JPS61134601A - 磁気形変位センサ - Google Patents
磁気形変位センサInfo
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- JPS61134601A JPS61134601A JP25649784A JP25649784A JPS61134601A JP S61134601 A JPS61134601 A JP S61134601A JP 25649784 A JP25649784 A JP 25649784A JP 25649784 A JP25649784 A JP 25649784A JP S61134601 A JPS61134601 A JP S61134601A
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Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
［産業上の利用分野］
本発明は変位量に比例した電気信号を得る磁気形変位セ
ンサに関するものである。
ンサに関するものである。
［従来の技術］
直線変位をリニアに検出する変位センサとして、差動変
圧器やポテンショメータが使用されている。
圧器やポテンショメータが使用されている。
差動変圧器は、励磁電源に接続される１−次コイルと、
該１次コイルの両端にそれぞれ同軸的に配置された第１
及び第２の２次コイルと、これらのコイルの内側を軸線
方向に変位し得るように設けられた可動鉄心とを備え、
可動鉄心の変位に伴って第１及び第２の２次コイルに誘
起する電圧の差が可動鉄心の変位に比例していることを
利用して変位量を検出する。またポテンショメータは、
固定抵抗体と該固定抵抗体上を摺動する開動子とからな
り、固定抵抗体の一端と摺動子との間の抵抗値が摺動子
の変位に伴って変化することを利用して変位量を検出す
る。
該１次コイルの両端にそれぞれ同軸的に配置された第１
及び第２の２次コイルと、これらのコイルの内側を軸線
方向に変位し得るように設けられた可動鉄心とを備え、
可動鉄心の変位に伴って第１及び第２の２次コイルに誘
起する電圧の差が可動鉄心の変位に比例していることを
利用して変位量を検出する。またポテンショメータは、
固定抵抗体と該固定抵抗体上を摺動する開動子とからな
り、固定抵抗体の一端と摺動子との間の抵抗値が摺動子
の変位に伴って変化することを利用して変位量を検出す
る。
［発明が解決しようとする問題点］
直線変位を検出するセンサとして多く用いられている差
動変圧器やポテンショメータは構成部品が精巧で構造が
複雑であるため、高価になるのを避けられず、機械の各
可動部の変位量を検出するために多量に使用するのには
適していなかった。
動変圧器やポテンショメータは構成部品が精巧で構造が
複雑であるため、高価になるのを避けられず、機械の各
可動部の変位量を検出するために多量に使用するのには
適していなかった。
またこれらのセンサは大形になるのを避けられないため
、機械の可動部にコンパクトに取付けることが困難であ
った。
、機械の可動部にコンパクトに取付けることが困難であ
った。
本発明の目的は、ホール素子を検出素子として用いて簡
単な構造で変位をリニアに検出し得るようにした磁気形
変位センサを提供することにある。
単な構造で変位をリニアに検出し得るようにした磁気形
変位センサを提供することにある。
［問題点を解決するための手段］
本発明は、その実施例を示す第１図乃至第４図に見られ
るように、相対的に変位し得るように設けられた磁気発
生源保持部材１及びホール素子保持部材２と、磁気発生
源保持部材１に保持された磁気発生源３と、ホール素子
保持部材２に保持されて磁気発生源３の磁極面３ａから
生じる磁束を検出するホール素子４とを備えており、磁
