照射用ノズルの外周にその軸心
に対して同心状に回転自在に被加工物距離検出器を設け
、前記距離検出器は前記ノズルの外周に回転機構で回転
させるようにし、且つ前記距離検出器の回転位置を回転
位置検出器で検出することにより、 前記ノズルの進行方向の側方の障害物も検出できるよう
にし、またノズルの周囲の特定位置の距離も計測できる
ようにし、且つ多次元方向の連続加工を行なう場合でも
常に同じ位置の方向での距離の検出も行えるようにした
ものである。
[従来の技術] 従来のこの種の装置は、レーザビーム照射用ノズルの近
傍に1個又は複数個のエアセンサ等を設けるか、或いは
レーザビーム照Q’l用ノズルの全周にリング状の静電
容量形センサを設けた構造であった。
[発明が解決しようとする問題点] しかしながら、前者ではセンサを設けた点のみを検出す
るため、例えばセンサをノズルの進行方向に設けると、
その側面における距離は検出できず、その部分に被加工
物の突出部があると、その突出部がノズルに衝突して損
傷してしまう欠点があった。また、数値制御等によって
連続して2次元方向に加工する場合は、ノズルの進行方
向(実際にはノズルは固定で、被加工物が動くことが多
いが、説明の便宜上ノズルが動くとして説明する。
)の距離をも検出することができない欠点があった。
また、後者の場合は、ノズルの外周の全ての距離を検出
してそれらを平均化するため、被加工物の突出部等によ
って正確な距離が検出できない欠点があった。
本発明の目的は、多次元の連続加工においても被加工物
までの距離を正確に測定でき、しかもノズルの周囲のど
の位置に突出物が存在していてもその突出物までの距離
の測定を正確に行なうことができるレーザ加工装置用被
加工物距離検出装置を提供するにある。
し問題点を解決するための手段] 上記の目的を達成するための本発明の構成を、実施例に
対応する図面を参照して説明すると、本発明はレーザビ
ーム照射用ノズル3の外周にその軸心に対して同心状に
回転自在に設けられた被加工物距離検出器9と、前記距
離検出器9を前記ノズル3の外周に回転する回転機構1
0と、前記ノズル3の周方向における前記位置検出器9
の位置を検出する回転位置検出器18とを備えて構成さ
れていることを特徴とするものである。
[発明の作用] このように距離検出器9をノズル3の外周に回転させる
と、ノズル3の周方向のいずれの位置の距離をも検出す
ることができる。距離検出器9の位置は回転位置検出器
18で検出しているので、周方向のどの位置の検出かも
容易にわかる。
[実施例] 以下本発明の実施例を図面を参照して詳細に説明する。
図示のように、加工装置本体1には支持筒2が設けられ
、該支持筒2にはレーザビーム照射用ノズル3が被加工
物4に指向されて上下動自在に嵌合されている。支持筒
2にはノズル昇降用モータ5が支持され、該モータ5で
スクリューネジ6が回転駆動されるようになっている。
ノズル3にはブラケット7が突出され、該ブラケット7
にスクリューネジ6が螺合されノズル3の昇降が行なわ
れるようになっている。これら、モータ5゜スクリュー
ネジ6、ブラケット7にてノズル昇降機構8が構成され
ている。
ノズル3の先端側外周には、その軸心の回りに回転自在
に被加工物距離検出器9が配設され、該検出器9はノズ
ル3の回りに回転機構10で回転駆動されるようになっ
ている。該回転機構10は、ノズル3の外周に軸受11
を介して回転自在な歯車12と、この歯車12に噛み合
う歯車13と、歯車13を回転させる検出器回転用モー
タ14と、該モータ14をノズル3に支持させるブラケ
ット15とで構成されている。距離検出器9は、歯車1
2を貫通して該歯車12に支持され、スリップリング1
6を介して電気信号が取り出され、信号処理部17に入
力されるようになっている。検出器回転用モータ14の
回転軸にはロータリエンコーダの如き回転位置検出器1
8が接続され、距離検出器9の回転位置の検出が行われ
るようになっている。回転位置検出器18の出力信号も
信号処理部17に入力されるようになっている。歯車1
2と歯車13の比率が1であれれば、回転位置検出器1
8によってモータ18の回転位置を検出することによっ
てその信号と距離検出器9の回転位置とが同期し、比率
が異なる場合は信号処理部17により適切な演算を行う
ことにより同期させることができる。
このように構成した被加工物距離検出装置は、距離検出
器9をノズル3の回りに回転させながら、被加工物4ま
での距離を検出すると共に各検出器9の位置を回転位置
検出器18により検出し、被加工物4までの距離とその
検出した位置とを信号処理部17で比較しながら適切な
情報を得ることによって、通常はノズル3の進行方向の
位置の距離信号のみを取り出して制御を行い、ノズル3
の周方向の伯の部分からの距離信号は異常距離信号(例
えば、ノズル3が衝突する程の近距離となったときの信
号)のみを取り出して装置をストップさせるようにする
更に、数値制御によって連続して多次元の加工を行なう
場合には、数値制御プログラムによってノズル3の進行
方向を信号処理部17に送り、該信号処理部17で距離
検出器9のどこの位置の信号を距離信号とするかを決定
しながら検出を行い、その検出結果に基づいて信号処理
部17がらノズル背降機構8に信号を送り、該ノズル昇
降機構8によりノズル3を昇降させ、適切な位置を保ち
ながら加工を行うようにする。
[発明の効果] 以上説明したように本発明では、被加工物距離検出器を
ノズルの全周に亘って回転して被加工物までの距離の検
出を行なうので、進行方向の側方等でも被加工物までの
距離をもれなく正確に検出することができる。また、距
離検出器のノズル周方向の位置は、回転位置検出器で検
出できるので、ノズル周方向の位置とその位置における
被加工物までの距離とを対応させて検出することができ
る。
従って、ノズル周方向の特定箇所のみの距離の検出も容
易であり、また数値制御プログラムによって多次元方向
の連続加工の場合でも常に同じ位置の方向での距離の検
出も可能になる。
【図面の簡単な説明】
図面は本発明に係る装置の一実施例の一部を縦断して示
した側面図である。 1・・・加工装置本体、3・・・レーザビーム照射用ノ
ズル、4・・・被加工物、8・・・ノズル昇降機構、9
・・・被加工物距離検出器、10・・・回転機構、17
・・・信号処理部、18・・・回転位置検出器。

