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JPS61173223A - Formation of liquid crystal display device - Google Patents

Formation of liquid crystal display device

Info

Publication number
JPS61173223A
JPS61173223A JP1389985A JP1389985A JPS61173223A JP S61173223 A JPS61173223 A JP S61173223A JP 1389985 A JP1389985 A JP 1389985A JP 1389985 A JP1389985 A JP 1389985A JP S61173223 A JPS61173223 A JP S61173223A
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
liquid crystal
substrate
laminate
crystal display
spacer
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Granted
Application number
JP1389985A
Other languages
Japanese (ja)
Other versions
JPH0441809B2 (en
Inventor
Shunpei Yamazaki
舜平 山崎
Takashi Inushima
犬島 喬
Akira Mase
晃 間瀬
Toshimitsu Konuma
利光 小沼
Mitsunori Sakama
坂間 光範
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Semiconductor Energy Laboratory Co Ltd
Original Assignee
Semiconductor Energy Laboratory Co Ltd
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Semiconductor Energy Laboratory Co Ltd filed Critical Semiconductor Energy Laboratory Co Ltd
Priority to JP1389985A priority Critical patent/JPS61173223A/en
Publication of JPS61173223A publication Critical patent/JPS61173223A/en
Publication of JPH0441809B2 publication Critical patent/JPH0441809B2/ja
Granted legal-status Critical Current

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  • Liquid Crystal (AREA)

Abstract

PURPOSE:To maintain the specified distance between two electrodes by manufacturing spacers on a laminate having a preliminarily provided mask effect. CONSTITUTION:A polyimide soln. 15, for example, PIQ, is coated atop one side and UV light 20 is exposed through the substrate to the resin coating from the lower side of the substrate, then the laminate 50 thereof has light shieldability and therefore the other part except the upper resist can be removed. The PIQ under the resist as a mask is removed and thereafter the positive resist is removed. The liquid crystal filling part is at the same time removed at 3mm width in the peripheral part of the substrate and studs as sealants 6 are provided so as to enclose the inside of the other part. The disposition of the spacers here and there at substantially prescribed intervals therebetween is thus made possible.

Description

【発明の詳細な説明】 「発明の利用分野」 本発明は液晶表示パネルまたはアクティブ、マトリック
ス方式による液晶表示パネルに関するものであって、マ
イクロコンピュータ、ワードプロセッサまたはテレビ等
の表示部の薄型化を図る液晶表示装置の作成方法に関す
る。
DETAILED DESCRIPTION OF THE INVENTION Field of Application of the Invention The present invention relates to a liquid crystal display panel or an active or matrix type liquid crystal display panel, and relates to a liquid crystal display panel that is used to reduce the thickness of a display unit of a microcomputer, word processor, television, etc. This invention relates to a method for creating a display device.

「従来の技術j 従来の液晶表示装置に関しては、2つの透明基板の内側
にそれぞれ透明導電膜、配向膜が設けられ、この間に液
晶を充填して、2つの電極間に印加される電圧の有無に
より「オン」 「オフ」を制御していた。そしてこの表
示により、文字、グラフまたは絵を表示したものである
``Conventional technology j'' Regarding conventional liquid crystal display devices, a transparent conductive film and an alignment film are provided inside two transparent substrates, and liquid crystal is filled between the two transparent substrates to determine whether or not a voltage is applied between the two electrodes. ``On'' and ``Off'' were controlled by This display displays characters, graphs, or pictures.

しかしこの2つの透明電極間は、約10μもの厚い間隔
を有し、最近はこの間隔も5μにまでなった。しかしか
かる広い間隔はTN(ツウイフテ・ツク・ネマチック)
型液晶においては必要であるが、カイラル・スメクチソ
クスC相を用いる強誘電性液晶(以下FLCという)を
用いるならば、2μ以下一般には1±0.5μが求めら
れている。
However, there is a thick gap of about 10 microns between these two transparent electrodes, and recently this gap has increased to 5 microns. However, such a wide interval is TN (Zwifte Tsuku Nematic)
However, if a ferroelectric liquid crystal (hereinafter referred to as FLC) using a chiral smectisocyanate C phase is used, a thickness of 2μ or less, generally 1±0.5μ, is required.

