JPS6071012A - 濾過供給装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 この発明は、沖過供給装置に関し、詳しくは。

微細な固定粒子を不純物として含有する液体物質を予め
沖過し、所望時に更に沖過しながら供給し得る固定式の
洲過供給装置に関するものである。

近年、この種の沖過供給作業は医薬品工業９食品工業、
電子工業等において極めて重要な作業となっている。特
に、純度が要求される分野、例えば。

電子工業におけるプリント配線の製造分野、精密なＩＣ
等電子回路の製造分野においては、使用する液体薬品中
に微細な固体粒子が混在していると、精密な設計通りの
製品を製造することが困難となり、不良品の発生が多く
なる。このような微細粒子は薬品等の製造、精製時に除
去しても、液体薬品の輸送時あるいは貯蔵時等に混入す
る可能性があり、よって、使用直前に液体物質を沖過し
て不純物を除去できることが望まれている。よって、こ
の種の装置では、液体物質を十分に諷過すること、及び
、使用個所へ液体物質を清浄な状態を保持して簡単に搬
入できるようにすることが、必須の要件となっている。

従来技術 従来、この種の装置において、液体物質をダストフリー
の状態で供給するために、パイプで液体物質を液体を使
用する装置へ供給するようにしたものがあるが、パイプ
配設費用が高くなると共に安全性の点で間覇がある。ま
た、特公昭５８−２４１６６号公報において、ρ過供給
装置自体を移動式として工場内の必要な場所に移動する
ようにしたものが提供されているが、装置全体を移動さ
せるために手数がかかり、かつ、装置全体を小型軽量化
させる必要があるため、沖過手段も簡単となり十分な沖
過効果があげられないと共に、液体物質を入れた容器が
空になると、取り換える間は沖過作業が中断され、連続
して出来ない欠点がある。

発明の目的 この発明は、洲過供給装置自体は固定式とし、該装置内
のｒ過手段を液体物質が多数回通るようにして十分な沖
過が得られるようにし、かつ、液体物質はコマ付の移動
容器に充填して沖過供給装置へ搬入して装置内へ拍出自
在に内蔵し、搬入の際の清浄化を達成すると共に、装置
内で移動容器内の液体物質を固定容器へ移し代え、固定
容器より沖過手段を通って排出口へ流出するようにし、
固定容器へ液体物質を移し代えて後に移動容器を装置よ
り離して単独で移動させて液体物質の充填を可とし、ｒ
過作業を中断なく連続して行うことができるようにする
ものである。

発明の構成 上記目的を達成するため、この発明の構成は、固定した
本体に圧送用気体供給口と液体物質排出口とを備え、液
体物質を入れた移動容器を拍出自在に内蔵すると共に、
該移動容器の液体物質を移し代える第一固定容器と、該
第−固定容器との間で液体物質を移し代える第二固定容
器とを固定して内蔵し、かつ、上記圧送用気体供給口か
ら上記移動容器、第−及び第一固定容器に夫々連通ずる
気体通路を設け、各気体通路に開閉弁を介設し、さらに
、上記移動容器と第一固定容器の間、第一固定容器と第
二固定容器の間及び、第一固定容器と第二固定容器と液
体物質排出口との間に夫々液体通路を設けると共に、各
液体通路に開閉弁を設け、かつ、上記第一固定容器と第
二固定容器の間の液体通路には液体ｒ過手段を介設する
と共に、該液体洲過手段を経て第一と第二固定容器間で
液体物質が循環するようにし開閉弁を制御し、移動容器
内の液体物質を気体により第一固定容器に移し代えて後
に、第一固定容器と第一固定容器との間で沖過手段を通
して液体物質を繰返し循環させて後に液体物質排出口よ
り排出するようにしている。

実施例 以下、この発明を図面に示す実施例により詳細に説明す
る。

工場内の適宜の位置に沖過供給装置の本体１を固定し、
該本体１内の下側部に第一固定容器２と第二固定容器３
とを並列に設置すると共に、その側部に移動容器４を本
体１の開口部１ａより拍出自在に内蔵するようにしてい
る。上記移動容器４はキャスタ５上に定置させ、該キャ
スタ５の基板−５ａにコマ６を取り付けると共に、基板
５ａの前面に立設した押板５ｂを押して移動自在とし、
キャスタ５に移動容器４を載置した状態で本体１内に収
納されるようにしている。

