JPS61120332A - 垂直磁気記録媒体 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 〔発明の利用分野および発明の目的〕 本発明は、多層型垂直磁気記録媒体の軟質磁性下地層の
改良に係り、可撓性に優れた垂直磁気記録媒体を提供す
ることを目的とする。

〔従来の技術〕

軟質磁性下地層上に垂直磁気異方性膜を設けた垂直磁気
記録用二層膜媒体は、非磁性基体上に垂直磁気異方性膜
のみを設けた単層膜媒体に比べ。

記録電流を低減し、かつ再生出力を大幅に向上すること
ができる。垂直磁気記録用二層膜媒体における上記二点
の記録再生特性の改善は、軟質磁性下地層が磁気ヘッド
から発生する磁束を有効に記録領域に集束する役割を果
たすと同時に、１１Ｉ面に対し垂直方向に記録された磁
化をより安定に垂直方向に存在させる役割を果たすこと
による。このような役割をもつ軟質磁性下地層が有効に
機能するには、磁気ヘッドから発生する磁束を記録領域
に有効に集束できる程度に、その透磁率、飽和磁化及び
膜厚が大きいことが要求される。

従来、垂直磁気記録用二層膜媒体の軟質磁性下地層材料
としては、パーマロイ薄［、Ｇｏベース非晶質薄膜など
が中心に検討されてきたが、それらの飽和磁化は９００
ガウス程度であり、磁気ヘッドから発生する磁束を有効
に記録領域に集束するには、どうしても上記下地層の膜
厚を大きくしなければならず、特にこれらの下地層材料
をフレキシブルディスクや磁気テープをはじめとする可
撓性磁気記録媒体に応用した場合には、媒体の剛性が大
きくなり、磁気記録媒体表面に対する磁気ヘッドの安定
な接触状態が得られず、十分な磁気特性が得られない。

Ｃ問題点を解決するための手段〕 そこで本発明は、かかる従来技術がもつ欠点を解消すべ
く、多層垂直磁気記録媒体の軟質磁性下地層材料として
、飽和磁化の大きいＧｏ−Ｆｅ合金薄膜を採用している
。

Ｇ　ｏ　−Ｆ　ｅ合金は、パーマロイや、Ｇｏベース非
晶質に比べ飽和磁化がかなり大きく、その結果。

二層膜媒体の軟質磁性下地層の膜厚を大幅に薄くするこ
とができる。このことは、先にも述べたように、フレキ
シブルディスクや磁気テープなどの磁気記録媒体の可撓
性を向上し、磁気記録媒体表面に対する磁気記録ヘッド
の接触状態を大きく改善することができる。

またＧｏ−Ｆｅ合金は適正組成範囲に於て異方性定数が
小さいため、異方性磁界が小さく、透磁率が大である。

さらにパーマロイの下地層を蒸着により長時間連続し七
形成する場合、蒸発源の組成が変わるため初期に形成し
たものとある程度時間が経過したものとでは、パーマロ
イ下地層の組成が変動してしまい１品質の一定した下地
層が得られない、この点Ｇ　ｏ　−Ｆ　ｓ合金は組成変
動が小さく、品質の安定した下地層が得られる。さらに
また、蒸着によりパーマロイの下地層を形成する場合は
基板温度を約３５０℃京で上げる必要があるため、基板
に耐熱性が要求され、基板の選択範囲が制限さ五て結果
的にはコスト高となる。この点本発明のようにＣｏ−Ｆ
ｅ合金の下地層を形成する場合は基板温度は約３５０℃
京度でよく、そのため基板の選択範囲が拡くなり、結局
コスト低減を図ることができる。

但し、Ｇｏ−Ｆｅ合金の薄膜を下地層とし、その下地層
上に直接Ｃｏ−Ｃｒ合金薄膜などの垂直異方性膜を設け
ると、ベースフィルムやガラス基板などの非磁性基体上
に直接設けた場合に比べ。

垂直磁気異方性膜の結晶学的配向性が劣化し、膜面に対
し垂直方向の磁性特性例えば保磁力、角形比などが劣化
する傾向にある。そこで本発明者等は、非磁性基体上に
Ｇ　ｏ　−Ｆ　ａ合金の軟質磁性下地層を設けた後、　
Ｇ　ｏ　−Ｆ　ｅ合金薄膜上に薄い中間層を形成し、中
間層上に垂直磁気異方性膜を形成することにした。中間
層としては種々の非磁性薄膜を検討したが、特に六方会
密構造をとり、しかもその格子定数が垂直磁気異方性膜
の格子定数に近い材料の薄膜１例えば垂直磁気異方性膜
がｃｏ−Ｃｒ合金薄膜の場合にはＴｉ、Ｚｎなとの非磁
性薄膜がＣｏ　−Ｃｒ合金薄膜の結晶学的配向を妨げず
良好な垂直磁化膜が得られる。また、Ｃ。

−Ｆａの軟磁性下地層を形成した状態で非晶質化してい
るような中間層も、特に材料には限定され−ず、垂直磁
気異方性膜の結晶学的配向を妨げない。

この場合には、ベースフィルムやガラス基板上に直接垂
直異方性膜を設けた場合の結晶学的配向度と殆んど変化
はない。

なお１本発明におけるＧ　ｏ　−Ｆ　ａ合金薄膜は、ス
パッタリング法、真空蒸着法など物理蒸着法により形成
可能であり、好ましい合金組成はＣＯの含有率が２０〜
６０原子％の範囲であるａ　Ｃｏ含有率がこの適正合金
組成範囲に達つせずどもあるいは越えても合金の飽和磁
化は減少し、本発明の効果は若干低下する。また上記中
間層の最適膜厚範囲は、５０Ａ〜１００ＯＡの範囲にあ
り、５０Ａ未満では、中間層の効果は弱く、またｔｏｏ
。

