JPS61133866A - 流動状態検出センサ - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 ［産業上の利用分野］ 本発明は流動状態検出センナ、特に流体の流動状態を三
次元的に測定する流動状態検出センサに関する。

［従来技術］ 従来より、流体の流動状態を電気的に検出する流動状態
検出センサが周知であり、気体又は液体等の流体の流速
、方向等の流動状態の測定に幅広く用いられていた。

［発明が解決しようとする問題点］ しかし、従来の流動状態検出センサは、流体の流動状態
を単に２次元的に測定することができるに過ぎず、流動
状態の変化を三次元的に測定する場合には、３個のセン
サを９０度異なる角度となるよう配置しなければならな
いという欠点があった。

また、このようにして３個のセンサを組合せ流動状態を
測定しても、従来のセンサは測定可能な流れ方向の方位
角、迎角が共に９０度以内と狭いため、その測定精度が
流れ方向に依存してしまい、流動状態の流れ方向が大き
く変化するような場合にはこれを正確に測定することが
できないという欠点があった。

発明の目的 本発明はこのような従来の課題に鑑み為されたものであ
り、その目的は、流体の流動状態を三次元的に正確に測
定することの可能な流動状態検出センナを提供すること
にある。

［問題点を解決するための手段］ 本発明のセンサは、略球状体の表面全域を略同形状をし
た複数の単位発熱領域に区画形成し、これら各単位発熱
領域に互いに接続され分圧回路を形成する同一配線パタ
ーンの発熱抵抗体を設ける。

そして、前記分圧回路を通電し各発熱抵抗体を通電加熱
することにより得られる分圧回路の出力に基づき、略球
状体表面における流体の流動状態を３次元的に測定する
。

ここにおいて、前記略球状体は、流体の流れを乱すこと
の少ない球体に形成することが好ましいが、これ以外に
も例えば１６面体、３６面体というような球体に近い形
状の正多面体を用いることも可能である。

また、この略球状体は、その表面に形成された各単位発
熱領域をそれぞれ独立した発熱体とじで償能させるため
、熱電導率の低い材料を用いて形成することが好ましく
、例えばガラス材料等を用いて形成することができる。

また、略球状体として正多面体を用いる場合には、正多
面体を構成する各面を単位発熱領域として用いることが
好ましい。

また、前述したように各単位発熱領域に設けられた各発
熱抵抗体は、対応する各単位発熱領域を発熱体として機
能させるものであり、該発熱抵抗体は、例えば各単位発
熱領域内に所定の配線パターンに沿って被覆形成しても
よく、また抵抗体そのものを配線パターンに沿って接着
固定することにより形成しても良い。

そして、このようにして設けられた発熱抵抗体からなる
分圧回路への通電は、直流、交流のいずれを用いること
も可能である。

次に本発明のセンサの原理について説明する。

第２図（ａ）に示すごとく、所定の形状をした発熱体を
流速Ｕ、流動方向（方位角θ、迎角φ）の流体内に設置
した場合を想定する。

ここにおいて、発熱体の発熱温度Ｔｗを一定保つように
ジュール熱を発生させた場合には、前述したように温度
Ｔｆ、流速Ｕの流体により奪われる熱ｆｌｌＱは次式に
より与えられることが知られている。

Ｑ＝（Ａ＋ＢＵ”　）（Ｔｗ−Ｔｆ）　　　　　　・・
・・（１）尚、Ａ、ｎは発熱体の形状、流体の物性等に
より定まる定数であり、Ｂは発熱体から流速Ｕの流体へ
の熱の奪われ易さを表すものであり、流動方向、すなわ
ち方位角θ、迎角φの関数どして与えられる。

流速の検出原理 ここにおいて、前記定数Ｂは、発熱体の形状がほぼ球形
状をしている場合には、流動方向くθ。

φ）に対する方向依存性を示さない一定の値となること
が知られている。

従って、本発明にがかるセンサの略球状体を１個の球形
状をした発熱体として考えると、前記第１式に基づき、
略球状体の周囲を流れる流体の流速Ｕは流動方向（θ、
φ）に対する方向依存性を示さない値として次式によっ
て与えられる。

Ｕ−［（（−）　−Ａ　）　　−−］　　・・・（２）
Ｔｗ−Ｔｆ　　　　　　　　Ｂ ここにおいて、Ａ、Ｂ、ｎは定数であり、略球状体から
流体により奪われる熱ｆｆ１Ｑは、各発熱抵抗体から発
生する全ジュール熱Ｑと等しくなる。

