JPS61186238A - 光フアイバ母材の製造装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 ［技術分野］ 本発明は高品質な大形の光ファイバ母材を高速度で安定
に製造する光ファイバ用材の製造装置に関するものであ
る。

［従来技術］ 従来、光ファイバ用附材を製造する方法としては、ＭＣ
：ＶＤ法（Ｍｏｄｉｆｉｅｄ　Ｃｈｅｍｉｃａｌ　Ｖａ
ｐｏｒ　Ｄｅｐｏｓｉｔｉ。

ｎ　）　　、ＯＶＤ法（Ｏｕｔｓｉｄｅ　Ｖａｐｏｒ　
Ｄｅｐｏｓｉｔｉｏｎ）　　、ＶＡＤ法（Ｖａｐｏｒ−
ｐｈａｓｅ　Ａｘｉａｌ　Ｄｅｐｏｓｉｔｉｏｎ）等が
知られており、これらの方法によって光伝送損失の低い
光ファイバが製造されている。これらの製造方法のうち
、ＶＡＤ法ではガラス微粒子からなる多孔質母材を合成
する工程と、その多孔質母材を透明ガラス化する工程と
を有する。多孔質母材を合成する工程は、火炎内にガラ
ス原料を供給し、これを分解してガラス微粒子を生成さ
せ、そのガラス微粒子を疑似母材に堆積させることによ
り実施される。透明ガラス化の工程はガラス中に含まれ
る水分を除去するための処理とともに行われる。

ＶＡＤ法は、原料である塩化物等の高純度化が容易なこ
とから高純度のガラス母材を合成でき、いったん多孔質
母材の形態をとるために透明ガラス化する際に、光の吸
収損失の最大の原因となる水酸基が容易に除去できる等
の長所を有し、高品質の光ファイバを製造するための有
力な製造方法となっている。

光ファイバ母材を線引きして得られる光ファイバは、少
なくとも光の伝播するコアの部分と、それを包むクラッ
ドの部分とを有するで、母材においても、組成の異なる
ガラス微粒子を所望の光ファイバ構造と相似の形となる
ように堆積させる。

基本的なコアとクラッドの構造を有する光ファイバ母材
を形成するには、一般に次の二つの方法が用いられてい
る。ひとつは部分合成と呼ばれる方法であり、光ファイ
バのコアに相当する部分あるいはコアとクラッドの一部
を含む母材をＶＡＤ法により合成し、そのコア部多孔質
母材を透明ガラス化した後、その母材をクラッド部とし
ての石英パイプに挿通して一体化することにより形成す
る。この方法によれば、時間のかかるガラス微粒子堆積
の工程を、コアとその周囲の光が伝播することになる部
分に限定し、ファイバ中を伝播する光に対する影響の少
ない外周のクラッド部分を石英パイプで形成する。この
方法で用いる石英パイプは、光の伝播への影響は小さい
とはいえ、線引きされた光ファイバの機械的な強度等に
関係するために、高純度の１ものを用いる必要がある。

これがため、工程が２工程になるとともに製造コストが
高くつく欠点がある。

他方は全合成とよばれる方法であり、所望のコア径／ク
ラツド径比になるようにコアおよびクラッド用ガラス微
粒子を母材に堆積させて多孔質母材を成長させる。一般
に、クラッド部分は厚く付ける必要があるために、クラ
ッド合成用バーナを複数段設ける必要がある。

現在使用されている通信用光ファイバの代表的な種類に
ついて、各々の製造方法、必要とされるコア径／クラツ
ド径比および重量比を第１表に示す。

従来のガラス微粒子合成用バーナを使用して合成できる
ガラスの重量は最大１．７ｇ／ｍｉｎ程度であり、第１
表の母材を合成するためには特にクラ・ンド部において
多数のバーナを多段に用いる必要があった。この方法で
は、合成中の母材が定常状態になるまでの時間が長く、
定常状態になるまでの母材余長が長くなり、さらには複
数のバーナが相互に干渉して長時間にわたって安定した
母材の製造ができないという欠点があった。この問題は
、第１表中に示した中でもシングルモード用母材製造の
場合に典型的であり、３−５段のクラ・ンド合成用／（
−すを使用するとともにコア部の母材を細く作製する必
要があった。第１表中でシングルモードファイバの一部
が、前者の方法に相当する部分クラッド合成により製造
されているのはこのような理由による。

