JPS6113860B2 - - Google Patents
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- Publication number
- JPS6113860B2 JPS6113860B2 JP57194797A JP19479782A JPS6113860B2 JP S6113860 B2 JPS6113860 B2 JP S6113860B2 JP 57194797 A JP57194797 A JP 57194797A JP 19479782 A JP19479782 A JP 19479782A JP S6113860 B2 JPS6113860 B2 JP S6113860B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- activated carbon
- exhaust gas
- stage
- aqueous solution
- gas
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired
Links
Classifications
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B01—PHYSICAL OR CHEMICAL PROCESSES OR APPARATUS IN GENERAL
- B01D—SEPARATION
- B01D53/00—Separation of gases or vapours; Recovering vapours of volatile solvents from gases; Chemical or biological purification of waste gases, e.g. engine exhaust gases, smoke, fumes, flue gases, aerosols
- B01D53/34—Chemical or biological purification of waste gases
- B01D53/46—Removing components of defined structure
- B01D53/68—Halogens or halogen compounds
-
- Y—GENERAL TAGGING OF NEW TECHNOLOGICAL DEVELOPMENTS; GENERAL TAGGING OF CROSS-SECTIONAL TECHNOLOGIES SPANNING OVER SEVERAL SECTIONS OF THE IPC; TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC CROSS-REFERENCE ART COLLECTIONS [XRACs] AND DIGESTS
- Y02—TECHNOLOGIES OR APPLICATIONS FOR MITIGATION OR ADAPTATION AGAINST CLIMATE CHANGE
- Y02C—CAPTURE, STORAGE, SEQUESTRATION OR DISPOSAL OF GREENHOUSE GASES [GHG]
- Y02C20/00—Capture or disposal of greenhouse gases
- Y02C20/30—Capture or disposal of greenhouse gases of perfluorocarbons [PFC], hydrofluorocarbons [HFC] or sulfur hexafluoride [SF6]
Landscapes
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Chemical & Material Sciences (AREA)
- Health & Medical Sciences (AREA)
- Biomedical Technology (AREA)
- Environmental & Geological Engineering (AREA)
- Analytical Chemistry (AREA)
- General Chemical & Material Sciences (AREA)
- Oil, Petroleum & Natural Gas (AREA)
- Chemical Kinetics & Catalysis (AREA)
- Treating Waste Gases (AREA)
Description
本発明は弗化スルフリル（SO2F2）が混入した
気体の精製方法に関する。この形の気体は例えば
六弗化硫黄の製造或いは硫黄含有化合物の電気化
学的弗素化において生成する。元素からのSF6の
製造においては、出発物質中に不純物が存在する
ために、SO2F2が混入した粗製気体の蓄積を伴う
（西ドイツ国特許出願公告明細書第1212945号およ
び第1230775号参照）。この種の混入物を含む気体
は、SF6を工業用途に用いる前に、完全に精製さ
れねばならない。硫黄含有化合物の電解弗素化
は、大部分は水素であるが工場排ガスとして放出
する前に除去しなければならない少量のSO2F2を
含む、排出気体の生成を伴い、SO2F2除去の必要
な理由は弗化スルフリルが加水分解して弗化水素
酸およびフルオロスルホン酸または弗化水素酸お
よび硫酸のごとき汚染化合物を生成し得るからで
ある。 弗化スルフリルは20℃にてかなりの加水分解を
うけるが〔C.H.キヤデイ（Cady）およびS.ミス
ラ（Misra）、インオルガニツク・ケミストリー
（Inorg.Chem.）13巻（４号）、837〜841頁1974
年〕、弗化スルフリルは、特に六弗化硫黄のごと
き不活性気体で著しく希釈された場合、極めて
徐々に水と反応する（西ドイツ国特許出願公告明
細書第1212945号および第1230775号）。また、ア
ルカリ性加水分解の場合、弗素イオンおよび硫酸
イオンが生成せず（第１式）、むしろその代りに
フルオロ硫酸イオンが生成する〔例えば、M.M.
ジヨンズ（Jones）およびW.L.ロツクハー
（Lockhar）、ジヤーナル・オブ・インオルガニツ
ク・ニユクレア・ケミストリー（J.Inorg.Nucl.