Claims (1)

    【特許請求の範囲】
  1. レーザビーム照射用ノズルの外周にその軸心に対して同
    心状に回転自在に設けられた被加工物距離検出器と、前
    記距離検出器を前記ノズルの外周に回転する回転機構と
    、前記ノズルの周方向における前記距離検出器の位置を
    検出する回転位置検出器とを備えて成るレーザ加工装置
    用被加工物距離検出装置。
JP60033432A 1985-02-21 1985-02-21 レ−ザ加工装置用被加工物距離検出装置 Pending JPS61193795A (ja)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP60033432A JPS61193795A (ja) 1985-02-21 1985-02-21 レ−ザ加工装置用被加工物距離検出装置

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP60033432A JPS61193795A (ja) 1985-02-21 1985-02-21 レ−ザ加工装置用被加工物距離検出装置

Publications (1)

Publication Number Publication Date
JPS61193795A true JPS61193795A (ja) 1986-08-28

Family

ID=12386380

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP60033432A Pending JPS61193795A (ja) 1985-02-21 1985-02-21 レ−ザ加工装置用被加工物距離検出装置

Country Status (1)

Country Link
JP (1) JPS61193795A (ja)

Cited By (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US5061839A (en) * 1990-03-06 1991-10-29 Mitsubishi Denki K.K. Laser beam machining apparatus
US5624587A (en) * 1993-03-08 1997-04-29 Mitsubishi Denki Kabushiki Kaisha Laser machining apparatus and method of setting focus thereof

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Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US5061839A (en) * 1990-03-06 1991-10-29 Mitsubishi Denki K.K. Laser beam machining apparatus
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