以上、現在性われている母材の製造方法を例にとって説
明したように、最終的に種々の形状を有する光ファイバ
ｍ１作製しようとすると、同一の性能を有する合成用バ
ーナを多段に組み合わせただけでは効率のよい作製が困
難である。そこで異なった性能を有する合成用バーナの
研究がなされてきた。

シングルモードファイバ母材を部分合成法を用いずに全
合成するような場合に典型的なコア径／クラツド径比を
太きくするための一つの方法としては、コア部の母材を
なるべく細く堆積させることが考えられる。これに関し
ては、八−すを細径化したり、バーナに供給する原料を
減少させても堆積する多孔質母材の直径は２０ｍｍ以下
にはならないことが知られている。

そこで、この限界より細径の多孔質体を堆積するために
、特願昭５４−１２８５３０号および特願昭５５−８３
８４１号またはこれに対応する米国特許第４，３４５゜
８２８号では、原料供給口をバーナの断面内で偏心させ
たバーナが提案された。この偏心バーナでは、偏心した
ガラス原料吹出口が下部にくるようにして使用すること
により火炎中で合成されたガラス微粒子が横に広がりに
くくなり、直径２０ｍｍ以下の細径の母材を合成できる
。

コア径／クラツド径比を大きくするもう一つの方法とし
ては、クラツド径を大きくすることが考えられるが、そ
のために多数のバーナな用いることは、」−述のような
問題がある。そこで、単一のバーナで堆積速度を速くし
て、ガラス原料の反応効率等を改善させるために、火炎
を多重化することが特願昭５８−２１９３８０号の「ガ
ラス微粒子合成用バーナ」において提案されている。

このような二重火炎バーナの構造を第１図に示す。第１
図において、１は内側火炎用ガラス原料供給口、２は内
側火炎用ガラス原料供給口１の周囲に配置した内側火炎
用燃焼ガス供給口、３は内側火炎用燃焼ガス供給口２の
周囲に配置した外側火炎用ガラス原料供給口、４は外側
火炎用ガラス原料供給口３の周囲に配置した外側火炎用
燃焼ガス供給口である。５は内側火炎用ノズル、６は外
側火炎用ノズルであり、内側火炎用ノズル５と外側火炎
用ノズル６とは独立している。７は内側火炎８内で反応
しているガラス原料層、８は外側火炎、１０は生成され
たガラス微粒子、１１は成長しつつある多孔質母材を示
している。ａは内側火炎の火炎長、ｂは内側および外側
火炎から成る二重火炎の火炎長を示す。ここで、内側火
炎用ノズル５を外側火炎用ノズル６より引込めて配置可
能とすることにより、内側火炎８が外側火炎８より距離
文だけ退行可能なように構成し、退行距＃文をガラス原
料の供給量に応じて調節できるようにしである。

このように内側火炎８を外側火炎８より退行させること
により、実効火炎長はｂに長くなり、したがって、ガラ
ス微粒子の火炎内での滞留時間が長くなるから、ガラス
微粒子の粒径が平均粒径０．２　ｐｍ以」−に大きくな
る。しかもまた、供給されるガラス原料を増大させても
、火炎内での反応時間が長くなるので、反応効率は低下
せず合成速度が増加する。

このような多重火炎バーナを用いてガラス微粒子を堆積
させると、火炎中で合成されるガラス微粒子量が多く、
かつ粒径が大きいことにより、伺着効率の高いこととあ
いまって、大径で、かつ、かさ密度の大きい多孔質母材
が得られる。

第２図は２重火炎バーナと従来のバーナの特性とを比較
したものであり、直径１５０ｍｍの擬似母材に５ｉ０２
を堆積させたときの堆積速度をガラス原料である５ｉ（
４゜の供給量に対して示している。