Chem.）30巻、1237頁、1968年、第２式参照〕。 SO2F2＋4OH-……2F-＋SO4 2-＋2H2O (1) SO2F2＋2OH-……F-＋SO3F-＋H2O (2) 従つて、弗化物のほかに、フルオロ硫酸イオン
（これは沈澱させることがはるかに困難である）
が、水から沈澱させることが容易な弗素イオンお
よび硫酸イオンの代りに、蓄積する。 従つて、酸化アルミニウム、分子篩、周期律表
の第１および第２主属の元素の水酸化物、酸化
物、炭酸塩および炭酸水素塩のごとき固体に、ま
たは周期律表の第１および第２主属の酸化物、水
酸化物または炭酸塩を含浸させた不活性物質に、
−50℃乃至350℃の範囲の温度で、弗化スルフリ
ルを吸着させることが提案された来た（西ドイツ
国特許出願公告明細書1212945号および第1230775
号参照）。然しながら、これらの方法は有効なア
ルカリの利用率が最小である特質があり、その理
由は弗化スルフリルが浸透の深さが浅い固体表面
でのみ反応するからであり、従つてこれらの方法
は特に大規模に連続的に行う場合には非経済的で
ある。 従つて、本発明の目的は有効アルカリを最大限
に利用して第１式に従つて弗素イオンおよび硫酸
イオンを生成させて排ガスから弗化スルフリルを
完全に除去することである。 本発明において驚異的にも、活性炭上でSO2F2
をアルカリ金属水酸化物または炭酸塩の希薄水溶
液と反応させることにより、電解弗素化または
SF6の製造において蓄積するSO2F2を排ガスから
事実上完全に除去し得ることが見出された。同じ
く予期し得ないことであるが、式(1)に従う理論的
に有効なアルカリの90％までがガス洗浄効果を減
少することなく利用出来ることが見出された。一
般に、プロセス中に用いられる洗浄液のこのよう
な高い利用率は従来のガス洗浄操作では達成され
なかつたものである。 添付図面は本発明の方法に従う二段式気体洗浄
を示す。 本発明は、反応を活性炭触媒上でアルカリ金属
水酸化物および／もしくは炭酸塩の希薄水溶液中
で行うことを特徴とする、排ガスをアルカリ金属
水酸化物および／もしくは炭酸塩と反応させるこ
とにより排ガス中から弗化スルフリルを除去する
方法を提供する。 本発明に従う方法は一段階または二段階以上の
階段により行うことが出来る。階段の数は最終段
階から出る排ガスの所要の純度に依存する。 使用されるアルカリ金属水酸化物または炭酸塩
溶液の濃度は水中で用いられる物質の溶解度に従
う広い範囲内で変えることが出来る。３乃至10％
の水酸化物または炭酸塩濃度の溶液が効果的であ
り且つ特に好ましく、その理由はその程度の濃度
にて生成するアルカリ金属弗化物および硫酸塩が
特に容易に溶解するからである。 本発明に従う方法においては入手し得るすべて
の型の活性炭を用いることが出来、その際疎水性
の型と親水性の型とは区別される。疎水性の型の
活性炭は（例えば塩化亜鉛を用いて）化学的活性
化が施されそして水蒸気により任意に再活性化し
得る活性炭であると理解される。この型の活性炭
は長い滞留時間、遅い気体速度、高い温度および
生成した弗化物および硫酸塩が沈澱し得るように
洗浄液中のアルカリ金属水酸化物および／もしく
は炭酸塩の高い濃度を必要とする。 親水性活性炭、例えば少くとも400m2／ｇ、好
ましくは600m2／ｇ以上のBET表面積を有するリ
グナイト・コークを基底とする水蒸気活性化活性
炭が特に適していることが明かにされた。この型
の活性炭の場合、疎水性活性炭と比較して、より
高い気体速度、より低い滞留時間、より低いアル
カリ水酸化物および／もしくは炭酸塩の濃度およ
びより低い温度を適用することが出来る。これら
の理由により親水性活性炭が特に好ましい。 記載の方法による気体洗浄は５乃至95℃の範囲
の温度、好ましくは20乃至60℃の範囲の温度で行
われる。多段装置の場合、新鮮なアルカリ金属水