気発生源３のホール素子側磁極面３ａはｆｉｔｉｇ発生
源保持部材１とホール素子保持部材２との相対的な変位
（に伴ってホール素子４との間の距離が変化す
るように設けられている。
るように、相対的に変位し得るように設けられた磁気発
生源保持部材１及びホール素子保持部材２と、磁気発生
源保持部材１に保持された磁気発生源３と、ホール素子
保持部材２に保持されて磁気発生源３の磁極面３ａから
生じる磁束を検出するホール素子４とを備えており、磁
気発生源３のホール素子側磁極面３ａはｆｉｔｉｇ発生
源保持部材１とホール素子保持部材２との相対的な変位
（に伴ってホール素子４との間の距離が変化す
るように設けられている。
磁気発生源保持部材とホール素子保持部材との間の相対
的変位に伴って磁極面３ａとホール素子４との間の距離
を変化させるようにするための構造は種々考えられるが
、幾つかの例を挙げると、第１図に示した例では、磁気
発生源３が磁石３０と磁極片３１とにより構成され、磁
極片３１の厚みを磁気発生源保持部材１とホール素子保
持部材２との間の相対的変位の方向（ＡＩまたはＡ２方
向）に沿って徐々に変化させることにより磁極面３ａが
変位方向に対して傾斜させられている。
的変位に伴って磁極面３ａとホール素子４との間の距離
を変化させるようにするための構造は種々考えられるが
、幾つかの例を挙げると、第１図に示した例では、磁気
発生源３が磁石３０と磁極片３１とにより構成され、磁
極片３１の厚みを磁気発生源保持部材１とホール素子保
持部材２との間の相対的変位の方向（ＡＩまたはＡ２方
向）に沿って徐々に変化させることにより磁極面３ａが
変位方向に対して傾斜させられている。
また第２図に示した例では、磁気発生源３が磁石３０と
磁極片３１とにより構成され、磁極片３１０ホ一ル素子
側磁極面３ａが階段状に形成されている。
磁極片３１とにより構成され、磁極片３１０ホ一ル素子
側磁極面３ａが階段状に形成されている。
更に第３図に示した例では、磁気発生源３が磁石３０か
うなり、該磁石３０は、そのボール素子側磁極面が変位
方向に対して傾斜するように配置されている。
うなり、該磁石３０は、そのボール素子側磁極面が変位
方向に対して傾斜するように配置されている。
［発明の作用］
上記の構成において、磁気発生源保持部材１及びホール
素子保持部材２がＡ１方向またはＡ２方向に相対的に変
位すると、磁極面３ａとホール素子との間の距離が変化
するため、ホール素子４の出力電圧が変化する。このホ
ール素子の出力電圧の変化量は、磁気発生源保持部材１
とホール素子保持部材２との間の変位量に比例している
ため、磁気発生源保持部材１及びホール素子保持部材２
の内の一方を固定し、他方を可動として可動側の保持部
材を機械の可動部分等の被検出部に結合することにより
、被検出部の変位量を検出することができる。またホー
ル素子の各瞬時の出力電圧の大きさは該ホール素子の磁
気発生源に対する位置に対応しているので、該ホール素
子の出力電圧の大きさから被検出部の位置を検出するこ
とができる。
素子保持部材２がＡ１方向またはＡ２方向に相対的に変
位すると、磁極面３ａとホール素子との間の距離が変化
するため、ホール素子４の出力電圧が変化する。このホ
ール素子の出力電圧の変化量は、磁気発生源保持部材１
とホール素子保持部材２との間の変位量に比例している
ため、磁気発生源保持部材１及びホール素子保持部材２
の内の一方を固定し、他方を可動として可動側の保持部
材を機械の可動部分等の被検出部に結合することにより
、被検出部の変位量を検出することができる。またホー
ル素子の各瞬時の出力電圧の大きさは該ホール素子の磁
気発生源に対する位置に対応しているので、該ホール素
子の出力電圧の大きさから被検出部の位置を検出するこ
とができる。
［実施例］
以下添附図面を参照して本発明の詳細な説明する。
