JPS61112796A - 粗引真空ポンプの軸シ−ル - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 〔発明の利用分野〕 本発明は、粗引真空ポンプに係シ、特にポンプのオイル
フリー化に好適なターボ形粗引真空ポンプの軸シールに
関する。

〔発明の背景〕

従来の真空ポンプではロータの回転軸を支持する軸受と
、このロータに排気される気体とが互いに接触する構造
をなしている。このため、排気される気体が軸受に触れ
ると、軸受に供給される潤滑油を劣化させる性質を有し
ている場合には潤滑油はその機能を消失し正常な運転が
できなくなる部組があった。このような問題を解消する
装置としては特開昭５８−７４８９８号に記載のように
軸受部分に不活性ガスを逐時供給する不活性ガス供給機
構を配置してこの不活性ガスの供給によυ軸受と排気さ
れる気体との接触を遮断しているものがある。

しかし、このような不活性ガス供給機構を設けることは
真空ポンプ装置の配置を乱雑にし、また操作性を悪化さ
せるものであった。

〔発明の目的〕

本発明の目的は、外部からのガスによるパージを用いず
に、真空側に油蒸気などが逆流することを防ぐシール機
構をもった粗引真空ポンプを提供することにある。

〔発明の概要〕

本発明は粗引真空ポンプのクリーン化には、ポンプ作用
を行なう部分を油を用いないドライ形のポンプ機構とす
ることと、軸受部のオイルミスト流路への逆流を防ぐこ
とが不可欠といえるが、そのためには外部からのガスに
よるパージが確実な方法である。

しかし、この方法では、外部から送るガスを用意しなけ
ればならない問題がある。そこでポンプ内の流路に設け
た絞り機構を利用して、作動流体を昇圧し、その一部を
パージ・ガスのかわりにシール部に吹き込んでやれば、
外部からのガスの供給が不用になる。またこの方法によ
れば、シール部の長さを短かくすることができ、真空ボ
／ブのコ／バクト化にも効果がある。

〔発明の実施例〕

以下、本発明の一実施例を第１図により説明する。第１
図において、本体支持枠をなすケーシング１には、排気
すべき気体を吸込むための吸込口２と前記気体を放出す
るための吐出しｐ３が設けられている。吸込口２とは相
対向したケーシング外に駆動用モータ４が取付けられて
おり、この駆動用モータ４の回転軸５は吸込口２に向け
て延長されている。この回転軸５には、複数個のインペ
ラ６が取りつけられており、ケーシング１内に固定され
た複数個のステータ７と交互に配置されている。また回
転軸５は、軸受８，９により支えられておシ、軸受８と
インペラ６の間にシール′０が設けられている。吐出し
口３の上流側には、オリフィス１１があり、更にこのオ
リフィス１１の上流側の吐出し流路１２とシール１０を
連通するパージ・ガス流路１３が設けられている。

運転時には、回転軸５が回転し、インペラ６とステータ
７によるポンプ作用によって、吸込口から吸込まれた気
体が吐出し口へ向けて送り出される。このインペラ６と
ステータ７は１組となって要素を構成しており、粗引真
空ポンプにおいては通常、渦流形要素、遠心形要素、ジ
ーグバーン形要素などが用いられる。

吐出し口３は、単にほぼ大気圧に近い圧力となっており
、吸込口２は、起動時の大気圧に近い圧力から、運転す
る間に徐々に圧力が下がり、最終的には、１０””　〜
１０−’Ｔｏｒｒに達する。

シール１０は、軸受８に供給される潤滑油の蒸気が、作
動気体の流路に入り込むのを防ぐために設けられておシ
、ラビリンス・シールが用いられている。第２図にシー
ル１０とその周辺の詳細を示す。ラビリンス・シールは
、シール前後の圧力差が適度な場合、大へん有効である
が、例えば粗引真空ボ／グの最終段に渦流段を配置した
場合、インペラ裏側には周方向に圧力分布が生じ、最も
圧力の低い部分では、軸受８の周辺よシも圧力が下が９
、潤滑油蒸気が流路に入り込むことになる。

これを妨ぐために、シール１０の中間部と吐出し流路１
２とを連通ずるパージ・ガス流路１３を設け、吐出され
るガスの一部をパージ−ガスとして導ひいてやる。更に
吐出し口３のやや上流側にオリフィス１１を設けてやる
と、絞り抵抗のため、吐出し流路１２内の気体の圧力は
、吐出し口３の気体の圧力、すなわち大気圧に近い圧力
よりも若干高くなる。したがって、この昇圧された気体
は、シール１０より流路部と軸受部の双方へ流れる。

下ケーシング１４には、圧カバランス穴１５−ｂｉ加工
されておム下ケージ／グ１４の内部は常に大気圧となっ
ている。この圧カバ２／ス穴１５が設けであることによ
シ、シール１０から軸受８に向かって前記の昇圧された
気体が流れることになる。

なお、真空ポンプは、排気が進むと吐出し口３における
流量が非常に小さくなるので、一定の穴径をもったオリ
フィスでは、絞り効来が得られないことがある。その場
合に対する本発明の実施例を、第３図にて説明する。オ
リフィス１１の下流側に弁１６を、バネ１７を介して押
しつける構造にしている。このバネ１７のバネ力は、大
へん弱いもので、オリフィス１１の上流側の圧力が大気
圧よシもわずかに高くなったときに弁１６が開くように
なっている。この実施例によれば、真空ポンプのいかな
る運転状態においても、作動気体の昇圧を行なうことが
できる。

〔発明の効果〕

本発明によれば、シール部に導いた気体が、流路側と軸
受側に流れ込むので、軸受部の潤滑油蒸気が流路側へ入
シ込むのを防ぐ効果がある。したがって、粗引真空ポン
プのクリーン化に好適でめシ、外部からのパージ・ガス
を必要としないことから、構造的、経済的にも有利であ
る。また、ネジシールと比較すると、軸方向の長さが短
かくなり、真空ポンプのコンパクト化に効果がある。

【図面の簡単な説明】

細を示す縦断面図である。 １・・・ケーシング、３・・・吐出し口、８・・・軸受
、１０・・・シール、１１・・・オリフィス、１２・・
・吐出し流路、第　１　口

Claims (1)

【特許請求の範囲】
1. 吐出し圧力が大気圧であり、吸込口と吐出し口を有する
   ケーシングの中で、油潤滑軸受によつて支えられたロー
   タが回転することにより作動する粗引真空ポンプにおい
   て、吐出し口直前に絞り機構を設け、軸受と流路の間に
   位置するシール部と絞り機構の上流部を連通する流路を
   設けたことを特徴とする粗引真空ポンプの軸シール。