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JPS6057223B2 - ワイヤボンディング方法 - Google Patents

ワイヤボンディング方法

Info

Publication number
JPS6057223B2
JPS6057223B2 JP55143125A JP14312580A JPS6057223B2 JP S6057223 B2 JPS6057223 B2 JP S6057223B2 JP 55143125 A JP55143125 A JP 55143125A JP 14312580 A JP14312580 A JP 14312580A JP S6057223 B2 JPS6057223 B2 JP S6057223B2
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
wire
capillary
clamp
bonding
ball
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Expired
Application number
JP55143125A
Other languages
English (en)
Other versions
JPS5766648A (en
Inventor
了 今井
寛 新倉
広重 坂原
甲子己 平田
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Fujitsu Ltd
Original Assignee
Fujitsu Ltd
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Fujitsu Ltd filed Critical Fujitsu Ltd
Priority to JP55143125A priority Critical patent/JPS6057223B2/ja
Publication of JPS5766648A publication Critical patent/JPS5766648A/ja
Publication of JPS6057223B2 publication Critical patent/JPS6057223B2/ja
Expired legal-status Critical Current

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  • Engineering & Computer Science (AREA)
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  • Computer Hardware Design (AREA)
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  • Power Engineering (AREA)
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  • Electric Connection Of Electric Components To Printed Circuits (AREA)