本体１内には、第３図に示す如く、圧送用気体供給ロア
と液体物質排出口８を設け、上記気体供給ロアを主気体
通路９と接続し、該主気体通路９より分岐させて移動容
器４．第一固定容器２．第二固定容器３とを夫々連通ず
る第一気体通路１０゜第二気体通路１１．第三気体通路
１２を設け、第一気体通路１０はカプラー１３を介して
移動容器４と着脱自在に接続している。上記主気体通路
９には気体供給ロア側より、移動容器用安全弁１４と固
定容器用安全弁１５とを並列に介設し、その下流に過負
荷遮断式流量弁１６．続いて気体ｒ過手段１７を介設し
ている。上記第一、第二、第三気体通路１０．１１．１
２には、夫々加圧用の開閉弁１８．１９．２０を介設す
ると共に、その下流に排気通路２１．２２．２３を接続
し、各排気通路２１，２２．２３に排気用の開閉弁２４
，２５゜２６を介設している。

上記移動容器４と第一固定容器２の間、第一固定容器２
と第二固定容器３の間、第二固定容器３と液体物質排出
口８の間に、夫々、第一液体通路２７、第二液体通路２
８．第二液体通路２９を設け、上記第一液体通路２７は
カプラー３０を介して移動容器４に着脱自在に接続する
と共に該通路２７に給液用の開閉弁４３を介設している
。上記第一固定容器２と第二固定容器３とを連通ずる第
二液体通路２８は、図示の如く、液体通路２８ａ。

２８ｂ、２８Ｃ，２８ｄ及び２８ｅ、２８ｂ。

２８ｆの一対の通路よりなり、第一固定容器２内の底部
近傍に一端が位置する液体通路２８ａと第二固定容器３
内の底部近傍に一端が位置する通路２８ｅの両他端を通
路２８ｂの一端と連通させると共に、第三液体通路２９
に連通する通路２８Ｃに通路２８ｂの他端及び通路２８
ｄ、２８ｆの一端を連通させ、該通路２８ｄ、２８ｆの
他端を夫々第二固定容器３．第一固定容器２内の上端部
に位置させて連通している。上記第二液体通路２８の通
路２８ａ、２８ｅには一対の逆ＩＥ弁３１．３２及び循
環用の開閉弁３３．３４を夫々介設すると共に、通路２
８ｂに液体諷過手段３５を介設し、かつ、通路２８ｄ、
２８ｆに循環用の開閉弁３６゜３７を夫々介設している
。さらに、第三液体通路２９に排液用の開閉弁３８を介
設している。

また、上記第一固定容器２には容器内の液体残存量の検
知器３９．４０を設けると共に、第二固定容器３にも液
体残存量の検知器４１を設けている。

上記した各開閉弁１８．１９，２０．２４．２５．２６
．３３．３４．３６．３７．３８を第４図に一部を示す
制御装置でシーケンス制御し、第５図に示すフローチャ
ートの如き作動を順次行なうようにしている。第４図中
、ｋはリレー、Ｔはタイマーを示す。

つぎに、上記装置の作用を第５図のフローシートを参照
して説明する。

まず、液体物質を充填した移動容器４を載置したキャス
タ５を本体１内の定位置に位置させ、移動容器４にカプ
ラ１３．３０を介して気体（Ｎ　２ガス）配管の第一通
路１０と給液配管の液体通路２７を接続する。ついで、
制御装置のスタートボタンをＯＮする。それに伴い第５
図の第１工程（ＩｌＩｎ＋ が始まり、第一固定容器２の排気用開閉弁２５が開き、
ついで加圧用の開閉弁１８．１４が開き、移動容器４に
圧送用気体を供給する。その後、移動容器４と第一固定
容器２の間の給液用の開閉弁４３が開き、移動容器４内
の液体物質を第一気体通路１０から圧送される気体の作
用で、第一液体通路２７を経て第一固定容器２にその排
気通路２２を開いた状態で移し代える。第一固定容器２
に移し代えた液体物質が検知器３９により上限に達した
ことを検知し、移し代えが終了すると、第一固定容器２
の排気用開閉弁２５を閉じると共に、移動容器４へ気体
を供給する開閉弁１８．１４を閉じ、かつ、移動容器４
から第一固定容器２への給液用の開閉弁４３を閉じる。