また、従来より公知のTN液晶もこの10μの間隔に表
面張力を用いて充填する場合、この間隙を制御するスペ
ーサが考えだされた。即ちスペーサは一般に有機樹脂の
球形を有する粒子であって、例えばミクロパールSP 
−210(平均粒径10.θ±0.5μ)を用いている
。このミクロバールはジビニルベンゼン系架橋重合体で
あり、透明な真球微粒子である。
In addition, when a conventionally known TN liquid crystal is filled with a gap of 10 μm using surface tension, a spacer has been devised to control the gap. That is, spacers are generally spherical particles of organic resin, such as Micropearl SP.
-210 (average particle size 10.θ±0.5μ) is used. This microbar is a divinylbenzene-based crosslinked polymer and is a transparent true spherical fine particle.

即ち、第1図に従来の液晶表示装置の縦断面図を示して
いる。図面において、液晶表示用の2つの透明基板(1
)、(1’)の周辺部には、液晶が外部にもれないよう
樹脂とスペーサ(7)とを混合したシール材(6)が溜
めてあり、2つの基板間の距離を周辺部において一定に
保っている。しかし表示部(10)即ち液晶(5)が充
填された領域において、外部より透明基板の機械的なス
トレスまたは基板の平坦性の厚さにより2つの透明電極
がショートまたは近接しやすい。その結果、液晶が透光
性でなくなったり、一部が黒化して不良が発生してしま
いやすかった。このため、液晶部に対しても他のスペー
サ(4)を散在させてそれぞれの電極がショートしない
よう一定の距離に保たせていた。
That is, FIG. 1 shows a vertical cross-sectional view of a conventional liquid crystal display device. In the drawing, two transparent substrates (1
), (1') are filled with a sealing material (6) made of a mixture of resin and a spacer (7) to prevent the liquid crystal from leaking to the outside, and the distance between the two substrates is maintained at the periphery. It is kept constant. However, in the display section (10), that is, the area filled with the liquid crystal (5), the two transparent electrodes tend to short-circuit or come close to each other due to external mechanical stress on the transparent substrate or due to the flatness of the substrate. As a result, the liquid crystal loses its translucency or becomes partially black, which tends to cause defects. For this reason, other spacers (4) are also scattered around the liquid crystal section to keep the respective electrodes at a constant distance so as not to short-circuit.

このスペーサは単に配向膜間に散在させたのみであり、
それぞれと点接触となり、この接触部は局部荷重が大き
く加わってしまった。そしてこの接触部にもしアクティ
ブ素子があると、この素子を破壊してしまうこともあり
得る。
These spacers are simply scattered between alignment films,
Point contact was made with each, and a large local load was applied to this contact area. If there is an active element in this contact area, this element may be destroyed.

「発明が解決しようとする問題点J さらにこのTN液晶を用いて実際に液晶表示装置を作ら
んとすると、2つの基板をシール材で周辺の一部を除き
シールしてしまった後、この中を真空に保ち、毛細管現
象を利用して液晶を充填している。しかしその間隔が2
μまたはそれ以下を必要とするPLCの如き液晶では、
それ自体の粘度が大きいため、毛細管現象を利用して充
填する場合スペーサが動いてしまったり、またスペーサ
それ自体が小さいため、まずます互いに凝集しやすくな
り、均一に散在させることが不可能であった。
``Problem to be solved by the invention J'' Furthermore, when trying to actually make a liquid crystal display device using this TN liquid crystal, after sealing the two substrates with a sealing material except for a part of the periphery, The liquid crystal is kept in a vacuum and filled with liquid crystal using capillary action.However, the gap between them is 2
In liquid crystals such as PLCs that require μ or less,
Because the viscosity of the spacer itself is high, the spacer may move when filling using capillary action, and because the spacer itself is small, it tends to aggregate with each other, making it impossible to disperse it uniformly. Ta.