５ｉＣｕ　４の供給量を５０００ｃｃ／ｍｉｎとすると
、２重火炎バーナでは５　ｇ／ｍｉｎの堆積速度が得ら
れ、収率は６０〜７０％であった。同一条件で従来型の
バーナを用いた場合には、堆積速度は２．５ｇ／ｍｉｎ
であり、収率は約３０％であった。従来のバーナでは、
火炎中で合成されるガラス微粒子の平均粒径が０．１　
ｇｍ程度と小さいので、たとえ原料の供給量を多くして
も、ターゲットに付着しないで排出されてしまう量が多
くなり、収率が低下し、堆積速度が頭うちとなることが
明らかになっている。また、火炎中で合成される微粒子
径の相違により、得られる多孔質体のかさ密度に差があ
り、従来のバーナを用いたときの典型的な値が約０．２
ｇ／ｃｍ３であるのに対し、２重火炎バーナを用いた場
合は約Ｑ、４ｇ／ｃｍ３である。

２重火炎バーナを用いて作製した大径の多孔質母材は、
これを加熱して透明化するにあだ４］、従来のバーナに
よって得られる多孔質母材よりも遅い肩温速度で透明ガ
ラス化温度まで加熱する必要がある（特願昭５９−３４
３００号参照）。あるいは、透明ガラス化するにあたり
、いったん、透明ガラス化温度より低く、かつ多孔質母
材が収縮する温度で加熱し、その後、透明ガラス化温度
まで再加熱する二段階加熱法を用いることも有効である
（特許５９−３７２２３号参照）。このような差は、得
られる母材が大径であることと、そのかさ密度が太きこ
とに起因しており、多孔質体の間の空隙から脱泡するの
に要する時間が長いためと考えられる。

［目　的］ そこで、本発明の目的は、大形の光ファイバ母材を全合
成してクラッドを効率よく形成するにあたって、簡便か
つ安定に全合成を行うことのできる光ファイバ母材の製
造装置を提供することにある。

本発明の他の目的は、多孔質母材の合成に用いる複数の
合成用バーナのうちの少なくとも一つを多重火炎バーナ
とすることにより、種々の構造の光ファイバ用母材を全
合成し、あるいは、その大部分を合成することにより効
率よく製造する光ファイバ母材の製造装置を提供するこ
とにある。

［発明の構成］ このような目的を達成するために、本発明では、複数の
ガラス微粒子合成用バーナな用いて光ファイバ母材を全
合成、あるいは大部分を合成するにあたって、合成用バ
ーナの一部分として、特にクラッド部分の堆積を行う部
分として、多重火炎バーナを設け、その堆積の高速性を
活かして、必要最小限の本数のバーナにより所望のコア
径／クラツド径比が得られるように構成する。

すなわち、本発明は、複数の原料合成用バーナ中に可燃
性ガス、支燃性ガスおよびガラス原料を供給し、可燃性
ガスおよび支燃性ガスにより形成される火炎内でガラス
原料を分解してガラス微粒子を形成し、ガラス微粒子を
堆積させて多孔質母材を形成する光ファイバ母材の製造
装置において、複数の原料合成用バーナのうちの少なく
とも１つを、ガラス原料を供給する原料供給用ノズルと
、原料供給用ノズルのまわりに順次に配置され、それぞ
れ、個別の火炎流を順次に形成する複数の火炎形成用ノ
ズルとを有し、複数の火炎形成用ノズルのうｄ乞のノズ
ルは−のノズルよりも外側の火炎形成用ノズルに対して
退行可能な構造を有する多重火炎バーナで構成したこと
を特徴とする。

本発明によれば、従来の合成用へ−すを有する製造装置
に比較してコア径／クラツド径比の大きな母相を少数の
バーナで製造できるので、多段にバーナを用いた場合に
比較して工程が安定となり、合成に要する時間が短縮さ
れる。しかもまた、大径の多孔質母材が得られるので、
外径調整のための石英管を設けることは不要となる。従
来から全合成により製造されていた構造の母材も、最終
的に得られる光ファイバの特性を劣化させることなく、
高速に合成することが可能となる。