この移動容器４から第一固定容器２への移し代えの完了
で第１工程が終わる。

次に、第２工程ｔｍとなり、移動容器４の排気用開閉弁
２４が開いて移動容器４内のガスを排気すると共に、固
定容器への加圧用開閉弁１５を開く。

ついで、第二固定容器３の排気用開閉弁２６を開（１０
） き、第二液体通路２８の循環用開閉弁３３．３６を開く
。その後、第一固定容器２への加圧用開閉弁１９を開き
、第一固定容器２の液体物質を圧送される気体の作用で
第二液体通路２８の通路２８ａ→２８ｂ→２８Ｃ→２８
ｄを通して第二固定容器３にその排気通路２３を開いた
状態で移し代える。

その際、通路２８ｂを通る時に、液体濾過手段３５を通
り、固体粒子が除去される。第二固定容器３へ移し代え
られた第一固定容器２に液体物質が検知器４０で下限以
上に達したことが検知されると、上記循環用の開閉弁３
３．３６を閉じ、つぎに、第一固定容器２への加圧用開
閉弁１９を閉じると共に第二固定容器３の排気用開閉弁
２６を閉じる。

つづいて、第一固定容器２の排気用開閉弁２５を開くと
共に第二液体通路２８の通路２８ｅ、２８ｆの循環用開
閉弁３４．３７を開き、その後、第二固定容器３への加
圧用開閉弁２０を開く。よって、第二固定容器３内の液
体物質は圧送される気体の作用で第二液体通路２８の通
路２８ｅ、２８ｂ。

２８Ｃ，２８ｆを通って第一固定容器２へ移１−代（１
１） えられ、その際、通路２８ｂで液体濾過手段３５を通り
濾過される。第一固定容器２へ移し代えられた第二固定
容器３内の液体物質が検知器４１で下限に達したことが
検知されると、上記循環用開閉弁３４ｔ３７が閉じ、つ
いで、第二固定容器３への加圧用開閉弁２０が閉じると
共に第一固定容器２の排気用開閉弁２５が閉じる。この
ように、図中一点鎖線で示す第一固定容器２から濾過手
段３５を経て第二固定容器３へ、次に、図中、二点鎖線
で示す第二固定容器３から濾過手段３５を経て第一固定
容器２へ液体物質を移り代えるサイクルを繰り返えすこ
とにより、液体物質は十分に濾過される。濾過が十分な
された後、第３工程圃の排出作用を行う。この時、第一
固定容器２に移し代えられた液体物質が十分に濾過され
ていて、該容器から排出する場合には、第二液体通路２
８の通路２８Ｈの循環用開閉弁３３と第三液体通路２９
の出力用開閉弁３８を開き、つづいて、第一固定容器２
への加圧用開閉弁１９を開く。よって、第一固定容器２
内の液体物質は第二液体通路２８の（１２） 通路２８ａ　、２８ｂ、２８Ｃを経て第三液体通路２９
を通って液体物質排出口８より排出され、かつ、その際
も通路２８ｂで濾過手段３５を通り濾過される。第一固
定容器２内の液体物質が検知器４０により下限に達した
ことを検知されると、上記開閉弁３３．３８を閉じ、加
圧用開閉弁１５を閉じると共に排気用開閉弁２５を開き
、続いて、第一固定容器２への加圧用開閉弁１９．排気
弁２５を閉じて作動を終了する。一方、第一固定容器２
内の液体物質の濾過が十分でない時、再度、第４図中５
３から８２の工程で第二固定容器３へ濾過手段３５を経
て移し代えた後、開閉弁３４．３８を開き、濾過手段３
５を経て第二固定容器３より排出口８へと液体物質を排
出する。

第二固定容器３から更に第一固定容器２へ移し代える必
要がある時は第４図中５３から８４の工程で第一固定容
器２へ移し代えて後に排出する。

上記第一固定容器２もしくは第二固定容器３より液体物
質の排出を終了した後、移動容器４の交換を行なう。

尚、連続して液体物質の濾過供給作用を行う場合には、
上記移動容器４から第一固定容器２への液体物質の移し
代えを終了した時点で移動容器４を本体１より搬出して
新たな液体物質を充填した移動容器４を本体１へ搬出し
ておき、上記第３工程終了後に、直ちに、移動容器４か
ら第一固定容器２への液体物質の移し代えを行い、上記
第１゜第２．第３工程をシーケンス制御で行なう。