Description

【発明の詳細な説明】 本発明は混成集積回路等の配線を行なうワイヤボンディ
ング方法の改良に関する。
従来、混成集積回路において基板上に形成され・ −に
６れ士フ１日゛門！ふＩＹ−７″Ｆｔ臼＋ス、１１、亜
−れく水’■Ａぜ合には、一般に第１図に示す如き装置
により、ワイヤボンディングを行なつている。
第１図において、１はワイヤフィーダ２から導出された
金（Ａｕ）等のワイヤ、３はワイヤ１のくり出し防止ク
ランプ（ブレーキ）、４はボール引上げクランプ（ブレ
ーキ）、５はプルカットクランプ、６はキャピラリ、７
はワイヤ１の先端にボールを形成するためのトーチであ
る。そして、ワイヤくり出し防止クランプ３は常にワイ
ヤ１に所定の張力を与えており、ボール引上げクランプ
４とプルカットクランプ３は装置の動作プログラムに従
つて開閉し、かつ、キャピラリ６とともに上下動可能に
されている。さらに、ワイヤフィーダ２とクランプ３〜
５とキャピラリ６とトーチ７は一体となつ・てＸ−Ｙ方
向に移動できるようになつている。このような装置で混
成集積回路の基板８上の２点間をワイヤボンディングす
るには、まず最初の点９にワイヤ１の先端ボール１’を
ボンディングしたのち、所要のループ１０の長さに見合
つた高フさだけキャピラリ６等を上昇させ、その後装置
内を挿通するワイヤ１ができるだけ動かない軌跡を描く
ようにキャピラリ６等を移動し、第２の点１１にワイヤ
１の中間部をボンディングさせる。次いで、プルカット
クランプ５を閉じ該クランプ５５等を上昇させ、キャピ
ラリ６の先端から所定長さて導出するように切断された
ワイヤ１の先端部はスイング駆動されたトーチ７が加熱
して新たなボールを形成する。さらに、ボール引上げク
ランプ４を閉じてキャピラリ６等を降下させると、前記
新たに形成されたボールはキャピラリ６の先端に接し該
ボールに連なるワイヤを引下げ、次のワイヤボンディン
グが可能となる。しかし、キャピラリ６等を最初のボン
ディング点９から第２のボンディング点１１に移動させ
る際、キャピラリ６内でワイヤ１が戻る方向（反挿通方
向）に若干動かされるようになり、該ワイヤ１の先端と
トーチ７との相対関隔にばらつきが生じる。
そのため、形成されたボールが正しい球形にならなかつ
たり、ボールの大きさがばらついてワイヤボンディング
の信頼性を損う欠点があつた。本発明は上記欠点を除去
することにあり、この目的はワイヤルーピング中にはワ
イヤにテンションを掛けずに一連の最後のボンディング
位置へ誘導されたワイヤを、キャピラリ先端でそのボン
ディング位置に加圧接合する直前に、前記ワイヤに反導
出方向の張力を与え、前記ボンディング位置とブルカッ
トクランプとの間のワイヤ緩みをなくした状態て、キャ
ピラリによるワイヤ接合とワイヤのブルカット並びにワ
イヤ切断端のボール形成を行なわしめることを特徴とし
たワイヤボンディング方法を提供して達成される。
以下、図面を用いて本発明を説明する。
第２図は本発明の一実施例に関わるワイヤボンダ主要部
の側面図であり、第３図は前記ワイヤボーンダ主要各部
の動作経時線図、第４図はワイヤ端のボール形成工程を
示したものである。
第１図と共通部分には同一符号を用いた第２図において
、ワイヤスプール２から導出されたワイヤ１は、ワイヤ
くり出し防止クランプ（ブレーこキ）１３とボール引上
げクランプ（ブレーキ）４とブルカットクランプ５とキ
ャピラリ６を挿通して、キャピラリ６先端から導出され
る。
そして、ワイヤ１のブレーキ効果を有するクランプ１３
とワイヤガイド１４を装着したアーム１５は、ブル４カ
ットクランプ５とキャピラリ６とともに所定の上下動及
びＸ−Ｙ移動を行なうアーム１６に、ピン１７を介して
揺動可能に装着される。なお、アーム５と１６とはコイ
ルばね１８によつて常時引張られており、アーム１６に
装着したソレノイド１９の駆動及びコイルばね１８は、
可動ピン２０を介してアーム１５を揺動させるようにな
る。第３図において、曲線Ａはワイヤフィーダ２とアー
ム１６とブルカットクランプ５とキャピラリ６の上下動
を示し、曲線Ｂはブルカットクランプ５の開閉を、曲線
Ｃはトーチ７のスイングのＯＮ，ＯＦＦを、曲線Ｄはボ
ール引上げクランプ４の開閉を、曲線Ｅはワイヤくり出
し防止クランプノ１３の上下揺動をそれぞれ示したもの
である。第２図に示す如く構成され、第３図に示す如く
可動されるワイヤボンダを用いたワイヤボンディングに
おいて、第３図の時刻ちのスタート信号により、降下揺
動されたワイヤくり出し防止クラン．プ１３及び開放ブ
ルカットクランプ５とともに第１の点２１に下降するキ
ャピラリ６は、前記下降途中て閉成したホール引上げク
ランプ４の弱い抵抗の作用によりボール１゛をその先端
に密着させるようになる。そして時刻ちにてホール引上
げクランプ４を開放し、時刻ζ〜Ｔ２にてキャピラリ６
の先端が第１の点２１にワイヤボール１″を押圧接合し
たのち、時刻Ｔ２〜Ｔ３においてキャピラリ６，ブルカ
ットクランプ５，くり出し防止クランプ１３はループ２
３を作るのに必要なワイヤ長さに見合つた高さＺだけ上
昇する。この時、ボール引上げクランプ４は開いている
ため、ワイヤ１には張力が殆んど掛らない。かつ、ワイ
ヤボール１″が第１の点２１に接合されているため、ワ
イヤガイド１４が上昇することによりワイヤフィーダ２
からワイヤ１が引出される。次いで時刻Ｔ３〜Ｔ４にお
いてキャピラリ６等は、ループ２３を形成するように第
２の点２２に下降し、第４図ａに示す如くキャピラリ６
の先端がワイヤ１の中間点２２に軽く押え付けるように
なる。
そして、時刻Ｔ４においてソレノイド１９が駆動し、ワ
イヤくり出し防止クランプ１３はワイヤ１の切断強さよ
り弱い力（例えばワイヤ切断強さが１５ｙのときは２ｙ
程度の力）で上昇揺動される。次いで時刻Ｔ４〜らにお
いて、キャピラリ６はワイヤ１を第２の点２２に押圧接
合する。次いで時刻Ｔ５〜Ｔ６においてキャピラリ６，
ブルカットクランプ５，アーム１６（ワイヤくり出し防
止クランプ１３）とが土昇して第４図ｂに示す如く所定
のテール量を引出し、その終る時亥１１ｔ６においてプ
ルカツトクランプ５が閉成する。次いで時刻ち〜！にお
いてキャピラリ６とともに、閉じたブルカットクランプ
５が上昇して第４図ｃに示す如く、ワイヤ１を接合部の
上で切断（ブルカット）する。
次いで時刻Ｔ８において第４図ｄに示す如く、トーチ７
がキャピラリ６の方にスインク化て、前記切断されたワ
イヤ１の先端を加熱し、新たなボール１″を形成せしめ
るとともに、ボール引出しクランプ４を閉じる。次いで
トーチ７をスイングバツクしたのち、ブルカットクラン
プ５を開いて、次のボンディングに待機した状態とする
。なお、ワイヤくり出し防止クランプ１３の上昇揺動は
前記実施例で述べた如く、キャピラリ６の先端がワイヤ
を軽く押えてルーピングでくり出されたワイヤ（第２図
のループ２３）に影響しないタイミングで、該ワイヤボ
ンダの駆動プログラムに組込まれるか、又はワイヤボン
ダに加圧開始検出機構を具備せしめ、その加圧開始を検
出した瞬間とする必要がある。以上説明した如く本発明
のワイヤボンディング方法は、キャピラリ等の上下移動
とＸ−Ｙ移動とに一ζワイヤのループ形成に際して、キ
ャピラリ内及ひキャピラリとワイヤくり出し防止クラン
プ間に生じたワイヤの緩みをなくしてから、ワイヤのブ
ルカットが行なわれるため、該ブルカット後のキャピラ
リ先端に導出されるワイヤテール長さが一定化される。
従つて、テールを加熱して形成したボールは正しい球形
を呈するとともに、その大きさが均一化し、ワイヤボン
ディングの信頼性が著しく向上し得た実用上の効果は大
きい。
【図面の簡単な説明】
第１図は従来のワイヤボンディングに用いるワイヤボン
ダの一例に係わる主要部概略図、第２図は本発明のワイ
ヤボンディングを実施するためのワイヤホンダの一例に
係わる主要部概略図、第３図は第２図に示したワイヤボ
ンダ主要各部の動作説明用経時線図、第４図は第３図に
示したワイヤボンダによるワイヤ端のボール形成工程説
明図である。 なお、図中において１はワイヤ、１″，１″はボール、
２はワイヤフィーダ、３，１３はワイヤくり出し防止ク
ランプ、４はボール引上げクランＢプ、５はブルカット
クランプ、６はキャピラリ、７はトーチ、９，２１は第
１の接合点、１０，２３はワイヤループ、１１，２２は
第２の接合点を示す。