［実施例］ 以下に図面を参照して本発明の詳細な説明する。

本発明では、複数のガラス微粒子合成用バーナを用いて
光ファイバ母材を全合成あるいは大部分を合成するにあ
たって、合成用バーナの一部分として、特にクラッド部
分の堆積を行う部分として、多重火炎バーナを設け、そ
の堆積の高速性を活かして、必要最小限の本数のバーナ
により所望のコア径／クラツド径比が得られるようにす
る。

本発明における全合成の実施例を以下に述べる。

実施例１ 第３図は、マルチモードグレーデッドインデックスファ
イバ用母材を全合成により製造する本発明装置の一実施
例を示す。ここで、２１はコア合成用バーナ、２２は多
重火炎バーナ、２３は排気管、２４は合成されたコア部
多孔質母材、２５はクラッド部多孔質母材である。ここ
で、バーナ２１および２２とも母材の成長方向に傾けて
配、置し　しかもバーナ２１をバーナ２２より下方に配
置する。

例えば、バーナ２１は垂直方向に対して２０°〜４５°
の範囲、例えば３０°傾け、バーナ２２は垂直方向に対
して４５°〜８０″の範囲、例えば７０６傾けた。この
ような傾きは、バーナ２１に関しては、ガラス原料流の
流れが安定になるように考慮し、バーナ２２に関しては
、コア部とクラッド部との界面が急激な形状変化および
密度変化を生じないように考慮して定めた。

この実施例において、コア合成用バーナ２１としては、
通常の同心円状の一重バーナを用いることができる。

コア合成用バーナ２１にはガラス原料としてＳｉ［ＥＭ
　４を流速４５０ｃｃ　／ｍｉｎで供給し、　ＧａＣｕ
ａを流速４０ｃｃ／ｗｉｎで供給した。クラッド合成用
多重火炎バーナ２２にはＳｉ０文。を流速２２００ｃｃ
／ｍｉ　ｎで供給した。これによりコア部の直径が６０
ｒｎＩ１１で、外径が１５０ｍｍの多孔質母材が得られ
た。合成速度として４．４ｇ／ｍｉｎ　（コア部０．７
ｇ／ｍｉｎ　　、クラッド部３．７ｇ／ｍｉｎ　）が得
られた。

計算から求めたガラス原料の収率はコア部分の合成で６
０％、クラッド部合成で７０％であり、クラッド部合成
の方が若干高い。これは、多重火炎の効果と径が大きく
なって堆積面が拡がった効果とによるものと考えられる
。

これにより、堆積しないガラス微粒子量は少なくなり、
また、タララドバーナ２２が１本のため干渉もなく、１
０時間以上の安定した母材製造ができるようになった。

しかも、母材成長が定常状態になるまでの母材余長Ｌ２
は１２０ｍｍであった。従来法によりクラッド合成用バ
ーナとして従来のバーナを３段使用した場合には、母材
成長が定常状態になるまでの母材余長Ｌ２は通常は２２
０　ｍ　ｍ程度であり、それに比較して１００ｍｍ程短
縮することができた。

透明化にあたっては、作製した多孔質母材をまず１３０
０°Ｃの温度において塩素系脱水剤をＨｅとともに流し
ながら１回目の焼結時に脱水収縮を行わせた。外径が約
１５０ｍｍの多孔質母材は収縮して外径が約７０ｍｍに
減少し、乳白色でガラス４にの表面を呈した。次に、こ
れを直径１００ｍｍの電気炉に入れＨｅガス雰囲気下で
１５５０°Ｃまで高温処理して透明なガラス母材を得た
。このように２段階にわけて焼結することにより、多孔
質母材径が大きいために生ずる石莢炉心管の変形や母材
径が収縮によって変化することによる熱効率の低下等の
問題が解消された。