またスペーサと配向膜とは何等接着させていないため、
封止後、表示装置の温度が上がると、液晶それ自体の熱
膨張により基板がふ(らみやすくなり、2つの電極間距
離を一定に保てなくなる。
Also, since the spacer and alignment film are not bonded in any way,
When the temperature of the display device rises after sealing, the substrate tends to swell due to thermal expansion of the liquid crystal itself, making it impossible to maintain a constant distance between the two electrodes.

このため表示のコントラストは中央部と周辺部で異なっ
てしまう現象が見られてしまった。特に表示装置が20
cm X 30cmと大きなパネル状になった時に不良
が発生しやすかった。さらにスペーサが散在する位置が
ばらばらであるため、アクティブ素子が連結したディス
プレイにおいて、この素子に局部的に点心力を加えてし
まうことも起き、素子の不良を誘発してしまいやすい。
For this reason, a phenomenon has been observed in which the contrast of the display differs between the center and the periphery. Especially if the display device is 20
Defects were more likely to occur when the panels were large (cm x 30 cm). Furthermore, since the spacers are scattered at different positions, in a display in which active elements are connected, a local point center force may be applied to the elements, which is likely to cause element failure.

「問題を解決するための手段J このため本発明は、従来より公知の単体でできているス
ペーサを用いるのではなく、マスク作用を有する積層体
が設けられた一方の基板側を所定の高さに塗布法等によ
り有機樹脂膜例えばポリイミド系樹脂で覆い、これに基
板の裏面側より光照射をし、マスクを用いることなしに
選択的に所定の位置に“貝柱”状にスペーサを形成した
ものである。さらに同時に周辺部のシール材をも同し材
料で形成させてしまうものである。このため、特にこの
塗布されるポリイミド樹脂上にポジレジストを用いこの
レジストのうち積層体上方以外のし ・シストをエツチ
ングして除去し、その後ポリイミド樹脂を除去する工程
をとることにより、積層体上方に概略同一形状にスペー
サを形成することができた。かくして新たなマスクをま
ったく用いることなくスペーサ、シール材の作製が可能
となった。
``Means for Solving the Problem J'' For this reason, the present invention does not use the conventionally known single spacer, but instead sets one substrate side provided with a laminate having a masking function at a predetermined height. The substrate is covered with an organic resin film such as polyimide resin using a coating method, and then light is irradiated from the back side of the substrate to selectively form "scallop"-shaped spacers at predetermined positions without using a mask. Furthermore, the sealing material in the peripheral area is also formed of the same material at the same time.For this reason, a positive resist is especially used on the polyimide resin to be applied, and the resist is applied to the areas other than the upper part of the laminate.・By etching and removing the cysts and then removing the polyimide resin, we were able to form spacers in roughly the same shape above the laminate.In this way, we were able to form spacers and seals without using any new masks. It has become possible to create materials.

もちろんスペーサ用有機樹脂膜例えばポリイミド樹脂が
ポジ感光性を有するならば、ポジレジストを用いること
なく塗布法によりポジ感光性ポリイミド樹脂をコートし
、さらにこの後積層体をマスフとして紫外光を照射し、
マスク作用を有する積層体上方以外のポリイミド樹脂を
何等のマスクを用いることなく除去しスペーサを作るこ
とができる。
Of course, if the organic resin film for the spacer, such as polyimide resin, has positive photosensitivity, the positive photosensitive polyimide resin is coated by a coating method without using a positive resist, and then the laminate is used as a mask and irradiated with ultraviolet light.
A spacer can be created by removing the polyimide resin which has a masking effect and is not located above the laminate without using any mask.

「作用」 かくすることにより、新たなマスクをまったく用いるこ
となく、予め設けられたマスク作用を有する積層体上に
スペーサを作ることが可能となった。またこのマスク作
用を有する積層体は例えばNIN構造を有する非単結晶
半導体およびその」二下の一対の電極の積層体またはM
TM(金属−絶縁物−金属)構造を有する積層体よりな
るJト線型素子が一般的である。
"Function" By doing so, it became possible to create a spacer on a previously provided laminate having a masking effect without using any new mask. In addition, the laminated body having this masking effect is, for example, a laminated body of a non-single crystal semiconductor having an NIN structure and a pair of electrodes thereunder, or an M
A J-type element made of a laminate having a TM (metal-insulator-metal) structure is common.