− 第１図は本発明の一実施例を示したもので、同図におい
て１は磁気発生源保持部材、２はホール素子保持部材で
ある。この例では、磁気発生源保持部材１及びホール素
子保持部材２が合成樹脂により形成され、磁気発生源保
持部材１及びホール素子保持部材２内にそれぞれ磁気発
生源３及びホ−ル素子４が埋設されている。ホール素子
保持部材２の内部を貫通させて孔２１が設けられ、該孔
２１内に該孔２１と相似な断面形状を有する磁気発生源
保持部材１が摺動自在に嵌合されている。
− 第１図は本発明の一実施例を示したもので、同図におい
て１は磁気発生源保持部材、２はホール素子保持部材で
ある。この例では、磁気発生源保持部材１及びホール素
子保持部材２が合成樹脂により形成され、磁気発生源保
持部材１及びホール素子保持部材２内にそれぞれ磁気発
生源３及びホ−ル素子４が埋設されている。ホール素子
保持部材２の内部を貫通させて孔２１が設けられ、該孔
２１内に該孔２１と相似な断面形状を有する磁気発生源
保持部材１が摺動自在に嵌合されている。
磁気発生源保持部材１を孔２１内で回転させることなく
、該孔２１の軸線方向（ＡＩ力方向びＡ２方向）にのみ
変位させるようにするため、磁気発生源１及び孔２１は
共に非円形な断面形状を有するように形成されている。
、該孔２１の軸線方向（ＡＩ力方向びＡ２方向）にのみ
変位させるようにするため、磁気発生源１及び孔２１は
共に非円形な断面形状を有するように形成されている。
ホール素子４はその磁束検出面４ａを孔２１１１１１１
に向けて該孔２１の軸線と平行させた状態で孔２１の長
手方・向の中央部に対応する位置に配置され、ホール素
子４から引出された４本のリード線Ｗ１乃至Ｗ４が保持
部材２の側面から外部に導出されている。
に向けて該孔２１の軸線と平行させた状態で孔２１の長
手方・向の中央部に対応する位置に配置され、ホール素
子４から引出された４本のリード線Ｗ１乃至Ｗ４が保持
部材２の側面から外部に導出されている。
磁気発生源保持部材１の内部に埋設された磁気発生源３
は、帯板状の磁石３０と、磁石３０と同一の輪郭形状を
有して該磁石３０のホール素子側の磁極面３０ａに一面
が密接された状態で接合された帯板状の磁極片３１とか
らなっている。磁石３０はその長さ方向に沿って表面の
磁束密度が均一になるように厚み方向に着磁され、磁極
片３１のホール素子４側の面が磁気発生源の磁極面３ａ
としてホール素子４に対向せしめられている。この磁気
発生源３は、磁石３０及び１１橿片３１の長手方向を孔
２１の軸線方向に一致させて、且つ磁極片３１をホール
素子４側に向けて磁気発生源保持部材１内に埋設されて
いる。そして磁極片３１は磁気発生源保持部材１の変位
の方向に沿って厚みが直線的に変化する形状に形成され
、これにより磁極面３ａが変位方向に対して傾斜させら
れている。磁気発生源保持部材１の軸線方向の両端には
孔２１の軸線方向に伸びる可動軸５Ａ及び５Ｂが取付け
られ、これらの可動軸のいずれかが、図示しない被検出
部に結合されるようになっている。
は、帯板状の磁石３０と、磁石３０と同一の輪郭形状を
有して該磁石３０のホール素子側の磁極面３０ａに一面
が密接された状態で接合された帯板状の磁極片３１とか
らなっている。磁石３０はその長さ方向に沿って表面の
磁束密度が均一になるように厚み方向に着磁され、磁極
片３１のホール素子４側の面が磁気発生源の磁極面３ａ
としてホール素子４に対向せしめられている。この磁気
発生源３は、磁石３０及び１１橿片３１の長手方向を孔
２１の軸線方向に一致させて、且つ磁極片３１をホール
素子４側に向けて磁気発生源保持部材１内に埋設されて
いる。そして磁極片３１は磁気発生源保持部材１の変位
の方向に沿って厚みが直線的に変化する形状に形成され
、これにより磁極面３ａが変位方向に対して傾斜させら
れている。磁気発生源保持部材１の軸線方向の両端には