以−にのようにして製造した大型の透明ガラス化母材を
長さ４９００＋ｎで屈折率差１．０％の光ファイバに線
引きして伝送損失および帯域を測定した。かかる伝送損
失測定結果を第４図に示す。

第４図かられかるように、波長０．８５　ｐ−ｍにおい
て２．３５ｄＢ／ｋｍ　、波長１．３０ｇｍにおいて、
０．６２ｄＢ／ｋｍ　、波長１．５５　ｇ　ｍにおいて
、０．４４ｄＢ／ｋｍの値が得られ、波長１．３９ｇｍ
のＯＨ吸収ピークから求めたＯＨ量は、３０ｐｐｂであ
った。伝送帯域は、波長１．３　ｐＬｍにおいて８４０
ＭＨ２１１ｋｍ　　であり、いずれも従来の光ファイバ
製造方法と同様にすぐれた特性を示した。

実施例２ 全合成シングルモード光ファイバ缶材の製造を行うため
の本発明装置の実施例を第５図に示す。

全合成でシングルモード光ファイバを形成するためには
、コア部分の多孔質母材の直径を１０〜１５ｍｍと非常
に細径に形成することが必要となる。

第５図において、３１は細径母材合成用偏心バーナ、３
２および３３はクラッド合成用多重火炎バーナ、３４は
コア部多孔質母材、３５はクラッド部多孔質母材である
。３６および３７は未堆積ガラス微粒子廃棄用の排気管
である。ここで、バーナ３１，３２および３３は母材の
成長方向（垂直方向）に対して、それぞれ、５０’、７
０°および９０°傾け、バーナ３１を最下方に配置し、
それより上方にバーナ３２および３３をこの順序で配置
する。Ｌ３は母材成長が定常状態になるまでの母材全長
である・ 第５図に示すように、細径母材合成用偏心バーナ３１に
よってコア部に相当する細径多孔質母材３４を合成する
。その後、クラッド部分３５をクラッド合成用２重火炎
バーナ３２および３３により順次に合成して積層する。

木実施例でのガラス原料供給量については、偏心バーナ
３１にｌｔ、コアを成用にＳｉＣ交４を流速７０ｃｃ／
ｍｉｎ　　で供給し、　ＧｅＣｕ　４を流速５　ｃｃ／
ｍｉｎ　　で供給した。１段目のクラッド合成用２重火
炎バーナ３２にはＳｉ（、Ｑ。を流速２２００ｃｃ／ｍ
ｉｎ　　で供給し、２段目のクラッド合成用２重火炎バ
ーナ３３には５ｉＣＪｊ４を流速３０００ｃｃ／ｍ　ｉ
ｎ　　で供給した。合成速度はコア部分が約０．０６ｇ
／ｍｉｎ、第１段クラッド部分が４　ｇ／ｍｉｎ　、第
２段クラッド部分が６　ｇ／ｍｉｎであった。

収率は、コア部分が５０％、第１段クラッドが７０％、
第２段クラッドが７５％であった。多孔質母材コア部３
４の直径は１５ｍｍ、クラッド部多孔質母材３５の外径
は、１９０ｍｍであった。この多孔質母材を作製する際
には、各多孔質母材部分の境界の密度差が大きくならな
いように留意した。

以」−のようにして合成した多孔質母材を透明化するに
あたっては、内径２２０ｍｍを有する電気炉において、
ヘリウムおよび塩素雰囲気中で、加熱温度１３００°Ｃ
で１次焼結を行った。さらに、内径１００ｍｍを有する
別の電気炉で１５００°Ｃまで昇温して透明ガラス母材
とした。得られた透明ガラス化母材のコア部の直径は７
ｍｍ、外径は８５ｍｍであった。その後、いったん外径
２５ｍｍに延伸し、さらに２０００°Ｃまで加熱してコ
ア径１０ｇｍ、外径１２５ｇｍの光ファイバを形成した
。この光ファイバの比屈折率差は０．３％であった。光
ファイバ特性としての伝送損失値は、波長１．５５用ｍ
において０．３８ｄＢ／ｋｍであり、従来法によるファ
イバ特性と比較して遜色のないものであった。