Ａを越すと特に可撓性磁気記録媒体の場合には。

記録媒体の剛性が大きくなり、記録媒体表面に対する磁
気ヘッドの接触安定性が劣化する。

以上述べたように軟質磁性下地層を備えた垂直磁気記録
媒体に於て、軟質磁性下地層をＧｏ−Ｆｅ合金薄膜とす
ることにより、記録媒体の電磁変換特性を損うことなく
磁気記録媒体表面に対する磁気ヘッドの接触安定性を向
上することができる。

〔実施例〕

以下本発明の実施例について図面とともに説明する。

実施例１ 軟質磁性下地層として、　Ｃｏｏ　ｇＮｂｌｘ　Ｚｒ４
非晶質層あるいはＧｏ−Ｆｅ合金属２　（Ｇｏ金含有率
０原子％）をポリエチレンテレフタレートフィルムｌ　
（フィルム厚５０μｍ）上に設け、更に中間層として膜
厚０．０１μｍのＴｉ層３．更に膜厚０．１５μｍのＣ
ｏ−Ｃｒ合金層４（Ｃｒ含有率２０重量％）を形成した
。前記薄膜の形成法は全て高周波スパッタリング法とし
た。なお軟質磁下地層がＣｏ　Ｎ　ｂ　Ｚ　ｒ非晶質層
であっても、Ｃｏ−Ｆｅ合金属であっても、Ｔｉ属を介
して形成されるＣ。

−Ｃｒ合金層の結晶学的配向性及び磁気的特性に大きな
差異は呪われない。

なお第２図中の１は基板である０以上のようにして得た
多層構造の垂直磁気記録媒体を主磁極励磁型垂直ヘッド
（主磁極厚０．７μｍ、トラック幅１２０μｍ）により
評価した６図に各軟質磁性下地層の厚さに対する出力の
依存性を測定した結果を示す、なお測定記録密度は２ｋ
ＢＰＩで図中の曲線１はＧ　ｏ　−Ｆ　ｅ合金層の軟質
磁性層を用いた記録媒体、曲線２はＧ　ｏ　−Ｎ　ｂ　
−Ｚ　ｒ非晶質層の軟質磁性層を用いた記録媒体の特性
曲線である。

この図の結果より、所定の記録電流に対して再生出力が
飽和するための軟質磁性下地層厚さは。

Ｇｏ−Ｎｂ−Ｚｒの非晶質薄膜の場合に比べ、Ｇｏ−Ｆ
ｅ合金薄膜の場合には、１／２〜１／３の膜厚ですむこ
とが分る。このことは、Ｇｏ−Ｆ＠合金薄膜を軟質磁性
下地層として使用すれば、下地層の厚さを薄くすること
ができ、記録媒体の可撓性を改善できることを示してい
る。今回の実験条件では、軟質磁性下地層厚が０．３〜
０，４μｍを越えると記録媒体表面に対する磁気ヘッド
の接触状態が不安定となり、再生出力エンベロープが不
均質になったが、ｌ！！厚０．３ｐｍ以下のＣｏ　−Ｆ
　ｅ合金下地層の場合には、出力の大きい均質な再生出
力エンベロープが得られた。

〔発明の効果〕

以上、説明したように、多層垂直磁気記録用媒体の軟質
磁性下地層をＧ　ｏ　−Ｆ　ｓ薄膜とすることにより、
下地層厚を薄くし、記録媒体の可撓性を大きく改善する
ことができる。

特に、実施例で示したようにＣｏ−Ｆｅ合全会下地層上
Ｃｏ−Ｃｒ合金薄膜などの垂直磁気異方性膜を設ける際
１問題になる垂直異方性質の結晶学的配向性の乱れも、
Ｃｏ　−Ｆ　ｅ合金下地層と垂直磁気異方性膜の間に特
定の中間層を設ける二とにより解消できる。

【図面の簡単な説明】

第１図は垂直磁気記録媒体の軟磁性下地層厚と再生出力
との関係を示す特性図、第２図は本発明の実施例に係る
垂直磁気記録媒体の断面図である。 １・・・・・・基板、２・・・・・・Ｇ　ｏ　−Ｆ　ａ
合金層、３・・・・・・Ｔｉ層、４−−　Ｃａ　−Ｃｒ
層。

Claims (1)

1. 【特許請求の範囲】 １、基板上に軟質磁性層を形成し、その軟質磁性層の上
   方に垂直磁気異方性を有する記録磁性層を形成した多層
   型の垂直磁気記録媒体において、軟質磁性下地層として
   コバルト−鉄合金薄膜を設けたことを特徴とする垂直磁
   気記録媒体。 ２、特許請求の範囲第１項記載の磁気記録媒体において
   、コバルト−鉄合金薄膜のコバルト含有率が２０〜６０
   原子％の範囲に規制されていることを特徴とする垂直磁
   気記録用媒体。 ３、特許請求の範囲第１項記載において、前記軟質磁性
   下地層と垂直磁気異方性を有する記録磁性層との間に、
   非磁性の中間層が形成されていることを特徴とする垂直
   磁気記録媒体。 ４、特許請求の範囲第３項記載において、前記中間層が
   、六方稠密構造を有し格子定数が前記垂直磁気異方性記
   録磁性層の格子定数に近い材料で構成されていることを
   特徴とする垂直記録媒体。 ５、特許請求の範囲第３項記載において、前記軟質磁性
   下地層がコバルト−鉄合金薄膜、中間層がチタンおよび
   亜鉛のグループから選択された１種以上の薄膜、垂直磁
   気異方性記録磁性層がコバルト−クロム合金薄膜で構成
   されていることを特徴とする垂直磁気記録媒体。