かくすることにより、スペーサとして作用する有機樹脂
はその高さを周辺部のシール材と表示部のスペーサと同
一材料で成就し、またその高さのばらつきも同じ塗布膜
を選択的に残存せしめたもののため、±0.2μ以下の
精度を得ることができた。加えてこのシール材、スペー
サをして対抗する他の透光性基板の内側面と互いに密着
させている。このため、2つの基板は初期において、基
板自体のうねり的な凹凸による多少の非平坦性を有して
も、シール材とスペーサの大きさく高さ)により一定に
させることができる。即ち、ポリイミド樹脂により“貝
柱”状にシール部とスペーサ部を構成させた後、セミハ
ードの透光性を有する他の基板をその上側に真空中で配
設し、加熱して密着させる。すると互いに密着したシー
ル部とスペーサ部により、この後真空をといてもそれぞ
れの基板が実質的に互いに密着しているため、もとの非
平坦の状態に戻らず、電極間の間隙が一定になって、最
終状態において、パネルの一部が広すぎる等の支障が発
生しない。またスペーサにより互いの基板を密着させた
ため、表示パネルそれ自体の機械的強度も1枚のみの強
度ではなく、合わせガラスに近い強い実質的に2枚の強
度に等しい強固さを有せしめることが可能となった。
In this way, the height of the organic resin that acts as a spacer can be achieved by using the same material as the sealing material in the peripheral area and the spacer in the display area, and the same coating film can be selectively left even with variations in height. Therefore, we were able to obtain an accuracy of ±0.2μ or less. In addition, this sealing material and a spacer are used to bring the substrate into close contact with the inner surface of another opposing light-transmitting substrate. Therefore, even if the two substrates initially have some degree of non-flatness due to the undulation-like unevenness of the substrates themselves, it can be made uniform by the size and height of the sealing material and the spacer. That is, after forming the seal portion and the spacer portion in the shape of a “scallop” using polyimide resin, another substrate having semi-hard translucent properties is placed above it in a vacuum, and heated to bring them into close contact. Then, due to the sealing part and the spacer part being in close contact with each other, even if the vacuum is removed afterwards, the respective substrates are substantially in close contact with each other, so they do not return to their original non-flat state and the gap between the electrodes remains constant. Therefore, in the final state, problems such as part of the panel being too wide do not occur. In addition, because the substrates are brought into close contact with each other using spacers, the mechanical strength of the display panel itself is not as strong as that of only one panel, but is similar to that of laminated glass, making it possible to have a mechanical strength that is essentially equivalent to the strength of two panels. It became.

以下に実施例に従って本発明を記す。The present invention will be described below according to Examples.

実施例1 第2図に本発明の液晶表示装置及びその製造工程を示す
縦断面図を示す。
Example 1 FIG. 2 shows a vertical cross-sectional view showing the liquid crystal display device of the present invention and its manufacturing process.

第2図(A)において、2つの透光性基板、例えばガラ
ス基板(1) 、 (1”)、一方は固いガラス基板(
1)。
In Figure 2 (A), two transparent substrates, for example glass substrates (1) and (1''), one is a solid glass substrate (
1).

他方は間隙を真空引きをした際、曲がり得る程度のセミ
ハードなガラス板または透光性有機樹脂基板(1°)を
用いた。
On the other hand, a semi-hard glass plate or a translucent organic resin substrate (1°) was used that could be bent when the gap was evacuated.

この固い基板(1)の一方の面は、下側のリード(11
)、NIN接合を有する非単結晶半導体の非線型素子(
12)、上側のクロム電極(13)よりなる積層体(5
0)を有する。そしてこの積層体り50)の周辺は透光
性層間絶縁物(8)が設けられている。かかる下側基板
(1)の積層体上に透明導電膜(2)、配向処理または
配向膜(3)が設けられ、この透明導電膜(2)と積層
体(50)の上側電極(13)とは電気的に直列接続を
させている。
One side of this hard substrate (1) is connected to the lower leads (11
), a non-single-crystal semiconductor non-linear element with an NIN junction (
12), a laminate (5) consisting of an upper chromium electrode (13)
0). A translucent interlayer insulator (8) is provided around the laminate 50). A transparent conductive film (2), an alignment treatment or an alignment film (3) is provided on the laminate of the lower substrate (1), and an upper electrode (13) of the transparent conductive film (2) and the laminate (50). are electrically connected in series.

