JPS61164399A - コンデンサマイクロホン - Google Patents
コンデンサマイクロホンInfo
- Publication number
- JPS61164399A JPS61164399A JP554885A JP554885A JPS61164399A JP S61164399 A JPS61164399 A JP S61164399A JP 554885 A JP554885 A JP 554885A JP 554885 A JP554885 A JP 554885A JP S61164399 A JPS61164399 A JP S61164399A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- diaphragm
- condenser microphone
- spacer
- diameter
- spacers
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
Classifications
-
- H—ELECTRICITY
- H04—ELECTRIC COMMUNICATION TECHNIQUE
- H04R—LOUDSPEAKERS, MICROPHONES, GRAMOPHONE PICK-UPS OR LIKE ACOUSTIC ELECTROMECHANICAL TRANSDUCERS; DEAF-AID SETS; PUBLIC ADDRESS SYSTEMS
- H04R19/00—Electrostatic transducers
- H04R19/04—Microphones
Landscapes
- Physics & Mathematics (AREA)
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Acoustics & Sound (AREA)
- Signal Processing (AREA)
- Electrostatic, Electromagnetic, Magneto- Strictive, And Variable-Resistance Transducers (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
［産業上の利用分野］
この発明は、コンデンサマイクロホンに係り、さらに詳
しく言えば、音圧によって振動するダイヤフラムの改良
に関するものである。
しく言えば、音圧によって振動するダイヤフラムの改良
に関するものである。
［従来の技術］
コンデンサマイクロホン、特に無指向性のコンデンサマ
イクロホンにおいては、一般に、大口径ユニットは小口
径ユニットに比べて高域の周波数特性が乱れ易くなる。
イクロホンにおいては、一般に、大口径ユニットは小口
径ユニットに比べて高域の周波数特性が乱れ易くなる。
その要因の一つとしてダイヤフラムを構成するポリエス
テルのような高分子フィルムの張力には限度があり、高
域周波数の再生限度が低くなることが挙げられている。
テルのような高分子フィルムの張力には限度があり、高
域周波数の再生限度が低くなることが挙げられている。
そのためダイヤプラムはその直径が高域周波数特性が乱
れない程度の大きさに制限されていた。
れない程度の大きさに制限されていた。
［発明の目的］
そこで、この発明の目的は、ダイヤプラムの直径を大き
くしても高域の周波数特性が乱れないコンデンサマイク
ロホンを提供することにある。
くしても高域の周波数特性が乱れないコンデンサマイク
ロホンを提供することにある。
この発明の他の目的は、ダイヤフラムと背極との間にエ
レクトレットを有するコンデンサマイクロホンにあって
は、エレクトレットの寿命を長くすることができるコン
デンサマイクロホンを提供することである。
レクトレットを有するコンデンサマイクロホンにあって
は、エレクトレットの寿命を長くすることができるコン
デンサマイクロホンを提供することである。
［発明の構成］
すなわち、この発明は、ダイヤフラムの背極と相対する
面に、適当な間隔をおいて複数のスペーサを点在するよ
うに設けるとともに、各スペーサの面が背極の面に当接
するように設けたことを特徴としている。
面に、適当な間隔をおいて複数のスペーサを点在するよ
うに設けるとともに、各スペーサの面が背極の面に当接
するように設けたことを特徴としている。
この発明はまた上述のスペーサをエレクトレットで構成
したことを特徴としている。
したことを特徴としている。
［実 施 例］
以下、この発明を添付図面に示された一実施例を参照し
ながら詳細に説明する。
ながら詳細に説明する。