酸化物もしくは炭酸塩の溶液を最後の段階に注入
し、次にそれぞれの洗浄段階に気体流と向流的に
流していくような方法で、気体流と洗浄液流は向
流方式で流される。個々の洗浄段階においてまた
は一段式気体洗浄装置の場合においては、液流お
よび気体流は並行流としてまた向流として流すこ
とが出来る。 弗素イオンおよび硫酸イオンを含んだ洗浄液は
それ自体公知の方法で再生することが出来る。例
えば、酸化カルシウム、水酸化カルシウムまたは
炭酸カルシウムを加えて弗素イオンおよび硫酸イ
オンを沈澱させることが出来、その結果再生され
たアルカリ金属水酸化物もしくは炭酸塩溶液を再
循環することが出来る。これにより生成した難溶
性カルシウム塩は棄却することが出来る。再生に
陰イオン交換樹脂を用いることも出来る。 本発明に従う方法は例示のため本方法の二段形
式を示す添付図面に例示されている。 該図面中の参照数字は下記の意味を有する。 １＝洗浄段階１、２＝洗浄段階２、３＝排ガス入
口、４＝活性炭充填部、５＝洗浄液入口、６＝ア
ルカリ液回路、７＝ガス管、８＝排ガス出口、９
＝液入口、１０＝液貯蔵器、１１＝液出口および
１２＝液ポンプ 精製されるべき排ガスは入口３にて下から洗浄
段階に入りそして上から供給されそして管６を通
して循環される洗浄液５と向流的に活性炭充填部
４を通つて流れる。排ガスは管７を通つて段階１
を出て、洗浄段階２において、活性炭充填部に接
する入口９にて導入される新鮮な液で洗浄され
る。精製された排ガスは出口８から放出される。
第２段階において用いられた液は該段階の底部か
ら流出しそして貯蔵器１０に送られ、そこからポ
ンプ１２により段階１に循環される。使用された
液は出口１１にて回路から取り除かれる。 実施例 実施例 １ 電解弗素化槽からの排ガスを、洗浄塔が100mm
の内径を有しそして850mmの深さの活性炭充填部
（リグナイトコーク水蒸気活性化物、BET表面積
800m2／ｇ）を有する添付図面に例示された二段
式洗浄装置を用いて処理した。用いられた洗浄液
は温度40℃の５％水酸化ナトリウムでありそして
毎時5.0リツトルが用いられた。毎時700リツトル
の排ガスを導入した。第１表は100時間操作後の
分析値を示す。
気体の精製方法に関する。この形の気体は例えば
六弗化硫黄の製造或いは硫黄含有化合物の電気化
学的弗素化において生成する。元素からのSF6の
製造においては、出発物質中に不純物が存在する
ために、SO2F2が混入した粗製気体の蓄積を伴う
（西ドイツ国特許出願公告明細書第1212945号およ
び第1230775号参照）。この種の混入物を含む気体
は、SF6を工業用途に用いる前に、完全に精製さ
れねばならない。硫黄含有化合物の電解弗素化
は、大部分は水素であるが工場排ガスとして放出
する前に除去しなければならない少量のSO2F2を
含む、排出気体の生成を伴い、SO2F2除去の必要
な理由は弗化スルフリルが加水分解して弗化水素
酸およびフルオロスルホン酸または弗化水素酸お
よび硫酸のごとき汚染化合物を生成し得るからで
ある。 弗化スルフリルは20℃にてかなりの加水分解を
うけるが〔C.H.キヤデイ（Cady）およびS.ミス
ラ（Misra）、インオルガニツク・ケミストリー
（Inorg.Chem.）13巻（４号）、837〜841頁1974
年〕、弗化スルフリルは、特に六弗化硫黄のごと
き不活性気体で著しく希釈された場合、極めて
徐々に水と反応する（西ドイツ国特許出願公告明
細書第1212945号および第1230775号）。また、ア
ルカリ性加水分解の場合、弗素イオンおよび硫酸
イオンが生成せず（第１式）、むしろその代りに
フルオロ硫酸イオンが生成する〔例えば、M.M.
ジヨンズ（Jones）およびW.L.ロツクハー
（Lockhar）、ジヤーナル・オブ・インオルガニツ
ク・ニユクレア・ケミストリー（J.Inorg.Nucl.