第2図(C)にしか図示されていないが、セミハードな
基板(1゛)に対しても、同様の透光性導電膜(2”)
、配向処理(3′)を行った。
Although it is only shown in Figure 2 (C), a similar transparent conductive film (2") can be applied to a semi-hard substrate (1").
, orientation treatment (3') was performed.

次に第3図(A)に示す如く、一方の側の上面にスピナ
ー、ロールコータ、スプレー法またはスフリーン印刷法
により、ポリイミド溶液(15)例えばPIQを塗布す
る。
Next, as shown in FIG. 3(A), a polyimide solution (15) such as PIQ is applied to the upper surface of one side using a spinner, a roll coater, a spray method, or a free-line printing method.

さらにその上にポジ用のフォトレジスト(図面では省略
)を塗布する。
Furthermore, a positive photoresist (not shown in the drawing) is applied thereon.

次にこれらに対し基板の下側から紫外光(20)をこの
基板を通して露光(10mW/cm2の光を約60秒)
した。するとこの積層体(50)が遮光性を有するため
、その上方のレジストのみ残し他部を除去できる。この
レジストをマスクとしてその下のPTQを除去した。し
かる後、ポジレジストを除去し、第2図(B)を得た。
Next, these are exposed to ultraviolet light (20) from below the substrate through this substrate (10 mW/cm2 light for about 60 seconds).
did. Then, since this laminate (50) has a light-shielding property, only the resist above it can be left and the other parts can be removed. Using this resist as a mask, the PTQ underneath was removed. Thereafter, the positive resist was removed to obtain the image shown in FIG. 2(B).

同時に基板の周辺部には113mmで液晶充填部を除き
、他部の内部を取り囲むようにシール材(6)としての
“貝柱”を設けた。即ち、スベーザ間を実質的に所定の
間隔としてスペーサを散在して配設させることが可能と
なる。さらにこのマスク方式で“貝柱”を作ることによ
り、アクティブ方式の液晶パネルであった場合、非線型
素子またスイッチング素子に局部的に機械応力が加わり
リードが断線したり、また素子が不動作になる可能性を
避けることができる。
At the same time, a "scallop" as a sealing material (6) was provided at the periphery of the substrate with a length of 113 mm, excluding the liquid crystal filling part and surrounding the other parts. That is, it becomes possible to arrange the spacers in a scattered manner with substantially predetermined intervals between the spacers. Furthermore, by creating a "scallop" using this mask method, in the case of an active type liquid crystal panel, localized mechanical stress is applied to nonlinear elements or switching elements, causing leads to break or the elements to become inoperable. possibility can be avoided.

さらに本発明方法をより完成させるため、第2図(C)
に示す如く、透光性電極(2゛)、配向膜(3′)が内
側に設けられたセミハードな対向透光性基板(1゛)を
合わせプレスと同時に間隙の真空引きも行った。この状
態でポストヘークを200〜300 ’cにて行った。
Furthermore, in order to further complete the method of the present invention, FIG.
As shown in the figure, a semi-hard opposing light-transmitting substrate (1') having a light-transmitting electrode (2') and an alignment film (3') provided thereon were pressed together and the gap was evacuated at the same time. In this state, post-hake was performed at 200-300'c.

すると貝柱の(6) 、 (14)が対向するガラスの
ポリイミド配向膜に密着し2枚のガラスをはりあわせる
ことができた。
Then, the scallops (6) and (14) came into close contact with the polyimide alignment film of the opposing glass, making it possible to glue the two glasses together.

このポストベーク後でその高さを2μまたはそれ以下こ
の場合には1.2μ±0.2μにするようにしFLCに
対し好ましい間隔とした。
After this postbake, the height was 2μ or less, in this case 1.2μ±0.2μ, which was the preferred spacing for the FLC.