実施例３ コア合成用に細径の２重火炎バーナを使用して全合成グ
レーデッド形母材を製造する本発明装置の実施例を第６
図に示す。ここで、４１は、細径多重火炎バーナ、４２
はクラッド合成用多重火炎バーナ、４３は排気管、４４
はコア部多孔質母材、４５はクラッド部多孔質母材であ
る。バーナ４１および４２を母材の成長方向に、それぞ
れ、３０°および７０°傾けて配置し、バーナ４２をバ
ーナ４１より１一方に配置する。

この実施例は、第３図示の実施例１においてコア合成用
バーナ２１の代わりにコア合成用細径多重火炎バーナ４
１を配設したものである。

コア合成用細径多重火炎バーナ４１に、実施例１と同様
にガラス原料として、　５ｉＣｉ　４を塘速４５０ｃｃ
／ｍｉｎおよびＧｅＣ４ｊ４を流速４０ｃｃ／ｍｉｎ　
　で供給した。得られた多孔質母材のコア部の直径は５
５＋＋ｕ＋＋となり、引上げ速度が従来の一重火炎バー
ナの場合に比較して１．６倍増加した。その結果、コア
／クラツド比を調節するためにクラッド合成用多重火炎
バーナ４２に対して流速２５００ｃｃ／ｍｉｎで５ｉＣ
１゜を供給する必要があった。

得られた多孔質母材の外径は１４０ｍｍとなった。

このように外径が細くなった分だけ引」二げ速度（すな
わち、軸方向の成長速度）が速くなり、合成速度として
５　ｇ／ｍｉｎの値が得られた。

この実施例では、コア合成用細径２型管バーナを使用す
ることにより実施例１に比較して、コア部の合成の収率
は従来の一重火炎バーナに比較して６０％から７０％に
向−トすることが確められた。

実施例１と同様に透明ガラス化を行い線引きして外径１
２５　ｇｍの光ファイバを得た。この光ファイバの伝送
損失は波長１．５５ｇｍにおいて０．４６ｄＢ／に＋ｎ
と良好であり、非常にすぐれていることが確認された。

なお、以」二の実施例においては、コアおよびクラッド
のすべてを多孔質母材として得る全合成の場合について
述べたが、これらの母材の最終的な外径を調整するため
に、石英管によるジセヶットを併用しても、高速、高収
率で大型の母材が得られる。

［効　果］ 以」−説明したように、本発明によれば、多孔質母材合
成用のバーナの少なくとも一部に多重欠番バーナを設け
ることにより、大形の多孔質母材を高速度で合成するこ
とができる。したがって、コア径／クラツド径比の大き
いシングルモードファイバ用母材の合成においても、バ
ーナの水数を最小限にとどめ、製造時の不安定性を取り
除くことができる。

しかもまた、本発明では、少なくともクラッド部の多孔
質母材の合成を多重火炎バーナで行うので、従来のバー
ナにより合成された母材よりもクラッド部分においてか
さ密度の大きい母材が得られ、機械的な強度が増加し、
以て大形の母材を安定に保持することができる。このこ
とは、本発明の実施例で示したように、母材の中心に支
持棒が含まれていないＶＡＤ法による母材合成の場合に
特に有効である。

さらにまた、本発明によれば、高速がっ高収率でコアと
クラッドを同時に合成できるので、特性の優れた光ファ
イ／＜を大量に製造することが可能となり、今後使用量
の増加が予測される光ファイバの低価格化に資するとこ
ろが大きい。