第１図に示されているように、このコンデンサマイクロ
ホン１は、受音面に複数の透孔３を有するアルミニウム
等からなる円筒状のケーシング２を備えている。このケ
ーシング２内には、ダイヤフラム４が支持リング５に取
付けられた状態で配設されているとともに、このダイヤ
フラム４との間に所定のエアーギャップが形成されるよ
うに背極６が対向的に配置されている。この場合、背極
６は、導電性を有するスペーサリング７を介して電気絶
縁材料からなる支持台８上に載置されており、この背極
６と支持台８との各々には、音波通路を形成する複数の
透孔９，１０がそれぞれ穿設されている。なお、この実
施例においては、背極６はスペーサリング７およびこの
スペーサリング７を支持台８に固定している雄ネジ１１
を介して例えば前置増巾器を構成する図示しない電界効
果トランジスタのゲートに接続され、一方、ダイヤフラ
ム４はその支持リング５およびケーシング２を介して上
記電界効果トランジスタのドレンに接続されている。
ホン１は、受音面に複数の透孔３を有するアルミニウム
等からなる円筒状のケーシング２を備えている。このケ
ーシング２内には、ダイヤフラム４が支持リング５に取
付けられた状態で配設されているとともに、このダイヤ
フラム４との間に所定のエアーギャップが形成されるよ
うに背極６が対向的に配置されている。この場合、背極
６は、導電性を有するスペーサリング７を介して電気絶
縁材料からなる支持台８上に載置されており、この背極
６と支持台８との各々には、音波通路を形成する複数の
透孔９，１０がそれぞれ穿設されている。なお、この実
施例においては、背極６はスペーサリング７およびこの
スペーサリング７を支持台８に固定している雄ネジ１１
を介して例えば前置増巾器を構成する図示しない電界効
果トランジスタのゲートに接続され、一方、ダイヤフラ
ム４はその支持リング５およびケーシング２を介して上
記電界効果トランジスタのドレンに接続されている。
ダイヤフラム４上には、第２図に示すように、その周縁
にリング状のスペーサ１２が取付けれている６リング状
スペーサ１２内のダイヤフラム４上には、適当な間隔を
おいて複数の円盤状のスペーサ１３が取付けられている
。これらスペーサ１２゜１３はエレクトレットで構成し
てもよく、これによって成極電圧を得ることができると
ともに、ダイヤフラム４と背極６とのクリアランスを保
持することができる。このようにスペーサ１３によって
多数の点状あるいは小さな面状の支持点をダイヤフラム
４上に設けることによって、ダイヤフラム４は実質的に
複数の小口径のダイヤフラム４が並列に接続された形と
なり、高域の周波数特性は支持点がないものに比べて向
上させることができる。なお、スペーサ１２．１３は貼
着の他に印刷や熱融着等の手段によってダイヤフラム４
上に被着させてもよい。
にリング状のスペーサ１２が取付けれている６リング状
スペーサ１２内のダイヤフラム４上には、適当な間隔を
おいて複数の円盤状のスペーサ１３が取付けられている
。これらスペーサ１２゜１３はエレクトレットで構成し
てもよく、これによって成極電圧を得ることができると
ともに、ダイヤフラム４と背極６とのクリアランスを保
持することができる。このようにスペーサ１３によって
多数の点状あるいは小さな面状の支持点をダイヤフラム
４上に設けることによって、ダイヤフラム４は実質的に
複数の小口径のダイヤフラム４が並列に接続された形と
なり、高域の周波数特性は支持点がないものに比べて向
上させることができる。なお、スペーサ１２．１３は貼
着の他に印刷や熱融着等の手段によってダイヤフラム４
上に被着させてもよい。
ここで、従来のコンデンサマイクロホンとこの発明のコ
ンデンサマイクロホンについて比較するために１口径が
１６ｍの無指向性コンデンサマイクロホンユニットにつ
いてそれらの周波数特性を測定した実験データを第３図
に示す。従来のコンデンサマイクロホンはフラットなダ
イヤフラムであり２本発明においては、ダイヤフラム上
にエポキシ系のインクにより直径０．４ｍのスペーサ用
ドツトを２ｒＮａの間隔をおき、かつ瞬接するスペーサ
用ドツトとはそれぞれ６０６の角度をおいて位置するよ
うに設けたものである。この第３図の特性図から明らか
なように、従来のユニットは５からＬ Ｏｋ Ｈｚにか
けて周波数特性に乱れが見られるが、この発明において
は上述の周波数帯域でもほぼ平坦であり、特性の乱れは
小さいことが判るであろう。
ンデンサマイクロホンについて比較するために１口径が
１６ｍの無指向性コンデンサマイクロホンユニットにつ
いてそれらの周波数特性を測定した実験データを第３図
に示す。従来のコンデンサマイクロホンはフラットなダ
イヤフラムであり２本発明においては、ダイヤフラム上