孔２１の軸線方向に伸びる可動軸５Ａ及び５Ｂが取付け
られ、これらの可動軸のいずれかが、図示しない被検出
部に結合されるようになっている。
ホール素子４から引出された４本のリード線のうち、電
源端子から引出された２本のリード１ＩＷ１及びＷ２は
電源６の出力端子に接続され、該電源６からホール素子
４に電流Ｉが与えられる。ホール素子４の出力端子から
引出された２本のり一ド線Ｗ３及びＷ４は増幅器７の入
力端子に接続されている。増幅器７の出力電圧は電圧−
変位変換回路８に入力されて磁気発生源３の変位を示す
信号に変換され、該変換回路の出力が表示器９に入力さ
れている。
源端子から引出された２本のリード１ＩＷ１及びＷ２は
電源６の出力端子に接続され、該電源６からホール素子
４に電流Ｉが与えられる。ホール素子４の出力端子から
引出された２本のり一ド線Ｗ３及びＷ４は増幅器７の入
力端子に接続されている。増幅器７の出力電圧は電圧−
変位変換回路８に入力されて磁気発生源３の変位を示す
信号に変換され、該変換回路の出力が表示器９に入力さ
れている。
上記の実施例において、ホール素子４に与える電流Ｉを
一定とした場合のホール素子の出力電圧■０の磁束密度
Ｂに対する特性は第５図に示す通りで、ホール素子の出
力電圧は磁束密度Ｂに比例して直線的に変化する。一方
、磁気発生源３の磁極面３ａは磁気発生源保持部材１の
変位の方向に対して傾斜しているため、磁極面３ａとホ
ール素子４の磁束検出面４ａとの間の距離が磁気発生源
保持部材１の変位に伴って直線的に変化する。また磁気
発生源３の磁極面３ａは傾斜しているが、磁極片３１が
磁石３０に密接して面接合されているため、磁極面３ａ
での磁束密度は略一定である。
一定とした場合のホール素子の出力電圧■０の磁束密度
Ｂに対する特性は第５図に示す通りで、ホール素子の出
力電圧は磁束密度Ｂに比例して直線的に変化する。一方
、磁気発生源３の磁極面３ａは磁気発生源保持部材１の
変位の方向に対して傾斜しているため、磁極面３ａとホ
ール素子４の磁束検出面４ａとの間の距離が磁気発生源
保持部材１の変位に伴って直線的に変化する。また磁気
発生源３の磁極面３ａは傾斜しているが、磁極片３１が
磁石３０に密接して面接合されているため、磁極面３ａ
での磁束密度は略一定である。
そこでＩａｔ面３ａがホール素子４の磁束検出面４ａに
最も近接する状態になる磁気発生源保持部材１の位置を
始点Ｏとして、該磁気発生源保持部材１を第１図のＡ１
方向に変位させた場合の磁束密度（磁束検出面４ａにお
ける磁束密度）Ｂの変化を示すと第６図のようになる。
最も近接する状態になる磁気発生源保持部材１の位置を
始点Ｏとして、該磁気発生源保持部材１を第１図のＡ１
方向に変位させた場合の磁束密度（磁束検出面４ａにお
ける磁束密度）Ｂの変化を示すと第６図のようになる。
従って磁気発生源保持部材１の変位に対するホール素子
４の出力電圧ＶＯの特性は第７図のようになり、ホール
素子４の出力電圧ｖＯは変位量の増大に伴って低下して
いく。なお、磁極面３ａがホール素子４の磁束検出面４
ａから最も離れた状態になる磁気発生源保持部材１の位
置を始点０として、磁気発生源保持部材１をＡ２方向に
変位させた場合には、第７図とは逆に変位量の増大に伴
ってホール素子の出力電圧■０が増大することになる。
４の出力電圧ＶＯの特性は第７図のようになり、ホール
素子４の出力電圧ｖＯは変位量の増大に伴って低下して
いく。なお、磁極面３ａがホール素子４の磁束検出面４
ａから最も離れた状態になる磁気発生源保持部材１の位
置を始点０として、磁気発生源保持部材１をＡ２方向に
変位させた場合には、第７図とは逆に変位量の増大に伴
ってホール素子の出力電圧■０が増大することになる。
上記のように、ホール素子４の出力電圧ＶＯは変位量に
応じて直線的に変化するため、該出力電圧により被検出