Claims (1)

    【特許請求の範囲】
  1. １ ワイヤフィーダから導出されたワイヤを所定位置に
    接合するキャピラリと、前記接合後のワイヤプルカット
    用クランプと、ワイヤ端にボールを加熱成形せしめるト
    ーチとを具備したワイヤボンダを用い、所定距離を隔て
    た前記所定位置間をワイヤ接続するワイヤボンディング
    方法において、一連の最後のボンディング位置に誘導さ
    れたワイヤを、キャピラリ先端でそのボンディング位置
    に加圧接合する直前に、キャピラリの先端がワイヤを軽
    く押さえてルーピングで繰り出されたワイヤに影響しな
    いタイミングでワイヤ繰り出し防止クランプの上昇揺動
    を行い該ワイヤ繰り出し防止クランプはワイヤをワイヤ
    切断力よりも軽い力で押圧し、前記ワイヤに反導出方向
    の張力を与え、前記押圧部分とプルカットクランプとの
    間のワイヤ緩みをなくした状態で、キャピラリによるワ
    イヤ接合とワイヤのプルカット並びにワイヤ切断後のボ
    ール形成を行なわしめることを特徴としたワイヤボンデ
    ィング方法。
JP55143125A 1980-10-14 1980-10-14 ワイヤボンディング方法 Expired JPS6057223B2 (ja)

Priority Applications (1)

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JP55143125A JPS6057223B2 (ja) 1980-10-14 1980-10-14 ワイヤボンディング方法

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JP55143125A JPS6057223B2 (ja) 1980-10-14 1980-10-14 ワイヤボンディング方法

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JPS5766648A JPS5766648A (en) 1982-04-22
JPS6057223B2 true JPS6057223B2 (ja) 1985-12-13

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JP55143125A Expired JPS6057223B2 (ja) 1980-10-14 1980-10-14 ワイヤボンディング方法

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Publication number Priority date Publication date Assignee Title
DE4012216A1 (de) * 1990-04-14 1991-10-17 Boehringer Mannheim Gmbh Testtraeger fuer die analyse von fluessigkeiten

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JPS5766648A (en) 1982-04-22

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