にエポキシ系のインクにより直径０．４ｍのスペーサ用
ドツトを２ｒＮａの間隔をおき、かつ瞬接するスペーサ
用ドツトとはそれぞれ６０６の角度をおいて位置するよ
うに設けたものである。この第３図の特性図から明らか
なように、従来のユニットは５からＬ Ｏｋ Ｈｚにか
けて周波数特性に乱れが見られるが、この発明において
は上述の周波数帯域でもほぼ平坦であり、特性の乱れは
小さいことが判るであろう。
また、ダイヤフラム４の直径をｄ１＝φ１５×ｔｏ−３
ｍ、支持リング５の内径をｄ、＋＝φ１０×１０””ｍ
、ＦＥＰでエレクトレットを構成した円盤状のスペーサ
１３の直径をｄｄ＝φ０．８ Ｘ １０−”、そしてそ
の厚さをｄＧ＝２５Ｘ１０−＠ｍ、背極６の透孔９の直
径をｄＰ＝φ０．５ＸＩＯ−’ｍとし。
ｍ、支持リング５の内径をｄ、＋＝φ１０×１０””ｍ
、ＦＥＰでエレクトレットを構成した円盤状のスペーサ
１３の直径をｄｄ＝φ０．８ Ｘ １０−”、そしてそ
の厚さをｄＧ＝２５Ｘ１０−＠ｍ、背極６の透孔９の直
径をｄＰ＝φ０．５ＸＩＯ−’ｍとし。
スペーサ１３の数をＮ １＝ ２０、モして透孔９の数
をＮ２＝１０とする。ここで、ダイヤフラム４の面積Ｓ
１は１．７７Ｘ１０−イ、支持リング５内に露呈するダ
イヤフラムの面積Ｓ２は７．８×１０−’ｒｒ？、スペ
ーサ１３の総面積Ｓ ３ Ｎ １は１．０ＸＩＯ−’ｒ
ｒｒ、背極６の透孔９の総面積８４Ｎ２はｉ、９ｘｔｏ
−’ ｒｒｆどなる。したがって、コンデンサ部の静電
容致Ｃは以下の式で与えられる。
をＮ２＝１０とする。ここで、ダイヤフラム４の面積Ｓ
１は１．７７Ｘ１０−イ、支持リング５内に露呈するダ
イヤフラムの面積Ｓ２は７．８×１０−’ｒｒ？、スペ
ーサ１３の総面積Ｓ ３ Ｎ １は１．０ＸＩＯ−’ｒ
ｒｒ、背極６の透孔９の総面積８４Ｎ２はｉ、９ｘｔｏ
−’ ｒｒｆどなる。したがって、コンデンサ部の静電
容致Ｃは以下の式で与えられる。
Ｃ＝ （（Ｓｔ −８２）ｋ＋（Ｓｔ −３ｌｌ Ｎｔ
−８４Ｎ２）＋Ｓ＝Ｉ Ｎ１ ｋ −ここで、にはエ
レクトレット材であるＦＥＰの誘電率で１ ｋＨｚ時に
おいて２．０とするｓｌ。
−８４Ｎ２）＋Ｓ＝Ｉ Ｎ１ ｋ −ここで、にはエ
レクトレット材であるＦＥＰの誘電率で１ ｋＨｚ時に
おいて２．０とするｓｌ。
は真空の誘電率にして、８．８５Ｘ１０ Ｆ／ｍとす
る。この式に上述の数値をあてはめていくと、Ｃ＝１０
０ＰＦとなる６したがって表面電荷密度を１．Ｘ１０”
’Ｃ／ポとすると、総電荷量Ｑは１．０９ｘｌＯ−”
（Ｃ）となす、 Ｖ＝ １０９Ｖ（７）電圧が与えられ
る。ダイヤフラムの有効振動面積は６．８×ｔｏ−’（
ｒｒＦ）となり十分使用可能となる。
る。この式に上述の数値をあてはめていくと、Ｃ＝１０
０ＰＦとなる６したがって表面電荷密度を１．Ｘ１０”
’Ｃ／ポとすると、総電荷量Ｑは１．０９ｘｌＯ−”
（Ｃ）となす、 Ｖ＝ １０９Ｖ（７）電圧が与えられ
る。ダイヤフラムの有効振動面積は６．８×ｔｏ−’（
ｒｒＦ）となり十分使用可能となる。
また、直径がｌ０ＸＩＯ−’ｍで厚さが２５×１０−＠
ｍの金属箔のダイヤフラム４に直径０．８ＸＩＯ−３ｍ
で厚さが２５Ｘ１０−”ｍのスペーサを複数個設けて６
０Ｖの成極電圧を得る場合について検討してみると、コ
ンデンサ部の静電容量ＣＮ３はスペーサの数であり、ｋ
およびｔｏは上述（１）式と同じ係数とする。エレクト
レット化によってスペーサであるＦＥＰが保有する電荷
感度はほぼ（１〜２）ｘｔＯ−” Ｃ／ｃｄとされる。
ｍの金属箔のダイヤフラム４に直径０．８ＸＩＯ−３ｍ
で厚さが２５Ｘ１０−”ｍのスペーサを複数個設けて６
０Ｖの成極電圧を得る場合について検討してみると、コ
ンデンサ部の静電容量ＣＮ３はスペーサの数であり、ｋ
およびｔｏは上述（１）式と同じ係数とする。エレクト
レット化によってスペーサであるＦＥＰが保有する電荷
感度はほぼ（１〜２）ｘｔＯ−” Ｃ／ｃｄとされる。
したがって。
ｒｔ
スペーサ１個当り５．０３ ＸＬＯ（Ｃ）の電荷を保有
する。これをＥｄとすると、総電荷量ＱはＱ＝ＣＶ
Ｑ＝Ｅｄ ＸＮ−＋ ・−−−−（４）式（
２）と（３）から したがって、 となる。この式（５）に上述の数値を当てはめていくと
、 したがって端数を切上げてスペーサは４３個設ければよ
く、これによってダイヤフラム４の有効面積は５．６Ｘ
ＩＯ−’イとなる。
する。これをＥｄとすると、総電荷量ＱはＱ＝ＣＶ
Ｑ＝Ｅｄ ＸＮ−＋ ・−−−−（４）式（
２）と（３）から したがって、 となる。この式（５）に上述の数値を当てはめていくと
、 したがって端数を切上げてスペーサは４３個設ければよ
く、これによってダイヤフラム４の有効面積は５．６Ｘ
ＩＯ−’イとなる。
［発明の効果］