従って、本発明のセンサによれば、温度ＴＶ。

Ｔｆを測定し、かつ各発熱抵抗体からの仝ジュール熱電
を分圧回路の分圧出力に基づき電気的に演算し、該演弾
値を用い前記第２式の演算を行うことにより、略球状体
の周囲を流れる流体の流速すをその３次元的な流動方向
に関わりなく正確に検出することができる。

流動方向（θ、φ）の検出原理 次に略球状体の周囲流れる流体の流動方向（θ。

φ）を検出する原理について説明する。

略球状体の表面に区画形成された各単位発熱領域をそれ
ぞれ独立した１つの発熱体として考えると、各中位発熱
領域から流体により奪われる熱量Ｑ１は前記第１式に基
づき次のようにして現わされる。

Ｑｉ＝（Ａｉ＋Ｂｉ（θ、　φ）Ｕ”　）（Ｔｗ−Ｔｆ
）　　！　’　ＣＩ　　（３）但し、　　　。

Ｑ−Σ、Ｑｉ −ｔ１ なお、ｍは略球状体表面に区画形成された単位発熱ｇＡ
滅の区画数でありｍ≧　４である。また八ｉはＡｉ　＝
□　　である。

本発明において、各単位発熱領域はほぼ同形状に形成さ
れているため、前記第３式に示す発熱体の形状、物性等
により定まる定数Ａ、ｎは全ての単位発熱領域において
等しい値となり、従って各単位発熱領域において流動方
向（Ｑ、φ）の関ダとして与えられる定数Ｂは、前記第
３式に基づき次式より与えられる。

Ｑｉ　　　　　Ａ　　　　Ｉ Ｂｉ（θ、φ）・（（−）　　−−）　□　−Ｔｗ−Ｔ
ｆ　　　　ｍ　　　　ＩＩ　ｆｔ。　　　　　　　　　
　・　・・　・　・　（４）但し、□＝＾ｌ＝＾２＝・
・・＝Ａｍ ここにおいて、流体の流動方向（θ、φ）は３次元の３
個の未知数をもって現わされることがら独立した３個の
定数Ｂ（を求めることにより流体の流動方向（θ、φ）
を特定することができ、従って、前記第４式に基づき３
つの独立した単位発熱領域の定数Ｂを求めればよい。

ところで、各単位発熱領域表面から奪われる熱ｆｆ１Ｑ
ｉは、その発熱領域に設けられた発熱抵抗体の発熱量と
ほぼ等しい。

従って、本発明のセンサによれば、略球体体の表面に形
成された各中位発熱領域から任意に選択された少なくと
も３つの領域における発熱量Ｑｉを、分圧回路の分圧出
力に基づき電気的に演算し、これを前第４式に代入し３
つの独立した単位発熱領域の定数Ｂを求めることにより
、略球状体表面を流れる流体の流動方向（θ、φ）を３
次元的に求めることができる。

［作用］ 以上の構成とすることにより、本発明のセンサを用いて
流体の流動状態を測定する場合には、まず発熱体どして
機能する略球状体を流体内に設置する。

そして、この略球状体の発熱温度Ｔｗを一定に保つよう
に分圧回路に通電し、各発熱抵抗体の通電加熱を行う。

このようにすることにより、略球状体は全体として１個
の略球状体表面体として機能し、また各単位発熱領域は
それぞれ独立した発熱体として機能する。ここにおいて
、この略球状体の周囲に流体の流れが存在すると、略球
状体から奪われる熱量は、流体の正面位置において多く
、その周辺にいくに従って減少する。すなわち、略球状
体表面から奪われる熱ωの分布は、流体の流速、流動方
向（θ、φ）に対応した３次元的なものとなる。このと
き、略球状体表面に設けられた全発熱抵抗のジュール熱
を測定し、この測定値を前記第２式に代入することによ
り、略球状体の周囲を流れる流体の流速を検出すること
ができる。

また、分圧回路の任意の分圧出力に基づき、略球状体表
面に区画形成された少なくとも３個以上の単位発熱領域
におけるジュール熱を演算し、この演算値を前記第４式
に代入し独立した３個の定数Ｂｉを求めることにより、
略球状体表面を流れる流体の流動方向（θ、ψンを検出
することができる。