Chem.）30巻、1237頁、1968年、第２式参照〕。 SO2F2＋4OH-……2F-＋SO4 2-＋2H2O (1) SO2F2＋2OH-……F-＋SO3F-＋H2O (2) 従つて、弗化物のほかに、フルオロ硫酸イオン
（これは沈澱させることがはるかに困難である）
が、水から沈澱させることが容易な弗素イオンお
よび硫酸イオンの代りに、蓄積する。 従つて、酸化アルミニウム、分子篩、周期律表
の第１および第２主属の元素の水酸化物、酸化
物、炭酸塩および炭酸水素塩のごとき固体に、ま
たは周期律表の第１および第２主属の酸化物、水
酸化物または炭酸塩を含浸させた不活性物質に、
−50℃乃至350℃の範囲の温度で、弗化スルフリ
ルを吸着させることが提案された来た（西ドイツ
国特許出願公告明細書1212945号および第1230775
号参照）。然しながら、これらの方法は有効なア
ルカリの利用率が最小である特質があり、その理
由は弗化スルフリルが浸透の深さが浅い固体表面
でのみ反応するからであり、従つてこれらの方法
は特に大規模に連続的に行う場合には非経済的で
ある。 従つて、本発明の目的は有効アルカリを最大限
に利用して第１式に従つて弗素イオンおよび硫酸
イオンを生成させて排ガスから弗化スルフリルを
完全に除去することである。 本発明において驚異的にも、活性炭上でSO2F2
をアルカリ金属水酸化物または炭酸塩の希薄水溶
液と反応させることにより、電解弗素化または
SF6の製造において蓄積するSO2F2を排ガスから
事実上完全に除去し得ることが見出された。同じ
く予期し得ないことであるが、式(1)に従う理論的
に有効なアルカリの90％までがガス洗浄効果を減
少することなく利用出来ることが見出された。一
般に、プロセス中に用いられる洗浄液のこのよう
な高い利用率は従来のガス洗浄操作では達成され
なかつたものである。 添付図面は本発明の方法に従う二段式気体洗浄
を示す。 本発明は、反応を活性炭触媒上でアルカリ金属
水酸化物および／もしくは炭酸塩の希薄水溶液中
で行うことを特徴とする、排ガスをアルカリ金属
水酸化物および／もしくは炭酸塩と反応させるこ
とにより排ガス中から弗化スルフリルを除去する
方法を提供する。 本発明に従う方法は一段階または二段階以上の
階段により行うことが出来る。階段の数は最終段
階から出る排ガスの所要の純度に依存する。 使用されるアルカリ金属水酸化物または炭酸塩
溶液の濃度は水中で用いられる物質の溶解度に従
う広い範囲内で変えることが出来る。３乃至10％
の水酸化物または炭酸塩濃度の溶液が効果的であ
り且つ特に好ましく、その理由はその程度の濃度
にて生成するアルカリ金属弗化物および硫酸塩が
特に容易に溶解するからである。 本発明に従う方法においては入手し得るすべて
の型の活性炭を用いることが出来、その際疎水性
の型と親水性の型とは区別される。疎水性の型の
活性炭は（例えば塩化亜鉛を用いて）化学的活性
化が施されそして水蒸気により任意に再活性化し
得る活性炭であると理解される。この型の活性炭
は長い滞留時間、遅い気体速度、高い温度および
生成した弗化物および硫酸塩が沈澱し得るように
洗浄液中のアルカリ金属水酸化物および／もしく
は炭酸塩の高い濃度を必要とする。 親水性活性炭、例えば少くとも400m2／ｇ、好
ましくは600m2／ｇ以上のBET表面積を有するリ
グナイト・コークを基底とする水蒸気活性化活性
炭が特に適していることが明かにされた。この型
の活性炭の場合、疎水性活性炭と比較して、より
高い気体速度、より低い滞留時間、より低いアル
カリ水酸化物および／もしくは炭酸塩の濃度およ
びより低い温度を適用することが出来る。これら
の理由により親水性活性炭が特に好ましい。 記載の方法による気体洗浄は５乃至95℃の範囲
の温度、好ましくは20乃至60℃の範囲の温度で行
われる。多段装置の場合、新鮮なアルカリ金属水
酸化物もしくは炭酸塩の溶液を最後の段階に注入
し、次にそれぞれの洗浄段階に気体流と向流的に
流していくような方法で、気体流と洗浄液流は向
流方式で流される。個々の洗浄段階においてまた
は一段式気体洗浄装置の場合においては、液流お
よび気体流は並行流としてまた向流として流すこ
とが出来る。 弗素イオンおよび硫酸イオンを含んだ洗浄液は
それ自体公知の方法で再生することが出来る。例
えば、酸化カルシウム、水酸化カルシウムまたは
炭酸カルシウムを加えて弗素イオンおよび硫酸イ
オンを沈澱させることが出来、その結果再生され
たアルカリ金属水酸化物もしくは炭酸塩溶液を再
循環することが出来る。これにより生成した難溶
性カルシウム塩は棄却することが出来る。再生に
陰イオン交換樹脂を用いることも出来る。 本発明に従う方法は例示のため本方法の二段形
式を示す添付図面に例示されている。 該図面中の参照数字は下記の意味を有する。 １＝洗浄段階１、２＝洗浄段階２、３＝排ガス入
口、４＝活性炭充填部、５＝洗浄液入口、６＝ア
ルカリ液回路、７＝ガス管、８＝排ガス出口、９
＝液入口、１０＝液貯蔵器、１１＝液出口および
１２＝液ポンプ 精製されるべき排ガスは入口３にて下から洗浄
段階に入りそして上から供給されそして管６を通
して循環される洗浄液５と向流的に活性炭充填部
４を通つて流れる。排ガスは管７を通つて段階１
を出て、洗浄段階２において、活性炭充填部に接
する入口９にて導入される新鮮な液で洗浄され
る。精製された排ガスは出口８から放出される。
第２段階において用いられた液は該段階の底部か