部の変位を直線的に検出することができる。またホール
素子４の出力電圧ＶＯの大きさは磁気発生源の位置に対
応している為、出力電圧Ｖｏの大きざにより被検出部の
位置を知ることができる。変位量は、ホール素子４の出
力電圧Ｖｏと、磁極面３ａの磁束密度及び磁極面３ａの
傾斜角度により決まるホール素子４の磁束検出面４ａの
磁束密度Ｂと、ホール素子４に流す電流の、 大きざと
、ホール定数とから求めることができる。
応じて直線的に変化するため、該出力電圧により被検出
部の変位を直線的に検出することができる。またホール
素子４の出力電圧ＶＯの大きさは磁気発生源の位置に対
応している為、出力電圧Ｖｏの大きざにより被検出部の
位置を知ることができる。変位量は、ホール素子４の出
力電圧Ｖｏと、磁極面３ａの磁束密度及び磁極面３ａの
傾斜角度により決まるホール素子４の磁束検出面４ａの
磁束密度Ｂと、ホール素子４に流す電流の、 大きざと
、ホール定数とから求めることができる。
磁極面３ａの傾斜角を適宜に設定することにより、単位
変位量当たりの出力電圧Ｖｏの変化量を調整して分解能
を調整することができる。
変位量当たりの出力電圧Ｖｏの変化量を調整して分解能
を調整することができる。
第１図に示した例では、ホール素子４の出力電圧が増幅
器７により増幅された後電圧−変位変換回路８に入力さ
れる。この変換回路は、ホール素子の出力電圧Ｖｏを変
位量検出信号に変換し１、表示器９を動作させる。表示
器９はアナログまたはデジタル的に変位量を表示する。
器７により増幅された後電圧−変位変換回路８に入力さ
れる。この変換回路は、ホール素子の出力電圧Ｖｏを変
位量検出信号に変換し１、表示器９を動作させる。表示
器９はアナログまたはデジタル的に変位量を表示する。
尚、ホール素子４の出力を増幅した後、被検出部の変位
を制御する適宜の制御装置に与える変位検出信号として
用いることができるのは勿論である。
を制御する適宜の制御装置に与える変位検出信号として
用いることができるのは勿論である。
上記の実施例では、磁気発生源３のホール素子ｆ１８＠
楊面３ａを変位方向に対して直線的に傾斜させたが、第
２図に示すように、磁極面３ａを変位方向に沿って階段
状に変化する形状に形成することもできる。磁気発生源
３をこのように構成すると、変位に対するホール素子の
出力電圧ｖＯの特性は第８図のようになり、ホール素子
の出力電圧は変位に対して階段状に変化する。
楊面３ａを変位方向に対して直線的に傾斜させたが、第
２図に示すように、磁極面３ａを変位方向に沿って階段
状に変化する形状に形成することもできる。磁気発生源
３をこのように構成すると、変位に対するホール素子の
出力電圧ｖＯの特性は第８図のようになり、ホール素子
の出力電圧は変位に対して階段状に変化する。
また上記の各実施例では、磁気発生源３を磁石と磁極片
とにより構成したが、第３図に示すように磁気発生源３
を磁石３のみにより構成して、該磁石３を変位方向に対
して傾斜ざばて配置してもよい。
とにより構成したが、第３図に示すように磁気発生源３
を磁石３のみにより構成して、該磁石３を変位方向に対
して傾斜ざばて配置してもよい。
更に、上記の各実施例では、磁気発生源を可動側に配置
したが、第４図に示すように、孔１１を有する磁気発生
源保持部材１内に磁気発生源３を埋設し、孔１１内に摺
動自在に嵌合されたホール素子保持部材２内に１−′し
素子４を埋ｘｉ Ｌ／ ｉ：・１ ニール素子保
持部材２を可動としてもよい。この場合、ホール素子保
持部材２に可動軸５Ａ、５Ｂを取付け、これらの可動軸
のいずれかを被検出部に結合する。第４図に示す例にお
いて、磁気発生源３は第１図の実施例と同様に磁石３０
と磁極片３１とにより構成され、該磁気発生源３はその
長手方向が孔１１の軸線方向に一致するように配置され
ている。またホール素子４はその磁束検出面４ａを磁気