【図面の簡単な説明】

第１図は多重火炎バーナの構造を示す概略図、 第２図は多重火炎バーナと従来のバーナにおけるガラス
微粒子の堆積量の特性図、 第３図はクラッド合成に多重火炎バーナを用いた本発明
の実施例１の製造装置を示す模式図、第４図は実施例１
により製造された光ファイバの伝送損失の測定結果を示
す特性図、 第５図は本発明の実施例２の製造装置を示す模式第６図
は本発明の実施例３の製造装置を示す模式図である。 １・・・内側火炎用ガラス原料供給口、２・・・内側火
炎用燃焼ガス供給口、 ３・・・外側火炎用ガラス原料供給口、４・・・外側火
炎用燃焼ガス供給口、 ５・・・内側火炎用ノズル、 ６・・・外側火炎用ノズル、 ７・・・ガラス原料層、 ８・・・内側火炎、 ８・・・外側火炎、 １０・・・生成したガラス微粒子、 １１・・・多孔質母材、 ２１・・・コア合成用バーナ、 ２２・・・多重欠番バーナ、 ２３・・・排気管、 ２４・・・コア部多孔質母材、 ２５・・・クラッド部多孔質母材、 ３１・・・細径母材合成用偏心バーナ、３２．３３・・
・クラッド部多孔質母材、３４・・・コア部多孔質母材
、 ３５・・・クラッド部多孔質母材、 ３８．３？・・・排気管、 ４１・・・細径多重火炎バーナ、 ４２・・・多重火炎バーナ、 ４３・・・排気管、 ４４・・・コア部多孔質母材、 ４５・・・クラッド部多孔質母材。 特許出願人　　日本電信電話公社 代　　理　　人　　　弁理士　　谷　　　義　　−手続
補正書 昭和６０年２月２１日 特許庁長官　志　賀　　　学　殿 １、事件の表示 昭和６０年２月１２日提出の特許願（２）２）発明の名
称 光ファイバ母材の製造装置 ３、補正をする者 事件との関係　　特許出願人 （４２２）日本電信電話公社 ４、代理人 住所〒１０７ 東京都港区赤坂５丁目１番３１号 ６、補正の対象 明細書の「２）特許請求の範囲」の欄および［３、発明
の詳細な説明］の欄 ７、補正の内容 別紙の通り １）特許請求の範囲を別紙の通り訂正する。 ２）明細書第１０頁第９行目を「このような多重火炎バ
ーナのひとつとしての二重火炎バーナの構造を第１図に
示」に訂正する。 ３）同第１７頁第４行目を「６５°の範囲、例えば３０
６傾け、バーナ２２は垂直力」に訂正する。 以上 別　　紙 ２）特許請求の範囲 １）複数の原料合成用バーナ中に可燃性ガズ、支燃性ガ
スおよびガラス原料を供給し、前記可燃性ガスおよび前
記支燃性ガスにより形成される火炎内で前記ガラス原料
を分解してガラス微粒子を形成し、該ガラス微粒子を堆
積させて多孔質母材を形成する光ファイバ母材の製造装
置において、 前記複数の原料合成用バーナのうちの少なくとも１つを
、ガラス原料を供給する原料供給用ノズルと、該原料供
給用ノズルのまわりに順次に配置され、それぞれ、個別
の火炎流を順次に形成する複数の火炎形成用ノズルとを
有し、前記複数の火炎形成用ノズルのうちの−のノズル
は前記−のノズルよりも外側の火炎形成用ノズルに対し
て退行可能な構造を有する多重火炎バーナで構成したこ
とを特徴とする光ファイバ母材の製造装置。 ２）特許請求の範囲第１項記載の光ファイバ母材の製造
装置において、前記多重火炎へ−すはクラッド用多孔質
母材を形成するためのバーナであることを特徴とする光
ファイバ母材の製造装置。 ３）特許請求の範囲第１項または第２項記載の光ファイ
バ母材の製造装置において、前記多重火炎バーナ以外の
原料合成用バーナはコア合成用バーナを含むことを特徴
とする光ファイバ母材の製造装置。 ４）特許請求の範囲第３項記載の光ファイバ母材め製造
装置において、前記コア用合成用バーナは、ガラス原料
を供給する原料供給用ノズルと、該原料供給用ノズルの
まわりに順次に配置され、それぞれ、個別の火炎流を順
次に形成する複数の火炎形成用ノズルとを有し、前記複
数の火炎形成用ノズルのうちの−のノズルは前記−のノ
ズルよりも外側の火炎形成用ノズルに対して退行可能な
構造を有する多重火炎バーナであり、前記クラッド用多
孔質形成のための前記多重バーナよりも細径であること
を特徴とする光ファイバ母材の製造装置。 ５）特許請求の範囲第３項記載の光ファイ／＜母材の製
造装置において、前記ムエユ」合成用／＜−ナは、ガラ
ス原料を供給する原料供給用ノズルと、該原料供給用ノ
ズルのまわりに順次に配置され、それぞれ、個別の火炎
流を順次に形成する複数の火炎形成用ノズルとを有し、
前記複数の火炎形成用ノズルのうちの−のノズルは前記
−のノズルよりも外側の火炎形成用ノズルに対して退行
可能な構造を有　る　　Ｉ界バーナでを特徴とする光フ
ァイバ母材の製造装置。 バーナで　（、叩否己コア　　　バーナーロに、　　２
０’〜６５°　　　　　　　だＩ　Ｃ（以下、余白）