［発明の効果］ 以上説明したように、本発明によれば、流体の流動状態
、例えば流体の流速及び流動方向等の３次元的な流動変
化をその流れ方向に依存することなく正確に測定するこ
とができる。

［実施例］ 次に本発明の好適な実施例を図面に基づき説明する。

本発明の検出センサでは、略球状体の表面を、少なくと
も４つの単位発熱領域に区画う成し、これら各単位発熱
領域における発熱聞を求めることにより、流体の流速の
みならず、その流動方向も正確に測定することができる
。

従って、略球状体を球形に形成し、単にその表面を４個
の同形状とした単位発熱領域に区画形成することにより
、本発明のセンサを形成することができる。

そして、このようにして本発明の検出センサを形成した
場合には、センタの構造が極めて簡単なものとなり、し
かも分圧回路の出力に極めて簡（１１な演算処理を施す
ことにより、流体の流動方向を３次元的に正確に測定づ
“ることかできる。

第１図にはこのような本発明の流動状態検出センサの好
適な実施例が示されており、本発明のセンナは、発熱体
として機能する略球状体１０を含み、該略記球状体１０
を支持棒１２により所望の流動状態測定部位に設置して
いる。

ここにおいて、流体のレイノルズ数が大きくなると＃ｊ
１球状休１体の表面における流れ状態が変化し測定精度
が低Ｆするため、略球状体１０の大きさは流体の性質に
併せて適当な大きさに設定することが好ましい。実施例
において、略球状体１０は、直径が約３１１１１１１の
ガラス球体を用いて形成されている。

また、前記支持棒１２は中空ガラス棒を用いて形成され
ている。ここにおいて、前記支持棒１２は、流体の流れ
を乱し測定誤差を引起すことがないよう十分に細く形成
することが好ましい。

本発明の特徴的事項は、略球状体１０の表面を全域を略
同形状をした複数の単位発熱領域に区画形成し、これら
各単位発熱領域に同一配線パターンの発熱抵抗体１４を
設けたことにある。このようにすることにより、抵抗体
１４が形成された各単位発熱領域は、抵抗体１４を通電
加味することにより良好な発熱体として機能する。

ここにおいて、前記略球状体１０の表面は任意の数の単
位発熱領域に区画形成することが１１能であり、実施例
においては第２図に示すごとく４個の単位発熱領域Ａ＋
　、Ａ２　、Ａｓ　、Ａ４に区画形成している。

そして、略球状体１０の各単位発熱領域Ａｌ１Ａ２　、
Ａ３　、Ａ＋に第３図に示すごとく、膜厚１０００人の
同一配線パターンの発熱抵抗体１４−１゜１４−２．１
４−３．１４−４が直列に接続されるように被覆形成し
、第４図に示す分圧回路２２を形成している。

ここにおいて、抵抗体１４が設けられた各単位発熱領域
Ａ＋、△２　、Ａ３．Ａ４が良好な発熱体として機能す
るためには、低抗体１４のスリットはなるべく狭く形成
されることが好ましく、実施例において、そのスリット
幅は約５０μｍに設定されている。

また、本実施例において、分圧回路の両端電極端子、す
なわち抵抗体１４−１及び１４−４の一方の電極端子１
６−１．１６−２は支持棒１２に近接して設けられてい
る。また、略球状体１０の表面には、各抵抗体１４−１
．１４−２．１４−３．１４−４の各接続点２０−１．
２０−２゜２０−３から支持棒１２に向は分圧出力取出
し用のリード層１８−１．１８−２．１８−３が被覆形
成され、そのリード層１８の信号取出し端は支持棒１２
に近接してそれぞれ形成されている。

なお、略球状体１０の表面上において、支持棒１２の取
付は位置、各抵抗体１４−１．１４−２゜１４−３の接
続点２０−１．２０−２．２０−３はそれぞれ等間隔と
なるよう形成されている。

製造方法 ここにおいて、前記略球状体１０上へのＰＬ薄膜抵抗体
１４及びリード８１８の形成は、実施例において、電子
線ビームによるレジストのパターニングと、Ｐ（の電子
ご−ム蒸着、リフトオフにより行われている。

まず、ガラス略球状体１０の表面にレジストを塗付し、
その１１２電子線ビームにより低抗体１４のスリットパ
ターンをレジスト上に露光する。このとき、スリットパ
ターンのスリット幅はなるべく狭いほうが好ましい。