以上のように、この発明のコンデンサマイクロホンは、
ダイヤフラム上にこのダイヤフラムの表面積より小さい
表面積のスペーサを適当な間隔をおいて複数個設けて、
ダイヤフラムをこれらスペーサによって実質的に小口径
のダイヤフラムを複数個並列に配置した形にしているの
で、従来の同一口径のコンデンサマイクロホンに比べて
、高域の周波数特性を向上させることができるとともに
、ダイヤフラムと背極板との間のクリアランスを保持す
ることができる。更に、多数の点でダイヤフラムを背極
板上に支持するため、従来のダイヤフラムのように静電
吸着力が全面にわたって均等に作用することはなく、こ
のような吸着に対する安定性も向上する。またスペーサ
をエレクトレット材で構成した場合、これによって成極
電圧を得ることができる。この場合、エレクトレットは
ダイヤフラムと背極板との間に位置することにより。
ダイヤフラム上にこのダイヤフラムの表面積より小さい
表面積のスペーサを適当な間隔をおいて複数個設けて、
ダイヤフラムをこれらスペーサによって実質的に小口径
のダイヤフラムを複数個並列に配置した形にしているの
で、従来の同一口径のコンデンサマイクロホンに比べて
、高域の周波数特性を向上させることができるとともに
、ダイヤフラムと背極板との間のクリアランスを保持す
ることができる。更に、多数の点でダイヤフラムを背極
板上に支持するため、従来のダイヤフラムのように静電
吸着力が全面にわたって均等に作用することはなく、こ
のような吸着に対する安定性も向上する。またスペーサ
をエレクトレット材で構成した場合、これによって成極
電圧を得ることができる。この場合、エレクトレットは
ダイヤフラムと背極板との間に位置することにより。
エレクトレットの上下端は短絡したことになり。
寿命を長くすることができる。
第１図は、この発明によるコンデンサマイクロホンの一
実施例における内部構造を概略的に示す縦断面図、第２
図は第１図のダイヤプラムを示す平面図、第３図はこの
発明によるコンデンサマイクロホンと従来のコンデンサ
マイクロホンとの周波数特性を示す特性図である。 図中、４はダイヤフラム、５は支持リング、６は背極板
、１３はスペーサである。
実施例における内部構造を概略的に示す縦断面図、第２
図は第１図のダイヤプラムを示す平面図、第３図はこの
発明によるコンデンサマイクロホンと従来のコンデンサ
マイクロホンとの周波数特性を示す特性図である。 図中、４はダイヤフラム、５は支持リング、６は背極板
、１３はスペーサである。
Claims (2)
- （１）その周縁が支持リングに取付けられたダイヤフラ
ムと、このダイヤフラムの前記支持リングが取付けられ
た面とは反対側の面との間に所定のエアーギャップが生
ずるように背極板を対向配置したコンデンサマイクロホ
ンにおいて、前記ダイヤフラムの前記反対側の面には適
当な間隔をおいて複数のスペーサを点在するように設け
、各スペーサの面は前記背極板の面に当接するようにし
たことを特徴とするコンデンサマイクロホン。 - （２）特許請求の範囲（１）において、前記スペーサは
エレクトレットで構成されていることを特徴とするコン
デンサマイクロホン。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP554885A JPS61164399A (ja) | 1985-01-16 | 1985-01-16 | コンデンサマイクロホン |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP554885A JPS61164399A (ja) | 1985-01-16 | 1985-01-16 | コンデンサマイクロホン |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS61164399A true JPS61164399A (ja) | 1986-07-25 |
Family
ID=11614240
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP554885A Pending JPS61164399A (ja) | 1985-01-16 | 1985-01-16 | コンデンサマイクロホン |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS61164399A (ja) |
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN100364365C (zh) * | 2002-07-19 | 2008-01-23 | 松下电器产业株式会社 | 麦克风 |