この場合、対抗するガラスまたは透光性有機樹脂をセミ
ハードな固さとすると、ガラス(1)自体が持っている
歪みにそって他方の透光性基板(1゛)を合わせ、かつ
、そのスペーサでお互いを固着してしまうため、ガラス
基板自体が歪み(滑らかな凹凸)を有していても、それ
と無関係に電極間隙を一定としてその対向するガラス同
志を実質的に互いに張り合わせ得る。
In this case, if the opposing glass or translucent organic resin is semi-hard, the other translucent substrate (1) should be aligned along the distortion of the glass (1) itself, and the spacer Since they are fixed to each other, even if the glass substrates themselves have distortions (smooth irregularities), the opposing glasses can be substantially bonded to each other by keeping the electrode gap constant regardless of the distortion.

本発明の実施例においては、この後このスペーサで保持
された間隙、内に強誘電性液晶(5)を公知の方法で充
填した。
In the embodiment of the present invention, the gap held by the spacer was then filled with ferroelectric liquid crystal (5) by a known method.

r効果」 本発明は以上に示す如く、2つの相対向する電極の間隙
を一定にするため、1つのポリイミド樹脂膜を選択的に
残存させてスペーサ及びシール材として同じ上下のポリ
イミド系の配向膜と互いに密着せしめたものである。そ
してその製造に新たなるマスクをまったく用いることな
〈実施したものである。その結果、2つの配向膜間の間
隔は2μ以下の所定の厚さ±0.5μの範囲で一定にで
きた。特にアクティブ・マトリックス構造を有し、その
ドツト数を400 X1920も有する20cm X 
30cmもの大面積の液晶パネルにおいて、中央部が必
要以上に膨れたり、また互いに2つの電極間が近接した
りすることを防ぐことができた。
As described above, in order to make the gap between two opposing electrodes constant, one polyimide resin film is selectively left and the same upper and lower polyimide alignment films are used as a spacer and a sealing material. and are placed in close contact with each other. And it was manufactured without using any new masks. As a result, the distance between the two alignment films could be kept constant within a predetermined thickness of 2μ or less within a range of ±0.5μ. In particular, it has an active matrix structure and the number of dots is 400 x 1920.
In a liquid crystal panel with a large area of 30 cm, it was possible to prevent the central part from expanding more than necessary or the two electrodes from coming close to each other.

このため、従来では大面積の基板を用いて液晶表示装置
を作らんとすると、それぞれの基板をきわめて精密に研
磨しなければならず、シール材とスペーサとはまったく
異なった材料により作られていた。加えてスペーサは上
下の基板内面と密着していなかった。またスペーサの位
置の推定ができなかった。しかし本発明においては、か
かるガラス基板の価格の2〜5倍もの高価な研磨処理工
程がない、シール材によりシールする工程と、スペーサ
を散在させる工程を1つに簡略化できるという他の特長
を有する。
For this reason, in the past, when attempting to manufacture a liquid crystal display device using large-area substrates, each substrate had to be polished extremely precisely, and the sealant and spacer were made of completely different materials. . In addition, the spacers were not in close contact with the inner surfaces of the upper and lower substrates. Furthermore, the position of the spacer could not be estimated. However, the present invention has other features such as not requiring an expensive polishing process that is 2 to 5 times the price of the glass substrate, and simplifying the process of sealing with a sealing material and the process of dispersing spacers into one. have

加えてスペーサが約400μ間に1〜数個(実施例では
1ケ)設けられているため、いわゆる合わせガラスと同
様にきわめて強固な基板として液晶パネルを取り扱うこ
とができるようになった。
In addition, since one to several spacers (one spacer in the example) are provided at a distance of approximately 400 μm, the liquid crystal panel can be handled as an extremely strong substrate similar to so-called laminated glass.

スペーサの形状を基板表面と点接触ではなく面接触とし
得、またその面積も自由に制御できる。
The shape of the spacer can be made into surface contact rather than point contact with the substrate surface, and its area can also be freely controlled.