Claims (1)

1. 【特許請求の範囲】 １）複数の原料合成用バーナ中に可燃性ガス、支燃性ガ
   スおよびガラス原料を供給し、前記可燃性ガスおよび前
   記支燃性ガスにより形成される火炎内で前記ガラス原料
   を分解してガラス微粒子を形成し、該ガラス微粒子を堆
   積させて多孔質母材を形成する光ファイバ母材の製造装
   置において、 前記複数の原料合成用バーナのうちの少なくとも１つを
   、ガラス原料を供給する原料供給用ノズルと、該原料供
   給用ノズルのまわりに順次に配置され、それぞれ、個別
   の火炎流を順次に形成する複数の火炎形成用ノズルとを
   有し、前記複数の火炎形成用ノズルのうちの一のノズル
   は前記一のノズルよりも外側の火炎形成用ノズルに対し
   て退行可能な構造を有する多重火炎バーナで構成したこ
   とを特徴とする光ファイバ母材の製造装置。 ２）特許請求の範囲第１項記載の光ファイバ母材の製造
   装置において、前記多重火炎バーナはクラッド用多孔質
   母材を形成するためのバーナであることを特徴とする光
   ファイバ母材の製造装置。 ３）特許請求の範囲第１項または第２項記載の光ファイ
   バ母材の製造装置において、前記多重火炎バーナ以外の
   原料合成用バーナはコア合成用バーナを含むことを特徴
   とする光ファイバ母材の製造装置。 ４）特許請求の範囲第３項記載の光ファイバ母材の製造
   装置において、前記コア合成用バーナは、ガラス原料を
   供給する原料供給用ノズルと、該原料供給用ノズルのま
   わりに順次に配置され、それぞれ、個別の火炎流を順次
   に形成する複数の火炎形成用ノズルとを有し、前記複数
   の火炎形成用ノズルのうちの一のノズルは前記一のノズ
   ルよりも外側の火炎形成用ノズルに対して退行可能な構
   造を有する多重火炎バーナであり、前記クラッド用多孔
   質母材形成のための前記多重バーナよりも細径であるこ
   とを特徴とする光ファイバ母材の製造装置。 ５）特許請求の範囲第３項記載の光ファイバ母材の製造
   装置において、前記コア合成用バーナは、ガラス原料を
   供給する原料供給用ノズルと、該原料供給用ノズルのま
   わりに順次に配置され、それぞれ、個別の火炎流を順次
   に形成する複数の火炎形成用ノズルとを有し、前記複数
   の火炎形成用ノズルのうちの一のノズルは前記一のノズ
   ルよりも外側の火炎形成用ノズルに対して退行可能な構
   造を有し、および前記クラッド用多孔質母材形成のため
   の前記多重火炎バーナよりも細径である多重火炎バーナ
   であり、前記ガラス原料を供給する原料供給用ノズルは
   当該多重火炎バーナの軸方向に偏心して配置されたこと
   を特徴とする光ファイバ母材の製造装置。