その後略球状体１０の表面から未露光のレジストを除去
し、略球状体１０の表面にｐｔを電子ご一ム蒸着する。

そして、このような蒸着が終了した後、略球状体表面１
０の表面からレジストを除去することによりレジスト上
の不要なＰｔ薄膜は除去され、ガラス略球状体１０の表
面に抵抗体１４−１．１４−２．１４−３．１４−４及
び各リード層１８が被覆形成されることになる。

また、本発明のセンサの製造方法としては、前述した方
法以外にも、例えば略球状体１０の表面全滅に薄膜を形
成した後、ｉ抗体ゴ４の配線パターンに沿ってレーザビ
ームで不要な部分の簿膜を除去することによりセンサの
製造を行うことも可能である。

また、前記実施例では、抵抗体１４の材料としてＰ［を
用いた場合を例にとり説明したが、本発明はこれに限ら
ず、他の抵抗材料、例えばＮｉ等も用いることができる
。

作用 本発明の検出センサを第２図（ａ）に示すごとく、流体
内に設置することにより、前記定温度法を用い略球状体
１Ｑの周囲における流体の流速Ｕ及び流れ方向くθ、φ
）を以下に述べるごとく三次元的に測定することができ
る。

まず、本発明の検出センサを流体内に設置し、略球状体
１０の表面における温度Ｔｗが一定になるように各領域
Ａ＋　、Ａ２　、△１．Ａ、に設けられた抵抗体１４−
１．１４−２．１４−３．１４−４を直列に通電加熱す
る。

このとき、各抵抗体１４−１．１４−２．１４−３．１
４−４から発生する全ジュール熱Ｑを分圧回路の出力に
基づき電気的に演算し、前記第（２）式に代入すること
により、流体の流速Ｕをその三次元的な流動す向に関わ
りなく正確に検出することができる。

また、略球状体１０におシブる各領域Ａ＋’□Ａ＋から
任意に選択された３つの領域におけるＱｌ（ｉ−１〜４
）を分圧回路の出力に基づき演算し、次にこのようにし
て求めた３つの測定値を前記第４式に代入することによ
り得られる３個の方程式を演算することにより、流体の
流動方向（θ、φ）を三次元的に検出することができる
。

以上説明したように、本発明の検出センサによれば、流
体の流速及びその流動方向を三次元的に正確に検出する
ことができる。

従って、例えば本発明の検出センサを両者のトルクコン
バータ内に組込むことにより、トルクコンバータ内にお
いて三次元的に変化するオイルの流動状態を正確に検出
してトルクコンバータの効率を改善することができ、こ
の結果、車両の燃費を改善することが可能となる。

次に、前記定温度法を用いて本発明の検出センサを駆動
する駆動回路及びこのようにして駆動される検出センＩ
すの出力に基づき流動状態を演算する演算回路の具体的
な実施例を説明する。

センサ駆動回路 第５図には測定法として定温度法を用いたときのセンサ
の駆動回路が示されており、実施例の駆動回路は、セン
サの各抵抗体１４−１．１４−２゜１４−３．１４−４
を直列に接続した分圧回路２２から成る全抵抗Ｒと、抵
抗２４．２６．２８とによりブリッジ回路を構成してお
り、このブリッジ回路の出力を増幅して該ブリッジ回路
の電源とする差動増幅器３０が図示のごとく接続されて
フィードバック回路が形成されているものである。

この構成の駆動回路は、ホットワイヤやホットフィルム
センサの定温度駆動回路として一般的に周知のものであ
るが、以下にその動作を概略説明する。

例えば、本発明のけンサをトルクコンバータ内に設置し
オイルの流動状態を測定する場合には、センサ周囲のオ
イルの流速が増しセンサの全抵抗Ｒから奪われる熱量が
増え全抵抗の温度がさがるとこの温度の低下は全抵抗Ｒ
の抵抗値の減少として現れ、その結果、抵抗２４と全抵
抗Ｒとの接続部３２にお（プる電位が低下づる。

