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JPS61114140A - 補償圧力変換器 - Google Patents

補償圧力変換器

Info

Publication number
JPS61114140A
JPS61114140A JP24527985A JP24527985A JPS61114140A JP S61114140 A JPS61114140 A JP S61114140A JP 24527985 A JP24527985 A JP 24527985A JP 24527985 A JP24527985 A JP 24527985A JP S61114140 A JPS61114140 A JP S61114140A
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
pressure sensor
pressure transducer
compensation
pressure
compensating pressure
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Pending
Application number
JP24527985A
Other languages
English (en)
Inventor
アルチユール・サイブト
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Voestalpine Metal Forming GmbH
Original Assignee
Voestalpine Metal Forming GmbH
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Voestalpine Metal Forming GmbH filed Critical Voestalpine Metal Forming GmbH
Publication of JPS61114140A publication Critical patent/JPS61114140A/ja
Pending legal-status Critical Current

Links

Classifications

    • G—PHYSICS
    • G01—MEASURING; TESTING
    • G01D—MEASURING NOT SPECIALLY ADAPTED FOR A SPECIFIC VARIABLE; ARRANGEMENTS FOR MEASURING TWO OR MORE VARIABLES NOT COVERED IN A SINGLE OTHER SUBCLASS; TARIFF METERING APPARATUS; MEASURING OR TESTING NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • G01D3/00—Indicating or recording apparatus with provision for the special purposes referred to in the subgroups
    • G01D3/02—Indicating or recording apparatus with provision for the special purposes referred to in the subgroups with provision for altering or correcting the law of variation
    • G01D3/022—Indicating or recording apparatus with provision for the special purposes referred to in the subgroups with provision for altering or correcting the law of variation having an ideal characteristic, map or correction data stored in a digital memory
    • G—PHYSICS
    • G01—MEASURING; TESTING
    • G01L—MEASURING FORCE, STRESS, TORQUE, WORK, MECHANICAL POWER, MECHANICAL EFFICIENCY, OR FLUID PRESSURE
    • G01L27/00—Testing or calibrating of apparatus for measuring fluid pressure
    • G01L27/002—Calibrating, i.e. establishing true relation between transducer output value and value to be measured, zeroing, linearising or span error determination

Landscapes

  • Physics & Mathematics (AREA)
  • General Physics & Mathematics (AREA)
  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • Technology Law (AREA)
  • Measuring Fluid Pressure (AREA)
  • Indication And Recording Devices For Special Purposes And Tariff Metering Devices (AREA)

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 〔産業上の利用分野〕 本発明は、モノリシック圧力センサと、適切な電気的補
正ユニットとを組み込んでなる補償圧力変換器に関する
。
〔従来の技術および発明が解決しようとする問題点〕
モノリシック圧力センサは、シリコンチップ上に直接載
置されるととにも、圧力膜によってカバーされた非常に
小さな寸法（たとえばＩ＋ｎ”）の真空室を持つ。
この膜の上には、歪ゲージ・ブリッジの抵抗が配設され
ている。
このタイプの圧力センサは、きわめて経済的に大量生産
することができ、またその寸法がきわめて小さいことか
ら、たとえば、燃焼機関の歪測定のような種々の工学的
分野において広く適用されている。
しかしながら１重大な欠点は、これらの圧力センサが不
正確であることを、特にオフセット電圧および感度に大
きな固体差があること、オフセット電圧の温度係数が高
いことなどである。
したがって、計測により圧力値を決めなければならない
ほとんどの応用分野では、特に個体間のばらつきを補正
するために特別の補償が必要となる。
集積回路として作成した増幅器を、圧力センサとともに
使用することは公知である。
組み合わされる圧力センサに適合するように。
各回路はレーザトリミングされる。
その結果、適切なものとなった増幅器の特性により、十
分な許容誤差範囲の補償を得るこきができる。
この組合せの欠点は、増幅器のトリミング処理が高価で
あり、装置全体の価格を大幅に上昇させてしまうことで
ある。
いずれにしても、計測用のよい増幅器というものは、か
なり高価である。
しかしながら、ある温度でトリミング処理を受けた高級
な増幅器であっても、１０年ものながい期間や、たとえ
ば自動車等では当然予想できる一４０℃〜＋１２５℃も
の温度範囲に対してまで。
一定の増幅器性能を保証できるものではなく、シたがっ
て、必要な計測精度を保証することはできない。
たとえば、秤りの製造に使用する力センサについては、
センサの補正パラメータをメモリ装置に記憶させておく
ことは公知である。
この方法の欠点は、センサとメモリ装置とを一対として
供給し、取り付けなければならないことである。センサ
とメモリ装置との組合せに誤りや不正確なところがある
と、許容できない計測誤差を生じることになる。
そこで１本発明の目的は、製作が簡単で、製造量が容易
であり、装置の個体ばらつきを十分に補償できる補償圧
力変換器を提供するごとにある。
ｃ問題点を解決するための手段〕 前記問題点をおよび前記目的は、圧力センサを補正パラ
メータ用のプログラマブルＲＯＭ、たとえば、ツユ−ジ
ブルーリング型のＰＲＯＭと組合せて１つの構成ユニッ
トを形成し、圧力センサとメモリに接続したコンピュー
タを補償手段とする本発明による前記タイプの圧力変換
器により、解決され、かつ達成される。
本発明の利点は、必要なメモリ　（約１６語から８ビツ
ト）が非常に小さり、シたがって圧力センサの寸法を大
きくすることなく、小型モノリシック圧力センサと組み
合わせることができることである。
メモリ中のプログラム化されたデータは、特に種々の温
度でのスケール値および残留撓み値を含み、その寿命を
通じて不変である。
高精度の計測値が必要な場合には、ディーゼル・エンジ
ンの高級ガバナの場合と同じように、自動ゼロ点および
目盛補正機能を有する増幅器、またはマイクロプロセッ
サを計測信号の増幅に用いて、増幅器の欠陥が全体の計
測誤差に影響しないようにすることができる。
圧力センサの計測値とともに、プログラマブルＲＯＭの
記憶値は、マイクロプロセッサに送られる。
このようにして５個体固有の補正パラメータをマイクロ
プロセッサに取り込んで３個体ばらつきを補償すること
ができる。
この結果、誤差の最適補正と補償が得られ、全体として
の計測誤差は、変換器の絶対誤差によってのみ決定され
ることとなる。
〔発明の効果〕
メモリ要素を使用する時に、これまで、使用者は、製造
者から購入したセンサの補正値を３時間と費用のかかる
測定作業により決定し、それをメモリに記憶させなけれ
ばならかった。
しかしながら、各圧力センサは、製造工程の終了時点で
試験され、オフセット電圧等のデータが測定される。
本発明の利点は、補償値を測定作業時に、１つの構成ユ
ニットを形成するよう圧力センサに結合したプログラマ
ブルＲＯＭに記憶させることができることである。
これによって、圧力センサを、適切な補償パラメータを
有するメモリに間違いなく割り当てることができ、誤っ
た組合せによる危険を排除することができる。
特許出願人　フェーストーアルピーネ　フリートマン　
ゲゼルシャフト　エム・べ一 −ハー 代　理　人　弁理士　幸　　１）　全　　弘６一