効果 以上記した本発明に係る濾過供給装置によれば固定式の
本体に液体物質を入れた移動容器を給出自在に内蔵する
と共に、該移動容器の液体物質を移し代える第一固定容
器と、該第−固定容器との間で液体物質を濾過手段を通
して繰り返えし移し代えて循環させる第二固定容器とを
設けた構造としたことにより、下記に列挙する効果を有
する。

■　各気体通路に排気弁を設置すると共に、液体通路に
開閉弁を設けているため移動容器内の液体物質を第一固
定容器に−Ｉ↓移し代えて後、第一固定容器と第二固定
容器の間で交互に繰返し移し代えて、その都度、濾過手
段を通すために、十分に濾過した高純度の液体物質を得
ることができる。

＠　濾過手段を一個設けるだけで、何回も濾過すること
ができ、構造が簡単で安価となる。

■　第一固定容器あるいは第二固定容器のいずれからで
も濾過した液体物質を排出することができ、適正な濾過
済後は直ちに排出することが可能となる。

＠　移動容器は液体物質を第一固定容器に移し代えて後
は、第一固定容器と第二固定容器の間で濾過中にも、本
体より離すことが可能であり、単独で任意の場所で液体
物質を充填でき、かつ、その際、コマ付キャスターで搬
送するため移動容器を必要個所に簡単に移動できる。

■　濾過作用中に、移動容器の交換が可能であるため、
第一、第二固定容器の液体物質を排出後は直ちに移動容
器の液体物質を第一固定容器に移し代えて、連続して濾
過供給作用を行うことができる。

■　第一固定容器と第二固定容器の間の液体通（１５） 路に逆止弁を設置しているため、開閉弁の切換のタイミ
ングが多少ずれて開閉弁３３．３４が双方とも開となっ
ても直接に高圧側の固定容器（加圧側）から低圧側の固
定容器（大気開放側）へ液体物質が移動することはなく
、必ず濾過手段を通る。

【図面の簡単な説明】

第１図は本発明に係る濾過供給装置の正面図、第２図は
第１図の側面図、第３図は装置の配管図。 第４図は装置の一部の制御回路図、第５図は装置のフロ
ーチャート図である。 １・・・本体、２・・・第一固定容器、　３・・・第二
固定容器、　４・・・移動容器、５・・・キャスター、
６・・・コマ、７・・・圧送用気体供給口、　８・・・
液体物質排出口、　９，１０，１１．１２・・・液体通
路、２７．２８．２９・・・液体通路、　３５・・・濾
過手段、１８．１９，２０，２４，２５，２６．３３．
３４．３６，３７．３８・・・開閉弁。 特許出願人　倉敷紡績株式会社 代　刑　人　弁罪士　前出　葆ほか２名（１６）

Claims (1)

【特許請求の範囲】
1. （１）微細な固体粒子を不純物として含有する液体物質
   を沖過して供給し得る固定式沖過供給装置にして、 固定した本体に圧送用気体供給口と液体物質排出口とを
   備え、液体物質を入れた移動容器を拍出自在に内蔵する
   と共に、該移動容器の液体物質を移し代える第一固定容
   器と、該第−固定容器との間で液体物質を移し代える第
   二固定容器とを固定して内蔵し、かつ、上記圧送用気体
   供給口から上記移動容器、第−及び第二固定容器に夫々
   連通する気体通路を設け、各気体通路に開閉弁を介設し
   、さらに、上記移動容器と第一固定容器の間、第一固定
   容器と第二固定容器の間及び、第一固定容器と第二固定
   容器と液体物質排出口との間に夫々液体通路を設けると
   共に、各液体通路に開閉弁を設け、かつ、上記第一固定
   容器と第二固定容器の間の液体通路には液体ρ過手段を
   介設すると共に、該液体諷過手段を経て第一と第二固定
   容器間で液体物質が循環するようにし開閉弁を制御し、
   移動容器内の液体物質を気体により第一固定容器に移し
   代えて後に、第一固定容器と第二固定容器との間で沖過
   手段を通して液体物質を繰返し循環させて後１こ液体物
   質排出口より排出する構成としたことを特徴とする沖過
   供給装置。 （２、特許請求の範囲第（１）項記載の装置において、
   上記移動容器は気体通路及び液体通路とカプラを介して
   着脱自在に接続し、該移動容器はコマ付キャスターで移
   動自在とし、第一固定容器に液体物質を移し代えた後は
   本体より搬出可としたことを特徴とする沖過供給装置。