ら流出しそして貯蔵器１０に送られ、そこからポ
ンプ１２により段階１に循環される。使用された
液は出口１１にて回路から取り除かれる。 実施例 実施例 １ 電解弗素化槽からの排ガスを、洗浄塔が100mm
の内径を有しそして850mmの深さの活性炭充填部
（リグナイトコーク水蒸気活性化物、BET表面積
800m2／ｇ）を有する添付図面に例示された二段
式洗浄装置を用いて処理した。用いられた洗浄液
は温度40℃の５％水酸化ナトリウムでありそして
毎時5.0リツトルが用いられた。毎時700リツトル
の排ガスを導入した。第１表は100時間操作後の
分析値を示す。
【表】
第１段階から出る液は0.8％のNaOHを含ん
だ。排ガスからSO2F2の99.93％が除去された。
第(1)式に基づく有効な水酸化ナトリウムの利用率
は78.4％であつた。 実施例 ２ 実施例１に記載された型の装置を３％水酸化カ
リウムを用いて20℃にて操作した。段階２には５
／時にて新鮮な液を注入し、９／時にて段階
１にポンプにて再循環しそして５／時にて液を
出口から流出させた。排ガスを500／時にて導
入した。第２表は50時間後の気体の組成を示す。
だ。排ガスからSO2F2の99.93％が除去された。
第(1)式に基づく有効な水酸化ナトリウムの利用率
は78.4％であつた。 実施例 ２ 実施例１に記載された型の装置を３％水酸化カ
リウムを用いて20℃にて操作した。段階２には５
／時にて新鮮な液を注入し、９／時にて段階
１にポンプにて再循環しそして５／時にて液を
出口から流出させた。排ガスを500／時にて導
入した。第２表は50時間後の気体の組成を示す。
【表】
実施例 ３
実施例１において用いられた装置に相当する装
置を、60℃の温度にて８％ソーダ溶液を用いて実
施例２に記載された方法と同様の方法で操作し
た。第３表は75時間操作後のガスの組成を示す。
置を、60℃の温度にて８％ソーダ溶液を用いて実
施例２に記載された方法と同様の方法で操作し
た。第３表は75時間操作後のガスの組成を示す。
【表】
ルカン類
添付図面は本発明の方法に従う二段式気体洗浄
を示す。
を示す。
Claims (1)
- 【特許請求の範囲】 １ 排ガス中の弗化スルフリルをアルカリ性物質
と反応させることによる排ガスからの弗化スルフ
リルの除去方法において、活性炭触媒上で該弗化
スルフリルをアルカリ金属水酸化物またはアルカ
リ金属炭酸塩の希薄水溶液と反応させることを特
徴とする改良方法。 ２ 該溶液がアルカリ水酸化物またはアルカリ炭
酸塩の３乃至10重量％の水溶液である、特許請求
の範囲第１項記載の方法。 ３ 炭素が親水性活性炭である、特許請求の範囲
第１項または第２項記載の方法。 ４ 反応を５乃至95℃にて行う、特許請求の範囲
第１項または第２項または第３項記載の方法。 ５ アルカリ金属がナトリウムまたはカリウムで
ある、特許請求の範囲第１項記載の方法。 ６ 活性炭触媒が固定床中にありそして排ガスお
よび該水溶液を該固定床に向流方式で接触させな
がら流す、特許請求の範囲第１項記載の方法。 ７ 活性炭触媒が複数の固定床中に収められそし
て排ガスおよび該水溶液を該固定床に向流方式で
逆順序で流す、特許請求の範囲第１項記載の方
法。
Applications Claiming Priority (2)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| DE3145012A DE3145012C2 (de) | 1981-11-12 | 1981-11-12 | Verfahren zur Reinigung Sulfurylfluorid enthaltender Abgase |
| DE3145012.1 | 1981-11-12 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS5888024A JPS5888024A (ja) | 1983-05-26 |
| JPS6113860B2 true JPS6113860B2 (ja) | 1986-04-16 |
Family
ID=6146269
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP57194797A Granted JPS5888024A (ja) | 1981-11-12 | 1982-11-08 | 弗化スルフリルを含む排ガスの精製方法 |
Country Status (5)
| Country | Link |
|---|---|
| US (1) | US4465655A (ja) |
| JP (1) | JPS5888024A (ja) |
| BE (1) | BE894956A (ja) |
| DE (1) | DE3145012C2 (ja) |
| IT (1) | IT1149115B (ja) |
Families Citing this family (12)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| FR2616688B1 (fr) * | 1987-06-18 | 1989-10-13 | Merlin Gerin | Procede et dispositif de detoxication d'appareils electriques, notamment de disjoncteurs a l'hexafluorure de soufre |