本発明において、ガラス基板の周辺部のシール材部にお
いて、ガラス基板上に配向膜を残存させても、また除去
させてもよい。
In the present invention, the alignment film may be left on the glass substrate in the sealing material portion at the periphery of the glass substrate, or may be removed.

本発明において、ポリイミド溶液を用いた。しかしこの
ポリイミドは、紫外線硬化型ポリイミド(ポジ)樹脂を
用い、選択エッチ法によりスペーす、シール材を形成し
てもよい。しかしかかるポジ型ポリイミド樹脂力七市販
されておらず試験段階のため、現状ではレジストコート
の工程を省略できるが高価になっている。
In the present invention, a polyimide solution was used. However, this polyimide may be used to form a sealing material by using an ultraviolet curable polyimide (positive) resin and spacing by a selective etching method. However, such positive-type polyimide resins are not commercially available and are still in the experimental stage, so the resist coating process can be omitted at present, but they are expensive.

本発明において、“貝柱”とその上下の配向膜とは同一
主成分材料を用いた。これはすべてをポリイミド系とす
ることにより、互いの密着性を向上させるためである。
In the present invention, the same main component material is used for the "scallop" and the alignment films above and below it. This is because all the materials are made of polyimide to improve their adhesion to each other.

しかしこの密着性が保証されるなら他の材料を用いても
よい。
However, other materials may be used if this adhesiveness is guaranteed.

【図面の簡単な説明】[Brief explanation of drawings]

第1図は従来より公知の液晶表示装置の縦断面図を示す
。 第2図は本発明の液晶表示装置の作成工程を示す縦断面
図を示す。
FIG. 1 shows a longitudinal sectional view of a conventionally known liquid crystal display device. FIG. 2 shows a longitudinal sectional view showing the manufacturing process of the liquid crystal display device of the present invention.

Claims (1)

【特許請求の範囲】 1、透明基板上にマスク作用を有する積層体と透明電極
とを形成する工程と、これらの上に有機樹脂膜を形成す
る工程と、該樹脂膜上にポジ用フォトレジスト膜を形成
する工程と、前記基板の裏面側より光照射をし、前記マ
スク作用を有する積層体上方に前記レジストを残存し除
去した後、該残存するレジストをマスクとして前記有機
樹脂膜を選択的に除去して残存膜をスペーサとして用い
ることを特徴とする液晶表示装置作成方法。 2、透明基板上にマスク作用を有する積層体と透明電極
とを形成する工程と、これらの上にポジ型光感光性有機
樹脂膜を形成する工程と、前記基板の裏面側より光照射
をし、前記マスク作用を有する積層体の上方に前記有機
樹脂膜を選択的に除去し残存膜をスペーサとして用いる
ことを特徴とする液晶表示装置作成方法。 3、特許請求の範囲第1項または第2項において、マス
ク作用を有する被膜はアクティブ・マトリックス方式に
よる液晶表示パネルの各画素に連結したアクティブ素子
とすることを特徴とした液晶表示装置作成方法。
[Claims] 1. A step of forming a laminate having a masking effect and a transparent electrode on a transparent substrate, a step of forming an organic resin film on these, and a step of forming a positive photoresist on the resin film. A step of forming a film, irradiating light from the back side of the substrate, leaving the resist above the layered structure having a masking effect and removing it, and then selectively covering the organic resin film using the remaining resist as a mask. A method for manufacturing a liquid crystal display device, characterized in that the remaining film is used as a spacer. 2. A step of forming a laminate having a masking effect and a transparent electrode on a transparent substrate, a step of forming a positive photosensitive organic resin film on these, and a step of irradiating light from the back side of the substrate. . A method for manufacturing a liquid crystal display device, characterized in that the organic resin film is selectively removed above the laminate having a masking effect, and the remaining film is used as a spacer. 3. A method for manufacturing a liquid crystal display device according to claim 1 or 2, wherein the film having a masking effect is an active element connected to each pixel of a liquid crystal display panel using an active matrix method.
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Cited By (5)

* Cited by examiner, † Cited by third party
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JPH05307181A (en) * 1992-04-30 1993-11-19 Kodo Eizo Gijutsu Kenkyusho:Kk Liquid crystal display manufacturing method
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