この接続部３２には差動増幅器３０の角入力端子が接続
されているため、該差動増幅器３０の電圧値は上昇しブ
リッジ回路へのへ力電辻が上昇する。

これにより、全抵抗Ｒへ加わる電圧が１臂し、その公金
抵抗Ｒの発するジュール熱による熱エネルギが上昇し、
全抵抗Ｒの発熱温度が上昇することになる。

この結果、全抵抗Ｒの抵抗値は上昇し流速が増す前の抵
抗値に戻り、ブリッジ回路が平衡することになる。

このようにして、実施例の駆動回路においては、オイル
の流速が変動してもフィードバック回路の動きにより全
抵抗Ｒの発熱温度が一定に保たれ、全抵抗Ｒから発生す
るジュール熱の総熱ｆｌｉｋＱは差動増幅器３０の出力
電圧Ｖに対応することとなる。

このとき、全抵抗Ｒから発生する総熱量Ｑは全抵抗Ｒへ
の印加電圧を■−とすると次式０式％（５） として与えられる。

従って、このようにして求めた総熱ｆｆ１Ｑを前記第２
式に代入することによりオイルの流速Ｕを検出すること
ができる。

また、本発明のセンサにおける各領域Ａ＋　　。

Ａ２　、・・・Ａ４内の任意の３領域における熱ｆｆ１
Ｑｉ。

Ｑ　ｊ　、　Ｑｋ　　（ｉ、ｊ、Ｋ　＝１．２，３，４
゜１≠ｊ　ｆ−ｋ　）は、各領域Δｒ、Ａｊ、Ａｋに被
ヱさレタ抵抗体１４−ｉｔ１４−ｊ、１／ｌ−にへの両
端印加電圧ｖｉ、ｖＪ。

Ｖｋにより次式により与えられる。

Ｖｉ Ｑ、＝□　　　　・・・・・（７） Ｒ２４÷Ｒ Ｖｊ Ｑ、＝　　□　　　　・・・・・（８）Ｒ２ａ＋Ｒ Ｖｋ Ｑ　ｋ　＝　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　
　　　　　　・　　・　　・　　・　　・　　く　９　
）Ｒ２４＋Ｒ 従って、このようにして求めたＱｉ、Ｑｊ　、Ｑｋを］
１１′Ｊ述したように演算処理することにより、オイル
の流動方向（θ、φ）を三次元的に正確に検出すること
ができる。

演算回路 第６図には全第５図に示す駆動回路の出力に基づき流体
の流動状態を演算する演算回路が示されており、実施例
の演算回路は、流体流速Ｕを演算する流速演算回路４０
と、流体の流動方向（θ。

φ）を演算する流動方向演算回路４２と、を含む。

前記流速演算回路４０は、第５図に示す差動増幅器３０
の出力電圧■を用い前記第２式に基づき流速Ｕを演算す
るものであり、乗算回路４４．増幅回路４６．減算回路
４８．べき級数回路５０と、を含む。そして、差動増幅
器３０の出力電圧Ｖを乗算回路４４にて２乗し、この値
ｖ２を増幅器４６により 増幅率Ｇ＝（□・□）で （Ｒ”Ｒ２４）’　　　７ｗ−Ｔｒ 増幅しＱ／　（Ｔｖ−Ｔｆ）を演算出力する。

減算回路２４は、このような増幅回路４６の出力Ｑ／　
（Ｔｗ−ＴＮから定数Ａを減算し、その減算データを１
／Ｂｆ？ｉに増幅してＵの０乗の演ロデー夕を出力する
。

べさ級数回路５０は、このように減ｐ回路４８から出力
される。、ｔＪのｌ′ｌ東の演算データを１／口乗し、
前記第２式に示される流速（ｊを出カッる。

このようにして、実施例の流速演算回路４０は、差動増
幅器３０の出力電圧Ｖを用い前記第２式に用い流体の流
速Ｕを演算出力する。

また、実施例の流動方向演算回路４２は、各抵抗体１４
の印加電圧ｖｉ、Ｖｊ、■ｋを増幅する増幅回路５２と
、この増幅回路５２の出力を演粋し流体の流動方向を演
算するマイクロコンピュータ５４と、からなる。

前記増幅回路５２は、前記Ｍ５図に示す４個の抵抗体１
４−１〜１４−４から選択された任意の３個の抵抗体１
４−ｉ、１４−ｊ、１４−にの印加電圧Ｖｉ、Ｖｊ、Ｖ
ｋをそれぞれ増幅するゲイン１のアンプ５２　ｉ、５２
ｊ、５２ｋから成る。

また、実施例のマイクロコンピュータ５４９よ、Ｉ１０
インターフェース５６．ＣＰＩＪ５８．ＲＡＭ６０．Ｒ
ＯＭ６２．表示回路６４から成り、入力データを第７図
示ずフローチＶ−トに従い′ａ痺処Ｊ！Ｉ！（、、流体
の流動方向（θ、φ］を演算用ツノする。