Claims (1)

    【特許請求の範囲】
  1. （１）モノリシック圧力センサと、適切な電気的補償ユ
    ニットとを組み込んでなる補償圧力変換器であって、前
    記圧力センサが、補正パラメータ用のプログラマブルＲ
    ＯＭと組み合わされて構成上のユニットを形成するとと
    もに、前記圧力センサとメモリに接続したコンピュータ
    が、補償手段を構成することを特徴とする補償圧力変換
    器。
JP24527985A 1984-11-05 1985-10-31 補償圧力変換器 Pending JPS61114140A (ja)

Applications Claiming Priority (2)

Application Number Priority Date Filing Date Title
DE3440378.7 1984-11-05
DE19843440378 DE3440378A1 (de) 1984-11-05 1984-11-05 Kompensierbarer druck-messwertgeber

Publications (1)

Publication Number Publication Date
JPS61114140A true JPS61114140A (ja) 1986-05-31

Family

ID=6249530

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP24527985A Pending JPS61114140A (ja) 1984-11-05 1985-10-31 補償圧力変換器

Country Status (3)

Country Link
JP (1) JPS61114140A (ja)
DE (1) DE3440378A1 (ja)
FR (1) FR2572808A1 (ja)

Cited By (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2010261881A (ja) * 2009-05-11 2010-11-18 Yokogawa Electric Corp 圧力伝送器
WO2018105227A1 (ja) * 2016-12-08 2018-06-14 ミネベアミツミ株式会社 中継装置および圧力検出装置

Families Citing this family (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
DE3703685A1 (de) * 1987-02-06 1988-08-18 Rbs Techn Anlagen Und Apparate Verfahren zur montage eines drucksensors sowie drucksensor
DE3709776A1 (de) * 1987-03-25 1988-10-06 Eckardt Ag Verfahren zur messung des durchflusses eines mediums durch eine rohrleitung o. dgl.
US4756193A (en) * 1987-09-11 1988-07-12 Delco Electronics Corporation Pressure sensor

Family Cites Families (7)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS5653404A (en) * 1979-10-08 1981-05-13 Hitachi Ltd Nonlinear correction circuit
US4303984A (en) * 1979-12-14 1981-12-01 Honeywell Inc. Sensor output correction circuit
DE3118306A1 (de) * 1981-05-08 1982-12-02 Siemens AG, 1000 Berlin und 8000 München Vorrichtung zur kompensation der temperaturdrift eines piezoresistiven halbleiter-drucksensors
CA1171178A (en) * 1981-05-19 1984-07-17 Dennis K. Briefer Temperature compensated measuring system
US4672566A (en) * 1981-12-01 1987-06-09 Nissan Motor Company, Limited Device for measuring variable with automatic compensation for offset
US4419620A (en) * 1982-03-08 1983-12-06 Kulite Semiconductor Products Linearizing circuits for a semiconductor pressure transducer
DE3427743A1 (de) * 1984-07-27 1986-02-06 Keller AG für Druckmeßtechnik, Winterthur Verfahren zur temperaturkompensation und messschaltung hierfuer

Cited By (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2010261881A (ja) * 2009-05-11 2010-11-18 Yokogawa Electric Corp 圧力伝送器
WO2018105227A1 (ja) * 2016-12-08 2018-06-14 ミネベアミツミ株式会社 中継装置および圧力検出装置
JP2018094729A (ja) * 2016-12-08 2018-06-21 ミネベアミツミ株式会社 中継装置および圧力検出装置
US10646918B2 (en) 2016-12-08 2020-05-12 Minebea Mitsumi Inc. Relay device and pressure detection device

Also Published As

Publication number Publication date
FR2572808A1 (fr) 1986-05-09
DE3440378A1 (de) 1986-05-22

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