JPS61155720U - - Google Patents

Description

【図面の簡単な説明】 第１図は本考案に係る光学式変位検出装置の実
施例の光学系の構成を示す斜視図、第２図及び第
３図は、前記光学系の受光素子で得られる受光波
形の関係の例を示す線図、第４図は、前記実施例
の回路構成を示すブロツク線図、第５図は、従来
の透過型光学式変位検出装置の原理を示す断面図
、第６図Ａ，Ｂは、従来の透過型光学式変位検出
装置で用いられている絶対原点検出機構を示す、
スケールの平面図、第７図は、前記絶対原点検出
機構の受光波形の例を示す線図である。 １０Ａ，１０Ｂ，４４，４８……光源、１４…
…インデツクススケール、１６Ａ，１６Ｂ……変
位検出用可動光学格子、１８……メインスケール
、２０……変位検出用固定光学格子、２４Ａ，２
４Ｂ，４６，５０……受光素子、３２……参照マ
ーク、３６……参照マーク検出窓、３８……基準
光検出窓、ＶＸ_１，ＶＸ_２……変位検出用電気信
号、Ｖｍ……参照マーク電気信号、Ｖｒｅｆ……
基準電圧、６０……エンコーダ、６２……カウン
タ、７２……交点検出回路、７４……基準信号発
生器。

Claims (1)

1. 【実用新案登録請求の範囲】 (1) 検出対象物の固定側に取付けられた変位検
   出用固定光学格子と、検出対象物の可動側に取付
   けられた変位検出用可動光学格子とを相対移動さ
   せた時に生ずる変位検出用光信号を捉えて、検出
   対象物間の相対移動変位量を検出する光学式変位
   検出装置において、 前記変位検出用固定光学格子と別個且つ相対変
   位不能とされた、光透過又は反射特性を有する参
   照マークを含み、前記変位検出用光信号の１／２
   周期以上に渡り略直線的に変化する参照マーク信
   号を発生させる参照マーク信号発生手段と、 前記変位検出用固定光学格子からの光を受けて
   、一定レベルの基準電気信号を発生する基準信号
   発生手段と、 前記参照マーク信号を変換した電気信号を前記
   基準電気信号と比較して、その交点を検出する交
   点検出手段と、 該交点に対応する前記変位検出用固定光学格子
   の位置を、絶対原点と特定する絶対原点特定手段
   と、 から構成される絶対原点検出機構を具備したこと
   を特徴とする光学式変位検出装置。 (2) 前記参照マーク信号発生手段が、光源と、
   前記変位検出用固定光学格子に沿つて一体的に形
   成された前記参照マークと、前記変位検出用可動
   光学格子に沿つて一体的に形成された参照マーク
   検出窓と、前記参照マーク及び参照マーク検出窓
   を通つた光を受光する受光素子とを含むものであ
   る実用新案登録請求の範囲第１項記載の光学式変
   位検出装置。 (3) 前記基準信号発生手段が、光源と、前記変
   位検出用固定光学格子と、前記変位検出用可動光
   学格子の延長線上に一体的に形成された基準光検
   出窓と、前記変位検出用固定光学格子及び基準光
   検出窓を通つた光を受光する受光素子とを含み、
   該受光素子によつて得られた電気信号を前記基準
   電気信号とするものである実用新案登録請求の範
   囲第１項記載の光学式変位検出装置。 (4) 前記基準電気信号及び変位検出用の基準気
   信号が、共通の受光素子によつて得られた電気信
   号から作成されたものである実用新案登録請求の
   範囲第１項記載の光学式変位検出装置。