すなわち、このマイクロコンピュータ５４には、増幅回
路５２から電圧Ｖｉ、Ｖｊ、Ｖｋが入力されガとともに
、差動増幅器３０がら電圧Ｖが入力される。

そして、これら各人力データはｒ１０インターフェース
５６によりデジタル信号に変換され、ＲＡＭ６０内に占
込み記憶される。

また、ＲＯＭ６２内には、予め定数Ａ、Ｂ、口。

温度Ｔｗ、丁ｔ、抵抗値Ｒ，Ｒ２４及び第７図に示すプ
ログラムが記憶されている。

そして、ＣＰＵ５８は、このようなＲＯＭ６２内の記憶
データ及びＲＡＭ６０内への書込みデータに基づき前記
第２式の演算を行い、次式に示すＵｆ′の（直を演算す
る。

Ｒ’　　　　　　　　　　　　１　　　　　　　　＋ｕ
’−ｒ−−一　・　■２　・　□　−＾）□（Ｒ”Ｒ２
４）’　　　　　　　　Ｔｖ−Ｔｆ　　　　　　Ｂそし
て、ＣＰＵ５８はこのような演算を１１つだ後に、次に
前記第４式、第７〜９式に基づき、次式に示す演算を行
い、Ｂ’ｉ、　Ｂ　ｊ、　Ｂ　ｋを求める。

Ｖ−Ｖｉ　　　　　Ｉ　　　　　Ａ　　　　ＩＶ−Ｖｊ
　　　　　Ｉ　　　　　Ａ　　　　ＩＶ−Ｖｋ　　　　
　Ｉ　　　　　Ａ　　　　１ここにおいて、前記ＲＯＭ
６２内には、前記データ以外に流速ＬＪ　＝−１ｍ／　
ｓｅｃにおける流動方向（θ、φ）を変化させた時のＢ
ｉ、Ｂｊ、Ｂｋの値が検出データどして予め記憶されて
おり、ＣＰＵ５８はθ、φを変化させながらＲＯＭ６２
から検出データＢｉ、Ｂｊ、Ｂｋを読出し、前記演算デ
ータＢｉ、Ｂｊ、Ｂｋとが一致するか否かを比較判別し
、この読出し判別動作を読出しデータと演算データとが
Ｂｉ、Ｂｊ、Ｂｋの全てにおいて一致するまで繰返して
行う。

そして、演算データと読出しデータとがＢｉ。

Ｂｊ、Ｂｋの全てにおいて一致したときのθ、φを、流
体の流動方向として表示回路６４上に画像表承ケる。

このようにして、実施例のマイクロコンピュータ５４は
、本発明の検出センサからの出力に基づき流体の流動方
向（θ、φ）三次元的に検出し、その値を表示すること
ができる。

【図面の簡単な説明】

第１図は本発明に係る流動状態検出センサを、その上面
、底面及び側面から見た外観図、第２図は球体表面の中
位発熱領域をセンサの上面、正面及び側面から表わした
説明図、第３図は抵抗体が波音形成された球体を各単位
発熱領域に沿って展開した展開図、 第４図は検出センサを構成する各抵抗体の電気回路図、 第５図は第４図に示す電気回路を用いて構成された検出
センサの駆動回路図、 第６図は第５図に示す駆動回路の出力に基づき流体の流
動状態を演算する演算回路図、第７図は第６図に示す演
算回路の動作を示すフローチセート図である。 １０　・・・　略球状体 ］４　・・・　発熱抵抗体

Claims (2)

【特許請求の範囲】
1. （１）略球状体の表面全域を略同形状をした複数の単位
   発熱領域に区画形成し、これら各単位発熱領域に互いに
   接続され分圧回路を形成する同一配線パターンの発熱抵
   抗体を設け、前記分圧回路を通電し各発熱抵抗体を通電
   加熱することにより得られる分圧回路の出力に基づき球
   状体表面における流体の流動状態を三次元的に測定する
   ことを特徴とする流動状態検出センサ。
2. （２）特許請求の範囲（１）記載のセンサにおいて、 略球状体表面を４つの単位発熱領域に区画し、各領域に
   同一パターンの発熱抵抗体を設けて成ることを特徴とす
   る流動状態検出センサ。