発生源３側に向けた状態でホール素子保持部材２内に埋
設され、ホール素子４から引出されたリード線Ｗ１〜Ｗ
４は可動軸５Ｂに沿って外部に導出されている。
したが、第４図に示すように、孔１１を有する磁気発生
源保持部材１内に磁気発生源３を埋設し、孔１１内に摺
動自在に嵌合されたホール素子保持部材２内に１−′し
素子４を埋ｘｉ Ｌ／ ｉ：・１ ニール素子保
持部材２を可動としてもよい。この場合、ホール素子保
持部材２に可動軸５Ａ、５Ｂを取付け、これらの可動軸
のいずれかを被検出部に結合する。第４図に示す例にお
いて、磁気発生源３は第１図の実施例と同様に磁石３０
と磁極片３１とにより構成され、該磁気発生源３はその
長手方向が孔１１の軸線方向に一致するように配置され
ている。またホール素子４はその磁束検出面４ａを磁気
発生源３側に向けた状態でホール素子保持部材２内に埋
設され、ホール素子４から引出されたリード線Ｗ１〜Ｗ
４は可動軸５Ｂに沿って外部に導出されている。
上記の各実施例においては、可動側の保持部材に可動軸
５Ａ及び５Ｂを取付けて、該可動軸を利用して被検出部
に結合するようにしたが、可動側の保持部材を被検出部
に直接固定したり、被検出部に埋設したりすることもで
きる。また被検出部そのもの及び該被検出部近傍の固定
部材をそれぞれ可動側及び固定側の保持部材として用い
て、該被検出部に磁気発生源またはホール素子を保持さ
せ、該被検出部近傍の固定部材にホール素子または磁気
発生源を保持させるようにしてもよい。
５Ａ及び５Ｂを取付けて、該可動軸を利用して被検出部
に結合するようにしたが、可動側の保持部材を被検出部
に直接固定したり、被検出部に埋設したりすることもで
きる。また被検出部そのもの及び該被検出部近傍の固定
部材をそれぞれ可動側及び固定側の保持部材として用い
て、該被検出部に磁気発生源またはホール素子を保持さ
せ、該被検出部近傍の固定部材にホール素子または磁気
発生源を保持させるようにしてもよい。
［発明の効果］
以上のように、本発明によれば、磁気発生源とホール素
子とを相対的に変位可能に設け、該相対的変位に伴って
磁気発生源の磁極面とホール素子との間の距離を変化さ
せるように該磁極面を設けたので、被検出部の変位を直
線的に検出することができる変位センサを簡単な構造で
得ることができ、変位センサの小形化を図ることができ
る利点がある。
子とを相対的に変位可能に設け、該相対的変位に伴って
磁気発生源の磁極面とホール素子との間の距離を変化さ
せるように該磁極面を設けたので、被検出部の変位を直
線的に検出することができる変位センサを簡単な構造で
得ることができ、変位センサの小形化を図ることができ
る利点がある。
第１図は本発明の実施例のセンサを断面図で示し該セン
サと共に用いられる電気回路の一例をブロック図で示し
た構Ｔｉｔ図、第２図及び第３図はそれぞれ第１図の実
施例で用いる磁気発生源の異なる変形例を示した断面図
、第４図は本発明の他の実施例を示す断面図、第５図は
ホール素子の出力電圧と磁束密度との関係を示す線図、
第６図は第１図の実施例におけるホール素子の磁束検出
面の磁束密度と変位との関係を示す線図、第７図はホー
ル素子の出力電圧と変位との関係を示す線図、第８図は
第２図の磁気発生源を用いた場合のホール素子の出力電
圧と変位との関係を示す線図である。 １・・・磁気発生源保持部材、２・・・ホール素子保持
部材、３・・・磁気発生源、３ｏ・・・磁石、３１・・
・磁極片、３ａ・・・磁気発生源の磁極面、４・・・ホ
ール素子、４ａ・・・磁束検出面。 第１図
サと共に用いられる電気回路の一例をブロック図で示し
た構Ｔｉｔ図、第２図及び第３図はそれぞれ第１図の実
施例で用いる磁気発生源の異なる変形例を示した断面図
、第４図は本発明の他の実施例を示す断面図、第５図は
ホール素子の出力電圧と磁束密度との関係を示す線図、