| FR2618081B1 (fr) * | 1987-07-16 | 1991-06-14 | Merlin Gerin | Unite de detoxication d'appareillage electrique a hexafluorure de soufre |
| US4855276A (en) * | 1987-09-02 | 1989-08-08 | Purafil, Inc. | Solid filtration medium incorporating alumina and carbon |
| DE4441628C2 (de) * | 1994-11-23 | 1998-06-18 | Binker Materialschutz Gmbh | Verfahren zur Begasung eines Raumes |
| DE4441796A1 (de) * | 1994-11-24 | 1996-05-30 | Binker Materialschutz Gmbh | Verfahren zum Ableiten eines toxischen Gas-Luftgemisches aus einem Behandlungsraum |
| DE19609570A1 (de) * | 1996-03-12 | 1997-09-18 | Binker Materialschutz Gmbh | Verfahren zum gefahrlosen Lüften Sulfurylfluorid-begaster Räume |
| DE19621516C2 (de) * | 1996-05-29 | 1998-11-05 | Angermeier S Schaedlingsbekaem | Verfahren zur Begasung eines Raumes mit Sulfurylfluorid |
| DE19834882A1 (de) * | 1998-08-01 | 2000-02-03 | Solvay Fluor & Derivate | Reinigung von Sulfurylfluorid |
| US6309618B1 (en) * | 1999-03-12 | 2001-10-30 | Showa Denko K. K. | Method for treating exhaust gas containing fluorine-containing interhalogen compound, and treating agent and treating apparatus |
| DE10204935A1 (de) * | 2002-02-07 | 2003-08-21 | Solvay Fluor & Derivate | Reinigung von Sulfurylfluorid |
| CN102343210B (zh) * | 2011-09-28 | 2012-12-19 | 临海市利民化工有限公司 | 噻吩乙酸生产过程中产生的废氨气与烟气中so2的综合回收利用方法 |
| KR20240090444A (ko) * | 2021-10-29 | 2024-06-21 | 더 코네티컷 애그리컬쳐럴 익스페리먼트 스테이션 | 유체로부터 플루오르화술푸릴을 스크러빙하는 방법 |
Family Cites Families (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| DE1212945B (de) * | 1964-07-07 | 1966-03-24 | Kali Chemie Ag | Verfahren zur Entfernung von Sulfurylfluorid aus Schwefelhexafluorid enthaltenden Gasgemischen |
-
1981
- 1981-11-12 DE DE3145012A patent/DE3145012C2/de not_active Expired
-
1982
- 1982-11-01 US US06/438,178 patent/US4465655A/en not_active Expired - Lifetime
- 1982-11-08 JP JP57194797A patent/JPS5888024A/ja active Granted
- 1982-11-09 BE BE0/209432A patent/BE894956A/fr not_active IP Right Cessation
- 1982-11-10 IT IT49461/82A patent/IT1149115B/it active
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| BE894956A (fr) | 1983-05-09 |
| IT1149115B (it) | 1986-12-03 |
| US4465655A (en) | 1984-08-14 |
| JPS5888024A (ja) | 1983-05-26 |
| DE3145012C2 (de) | 1986-07-24 |
| DE3145012A1 (de) | 1983-05-19 |
| IT8249461A0 (it) | 1982-11-10 |
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