| JP2008147743A (ja) * | 2006-12-06 | 2008-06-26 | Audio Technica Corp | コンデンサマイクロホンユニットおよびコンデンサマイクロホン |
| JP2017118240A (ja) * | 2015-12-22 | 2017-06-29 | エルジー ディスプレイ カンパニー リミテッド | エレクトレットセンサ素子、マトリクスセンサおよびそれらの製造方法、並びにマトリクスセンサ回路 |
-
1985
- 1985-01-16 JP JP554885A patent/JPS61164399A/ja active Pending
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN100364365C (zh) * | 2002-07-19 | 2008-01-23 | 松下电器产业株式会社 | 麦克风 |
| JP2008147743A (ja) * | 2006-12-06 | 2008-06-26 | Audio Technica Corp | コンデンサマイクロホンユニットおよびコンデンサマイクロホン |
| JP2017118240A (ja) * | 2015-12-22 | 2017-06-29 | エルジー ディスプレイ カンパニー リミテッド | エレクトレットセンサ素子、マトリクスセンサおよびそれらの製造方法、並びにマトリクスセンサ回路 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| TW535452B (en) | Condenser microphone assembly | |
| TWI405472B (zh) | 電子裝置及其電聲換能器 | |
| US4041446A (en) | Capacitive-type displacement and pressure sensitive transducer | |
| US20090147972A1 (en) | Hybrid speaker | |
| JP3873990B2 (ja) | 超音波トランスデューサ及びこれを用いた超音波スピーカ | |
| WO2019061618A1 (zh) | 电容式麦克风及电子装置 | |
| CN107005772A (zh) | 形成宽感测间隙微机电系统麦克风的集成封装和制造方法 | |
| TW201808783A (zh) | Ｍｅｍｓ裝置與製程 | |
| US5862239A (en) | Directional capacitor microphone system | |
| CN1757261A (zh) | 驻极体电容式传声器 | |
| Lerch et al. | Microphones with rigidly supported piezopolymer membranes | |
| JPS61164399A (ja) | コンデンサマイクロホン | |
| KR870001507B1 (ko) | 콘덴서 마이크로폰 | |
| JP5054749B2 (ja) | エレクトレット電気音響変換器を備えた電子機器 | |
| JPH09135496A (ja) | 圧電形電気音響装置 | |
| JPS5928799A (ja) | 静電形変換器 | |
| US20070242842A1 (en) | Method of Manufacturing Film-Speaker Using Piezoelectric Film and Sound Equipment with the Same | |
| US20170265005A1 (en) | Microphone capsule with odd number of sides | |
| CN101742388B (zh) | 具有驻极体式电声换能器的电子装置 | |
| CN1946249B (zh) | 一种肤触式电容振动拾音器 | |
| JP2009094918A (ja) | バックエレクトレット型コンデンサマイクロホンにおける固定極の表面電圧測定方法 | |
| CN217849674U (zh) | 麦克风组件及电子设备 | |
| KR20090119268A (ko) | 실리콘 콘덴서 마이크로폰 및 이에 사용되는 실리콘칩의제조방법 | |
| US10123130B2 (en) | Diaphragm, electroacoustic transducer, and electroacoustic transducer apparatus | |
| KR200350288Y1 (ko) | 콘덴서 마이크로폰의 통전링 |