第６図は第１図の実施例におけるホール素子の磁束検出
面の磁束密度と変位との関係を示す線図、第７図はホー
ル素子の出力電圧と変位との関係を示す線図、第８図は
第２図の磁気発生源を用いた場合のホール素子の出力電
圧と変位との関係を示す線図である。 １・・・磁気発生源保持部材、２・・・ホール素子保持
部材、３・・・磁気発生源、３ｏ・・・磁石、３１・・
・磁極片、３ａ・・・磁気発生源の磁極面、４・・・ホ
ール素子、４ａ・・・磁束検出面。 第１図
Claims (4)
- （１）相対的に変位し得るように設けられた磁気発生源
保持部材及びホール素子保持部材と、前記磁気発生源保
持部材に保持された磁気発生源と、前記ホール素子保持
部材に保持されて前記磁気発生源の磁極面から生じる磁
束を検出するホール素子とを具備し、前記磁気発生源の
ホール素子側磁極面は前記磁気発生源保持部材とホール
素子保持部材との相対的な変位に伴って前記ホール素子
との間の距離が変化するように設けられていることを特
徴とする磁気形変位センサ。 - （２）前記磁気発生源は、厚み方向に着磁された板状の
磁石と、前記磁石のホール素子側の磁極表面に一面が密
接された状態で該磁石に接合された磁極片とからなり、
前記磁極片は前記磁気発生源保持部材及びホール素子保
持部材の相対的な変位の方向に沿って徐々に厚みが変化
する形状に形成されていることを特徴とする特許請求の
範囲第１項に記載の磁気形変位センサ。 - （３）前記磁気発生源は、磁石と、前記磁石のホール素
子側の磁極面に一面が密接された状態で該磁石に接合さ
れた磁極片とからなり、前記磁極片のホール素子側磁極
面は階段状に形成されていることを特徴とする特許請求
の範囲第１項に記載の磁気形変位センサ。 - （４）前記磁気発生源は磁石からなり、前記磁石はその
ホール素子側磁極面が前記磁気発生源保持部材とホール
素子保持部材の相対的変位の方向に対して傾斜するよう
に設けられていることを特徴とする特許請求の範囲第１
項に記載の磁気形変位センサ。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP25649784A JPS61134601A (ja) | 1984-12-06 | 1984-12-06 | 磁気形変位センサ |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP25649784A JPS61134601A (ja) | 1984-12-06 | 1984-12-06 | 磁気形変位センサ |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS61134601A true JPS61134601A (ja) | 1986-06-21 |
Family
ID=17293457
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP25649784A Pending JPS61134601A (ja) | 1984-12-06 | 1984-12-06 | 磁気形変位センサ |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS61134601A (ja) |
Cited By (13)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
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-
1984
- 1984-12-06 JP JP25649784A patent/JPS61134601A/ja active Pending
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